專利名稱：分光模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)光進(jìn)行分光并進(jìn)行檢測(cè)的分光模塊。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的分光模塊，己知有一種分光模塊，其具備雙凸透鏡，即塊 狀的支撐體，并且在支撐體的一個(gè)凸面上設(shè)有衍射光柵等的分光部， 在支撐體另一個(gè)凸面?zhèn)壬?，設(shè)有光電二極管等的光檢測(cè)元件(例如， 參照專利文獻(xiàn)l)。在這種分光模塊中，從另一凸面?zhèn)热肷涞墓庠诜止?部被分光，分光后的光在光檢測(cè)元件被檢測(cè)。
專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)平第4-294223號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而，上述的分光模塊中，當(dāng)將入射狹縫部及二極管安裝于支撐 體時(shí)，入射狹縫部和二極管的相對(duì)的位置關(guān)系發(fā)生偏移，分光模塊的 可靠性有可能下降。
因此，本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而提出的，其目的在于，提供一種 可靠性高的分光模塊。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的分光模塊的特征在于，具備使從 一個(gè)面入射的光透過(guò)的基板、設(shè)在基板的另一個(gè)面上并使入射于基板 的光透過(guò)的透鏡部、形成于透鏡部并對(duì)入射于透鏡部的光進(jìn)行分光的 分光部、以及設(shè)在一個(gè)面上并檢測(cè)被分光部分光后的光的光檢測(cè)元件， 分光部具有衍射部、反射部、以及與衍射部一體地形成的緣部；在緣 部以與一個(gè)面和另一個(gè)面中的至少一個(gè)面大致平行的方式形成有設(shè)有 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的平面。
該分光模塊中，通過(guò)對(duì)預(yù)先對(duì)準(zhǔn)并安裝有光檢測(cè)元件的基板安裝 預(yù)先形成有分光部的透鏡部，從而進(jìn)行光檢測(cè)元件和衍射部的對(duì)準(zhǔn)， 由于在與衍射部一體地形成的緣部的平面形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，因而在將透鏡部安裝于基板上時(shí)，通過(guò)相對(duì)于基板對(duì)該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對(duì)位，或者 相對(duì)于光檢測(cè)元件直接進(jìn)行對(duì)位，從而能夠相對(duì)于光檢測(cè)元件正確地 對(duì)準(zhǔn)衍射部，不受例如透鏡部的曲率半徑的誤差等的影響。尤其是， 由于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記形成于與基板的面大致平行的平面，因而能夠通過(guò)圖像 識(shí)別來(lái)正確地檢測(cè)該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置，于是能夠進(jìn)行正確的對(duì)準(zhǔn)。所 以，依照該分光模塊，能夠提高可靠性。
本發(fā)明的分光模塊中，優(yōu)選對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與衍射部一體地形成。這種 情況下，能夠提高對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和衍射部的位置精度，于是，能夠相對(duì)于 光檢測(cè)元件進(jìn)一步正確地對(duì)準(zhǔn)衍射部。
本發(fā)明的分光模塊中，優(yōu)選對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記以?shī)A著衍射部的方式，沿著 該衍射部的溝槽的排列方向至少形成一對(duì)。這種情況下，通過(guò)進(jìn)行對(duì) 準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)位，能夠正確地進(jìn)行衍射部的溝槽的排列方向的對(duì)位，于 是，能夠使被分光部分光后的光切實(shí)地朝向光檢測(cè)元件。
本發(fā)明的分光模塊中，優(yōu)選光檢測(cè)元件具有使向分光部行進(jìn)的光 通過(guò)的光通過(guò)孔。這種情況下，在組裝時(shí)，由于能夠省略對(duì)準(zhǔn)光檢測(cè) 元件和光通過(guò)孔的步驟，因而能夠容易地進(jìn)行組裝作業(yè)。
依照本發(fā)明，能夠提高可靠性。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的分光模塊的平面圖。
圖2是沿著圖i所示的n-ii線的截面圖。
圖3是顯示透鏡部的立體圖。
圖4是顯示透鏡部的頂部和分光部的放大截面圖。
圖5是從基板的后面?zhèn)瓤捶止獠康姆糯髨D。
圖6是設(shè)在分光部的周緣部的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的放大圖。
圖7是用于說(shuō)明在透鏡部形成分光部的制造工藝的圖。
圖8是用于說(shuō)明在基板安裝透鏡部的工藝的圖。
符號(hào)說(shuō)明
h分光模塊；2:基板；2a:前面(一個(gè)面)；2b:后面(另一個(gè) 面)；3:分光部；4:光檢測(cè)元件；4b:光通過(guò)孔；7:透鏡部；8:衍
4射層(衍射部);11:周緣部(緣部);lla:平面；12a、 12b、 12c、 12d:
對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖，詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。另外，在 各圖中，對(duì)于同一或相當(dāng)?shù)牟糠仲x予相同的符號(hào)，省略重復(fù)的說(shuō)明。
如圖1、 2所示，分光模塊1具備使從前面(一個(gè)面)2a入射的 光透過(guò)的基板2、設(shè)在基板2的后面(另一個(gè)面)2b上的透鏡部7、形 成于透鏡部7并對(duì)入射于透鏡部7的光Ll進(jìn)行分光的分光部3、以及 檢測(cè)被分光部3分光后的光L2的光檢測(cè)元件4。分光模塊1通過(guò)在分 光部3將光L1分光為多個(gè)光L2，并在光檢測(cè)元件4檢測(cè)光L2，從而 測(cè)量光L1的波長(zhǎng)分布和特定波長(zhǎng)成分的強(qiáng)度等。
基板2由BK7、派熱克斯(注冊(cè)商標(biāo))、石英等的光透過(guò)性玻璃、 光透過(guò)性樹(shù)脂等形成為長(zhǎng)方形板狀。
透鏡部7由與基板2相同的材料、光透過(guò)性的無(wú)機(jī)'有機(jī)混合材料、 或者復(fù)制成型用的光透過(guò)性低熔點(diǎn)玻璃等形成，作為使被分光部3分 光后的光L2成像于光檢測(cè)元件4的光檢測(cè)部4a的透鏡而起作用。透 鏡部7為半球狀或具有透鏡效果的曲面形狀的透鏡被與其平面部分大 致正交且互相大致平行的兩個(gè)平面裁切而形成側(cè)面的形狀(參照?qǐng)D3)。 通過(guò)這種形狀，在制造時(shí)易于保持透鏡部7，并且能夠謀求分光模塊l 的小型化。透鏡部7，以其側(cè)面與基板2的長(zhǎng)邊方向大致平行的方式配 置，在由與基板2相同的材料形成的情況下，通過(guò)光學(xué)樹(shù)脂和直接接 合(directbonding)而貼合于基板2。
分光部3是反射型光柵，具有形成于透鏡部7的外側(cè)表面的衍射 層(衍射部)8、形成于衍射層8的外側(cè)表面的反射層9、以及形成于 衍射層8的周緣的周緣部(緣部)11。衍射層8通過(guò)沿著基板2的長(zhǎng) 邊方向(圖l、 2中的紙面左右方向)并列設(shè)置多個(gè)溝槽而形成，例如 可以應(yīng)用鋸齒狀截面的閃耀光柵(blazed grating)、矩形狀截面的二元 光柵(binary grating)、正弦波狀截面的全息光柵(holographic grating) 等。該衍射層8中的溝槽形成于由圖5的G所示的區(qū)域(參照?qǐng)D5)。 衍射層8例如通過(guò)使光硬化性的環(huán)氧樹(shù)脂、丙烯酸樹(shù)脂、或者有機(jī)無(wú)機(jī)混合樹(shù)脂等的復(fù)制用光學(xué)樹(shù)脂發(fā)生光硬化而形成。反射層9為膜狀，
例如通過(guò)向衍射層8的外側(cè)表面蒸鍍Al或Au等而形成。
如圖4、 5所示，分光部3的周緣部11由與衍射層8相同的材料形成，并包圍該衍射層8的周緣。在周緣部11形成有與基板2的前面2a和后面2b大致平行的平面lla，在該平面lla上形成有四個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d。衍射層8、周緣部11、以及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、12c、 12d通過(guò)一個(gè)母光柵(光柵的鑄模)而一體形成。
對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b，以?shī)A著衍射層8的方式沿該衍射層8的溝槽的排列方向分別形成，以將對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b彼此連接的假想線Pl通過(guò)衍射層8的中心C的方式配置。對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12c、 12d，以?shī)A著衍射層8的方式沿該衍射層8的溝槽的延伸方向分別形成，以將對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12c、 12d彼此連接的假想線P2通過(guò)衍射層8的中心C的方式配置。如此，通過(guò)設(shè)置多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d，即使在制造時(shí)某一個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記發(fā)生問(wèn)題，也能夠通過(guò)使用其它的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記來(lái)進(jìn)行對(duì)位。另外，由于衍射層8的周緣8a在母光柵中相當(dāng)于邊緣部分，因而在對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記配置于過(guò)于接近周緣8a的位置的情況下，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記有可能在成形時(shí)難以形成。另一方面，在對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記過(guò)于遠(yuǎn)離周緣8a的情況下，由于有必要擴(kuò)大周緣部11，因而該周緣部11的厚度有可能變厚，難以控制樹(shù)脂量。所以，優(yōu)選在離周緣8a的距離為100 1000|am的范圍內(nèi)，形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d。
如圖6所示，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d，通過(guò)光柵形成為十字狀。母光柵中的衍射層和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的樣式，通過(guò)用電子束而形成，因而僅能獲得較淺的蝕刻深度，但是，通過(guò)用光柵形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、12b、 12c、 12d，能夠提高對(duì)位時(shí)的圖像識(shí)別的可見(jiàn)性。
回到圖l、 2，光檢測(cè)元件4具有光檢出部4a，由長(zhǎng)條狀的光電二極管沿著與其長(zhǎng)邊方向大致正交的方向一維排列而成，檢測(cè)被分光部3分光后的光L2;以及光通過(guò)孔4b，在光電二極管的一維排列方向上與光檢測(cè)部4a并列設(shè)置，使向分光部3行進(jìn)的光Ll通過(guò)。光通過(guò)孔4b是沿著基板2的短邊方向延伸的狹縫，在相對(duì)于光檢出部4a高精度地定位的狀態(tài)下，通過(guò)蝕刻等而形成。光檢測(cè)元件4被配置為，光電二極管的--維排列方向與基板2的長(zhǎng)邊方向大致一致，且光檢出部4a朝向基板2的前面2a側(cè)。另外，光檢測(cè)元件4不限于光電二極管陣列，也可以為C-MOS影像傳感器或CCD影像傳感器等。
在基板2的前面2a形成有由Al或Au等的單層膜，或者Cr-Pt-Au、Ti-Pt-Au、 Ti-Ni-Au、 Cr-Au等的層疊膜形成的配線13。配線13具有配置于基板2的中央部的多個(gè)墊部13a、配置于基板2的長(zhǎng)邊方向的一端部的多個(gè)墊部13b、以及將對(duì)應(yīng)的墊部13a和墊部13b連接的多個(gè)連接部13c。另夕卜，配線13在基板2的前面2a側(cè)具有由CrO等的單層膜或者Cr-CrO等的層疊膜形成的光吸收層13d。另外，在基板2的前面2a，由與配線13相同的層疊膜形成十字狀的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14a、 14b、 14c、 14d。對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14a、 14b分別形成于基板2的長(zhǎng)邊方向的兩端部，配置于基板2的短邊方向的中央位置。另外，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14c、 14d分別形成于基板2的短邊方向的兩端部，配置于基板2的長(zhǎng)邊方向的中央位置。這些對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14a、 14b、 14c、 14d是為了相對(duì)于基板2對(duì)準(zhǔn)分光部3而在與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d之間進(jìn)行對(duì)位的標(biāo)記。
而且，在基板2的前面2a，以使配線13的墊部13a、 Bb以及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14a、 14b、 14c、 14d露出且覆蓋配線13的連接部13c的方式形成有吸光層16。在吸光層16上，以使向分光部3行進(jìn)的光L1通過(guò)的方式在與光檢測(cè)元件4的光通過(guò)孔4b相對(duì)的位置形成有狹縫16a，并且以使向光檢測(cè)元件4的光檢出部4a行進(jìn)的光L2通過(guò)的方式在與光檢出部4a相對(duì)的位置形成有開(kāi)口部16b。吸光層16以規(guī)定的形狀被圖案化(patterning),由CrO、含CrO的層疊膜、或者黑抗蝕劑等一體成形。
光檢測(cè)元件4的外部端子，通過(guò)經(jīng)由凸塊15的倒裝接合(face downbonding)而電連接于從吸光層16露出的墊部13a。另外，墊部13b與外部的電子元件(圖中未顯示)電連接。而且，在光檢測(cè)元件4的基板2側(cè)(在此，為光檢測(cè)元件4和基板2或吸光層16之間)，填充有至少使光L2透過(guò)的底填充材料17，于是，能夠確保機(jī)械強(qiáng)度。
對(duì)上述的分光模塊1的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先，在基板2的前面2a，圖案化形成配線13及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14a、14b、 14c、 14d。然后，圖案化形成吸光層16，并且，露出墊部13a、13b和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14a、 14b、 14c、 14d，形成狹縫16a和開(kāi)口部16b。通
7過(guò)光刻，對(duì)準(zhǔn)形成該吸光層16。形成吸光層16后，在其上通過(guò)倒裝接
合以高精度對(duì)準(zhǔn)安裝光檢測(cè)元件4。
接著，在透鏡部7形成分光部3。參照?qǐng)D7，說(shuō)明形成該分光部3 的工藝。首先，如圖7 (a)所示，在透鏡部7的頂點(diǎn)附近，滴下用于 形成衍射層8、周緣部ll以及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d的復(fù)制用 光學(xué)樹(shù)脂21。如圖7 (b)所示，使由石英等形成的光透過(guò)性的母光柵 22接觸于滴下的復(fù)制用光學(xué)樹(shù)脂21。在該母光柵22上，在具有與透 鏡部7大致相同的曲率半徑的凹部22a中刻有與衍射層8相對(duì)應(yīng)的光 柵，并且在凹部22a周邊通過(guò)光柵而形成與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d相對(duì)應(yīng)的形狀。在使母光柵22接觸于復(fù)制用光學(xué)樹(shù)脂21的狀態(tài)下， 通過(guò)受光照射并發(fā)生硬化，從而一體地形成衍射層8、周緣部ll以及 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d。另外，在硬化后，優(yōu)選通過(guò)進(jìn)行加熱 固化來(lái)使其穩(wěn)定化。復(fù)制用光學(xué)樹(shù)脂21硬化后，使母光柵22脫模， 如圖7 (c)所示，通過(guò)向衍射層8的外面蒸鍍鋁或金，從而形成反射 層9。
通過(guò)上述的工藝，從而在透鏡部7形成分光部3，接著如圖8所示， 以光檢測(cè)元件4朝向下側(cè)的方式將基板2配置于安裝裝置(圖中未顯 示)，在基板2的后面2b涂布光硬化性的光學(xué)樹(shù)脂。然后， 一邊對(duì)對(duì) 準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14a、 14b、 14c、 14d進(jìn)行圖像 識(shí)別并相互進(jìn)行對(duì)位， 一邊將透鏡部7接合于基板2的后面2b，通過(guò) 光照射來(lái)進(jìn)行樹(shù)脂粘合，從而將透鏡部7安裝于基板2。另外，對(duì)準(zhǔn)標(biāo) 記12a、 12b、 12c、 12d和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14a、 14b、 14c、 14d彼此之間沒(méi)有 必要分別位于同一位置，例如，圖8中，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a相對(duì)于對(duì)準(zhǔn)標(biāo) 記14a偏移Ll ，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12b相對(duì)于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14b偏移L2。
對(duì)上述的分光模塊1的作用效果進(jìn)行說(shuō)明。
該分光模塊1中，通過(guò)對(duì)預(yù)先對(duì)準(zhǔn)并安裝有光檢測(cè)元件4的基板2 安裝預(yù)先形成有分光部3的透鏡部7，從而進(jìn)行光檢測(cè)元件4和衍射層 8的對(duì)準(zhǔn)，由于在與衍射層8 —體地形成的周緣部11的平面lla形成 有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d，因而在將透鏡部7安裝于基板2時(shí)， 通過(guò)相對(duì)于基板2對(duì)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d進(jìn)行對(duì)位，從而能 夠相對(duì)于光檢測(cè)元件4的光檢出部4a正確地對(duì)準(zhǔn)衍射層8，不受例如透鏡部7的曲率半徑的誤差等的影響。尤其是，由于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、12b、12c、 12d形成于與基板2的前面2a和后面2b大致平行的平面lla，因而能夠通過(guò)圖像識(shí)別來(lái)正確地檢測(cè)該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d的位置，于是能夠進(jìn)行正確的對(duì)準(zhǔn)。所以，依照該分光模塊l，能夠提高可靠性。
另外，由于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d與衍射層8—體形成，因而能夠提高對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d和衍射層8的位置精度，于是，能夠相對(duì)于光檢測(cè)元件4的光檢出部4a進(jìn)一步正確地對(duì)準(zhǔn)衍射層8。
另外，由于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b以?shī)A著衍射層8的方式，沿著該衍射層8的溝槽的排列方向形成一對(duì)，因而通過(guò)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b的對(duì)位，也能夠正確地進(jìn)行衍射層8的溝槽的排列方向的對(duì)位，于是，能夠使在分光部3被分光后的光切實(shí)地朝向光檢測(cè)元件4的光檢出部4a。
另外，由于光檢測(cè)元件4具有使向分光部3行進(jìn)的光通過(guò)的光通過(guò)孔4b，因而在組裝時(shí)，能夠省略對(duì)準(zhǔn)光通過(guò)孔和光檢測(cè)元件4的光檢出部4a的步驟，所以能夠容易地進(jìn)行組裝作業(yè)。
本發(fā)明不限于上述的實(shí)施方式。
例如，在本實(shí)施方式中，相對(duì)于形成于基板2的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14a、14b、14c、 14d而對(duì)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記12a、 12b、 12c、 12d進(jìn)行對(duì)位，但也可以相對(duì)于基板2的外形、或者形成于基板2的吸光層16上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對(duì)位。另外，也可以不經(jīng)由基板2，相對(duì)于設(shè)在光檢測(cè)元件4的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或光檢測(cè)元件4的外形直接進(jìn)行對(duì)位。
另外，本實(shí)施方式中，在基板2設(shè)置吸光層16，但也可以設(shè)置遮光層以代替該吸光層。
另外，本實(shí)施方式中，在光檢測(cè)元件4設(shè)置光通過(guò)孔4b，但也可以應(yīng)用不具有光通過(guò)孔的光檢測(cè)元件以將其代替，使光L1直接通過(guò)吸光層16的狹縫16a。
產(chǎn)業(yè)上的利用可能性依照本發(fā)明，能夠提高可靠性。
權(quán)利要求
1.一種分光模塊，其特征在于，具備使從一個(gè)面入射的光透過(guò)的基板、設(shè)在所述基板的另一個(gè)面上并使入射于所述基板的光透過(guò)的透鏡部、形成于所述透鏡部并對(duì)入射于所述透鏡部的光進(jìn)行分光的分光部、以及設(shè)在所述一個(gè)面上并檢測(cè)被所述分光部分光后的光的光檢測(cè)元件，所述分光部具有衍射部、反射部、以及與所述衍射部一體地形成的緣部，在所述緣部以與所述一個(gè)面和所述另一個(gè)面中的至少一個(gè)面大致平行的方式形成有設(shè)有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的平面。
2. 如權(quán)利要求1所述的分光模塊，其特征在于， 所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與所述衍射部一體地形成。
3. 如權(quán)利要求1所述的分光模塊，其特征在于， 所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記以?shī)A著所述衍射部的方式，沿著該衍射部的溝槽的排列方向至少形成一對(duì)。
4. 如權(quán)利要求1所述的分光模塊，其特征在于， 所述光檢測(cè)元件具有使向所述分光部行進(jìn)的光通過(guò)的光通過(guò)孔。
全文摘要
在與衍射層(8)一體地形成的周緣部(11)的平面(11a)形成有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(12a、12b、12c、12d)，在將透鏡部(7)安裝于基板(2)時(shí)，通過(guò)相對(duì)于基板(2)對(duì)這些對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(12a、12b、12c、12d)進(jìn)行對(duì)位，從而能夠相對(duì)于光檢測(cè)元件(4)的光檢出部(4a)正確地對(duì)準(zhǔn)衍射層(8)，不受例如透鏡部(7)的曲率半徑的誤差等的影響。尤其是，通過(guò)在平面(11a)形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(12a、12b、12c、12d)，從而能夠通過(guò)圖像識(shí)別來(lái)正確地檢測(cè)該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(12a、12b、12c、12d)的位置，于是能夠進(jìn)行正確的對(duì)準(zhǔn)。
文檔編號(hào)G01J3/02GK101636645SQ20088000051
公開(kāi)日2010年1月27日 申請(qǐng)日期2008年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月4日
發(fā)明者D·希勒, H·泰希曼, U·施塔克, 柴山勝己, 能野隆文, 鈴木智史 申請(qǐng)人:浜松光子學(xué)株式會(huì)社