專利名稱：片式半導(dǎo)體元器件測試機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別是一種高效可靠的片式半導(dǎo)體 元器件夾持測試機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
片式半導(dǎo)體元器件測試主要目的是通過對被測元器件通電然后采集 電參數(shù)，從而確定元器件優(yōu)良等級。目前，在片式半導(dǎo)體元器件測試分選 機(jī)上，測試機(jī)構(gòu)一般采用氣缸為動(dòng)力的連桿往復(fù)式機(jī)構(gòu)(如圖1所示)。
它主要由固定座17、氣缸18、連桿結(jié)構(gòu)19、左滑塊座20、右滑塊座21， 連桿機(jī)構(gòu)19的端部設(shè)置有彈簧與固定座17連接，左、右滑塊座上分別設(shè) 置有測針機(jī)構(gòu)24、 28，通過氣缸帶動(dòng)左、右滑塊座沿著直線導(dǎo)軌22相對 運(yùn)動(dòng)，由限位螺柱23限定左、右滑塊座合攏的最小距離，實(shí)現(xiàn)測針機(jī)構(gòu) 上的測針與被夾持的半導(dǎo)體元器件電極接觸的目的。采用此方式，有以下 缺點(diǎn)1)結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，傳動(dòng)部件多，動(dòng)作也繁多，安裝要求高，維護(hù) 保養(yǎng)都麻煩。2)由于采用機(jī)械式的限位，機(jī)械碰撞噪音大。3)震動(dòng)大， 沖擊大，容易損壞被測試的半導(dǎo)體元器件的電極。4)零件容易磨損。多 零件都作往復(fù)式動(dòng)作，有沖擊，震動(dòng)大，所以零件容易損壞。5)控制精 度差，難以做到左右兩邊均勻打開閉合，張開大小通過機(jī)械調(diào)整，更是難 以保證其精度。6)穩(wěn)定性差。由于動(dòng)作復(fù)雜，零件易磨損，使用一段時(shí) 間以后，機(jī)構(gòu)工作就很不穩(wěn)定。以上這些缺點(diǎn)都會造成測試數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確的 問題。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是為了解決現(xiàn)有技術(shù)之不足而提供的一種不僅 結(jié)構(gòu)簡單、噪音小、控制精度高、高速而且品質(zhì)可靠的片式半導(dǎo)體元器件 測試機(jī)構(gòu)。
本實(shí)用新型是采用如下技術(shù)解決方案來實(shí)現(xiàn)上述目的 一種片式半導(dǎo) 體元器件測試機(jī)構(gòu)，包括固定座及其上設(shè)置的驅(qū)動(dòng)裝置、與驅(qū)動(dòng)裝置連接 的左右測針機(jī)構(gòu)模塊，左右測針機(jī)構(gòu)模塊安裝于一直線滑軌上，主要由左 滑塊座、右滑塊座以及分裝于兩滑塊座上的左測針機(jī)構(gòu)與右測針機(jī)構(gòu)組 成，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)裝置中設(shè)置有凸輪隨動(dòng)機(jī)構(gòu)模塊，該模塊由伺 服電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)凸輪，凸輪的外圍設(shè)置有與其表面接觸的可沿直線滑動(dòng)的V 形桿，該V形桿上設(shè)置有V形面頂壓于左右測針機(jī)構(gòu)模塊的左滑塊座與 右滑塊座之間，該左、右滑塊座通過復(fù)位彈簧連接拉緊。
作為上述方案的進(jìn)一步說明，所述凸輪安裝在伺服電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)軸上， V形桿安裝在一豎直方向直線滑軌上，V形桿的中后部有一下拉彈簧連接 固定座。
所述V形桿左側(cè)設(shè)有微型凸輪軸承隨動(dòng)器，該微型凸輪軸承隨動(dòng)器與
凸輪緊密的貼緊。
所述v形面為v形桿右部的對稱v形面，左、右滑塊座上均設(shè)有微型 凸輪軸承隨動(dòng)器，v形面分別與該微型凸輪軸承隨動(dòng)器緊貼。
本實(shí)用新型采用上述技術(shù)解決方案所能達(dá)到的有益效果是 1、本實(shí)用新型采用伺服電機(jī)控制模式通過轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生移動(dòng)，夾持測試 動(dòng)作比較勻速平穩(wěn)，這樣可以提高測試的準(zhǔn)確性，因?yàn)槿绻麥y試機(jī)構(gòu)振動(dòng)， 會引起被測半導(dǎo)體元器件顫動(dòng)，使其電極與測針接觸不良，影響測試數(shù)據(jù) 的準(zhǔn)確性；而伺服電機(jī)可以控制速度的快慢，減少了振動(dòng)，不會損壞被測試的半導(dǎo)體元器件的電極，也使此機(jī)構(gòu)零件不易磨損，延長使用壽命。
2、 本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，傳動(dòng)零件少，安裝維護(hù)保養(yǎng)都非常方便， 噪音低，由于使用了伺服電機(jī)作動(dòng)力，沒有了氣動(dòng)元件動(dòng)作時(shí)那種刺耳的 聲音。
3、 本實(shí)用新型機(jī)構(gòu)測針機(jī)構(gòu)張開的大小和快慢都可以由軟件設(shè)定， 通過控制電機(jī)實(shí)現(xiàn)，并且左右兩邊都可以同時(shí)同樣速度張開，提高了測試 琉度。


圖1為采用氣缸為動(dòng)力的連桿往復(fù)式機(jī)構(gòu)等軸側(cè)視圖； 圖2為本實(shí)用新型的外觀等軸側(cè)視圖。
附圖標(biāo)記說明1、伺服電動(dòng)機(jī)2、凸輪3、微型凸輪軸承隨動(dòng)器4、 V形桿5、直線滑軌6、直線滑軌7、微型凸輪軸承隨動(dòng)器8、微型 凸輪軸承隨動(dòng)器9、復(fù)位彈簧10、左測針機(jī)構(gòu)11、右測針機(jī)構(gòu)12、 片式半導(dǎo)體元器件13、固定座14、左滑塊座15、右滑塊座16、下 拉彈簧17、固定座18、氣缸19、連桿機(jī)構(gòu)20、左滑塊座21、右 滑塊座
具體實(shí)施方式
如圖2所示，本實(shí)用新型的片式半導(dǎo)體元器件測試機(jī)構(gòu)，包括固定座 13及其上設(shè)置的驅(qū)動(dòng)裝置、與驅(qū)動(dòng)裝置連接的左右測針機(jī)構(gòu)模塊，驅(qū)動(dòng) 裝置中設(shè)置有凸輪隨動(dòng)機(jī)構(gòu)模塊，凸輪隨動(dòng)機(jī)構(gòu)模塊包括伺服電動(dòng)機(jī)1、 凸輪2、微型凸輪軸承隨動(dòng)器3、 V形桿4、豎直方向直線滑軌5，下拉彈 簧16。凸輪2安裝在伺服電動(dòng)機(jī)1的軸上，該伺服電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)凸輪 轉(zhuǎn)動(dòng)，V形桿4安裝在豎直方向直線滑軌5上，該V形桿中后部有一下拉彈簧16連接著固定座13，該V形桿左側(cè)設(shè)有微型凸輪軸承隨動(dòng)器3， 在下拉彈簧16的拉力下，該微型凸輪軸承隨動(dòng)器3與凸輪2緊密的貼緊， 這樣伺服電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)，凸輪的轉(zhuǎn)動(dòng)化成V形桿4沿著豎直 方向直線滑軌5上下運(yùn)動(dòng)。左右測針機(jī)構(gòu)模塊包括左測針機(jī)構(gòu)10，右測 針機(jī)構(gòu)ll，左滑塊座14，右滑塊座15，復(fù)位彈簧9，微型凸輪軸承隨動(dòng) 器7、 8，水平方向雙滑塊直線滑軌6。左測針機(jī)構(gòu)IO，右測針機(jī)構(gòu)ll分 別安裝在左滑塊座14，右滑塊座15上，該左右滑塊座安裝在水平方向雙 滑塊直線滑軌6上，該左右滑塊座上分別設(shè)有微型凸輪軸承隨動(dòng)器7、 8， 該左滑塊座14和右滑塊座15通過復(fù)位彈簧9連接拉緊。凸輪隨動(dòng)機(jī)構(gòu)模 塊中的V形桿4右部為對稱V形面，所述的V形面分別與左右測針機(jī)構(gòu)模 塊中的微型凸輪軸承隨動(dòng)器7、 8緊貼。
測試機(jī)構(gòu)工作狀態(tài)時(shí)，V形桿4往下運(yùn)動(dòng)時(shí)，V形面推動(dòng)微型凸輪軸 承隨動(dòng)器7、 8，從而使左右測針機(jī)構(gòu)沿著水平方向雙滑塊直線滑軌6相 對分開，V形桿4往上運(yùn)動(dòng)時(shí)，左右測針機(jī)構(gòu)在彈簧9的拉力作用下沿著 水平方向雙向滑塊直線滑軌6相對合攏，左右測針機(jī)構(gòu)合攏時(shí)把待測試的 片式半導(dǎo)體元器件夾持好，測針對正好待測試的片式半導(dǎo)體元器件12的 電極或引腳。在工作運(yùn)動(dòng)過程中，上面所述的左右測針機(jī)構(gòu)模塊中的微型 凸輪軸承隨動(dòng)器7、 8與V形面作相對的滾動(dòng)運(yùn)動(dòng)并且始終保持緊貼狀態(tài)， 這樣能有效的減少機(jī)械的碰撞，從而減少振動(dòng)。
權(quán)利要求1、一種片式半導(dǎo)體元器件測試機(jī)構(gòu)，包括固定座及其上設(shè)置的驅(qū)動(dòng)裝置、與驅(qū)動(dòng)裝置連接的左右測針機(jī)構(gòu)模塊，左右測針機(jī)構(gòu)模塊安裝于一直線滑軌上，主要由左滑塊座、右滑塊座以及分裝于兩滑塊座上的左測針機(jī)構(gòu)與右測針機(jī)構(gòu)組成，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)裝置中設(shè)置有凸輪隨動(dòng)機(jī)構(gòu)模塊，該模塊由伺服電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)凸輪，凸輪的外圍設(shè)置有與其表面接觸的可沿直線滑動(dòng)的V形桿，該V形桿上設(shè)置有V形面頂壓于左右測針機(jī)構(gòu)模塊的左滑塊座與右滑塊座之間，該左、右滑塊座通過復(fù)位彈簧連接拉緊。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的片式半導(dǎo)體元器件測試機(jī)構(gòu)，其特征在于 所述凸輪安裝在伺服電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)軸上，V形桿安裝在一豎直方向直線滑軌 上，V形桿的中后部有一下拉彈簧連接固定座。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的片式半導(dǎo)體元器件測試機(jī)構(gòu)，其特征在于所述V形桿左側(cè)設(shè)有微型凸輪軸承隨動(dòng)器，該微型凸輪軸承隨動(dòng)器與凸輪緊密的貼緊。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的片式半導(dǎo)體元器件測試機(jī)構(gòu)，其特征 在于所述V形面為V形桿右部的對稱V形面，左、右滑塊座上均設(shè)有微 型凸輪軸承隨動(dòng)器，V形面分別與該微型凸輪軸承隨動(dòng)器緊貼。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種片式半導(dǎo)體元器件測試機(jī)構(gòu)，包括固定座及其上設(shè)置的驅(qū)動(dòng)裝置、與驅(qū)動(dòng)裝置連接的左右測針機(jī)構(gòu)模塊，左右測針機(jī)構(gòu)模塊安裝于一直線滑軌上，主要由左滑塊座、右滑塊座以及分裝于兩滑塊座上的左測針機(jī)構(gòu)與右測針機(jī)構(gòu)組成，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)裝置中設(shè)置有凸輪隨動(dòng)機(jī)構(gòu)模塊，該模塊由伺服電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)凸輪，凸輪的外圍設(shè)置有與其表面接觸的可沿直線滑動(dòng)的V形桿，該V形桿上設(shè)置有V形面頂壓于左右測針機(jī)構(gòu)模塊的左滑塊座與右滑塊座之間，該左、右滑塊座通過復(fù)位彈簧連接拉緊。本實(shí)用新型機(jī)構(gòu)動(dòng)作簡單，穩(wěn)定可靠，控制精度高，調(diào)整靈活方便，自動(dòng)化程度高，充分體現(xiàn)了半導(dǎo)體加工設(shè)備高效高品質(zhì)的特點(diǎn)，應(yīng)用前景良好。
文檔編號G01R31/00GK201319051SQ20082020348
公開日2009年9月30日 申請日期2008年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月17日
發(fā)明者單忠頻, 楊國宏, 羅炳坤, 袁毅凱, 覃譚飛 申請人:佛山市國星光電股份有限公司