專利名稱：：一種lvdt傳感器信號(hào)檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及傳感器的信號(hào)調(diào)節(jié)方法，尤其涉及線性可調(diào)差接變壓器的信號(hào)調(diào)節(jié)方法。
背景技術(shù)：
：線性可調(diào)差接變壓器(LVDT)的結(jié)構(gòu)如圖1所示，由一個(gè)初級(jí)線圈繞組和兩個(gè)次級(jí)線圈繞組組成，它的工作原理是當(dāng)鐵磁性磁芯受到與4企測(cè)的移動(dòng)部分相連的非4失》茲桿拖曳沿它的內(nèi)部移動(dòng)時(shí)，初級(jí)線圈與兩個(gè)次級(jí)線圈中每一個(gè)之間的電》茲互感發(fā)生變化。在初級(jí)線圏使用交流電壓供電時(shí)，當(dāng)鐵磁性磁芯在中心位置處時(shí)，每個(gè)次級(jí)線圏感應(yīng)的電壓相等。石茲芯偏離中心位置時(shí)，其中一個(gè)次級(jí)線圈電壓會(huì)逐漸增大，而另一個(gè)次級(jí)線圏電壓則會(huì)減小，同時(shí)，兩個(gè)次級(jí)線圈電壓的絕對(duì)變化量相同。通常，兩個(gè)次級(jí)線圈如圖1所示反向串聯(lián)方式工作，次級(jí)線圏的輸出電壓具有線性特征，輸出電壓圖形如圖2所示。對(duì)LVDT傳感器信號(hào)檢測(cè)常用的方法是采用載波放大器來完成，載波放大器包括用來完成交流放大模塊、解調(diào)電路模塊和低通濾波功能的電路模塊，其中還包括常用的振蕩器，如圖2所示。最簡單的方案就是從每個(gè)次級(jí)線圏獲得調(diào)幅連續(xù)電壓，然后進(jìn)行整流和相減，輸出直流電壓信號(hào)表明磁芯的位置。這種方法的不足之處在于，對(duì)次級(jí)線圏的直流電壓信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)是一種間接檢測(cè)，被測(cè)信號(hào)，也就是直流電壓信號(hào)是交流信號(hào)經(jīng)過了整流、信號(hào)加減等中間處理環(huán)節(jié)，會(huì)造成無法避免的誤差量與時(shí)間同步上的延遲，導(dǎo)致通過對(duì)輸出直流電壓信號(hào)的檢測(cè)不能完全準(zhǔn)確的反映》茲芯的位置。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明解決的技術(shù)問題是對(duì)LVDT傳感器信號(hào)進(jìn)行直接檢測(cè)的方法，本發(fā)明提供一種通過對(duì)次級(jí)繞組信號(hào)的相位調(diào)節(jié)，來完成對(duì)信號(hào)幅值的精確采集的技術(shù)方案，實(shí)現(xiàn)對(duì)LVDT傳感器信號(hào)的直接檢測(cè)的技術(shù)問題。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明包括以下
發(fā)明內(nèi)容一種LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)方法，其特征在于該方法通過調(diào)節(jié)激勵(lì)信號(hào)相位，并直接采樣次級(jí)線圏輸出信號(hào)，實(shí)現(xiàn)對(duì)LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)，該方法包括以下步驟A、初始化相位粗調(diào)寄存器參數(shù)值和相位精調(diào)寄存器參數(shù)值為令，B、產(chǎn)生頻率為N赫茲的正弦波激勵(lì)信號(hào)，輸入到LVDT傳感器的初級(jí)線圏輸入端，C、通過模數(shù)轉(zhuǎn)換芯片(ADC)的第一采樣信號(hào)對(duì)次級(jí)線圏的輸出信號(hào)進(jìn)行采樣，第一采樣信號(hào)頻率為激勵(lì)信號(hào)頻率的4倍，對(duì)次級(jí)線圏輸出信號(hào)的每個(gè)周期采樣4次，得到第一信號(hào)，D、將采樣信號(hào)與時(shí)鐘信號(hào)進(jìn)行同步，得到第二采樣信號(hào)，E、根據(jù)第一信號(hào)采樣值極性確定激勵(lì)信號(hào)的相位粗調(diào)量，并設(shè)置粗調(diào)寄存器參數(shù)值，F(xiàn)、依據(jù)粗調(diào)寄存器參數(shù)值對(duì)激勵(lì)信號(hào)進(jìn)行相位調(diào)節(jié)，將調(diào)節(jié)后的激勵(lì)信號(hào)輸入到初級(jí)線圏輸入端，此時(shí)次級(jí)線圏輸出信號(hào)與第二采樣信號(hào)之間的相移在0度至90度之間，G、根據(jù)經(jīng)過粗調(diào)后次級(jí)線圈輸出信號(hào)的相位，對(duì)激勵(lì)信號(hào)進(jìn)行精調(diào)，設(shè)置精調(diào)寄存器參數(shù)值，再次調(diào)整激勵(lì)信號(hào)的相位，H、當(dāng)激勵(lì)信號(hào)經(jīng)過相位粗調(diào)和精調(diào)之后，利用第二采樣信號(hào)對(duì)次級(jí)線圏輸出信號(hào)進(jìn)行采樣，使得4次采樣值分別為輸出信號(hào)的0、正峰值、0、負(fù)峰值，I、通過檢測(cè)次級(jí)線圏輸出信號(hào)的#值得到磁芯移開中心的位移。所述的步驟B中，可利用主頻時(shí)鐘為M兆赫茲的FPGA產(chǎn)生頻率為N赫茲的方波信號(hào)，經(jīng)過濾波處理得到正弦波激勵(lì)信號(hào)。所述的步驟D中，時(shí)鐘信號(hào)通過FPGA產(chǎn)生，該時(shí)鐘信號(hào)與產(chǎn)生方波的FPGA主頻時(shí)鐘信號(hào)相同。所述的FPGA主頻時(shí)鐘信號(hào)，其范圍在5MHZ至40MHZ之間。第二采樣信號(hào)與由FPGA產(chǎn)生的方波信號(hào)時(shí)鐘沿同步。所述的步驟E中設(shè)置激勵(lì)信號(hào)的相位粗調(diào)量的方法包括如下步E1、當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)的4次采樣值極性依次為正正負(fù)負(fù)，設(shè)置相位粗調(diào)量為0度，E2、當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)的4次采樣值極性依次為正負(fù)負(fù)正，設(shè)置相位粗調(diào)量為90度，E3、當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)的4次采樣值極性依次為負(fù)負(fù)正正，設(shè)置相位粗調(diào)量為180度，E4、當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)的4次采樣值極性依次為負(fù)正正負(fù)，設(shè)置相位粗調(diào)量為270度。所述的步驟F中的粗調(diào)寄存器參數(shù)值，其對(duì)應(yīng)于相位粗調(diào)量的參數(shù)設(shè)置方法為F1、當(dāng)相位粗調(diào)量為0度時(shí)，設(shè)置粗調(diào)寄存器參數(shù)值為二進(jìn)制00，F(xiàn)2、當(dāng)相位粗調(diào)量為90度時(shí)，設(shè)置粗調(diào)寄存器參數(shù)值為二進(jìn)制01，F(xiàn)3、當(dāng)相位粗調(diào)量為180度時(shí)，設(shè)置粗調(diào)寄存器參數(shù)值為二進(jìn)制10，F(xiàn)4、當(dāng)相位粗調(diào)量為270度時(shí)，設(shè)置粗調(diào)寄存器參數(shù)值為二進(jìn)制11。所述的步驟G中的相位精調(diào)寄存器，采用8位寄存器，調(diào)節(jié)范圍為0x00到OxFF，對(duì)應(yīng)相移0度至90度之間，使得次級(jí)線圈信號(hào)的4次采樣值分別為0、正峰值、0、負(fù)峰值。所述的步驟G中對(duì)激勵(lì)信號(hào)進(jìn)行精調(diào)，包括以下步驟G1、在相位為0度、90度、180度、270度四個(gè)采樣時(shí)間點(diǎn)中，可以選糾目位差180度的兩個(gè)采樣點(diǎn)為一對(duì)采樣點(diǎn)，G2、若設(shè)定O度和180度為一對(duì)采樣點(diǎn)，讀取設(shè)定采樣點(diǎn)上的次級(jí)線圈輸出信號(hào)信號(hào)幅值，與零進(jìn)行比較，根據(jù)比較結(jié)果設(shè)定相位精調(diào)量，直到采樣信號(hào)幅值的絕對(duì)值最接近零為止，G3、若設(shè)定90度和270度為一對(duì)采樣點(diǎn)，讀取設(shè)定采樣點(diǎn)上的次級(jí)線圈輸出信號(hào)信號(hào)幅值，取絕對(duì)值后，跟上一次相同點(diǎn)采樣值的絕對(duì)值進(jìn)行比較，設(shè)定相位精調(diào)量，直到采樣信號(hào)幅值的絕對(duì)值為最大為止。本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明是一種LVDT傳感器信號(hào)檢測(cè)方法。該方法利用專門的電路設(shè)計(jì)來產(chǎn)生初級(jí)線圏的激勵(lì)信號(hào)，用固定采樣頻率的模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADCAnalogtoDigitalConverter)對(duì)次級(jí)線圈輸出電壓進(jìn)行采樣。該方法采用粗調(diào)和精調(diào)兩個(gè)調(diào)節(jié)步驟，完成對(duì)初級(jí)線圈的激勵(lì)信號(hào)相對(duì)于采樣信號(hào)的相位的精密調(diào)節(jié)，可以快速精確的調(diào)節(jié)初級(jí)線圈的激勵(lì)信號(hào)相位，該方法直接采集次級(jí)線圈輸出交流信號(hào)，可以應(yīng)用任何型號(hào)的LVDT傳感器，沒有激勵(lì)頻率的限制。相位調(diào)節(jié)只需要修改相應(yīng)的寄存器參數(shù)，不需要對(duì)硬件做任何修改。本發(fā)明提供的技術(shù)方案無需對(duì)輸出信號(hào)進(jìn)行整理、濾波等二次處理，可通過對(duì)輸出信號(hào)的直接檢測(cè)得到傳感器的位置信號(hào)，采集芯片精確釆集次級(jí)線圈輸出信號(hào)的幅值，顯著減小了信號(hào)檢測(cè)的誤差。避免了現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)信號(hào)二次處理帶來的誤差，能提高傳感器的反饋位置信號(hào)的準(zhǔn)確度。圖1LVDT傳感器結(jié)構(gòu)示意圖；圖2LVDT次級(jí)線圏輸出信號(hào)線性范圍；圖3相位粗調(diào)量為0度時(shí)信號(hào)波形圖；圖4相位粗調(diào)量為90度時(shí)信號(hào)波形圖；圖5相位粗調(diào)量為180度時(shí)信號(hào)波形圖；圖6相位粗調(diào)量為270度時(shí)信號(hào)波形圖；圖7相位精調(diào)量為0度時(shí)信號(hào)波形圖；圖8相位精調(diào)量為45度時(shí)信號(hào)波形圖；圖9相位精調(diào)量為90度時(shí)信號(hào)波形圖。具體實(shí)施例方式LVDT傳感器通常用作與位置信號(hào)的反々責(zé)器件，下面以在掃描投影光刻機(jī)工件臺(tái)垂向運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中，3個(gè)LVDT傳感器作為位置反饋器件為實(shí)施例，具體說明LVDT傳感器信號(hào)檢測(cè)步驟如下1.初始化相位粗調(diào)寄存器和相位精調(diào)寄存器值為零。2.利用FPGA產(chǎn)生頻率為12KHz的方波，經(jīng)過二階低通濾波器，得到頻率為12KHz的正弦波，此頻率當(dāng)然可以任意更改，常用頻率還有2.5KHz和5KHz。3.正弦波信號(hào)經(jīng)過信號(hào)調(diào)理，輸入到LVDT傳感器的初級(jí)線圈，作為LVDT傳感器的激勵(lì)信號(hào)。4.利用采樣頻率為48KHz的模數(shù)轉(zhuǎn)換芯片產(chǎn)生的第一采樣信號(hào)對(duì)次級(jí)線圏輸出信號(hào)進(jìn)行采樣，每個(gè)周期采樣4次，如果激勵(lì)信號(hào)頻率為2.5KHZ或5KHZ時(shí)，則此處第一采樣信號(hào)的頻率分別為10KHZ和20KHZ,同樣每個(gè)周期采樣4次。5.利用FPGA的主頻時(shí)鐘信號(hào)對(duì)模數(shù)轉(zhuǎn)換芯片的48KHz采樣信號(hào)進(jìn)行采樣，得到的第二采樣信號(hào)，第二采樣信號(hào)與FPGA輸出的方波在時(shí)鐘沿上同步，其中FPGA常用的主頻時(shí)鐘范圍為5MHZ至40MHZ之間，此處使用的主頻為20MHz。6.首先根據(jù)每周期4次采樣得到的第一信號(hào)的極性來設(shè)置粗調(diào)相位量，并設(shè)置粗調(diào)寄存器參數(shù)值，具體的相位調(diào)節(jié)量和粗調(diào)寄存器參數(shù)設(shè)置方法如下表所示表1相位4l調(diào)表<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>把第一信號(hào)的四個(gè)時(shí)刻的采樣值分別與零做比較，大于零極性判為正，小于零則極性判為負(fù)，如上表所示，當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)四個(gè)采樣值極性依次為正正負(fù)負(fù)時(shí)，相位粗調(diào)量為o度，也就是不需要調(diào)整激勵(lì)信號(hào)相位，粗調(diào)寄存器參數(shù)值設(shè)置為二進(jìn)制00;當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)四個(gè)采樣值極性依次為正負(fù)負(fù)正時(shí)，對(duì)激勵(lì)信號(hào)的相位粗調(diào)量為90度，即將激勵(lì)信號(hào)相位調(diào)整90度，相應(yīng)的粗調(diào)寄存器參數(shù)值設(shè)置為二進(jìn)制01，當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)四個(gè)采樣值極性依次為負(fù)負(fù)正正時(shí)，對(duì)激勵(lì)信號(hào)的相位粗調(diào)量為180度，粗調(diào)寄存器參數(shù)值設(shè)置為二進(jìn)制10;當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)四個(gè)采樣值極性依次為負(fù)正正負(fù)，對(duì)激勵(lì)信號(hào)的相位粗調(diào)量為270度，粗調(diào)寄存器參數(shù)值設(shè)置為二進(jìn)制11。經(jīng)過設(shè)置粗調(diào)寄存器參數(shù)值對(duì)激勵(lì)信號(hào)相位粗調(diào)之后，將調(diào)整后的激勵(lì)信號(hào)輸入到初級(jí)線圏輸入端，此時(shí)次級(jí)線圈輸出正弦信號(hào)與采樣信號(hào)之間的相位偏移量在0度至90度之間。然后可采用逐步逼近的方法來進(jìn)行對(duì)激勵(lì)信號(hào)相位的精調(diào)，相位調(diào)節(jié)范圍在O度至90度之間進(jìn)行，如果精調(diào)寄存器是8位寄存器，90°每bit代表7=a3515625度，調(diào)節(jié)范圍為0x00到OxFF，對(duì)應(yīng)相移0度到90度。逐步逼近的精調(diào)方法就是在O。、90°、180°、270°四個(gè)時(shí)間點(diǎn)，可以選取其中的0°或者180。采樣點(diǎn)，也可以選擇90°或者270。的采樣點(diǎn)。如果選擇O?；蛘?80。采樣點(diǎn)，那么按位逐漸調(diào)整精調(diào)寄存器，調(diào)整完后，讀取次級(jí)線圈O。或者180。的采樣信號(hào)幅值，然后3進(jìn)行比較。重復(fù)這個(gè)過程，直到O?；蛘?80°采樣信號(hào)幅值的絕對(duì)值最接近零為止。如果選擇90°或者270°采樣點(diǎn)，那么按位逐漸調(diào)整精調(diào)寄存器，調(diào)整完后，讀取次級(jí)線圈90?；蛘?70。的采樣信號(hào)幅值，取絕對(duì)值后，跟上一次相同點(diǎn)采樣值的絕對(duì)值進(jìn)行比較。重復(fù)這個(gè)過程，直到90°或者270。采樣信號(hào)幅值的絕對(duì)值為最大為止。在完成精調(diào)之后，保證4次采樣分別對(duì)應(yīng)次級(jí)線圏輸出正弦波型的O度、90度、180度、270度四個(gè)時(shí)間點(diǎn)。如有需要，可以將精調(diào)寄存器位數(shù)提高，以得到更準(zhǔn)確的相位移動(dòng)。如圖3至圖9所示，相位粗調(diào)見圖3至圖6，分別對(duì)應(yīng)相位粗調(diào)0度、90度、180度、270度。其中shft—quadrant為相位粗調(diào)寄存器參數(shù)值，shft—step為相位精調(diào)寄存器參數(shù)值，sqw12k為12KHz方波，lnr為ADC的第一采樣信號(hào)，quadrant為將第一采樣信號(hào)即lnr信號(hào)與FPGA主時(shí)鐘同步之后的第二采樣信號(hào)。相位精調(diào)波形示意圖見圖7至圖9，分別對(duì)應(yīng)相位精調(diào)O度、45度和90度。權(quán)利要求1.一種LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)方法，其特征在于:該方法通過調(diào)節(jié)激勵(lì)信號(hào)相位，并直接采樣次級(jí)線圈輸出信號(hào)，實(shí)現(xiàn)對(duì)LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)，該方法包括以下步驟:A、初始化相位粗調(diào)寄存器參數(shù)值和相位精調(diào)寄存器參數(shù)值為零，B、產(chǎn)生頻率為N赫茲的正弦波激勵(lì)信號(hào)，輸入到LVDT傳感器的初級(jí)線圈輸入端，C、通過模數(shù)轉(zhuǎn)換芯片(ADC)的第一采樣信號(hào)對(duì)次級(jí)線圈的輸出信號(hào)進(jìn)行采樣，第一采樣信號(hào)頻率為激勵(lì)信號(hào)頻率的4倍，對(duì)次級(jí)線圈輸出信號(hào)每個(gè)周期采樣4次，得到第一信號(hào)，D、將采樣信號(hào)與時(shí)鐘信號(hào)進(jìn)行同步，得到第二采樣信號(hào)，E、根據(jù)第一信號(hào)采樣值極性確定激勵(lì)信號(hào)的相位粗調(diào)量，并設(shè)置粗調(diào)寄存器參數(shù)值，F(xiàn)、依據(jù)粗調(diào)寄存器參數(shù)值對(duì)激勵(lì)信號(hào)進(jìn)行相位調(diào)節(jié)，將調(diào)節(jié)后的激勵(lì)信號(hào)輸入到初級(jí)線圈輸入端，此時(shí)次級(jí)線圈輸出信號(hào)與第二采樣信號(hào)之間的相移在0度至90度之間，G、根據(jù)經(jīng)過粗調(diào)后次級(jí)線圈輸出信號(hào)的相位，對(duì)激勵(lì)信號(hào)進(jìn)行精調(diào)，設(shè)置精調(diào)寄存器參數(shù)值，再次調(diào)整激勵(lì)信號(hào)的相位，H、當(dāng)激勵(lì)信號(hào)經(jīng)過相位粗調(diào)和精調(diào)之后，利用第二采樣信號(hào)對(duì)次級(jí)線圈輸出信號(hào)進(jìn)行采樣，使得4次采樣值分別為輸出信號(hào)的0、正峰值、0、負(fù)峰值，I、通過檢測(cè)次級(jí)線圈輸出信號(hào)的峰峰值得到磁芯移開中心的位移。2、如權(quán)利要求1所述的一種LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)方法，其特征在于所述的步驟B中，可利用主頻時(shí)鐘為M兆赫茲的FPGA產(chǎn)生頻率為N赫茲的方波信號(hào)，經(jīng)過濾波處理得到正弦波激勵(lì)信號(hào)。3、如權(quán)利要求1或2所述的一種LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)方法，其特征在于所述的步驟D中，時(shí)鐘信號(hào)通過FPGA產(chǎn)生，該時(shí)鐘信號(hào)與產(chǎn)生方波的FPGA主頻時(shí)鐘信號(hào)相同。4、如權(quán)利要求3所述的一種LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)方法，其特征在于所述的FPGA主頻時(shí)鐘信號(hào)，其范圍在5MHZ至40MHZ之間。5、如權(quán)利要求4所述的一種LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)方法，其特征在于第二采樣信號(hào)與由FPGA產(chǎn)生的方波信號(hào)時(shí)鐘沿同步。6、如權(quán)利要求1所述的一種LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)方法，其特征在于所述的步驟E中設(shè)置激勵(lì)信號(hào)的相位粗調(diào)量的方法包括如下步驟E1、當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)的4次采樣值極性依次為正正負(fù)負(fù)，設(shè)置相位粗調(diào)量為0度，E2、當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)的4次采樣值極性依次為正負(fù)負(fù)正，設(shè)置相位粗調(diào)量為90度，E3、當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)的4次采樣值極性依次為負(fù)負(fù)正正，設(shè)置相位粗調(diào)量為180度，E4、當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)的4次采樣值極性依次為負(fù)正正負(fù)，設(shè)置相位粗調(diào)量為270度。7、如權(quán)利要求1或6所述的一種LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)方法，其特征在于所述的步驟F中的粗調(diào)寄存器參數(shù)值，其對(duì)應(yīng)于相位粗調(diào)量的參數(shù)設(shè)置方法為F1、當(dāng)相位粗調(diào)量為0度時(shí)，設(shè)置粗調(diào)寄存器參數(shù)值為二進(jìn)制00，F(xiàn)2、當(dāng)相位粗調(diào)量為90度時(shí)，設(shè)置粗調(diào)寄存器參數(shù)值為二進(jìn)制01,F3、當(dāng)相位粗調(diào)量為180度時(shí)，設(shè)置粗調(diào)寄存器參數(shù)值為二進(jìn)制10，F(xiàn)4、當(dāng)相位粗調(diào)量為270度時(shí)，設(shè)置粗調(diào)寄存器參數(shù)值為二進(jìn)制11。8、如權(quán)利要求1所述的一種LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)方法，其特征在于所述的步驟G中的相位精調(diào)寄存器，采用8位寄存器，調(diào)節(jié)范圍為0x00到OxFF,對(duì)應(yīng)相移0度至90度之間，使得4次采樣分別對(duì)應(yīng)次級(jí)線圈輸出信號(hào)的4次采樣值分別為零值、正峰值、零值、負(fù)峰值。9、如權(quán)利要求1所述的一種LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)方法，其特征在于所述的步驟G中對(duì)激勵(lì)信號(hào)進(jìn)行精調(diào)，包括以下步驟G1、在相位為0度、90度、180度、270度四個(gè)采樣時(shí)間點(diǎn)中，可以選取相位差180度的兩個(gè)采樣點(diǎn)為一對(duì)采樣點(diǎn)，G2、若設(shè)定O度和180度為一對(duì)采樣點(diǎn)，讀取設(shè)定采樣點(diǎn)上的次級(jí)線圈輸出信號(hào)信號(hào)幅值，與零進(jìn)行比較，根據(jù)比較結(jié)果設(shè)定相位精調(diào)量，直到采樣信號(hào)幅值的絕對(duì)值最接近零為止，G3、若設(shè)定90度和270度為一對(duì)采樣點(diǎn)，讀取設(shè)定采樣點(diǎn)上的次級(jí)線圈輸出信號(hào)信號(hào)幅值，取絕對(duì)值后，跟上一次相同點(diǎn)采樣值的絕對(duì)值進(jìn)行比較，設(shè)定相位精調(diào)量，直到采樣信號(hào)幅值的絕對(duì)值為最大為止。全文摘要本發(fā)明是一種LVDT傳感器信號(hào)的檢測(cè)方法，其特征在于對(duì)輸出信號(hào)進(jìn)行采樣的同時(shí)，將采用信號(hào)與激勵(lì)信號(hào)進(jìn)行時(shí)鐘同步，并通過對(duì)激勵(lì)信號(hào)相位進(jìn)行粗調(diào)和精調(diào)兩次調(diào)節(jié)，最終使得采樣信號(hào)每周期4次采樣精確對(duì)準(zhǔn)輸出信號(hào)的0、正峰值、0和負(fù)峰值。本發(fā)明提供的技術(shù)方案無需對(duì)輸出信號(hào)進(jìn)行整理、濾波等二次處理，可通過對(duì)輸出信號(hào)的直接檢測(cè)得到傳感器的位置信號(hào)，有效減小了信號(hào)二次處理帶來的誤差，能提高傳感器的反饋位置信號(hào)的準(zhǔn)確度。文檔編號(hào)G01D5/12GK101373143SQ20081020144公開日2009年2月25日申請(qǐng)日期2008年10月21日優(yōu)先權(quán)日2008年10月21日發(fā)明者穆洪德,銳陳申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機(jī)械工程有限公司