專(zhuān)利名稱：高精度、高分辨率位移傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種位移傳感器,尤其涉及一種高精度、高分辨率位 移傳感器。
技術(shù)背景現(xiàn)有位移傳感器的副柵線路板使用的是普通敷銅板材料,其上的發(fā)射電極和接收電極釆用普通敷銅板的蝕刻工藝制作，由于受制作工藝的限制，發(fā)射電極和接收電極不可能制作的很精細(xì)，這就限制了傳感器的分辨率及精度。此外，由于普通敷銅板材料幾何尺寸易隨環(huán)境溫度、濕度的變化而變化，這也影響了位移傳感器的精度。 實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型旨在提供一種高精度、高分辨 率位移傳感器。本實(shí)用新型釆用的技術(shù)方案是一種高精度、高分辨率位移傳感器，包括主尺、副尺、主柵線路板、 副柵線路板、控制線路板、液晶顯示器及按鍵，所述主尺與副尺可相對(duì)滑 動(dòng)，主柵線路板安裝在主尺上，副柵線路板安裝在控制線路板上，控制線 路板安裝在副尺上，液晶顯示器及按鍵安裝在控制線路板上，副柵線路板 及副柵線路板上的發(fā)射電極與接收電極是基材為硅片的集成線路結(jié)構(gòu)。在進(jìn)一步的細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)中，所述副柵線路板上的發(fā)射電極與接收電極通 過(guò)幫定焊盤(pán)與控制線路板連接。在進(jìn)一步的細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)中，所述副尺的側(cè)面開(kāi)設(shè)有滑槽，主尺連同其主 柵線路板一起安裝在副尺的滑槽中，控制線路板安裝在副尺的側(cè)面，其副 柵線路板與主柵線路板相對(duì)應(yīng)。在進(jìn)一步的細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)中，所述液晶顯示器及按鍵安裝在控制線路板的本實(shí)用新型的副柵線路板及副柵線路板上的發(fā)射電極與接收電極均釆用集成電路制作工藝(如CM0S， Bi-CMOS等工藝)在硅片上直接制作， 其發(fā)射電極與接收電極極為精細(xì)，與主柵線路板配合可達(dá)到極高的分辨 率，如ljam、 0. 5ym、 0. lpm等，可用于制作精度極高的千分尺、千分表、測(cè)高儀、測(cè)長(zhǎng)儀等量具。

圖l是副柵線路板的示意圖；圖2是主柵線路板的示意圖； 圖3是本實(shí)用新型的裝配示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的描述。 附圖標(biāo)記說(shuō)明如下1.幫定焊盤(pán) 2.發(fā)射電極3.屏蔽電極 4.接收電極5.主柵線路板 6.按鍵7.液晶顯示器 8.控制線路板 9.副柵線路板 10.主柵線路板11.主尺 12.副尺如圖1 3所示，該位移傳感器主要由按鍵6、液晶顯示器7、控制線 路板8、副柵線路板9、主珊線路板IO、主尺ll、副尺12組成，副尺12 的側(cè)面開(kāi)設(shè)有滑槽，主尺ll位于副尺的滑槽中，兩者可相對(duì)滑動(dòng)，主柵 線路板10安裝在主尺11上，副柵線路板9安裝在控制線路板8上，并通 過(guò)幫定焊盤(pán)1與控制線路板8連接，控制線路板8安裝在副尺的側(cè)面上， 液晶顯示器7及按鍵6安裝在控制線路板8的外側(cè)，副柵線路板9及副柵 線路板上的發(fā)射電極2與接收電極4是基材為硅片的集成線路結(jié)構(gòu)，釆用 集成電路制作工藝(如CM0S， Bi-CMOS等工藝)在硅片上直接制作而成。 當(dāng)主尺11相對(duì)于副尺12運(yùn)動(dòng)時(shí)，副柵線路板9上的發(fā)射電極2發(fā)出的信 號(hào)經(jīng)主柵線路板5上的電極合成、反射，副柵線路板上的接收電極4接收 由主柵線路板5反射回的電信號(hào)，該電信號(hào)經(jīng)過(guò)控制線路板8上的集成電 路處理、計(jì)算，最后將該數(shù)值在液晶顯示器7上顯示出來(lái)，按鍵6可以實(shí) 現(xiàn)液晶顯示器上數(shù)值的清零、公英制轉(zhuǎn)換、開(kāi)關(guān)機(jī)等功能。以上只是位移傳感器的一種實(shí)施方式，實(shí)際上位移傳感器的線路設(shè)計(jì) 有多種方式。例如釆用光刻或蝕刻工藝來(lái)制作副柵線路板，或者位移傳感 器為容柵位移傳感器或磁柵位移傳感器。但不論在其形狀或結(jié)構(gòu)上作任何 變化，只要其副柵線路板是基材為硅片的集成線路結(jié)構(gòu)，均在保護(hù)范圍之 內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種高精度、高分辨率位移傳感器，包括主尺、副尺、主柵線路板、副柵線路板、控制線路板、液晶顯示器及按鍵，其特征在于，所述主尺與副尺可相對(duì)滑動(dòng)，主柵線路板安裝在主尺上，副柵線路板安裝在控制線路板上，控制線路板安裝在副尺上，液晶顯示器及按鍵安裝在控制線路板上，副柵線路板及副柵線路板上的發(fā)射電極與接收電極是基材為硅片的集成線路結(jié)構(gòu)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的高精度、高分辨率位移傳感器，其特征在于， 所述副柵線路板上的發(fā)射電極與接收電極通過(guò)幫定焊盤(pán)與控制線路板連 接。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的高精度、高分辨率位移傳感器，其特征在于， 所述副尺的側(cè)面開(kāi)設(shè)有滑槽，主尺連同其主柵線路板一起安裝在副尺的滑 槽中，控制線路板安裝在副尺的側(cè)面，其副柵線路板與主柵線路板相對(duì)應(yīng)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的高精度、高分辨率位移傳感器，其特征在于， 所述液晶顯示器及按鍵安裝在控制線路板的外側(cè)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高精度、高分辨率位移傳感器，包括主尺、副尺、主柵線路板、副柵線路板、控制線路板、液晶顯示器及按鍵，主尺與副尺可相對(duì)滑動(dòng)，主柵線路板安裝在主尺上，副柵線路板安裝在控制線路板上，控制線路板安裝在副尺上，液晶顯示器及按鍵安裝在控制線路板上，副柵線路板及副柵線路板上的發(fā)射電極與接收電極是基材為硅片的集成線路結(jié)構(gòu)。該位移傳感器副柵線路板的發(fā)射電極與接收電極極為精細(xì)，與主柵線路板配合可達(dá)到極高的分辨率，如1μm、0.5μm、0.1μm等，可用于制作精度極高的千分尺、千分表、測(cè)高儀、測(cè)長(zhǎng)儀等量具。
文檔編號(hào)G01D5/12GK201122101SQ20072019598
公開(kāi)日2008年9月24日 申請(qǐng)日期2007年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月30日
發(fā)明者楊忠義 申請(qǐng)人:東莞市特馬電子有限公司