專利名稱：：偏心量測定裝置的制作方法偏心量測定裝置技術(shù)區(qū)域本發(fā)明涉及一種測定透鏡等光學(xué)元件中的被檢面的偏心量的偏心量測定裝置，尤其涉及一種適合測定由多個(gè)透鏡等構(gòu)成的光學(xué)元件中的各被檢面的偏心量的偏心量測定裝置。
背景技術(shù)：
：以往，作為這種偏心量測定裝置，已知的有適用被稱為自準(zhǔn)直法的測定單元(參照下述專利文獻(xiàn)l、2)。在自準(zhǔn)直法中，使得被檢光學(xué)元件的被檢面的焦點(diǎn)面與攝像面，通過被檢面成為相互共軛位置關(guān)系而進(jìn)行被檢面與光學(xué)系統(tǒng)的位置調(diào)整，使被檢面圍著規(guī)定的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，并在被檢面的焦點(diǎn)面成像規(guī)定形狀的指標(biāo)像。其指標(biāo)像，通過被檢面?zhèn)鞑コ上裨跀z像面上，但此時(shí)若被檢面偏心，則隨著被檢面的旋轉(zhuǎn)指標(biāo)像如畫圓形的軌跡般移動(dòng)，因此通過計(jì)量此圓的半徑可求被檢面的偏心量。在以往的偏心量測定裝置，作為指標(biāo)大多使用針孔，但此時(shí)，有在圖像上難以特定針孔像的中心位置的問題。因此，本申請人，通過使用十字形狀的分度線片作為指標(biāo)，提出在圖像上即可簡單特定指標(biāo)像的中心位置的測定方法，己向特許廳公幵(參照下述專利文獻(xiàn)3)。專利文獻(xiàn)1專利公開2005-55202號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2專利公開2007-17431號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3專利公開2006-157198號(hào)說明書然而，在由多個(gè)透鏡等構(gòu)成的光學(xué)元件中，產(chǎn)生對各透鏡面測定偏心量的必要性，但根據(jù)各透鏡的配置，有其他透鏡面或?yàn)V光器等其他光學(xué)部件位于規(guī)定透鏡面的焦點(diǎn)面(近軸曲率中心)的情況。這種情況，若將上述規(guī)定的透鏡面作為被檢面適用自準(zhǔn)直法，除通過被檢面成像在攝像面上的指標(biāo)像(以下稱為「標(biāo)準(zhǔn)像」)之外，在攝像面上可能成像通過位于被檢面的焦點(diǎn)面的其他透鏡面等被傳播的指標(biāo)像(以下稱為「無用像」)。在以往的偏心量測定裝置中，有被構(gòu)成為基于圖像濃度值自動(dòng)地特定圖像上的指標(biāo)像(標(biāo)準(zhǔn)像)的位置的裝置，但標(biāo)準(zhǔn)像與無用像同時(shí)被載持(被照映)在圖像上時(shí)，因難以相互區(qū)別這些，所以未能進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)像的位置特定。因此，標(biāo)準(zhǔn)像與無用像同時(shí)被載持在圖像上時(shí)，操作員看圖像進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)像與無用像的區(qū)別，遮蔽無用像等的工作被視為必要。通常，測定一個(gè)被檢面的偏心量，因需要10張以上的互異位置的標(biāo)準(zhǔn)像的圖像，所以在各圖像很難進(jìn)行上述的遮蔽等工作，另外測定所需時(shí)間也顯著增大。因此，根據(jù)操作員的判斷，在偏心量測定時(shí)提供的圖像被稀疏(間引<)，測定精度也有可能降低。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，目的在于，提供適用自準(zhǔn)直法測定偏心量時(shí)，即使除通過被檢面成像的標(biāo)準(zhǔn)像之外通過其他面成像的無用像也被載持在圖像上時(shí)，在圖像上也可特定標(biāo)準(zhǔn)像的位置的偏心量測定裝置。為達(dá)成上述目的，在本發(fā)明的偏心量測定裝置，著眼于通過被檢面以外的其他面成像的無用像，即使旋轉(zhuǎn)被檢光學(xué)元件，在各圖像上的位置或圖像濃度值也幾乎不變，設(shè)為通過求差圖像而消除無用像。艮P，本發(fā)明所涉及的偏心量測定裝置的特征在于，具備基臺(tái)，其以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)軸為中心可旋轉(zhuǎn)地保持被檢光學(xué)元件；照射用光學(xué)系統(tǒng)，其對保持于該基臺(tái)并以所述規(guī)定的旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)的所述被檢光學(xué)元件的被檢面，通過規(guī)定形狀的指標(biāo)照射來自光源的光，并且將該指標(biāo)的像成像在所述被檢面的焦點(diǎn)面；成像用光學(xué)系統(tǒng)，其將來自所述被檢面的反射光或透過光引導(dǎo)在攝像面上，并將由該反射光或透過光形成的所述指標(biāo)的標(biāo)準(zhǔn)像成像在所述攝像面上；攝像單元，其按所述被檢光學(xué)元件的互不相同的多個(gè)旋轉(zhuǎn)位置的每個(gè)，取得分別載持有與該多個(gè)旋轉(zhuǎn)位置的每個(gè)相對應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)像的多個(gè)圖像；解析單元，其基于被攝像的所述多個(gè)圖像解析所述被檢面的偏心量，所述解析單元被構(gòu)成為，通過求所述多個(gè)圖像中的規(guī)定的兩張圖像的差圖像，從圖像中消除由來自位于所述被檢面的焦點(diǎn)面的規(guī)定面的反射光或透過光在所述攝像面上成像的所述指標(biāo)的無用像。在本發(fā)明所涉及的偏心量測定裝置中，所述解析單元被構(gòu)成為，通過在所述差圖像中進(jìn)行將圖像濃度值成為正的區(qū)域以及成為負(fù)的區(qū)域的任一方的區(qū)域的圖像濃度值置為零的處理，而形成標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像，所述標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像僅載持所述兩張圖像中其中一方的圖像上的所述標(biāo)準(zhǔn)像。另外，所述解析單元也可被構(gòu)成為，通過求所述一方的圖像與所述標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像之間的差圖像，形成僅載持所述指標(biāo)的無用像的無用像除去用圖像。另外，所述解析單元也可被構(gòu)成為，在所述標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像，按每像素行合計(jì)對應(yīng)于各像素的圖像濃度值，并基于該合計(jì)值成為最大的像素行的坐標(biāo)，特定所述標(biāo)準(zhǔn)像的中心位置。需要說明的是，在本發(fā)明中，所謂「圖像」是指，人以視覺可意識(shí)到的通常圖像以外，包括對應(yīng)于構(gòu)成這種圖像的各像素的圖像濃度值的分布數(shù)據(jù)等圖像信息的概念。另外，「差圖像」是指，取兩張圖像之間的圖像濃度值的差的圖像。根據(jù)本發(fā)明所涉及的偏心量測定裝置，適用自準(zhǔn)直法測定偏心量時(shí)，除通過被檢面成像的標(biāo)準(zhǔn)像之外，即使通過其他面成像的無用像載持在圖像上時(shí)，也因通過求差圖像可從圖像上消除無用像，所以能夠在圖像上根據(jù)畫像濃度值等特定標(biāo)準(zhǔn)像的位置。因此，在以往的偏心量測定裝置中被視為必要的、基于操作者的無用像遮蔽的工作等變得不必要，所以可大幅度縮短測定時(shí)所需時(shí)間，并可防止測定精度的降低。圖1是一實(shí)施方式所涉及的偏心量測定裝置的概略構(gòu)成圖。圖2是表示透鏡體的各旋轉(zhuǎn)位置中被攝影的多個(gè)圖像的一例的圖。圖3是表示標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像的一例的圖。圖4是表示分別載持標(biāo)準(zhǔn)像及無用像的2個(gè)圖像的圖。圖5是表示消除無用像的圖像處理的作用的圖。圖6是以模式表示無用像除去用圖像的形成過程的圖。圖中l(wèi)一偏心量測定裝置，5—透鏡體(被檢光學(xué)元件)，IO—測定頭，ll一光源，12—分度板，13—光束分離器，14一準(zhǔn)直透鏡，15—物鏡透鏡，16—攝像元件，17—攝像機(jī)，20—基臺(tái)，21—載置構(gòu)件，22—XY軸載物臺(tái)，23—旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)，24—Z軸載物臺(tái)，30—解析運(yùn)算部，31—解析裝置，32一圖像顯示裝置，33—輸入裝置，40—Z軸載物臺(tái)，41一支撐部，42—引導(dǎo)部，43—可動(dòng)部，51、52—透鏡，51a、51b、52a、52b—透鏡面，53—鏡筒，61a、61b—剖面線，1,1,2—圖像，Al2AI,2—標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像，Iue—無用像除去用圖像，RClRc12、Rca、Rch—標(biāo)準(zhǔn)像，Uc,UcI2、Uca、Ucb—無用像，P—光會(huì)聚點(diǎn)，Z、B—光軸，A—旋轉(zhuǎn)軸。具體實(shí)施例方式以下，對本發(fā)明所涉及的實(shí)施方式邊參照圖面邊進(jìn)行詳細(xì)地說明。圖1為本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的偏心量測定裝置的概略構(gòu)成圖。圖1所示的偏心量測定裝置1，是適用自準(zhǔn)直法測定作為被檢光學(xué)元件的透鏡體5的各被檢面的偏心量，具備測定頭10，可旋轉(zhuǎn)地保持透鏡體5的基臺(tái)20，進(jìn)行用于計(jì)算偏心量的各種運(yùn)算等的解析運(yùn)算部30，及可向圖中上下方向移動(dòng)地保持測定頭10的Z軸載物臺(tái)40。上述測定頭10，具備光源ll，其輸出被照射在上述透鏡體5的光束；分度(P于夕》)板12，其具有使從光源ll輸出的光束通過的、作為指標(biāo)的十字形狀裂縫(以下稱為「分度線」)；光束分離器13，其將來自分度板12的光束向圖中下方反射；準(zhǔn)直透鏡14，其使被入射的光束成為平行光束；物鏡透鏡15，其將平行光束會(huì)聚在光會(huì)聚點(diǎn)P。另外，此測定頭10，具備載持了CCD或CMOS等攝像元件16的作為攝像單元的攝像機(jī)17。但，在本實(shí)施方式中，由上述分度板12、上述光束分離器13、上述準(zhǔn)直透鏡14、以及上述物鏡透鏡15等構(gòu)成照射用光學(xué)系統(tǒng)，并由上述物鏡透鏡15、上述準(zhǔn)直透鏡14、上述光束分離器13等構(gòu)成成像用光學(xué)系統(tǒng)。另一方面，上述透鏡體5，具備多個(gè)透鏡，作為以如下方式構(gòu)成的光學(xué)元件而例示的物即在規(guī)定的透鏡面的焦點(diǎn)面存在其他透鏡面，將2片透鏡51、52保持在鏡筒53內(nèi)而成。另外，被構(gòu)成為作為被檢面的各透鏡面51a、51b、52a、52b中，使透鏡51的圖中上側(cè)的透鏡面51a位于透鏡52的圖中上側(cè)的透鏡面52a的焦點(diǎn)面(透鏡面52a的焦點(diǎn)(近軸的曲率中心點(diǎn))C3所處的面圖示省略)。上述基臺(tái)20，具備安裝有上述透鏡體5的載置構(gòu)件21，支持此載置構(gòu)件21的XY軸載物臺(tái)22及旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)23而成。XY軸載物臺(tái)22，在進(jìn)行安裝在載置構(gòu)件21的透鏡體5和測定頭10之間的位置調(diào)整時(shí)用于使用，并被構(gòu)成為使得安裝在載置構(gòu)件21的透鏡體5能夠在與上述測定頭10的光軸Z大致垂直的面內(nèi)移動(dòng)。另外，旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)23，被構(gòu)成為可使安裝在載置構(gòu)件21的透鏡體5以圖示的旋轉(zhuǎn)軸A為中心旋轉(zhuǎn)。另外，作為上述載置構(gòu)件21，可使用在其上方端面邊緣部支持透鏡體5的圓筒形狀物體，也可使用如前述的專利文獻(xiàn)3的圖3所示的由V塊與旋轉(zhuǎn)圓板而成的卡盤機(jī)構(gòu)。作為上述解析運(yùn)算部30，具備以下器件而成解析裝置31，其作為進(jìn)行在測定時(shí)被攝像的各圖像的解析等的由計(jì)算機(jī)等而成的解析單元；圖像顯示裝置32，其顯示解析結(jié)果或各圖像等；輸入裝置33，其用于對于解析裝置31進(jìn)行各種輸入。上述Z軸載物臺(tái)40，具備以下結(jié)構(gòu)而成支撐部41，其載置有上述基臺(tái)20;引導(dǎo)部42，其立設(shè)(立設(shè))在此支撐部41;可動(dòng)部43，其設(shè)置成能夠沿著此引導(dǎo)部42可向圖中上下方向移動(dòng)，并保持上述測定頭10。此Z軸載物臺(tái)40，在測定上述透鏡體5的偏心量時(shí)，使得上述測定頭10的光會(huì)聚點(diǎn)P分別位于上述各透鏡面51a、51b、52a、52b的焦點(diǎn)面(例如，測定透鏡面52a的偏心量時(shí)，使得光會(huì)聚點(diǎn)P位于透鏡面52a的焦點(diǎn)面)，并依次調(diào)整測定頭10的高度。另外，當(dāng)測定偏心量時(shí)，最優(yōu)選將上述測定頭10的光軸Z、上述透鏡體5的光軸B、及上述基臺(tái)20(旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)23的)的旋轉(zhuǎn)軸A，調(diào)整成相互一致，但該些相互不一致時(shí)也可測定。關(guān)于各軸不一致時(shí)的測定單元，在前述專利文獻(xiàn)2有詳細(xì)記述。其次，對基于本實(shí)施方式的偏心量測定裝置1的上述透鏡體5的偏心量測定順序，及偏心量測定裝置1的作用進(jìn)行說明。假設(shè)上述測定頭10的光軸Z、上述透鏡體5的光軸B、及上述基臺(tái)20的旋轉(zhuǎn)軸A的相互間的位置調(diào)整己經(jīng)結(jié)束。另外，在以下，上述透鏡體5的各透鏡面51a、51b、52a、52b中，舉測定透鏡面52a的偏心量時(shí)為例進(jìn)行說明。<1〉首先，使用上述Z軸載物臺(tái)40，使得上述測定頭10的光會(huì)聚點(diǎn)P位于上述透鏡面52a的焦點(diǎn)面，而調(diào)整測定頭10的高度。<2〉其次，從測定頭10將測定光束照射在透鏡體5。照射在透鏡體5的測定光束，會(huì)聚在上述光會(huì)聚點(diǎn)P，并在上述透鏡面52a的焦點(diǎn)面成像上述分度線的像，同時(shí)其一部分透過上述透鏡51照射在上述透鏡面52a。照射在透鏡面52a的光束中，來自透鏡面52a的反射光束(特別是來自近軸區(qū)域的反射光束)的一部分透過上述透鏡51在透鏡面52a的焦點(diǎn)面成像上述分度線影像，并入射在測定頭IO。被入射在測定頭IO的來自上述透鏡面52a的反射光束，通過上述物鏡透鏡透鏡15、上述準(zhǔn)直透鏡14、上述光束分離器13入射在上述攝像機(jī)17的攝像元件16，上述分度線影像(以下稱為「標(biāo)準(zhǔn)像」)成像在此攝像元件16的攝像面上。另一方面，被照射在透鏡體5的測定光束中來自上述透鏡面51a的反射光束，通過上述物鏡透鏡15、上述準(zhǔn)直透鏡14、上述光束分離器13入射在上述攝像機(jī)17的攝像元件16，在此攝像元件16的攝像面上成像與上述標(biāo)準(zhǔn)像不同的其他分度線影像(以下稱為「無用像(不要像)」)?！?〉接著，通過上述攝像機(jī)17，對一同載持有上述標(biāo)準(zhǔn)像及上述無用像的圖像進(jìn)行攝像。上述透鏡面52a的焦點(diǎn)面與上述攝像面，通過上述透鏡面52a成為共軛位置關(guān)系。<4〉以下，使用上述旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)23，使上述透鏡體5(透鏡面52a)，以上述旋轉(zhuǎn)軸A為中心按規(guī)定角度旋轉(zhuǎn)，按每個(gè)旋轉(zhuǎn)位置，進(jìn)行上述<1〉、<2〉的處理，并對一并載置有上述標(biāo)準(zhǔn)像及上述無用像的圖像進(jìn)行攝像。另外，被攝像的各圖像信息，被依次儲(chǔ)蓄在上述解析裝置31的存儲(chǔ)部。在圖2表示對應(yīng)于各旋轉(zhuǎn)位置的多個(gè)圖像的一例。在圖2表示有使上述透鏡體5每旋轉(zhuǎn)30度攝影的共12張圖像LI,2(數(shù)字表示攝像順序)。在各圖像1,112中，以將圖像劃分為四個(gè)的方式而拍攝的大十字形狀的像是無用像Uc,Ud2，拍攝旁邊的小十字形狀的象是標(biāo)準(zhǔn)像RdRd2。如圖示，標(biāo)準(zhǔn)像Rc,Rd2，在各圖像I,L2中的位置有相對的變化，對于此，無用像Uc,Uc,2，在各圖像1,1,2中的相對位置及圖像濃度值基本沒有變〈5〉其次，作為為了對被載持在上述各圖像I,I,2上的標(biāo)準(zhǔn)像Rc,Rd2的中心位置進(jìn)行特定的準(zhǔn)備，進(jìn)行從圖像上消除上述無用像Uc,Uc,2的圖像處理。用于消除此無用像的圖像處理在上述解析裝置31中自動(dòng)進(jìn)行。在此，關(guān)于用于消除無用像的圖像處理的原理，使用圖4及圖5進(jìn)行說明。圖4例示分別載持標(biāo)準(zhǔn)像及無用像的兩個(gè)圖像。而且，圖5是表示由圖4所示的兩個(gè)圖像消除無用像時(shí)的圖像處理的作用的圖，同圖(A)表示圖4所示的圖像Ia中的沿剖面線61a的圖像濃度值的分布，同圖(B)表示圖4所示的圖像Ib中的沿剖面線61b的圖像濃度值的分布。另外，同圖(C)表示圖4所示的圖像Ia與圖像Ib間的差圖像的圖像濃度值的分布。在圖4的圖像Ia上載持有標(biāo)準(zhǔn)像Rca及無用像Uca，在圖像Ib上載持有標(biāo)準(zhǔn)像Rcb及無用像Ucb。另夕卜，如圖4及圖5(A)、(B)所示，標(biāo)準(zhǔn)像Rca及Rcb，在圖像之間相對位置變化，相對于此，無用像Uca及Ucb的相對位置及其圖像濃度值在圖像之間沒有變化。于是，求兩個(gè)圖像Ia、Ib的差圖像AI。Ia一工b)。在此差圖像AI中，無用像Uca及UCb被抵消并消除。另外，求差圖像AI(=Ia_Ib)時(shí)，與在圖像Ib上所載持的標(biāo)準(zhǔn)像Rcb對應(yīng)的區(qū)域的圖像濃度值成負(fù)，但在本實(shí)施方式中，在此情況，進(jìn)行將圖像濃度值成負(fù)的區(qū)域的圖像濃度值設(shè)為零的處理，形成只載持圖像濃度值成正的區(qū)域(對應(yīng)于標(biāo)準(zhǔn)像R"的區(qū)域)的標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像。另一方面，求差圖像AI(=Ia—Ib)時(shí)，進(jìn)行將圖像濃度值成正的區(qū)域的圖像濃度值置為零的處理，并將圖像濃度值成負(fù)的區(qū)域的符號(hào)變換為正，從而可以形成只載持有對應(yīng)于標(biāo)準(zhǔn)像Rcb區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像。通過把在此所述的用于消除無用像的圖像處理，適用于圖2所示的各圖像I,I,2間，無用像Uc'Uc'2被消除，形成分別只載持標(biāo)準(zhǔn)像Rc)Rc,2的標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像。圖3表示標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像的一例。圖3所示的12張標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像ALAL2，根據(jù)圖2所示的各圖像LI2中互相鄰接的兩個(gè)圖像之間的差圖像(AI=I-In+1;Fl，…ll)而形成的(此處，Al,2二IfI,)?！?〉其次，在上述標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像AI,AI,2中，特定標(biāo)準(zhǔn)像Rc,Rc,2的中心位置。特定此中心位置時(shí)，可使用前述專利文獻(xiàn)3所記載的方法。另外，在標(biāo)準(zhǔn)像RdRc,2小，或其圖像濃度值(在攝像面上的受光量)小而難以特定中心位置的情況下，也可通過如下順序特定中心位置。例如，圖3所示的標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像AI,中，按沿Y方向(圖中縱向)排列的每像素行，計(jì)算將對應(yīng)于各像素的圖像濃度值合計(jì)后的值(參照下式(1)),將計(jì)算出的值成最大的像素行的Y坐標(biāo)作為標(biāo)準(zhǔn)像Rc,的中心位置的Y坐標(biāo)。同樣，按沿X方向(圖中橫向)排列的每像素行，計(jì)算將對應(yīng)于各像素的圖像濃度值的值(參照下式(2))合計(jì)后的值，將計(jì)算出的值成為最大的像素行的X坐標(biāo)作為標(biāo)準(zhǔn)像Rd的中心位置的X坐標(biāo)。另外，下式(1)與(2)，對應(yīng)于標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像AI,的像素?cái)?shù)，橫縱都為512。[數(shù)學(xué)式1]<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>〈7〉基于被特定的各標(biāo)準(zhǔn)像RdR&的中心位置，使用周知的加權(quán)平均法等近似方法，求像中心的軌跡(通常成為圓形)，根據(jù)此像中心的軌跡的半徑，計(jì)算上述透鏡面52a的偏心量。關(guān)于測定其他透鏡面51a、51b、52b的偏心量也用同樣的順序進(jìn)行，但當(dāng)無用像沒有被載持在圖像上時(shí)，可省略上述用于消除無用像的圖像處理。根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的偏心量測定裝置，標(biāo)準(zhǔn)像與無用像被載持在圖像上時(shí)，也可通過求差圖像從圖像上消除無用像，因此可以特定圖像上的標(biāo)準(zhǔn)像的位置。另外，通過此，能夠高精度地測定被檢面的偏心量，同時(shí)，也可大幅地縮短測定所需的時(shí)間。需要說明的是，作為本發(fā)明的偏心量測定裝置，不限于上述實(shí)施方式，還可以進(jìn)行各種形式的變更。例如，在上述實(shí)施方式中，被構(gòu)成為形成各標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像時(shí)，依次求圖2所示的各圖像LI,2中互相鄰接的兩個(gè)圖像之間的差圖像，但還可以代替此構(gòu)成為，按以下順序形成只載持無用像的無用像除去用圖像，利用此無用像除去用圖像形成各標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像。圖6是以模式表示無用像除去用圖像的形成過程的圖。首先，求算.*.通過求由圖2所示的各圖像1,1,2中的規(guī)定的2個(gè)圖像(在圖6中圖像I,與圖像12)的差圖像而做成的標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像(在圖6中圖3所示的標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像AI,)，與成為差圖像的來源的上述2個(gè)圖像中一方的圖像(在圖6中圖像I,)之間的差圖像，從而形成僅載持無用像的無用像除去用圖像Iu。。其次，通過分別求圖2所示的各圖像12112與上述無用像除去用圖像I"之間的差圖像，可形成與圖3所示的各標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像Al2AL2相同的各標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像(關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像AI,，已在前階段形成)。另外，在上述實(shí)施方式，使用十字形狀的分度線作為指標(biāo)，代替此，也可使用針孔等其他形狀之物作為指標(biāo)。并且，在上述實(shí)施方式中，在測定一個(gè)被檢面(透鏡面52a)的偏心量時(shí)，使用使被檢面的旋轉(zhuǎn)位置每30度變化而攝像的共12張圖像，但關(guān)于被檢面的旋轉(zhuǎn)角度或攝像的圖像張數(shù)，可適當(dāng)改變。另外，上述實(shí)施方式的偏心量測定裝置，是敵對由來自被檢面的反射光而形成的指標(biāo)像進(jìn)行觀察的光反射型，但還可以作為對由來自被檢面的透過光而形成的指標(biāo)像進(jìn)行觀察的光透射型。權(quán)利要求1.一種偏心量測定裝置，其特征在于，具備基臺(tái)，其以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)軸為中心可旋轉(zhuǎn)地保持被檢光學(xué)元件；照射用光學(xué)系統(tǒng)，其對保持于該基臺(tái)并以所述規(guī)定的旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)的所述被檢光學(xué)元件的被檢面，通過規(guī)定形狀的指標(biāo)照射來自光源的光，并且將該指標(biāo)的像成像在所述被檢面的焦點(diǎn)面；成像用光學(xué)系統(tǒng)，其將來自所述被檢面的反射光或透過光引導(dǎo)在攝像面上，并將由該反射光或透過光形成的所述指標(biāo)的標(biāo)準(zhǔn)像成像在所述攝像面上；攝像單元，其按所述被檢光學(xué)元件的互不相同的多個(gè)旋轉(zhuǎn)位置的每個(gè)，取得分別載持有與該多個(gè)旋轉(zhuǎn)位置的每個(gè)相對應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)像的多個(gè)圖像；解析單元，其基于被攝像的所述多個(gè)圖像解析所述被檢面的偏心量，所述解析單元被構(gòu)成為，通過求所述多個(gè)圖像中的規(guī)定的兩張圖像的差圖像，從圖像中消除由來自位于所述被檢面的焦點(diǎn)面的規(guī)定面的反射光或透過光在所述攝像面上成像的所述指標(biāo)的無用像。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的偏心量測定裝置，其特征在于，所述解析單元被構(gòu)成為，通過在所述差圖像中進(jìn)行將圖像濃度值成為正的區(qū)域以及成為負(fù)的區(qū)域的任一方的區(qū)域的圖像濃度值置為零的處理，而形成標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像，所述標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像僅載持所述兩張圖像中其中一方的圖像上的所述標(biāo)準(zhǔn)像。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的偏心量測定裝置，其特征在于，所述解析單元被構(gòu)成為，通過求所述一方的圖像與所述標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像之間的差圖像，形成僅載持所述指標(biāo)的無用像的無用像除去用圖像。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的偏心量測定裝置，其特征在于，所述解析單元被構(gòu)成為，在所述標(biāo)準(zhǔn)像位置特定用圖像，按每像素行合計(jì)對應(yīng)于各像素的圖像濃度值，并基于該合計(jì)值成為最大的像素行的坐標(biāo)，確定所述標(biāo)準(zhǔn)像的中心位置。全文摘要本發(fā)明提供一種偏心量測定裝置，其中，具備基臺(tái)(20)，其可旋轉(zhuǎn)地保持透鏡體(5)；測定頭(10)，將來自光源(11)的光照射在透鏡面(52a)并在其焦點(diǎn)面上成像分度線影像，并將來自透鏡面(52a)的反射光引導(dǎo)在攝像面上并在攝像面成像分度線像，攝影對應(yīng)于各旋轉(zhuǎn)位置的各圖像；解析運(yùn)算部(30)，其根據(jù)攝像的各圖像解析偏心量。解析運(yùn)算部(30)，其被構(gòu)成為通過求各圖像的差圖像，而使分度線影像的無用像從圖像中消除。當(dāng)適用自準(zhǔn)直法測定偏心量時(shí)，即使除通過被檢面成像的標(biāo)準(zhǔn)像之外通過其他面成像的無用像也被載持在圖像上時(shí)，依然可特定圖像上的標(biāo)準(zhǔn)像的位置。文檔編號(hào)G01B11/27GK101319960SQ20081010052公開日2008年12月10日申請日期2008年5月20日優(yōu)先權(quán)日2007年6月4日發(fā)明者萍孫申請人:富士能株式會(huì)社