專利名稱：垂直式探針界面板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及的是一種與晶圓測(cè)試的探針適配卡有關(guān)，特別是指用以結(jié)合 垂直式探針的界面板。
背景技術(shù)：
，換，在晶圓制造完成后，必須再經(jīng)由測(cè)試以確保其特性正確。而一般測(cè)試晶
圓是利用一探針卡，其探針卡主要是由一界面板可為PCB板或其它的轉(zhuǎn)接板與一 探針座所構(gòu)成，憑借將探針座上的探針與界面板上的焊點(diǎn)接觸使所述的各探針與 晶圓接觸后的電氣特性能傳導(dǎo)至所述的界面板上，再由所述的界面板傳輸至測(cè)試 才幾臺(tái)力口以檢測(cè)。
惟，由于界面板主要用以作為探針座上的探針與測(cè)試機(jī)臺(tái)間的電氣傳導(dǎo)媒介， 因此所述的界面板必須具有能與所述的探針座上的探針加以連結(jié)的焊點(diǎn)，但因目 前垂直式探針的型態(tài)主要以針數(shù)與探針間的間距作為區(qū)隔，而具有眾多的型態(tài)， 如12、 16、 24、 48針數(shù)...等或各探針間的間距為80、 100、 200pm...等，因此在 制造界面板時(shí)，必須因應(yīng)各種針數(shù)與探針間距的不同而作不同型態(tài)的界面板，如 第一與圖2所示，是一種因應(yīng)16針數(shù)探針座1的界面板2，其界面板2上布設(shè)有 16個(gè)焊點(diǎn)3以供探針座1的探針4所連接，再請(qǐng)參閱如圖3與圖4所示，是一種 因應(yīng)24針數(shù)探針座5的界面板6,其界面板6上布設(shè)有24個(gè)焊點(diǎn)7以供探針座5 的探針8所連接。但，如此一來，不僅將導(dǎo)致制造界面板的成本大幅提高，更加 致使其制造上較為困難。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的在于，提供一種垂直式探針的界面板，是能共享在不 同針數(shù)或探針間距的探針座所連接，用以克服上述缺陷。
緣以，為達(dá)成上迷的目的，本實(shí)用新型所提供一種垂直式探針界面板，包含 有一基板與一垂直探針連結(jié)區(qū)；所述的基板，具有一第一面與一相背在第一面的
第二面；所述的垂直探針連結(jié)區(qū)，具有若干布設(shè)在所迷的基板第一面中夾位置的
焊墊，且所述的焊墊依數(shù)量區(qū)分為至少兩區(qū)塊，以供不同探針針數(shù)的探針座所連 結(jié)，所述的焊墊并依間距不同而區(qū)分為至少兩區(qū)塊，以不同探針間距的探針座所 連結(jié)。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于，可以單一型態(tài)加以供不同針數(shù)或不同探針間距的探 針加以連結(jié)使用，使其不僅能使其運(yùn)用范圍更加廣泛，更能減低所需的制造成本。


圖1是一種現(xiàn)有垂直式探針界面板的示意圖2是圖1所示垂直式探針界面板的使用狀態(tài)示意圖3是一種現(xiàn)有垂直式探針界面板的示意圖4是圖3所示垂直式探針界面板的使用狀態(tài)示意圖5是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖6是圖5所示較佳實(shí)施例的使用狀態(tài)示意圖7是圖5所示較佳實(shí)施例的另一使用狀態(tài)示意圖8是本實(shí)用新型另一較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖標(biāo)記說明現(xiàn)有l(wèi)、 5-探針座；48-探針；26-界面板；37-焊點(diǎn)；本 實(shí)用新型100-垂直式探針界面板；10 -基板；11-第一面；12-第二面；20-垂直探針連結(jié)區(qū)；21-第一區(qū)塊；22-第二區(qū)塊；23-第三區(qū)塊；50-垂直式探 針座；51-探針；60-垂直式探針座；61-探針；200 -垂直式探針界面板；70 -垂直探針連結(jié)區(qū)。
具體實(shí)施方式
為能更詳細(xì)說明本實(shí)用新型的特征，茲舉本實(shí)用新型 一較佳的實(shí)施例并配合 圖式說明如下；其中
請(qǐng)參閱圖5，是本實(shí)用新型所提供一較佳實(shí)施例垂直式探針界面板100，其主 要包含有一基板IO與一垂直探針連結(jié)區(qū)20;其中
所述的基板IO，可為一PCB板或?yàn)槠渌馁|(zhì)所制成的轉(zhuǎn)接板，具有一第一 面11與一相背在第一面11的第二面12。
所述的垂直探針連結(jié)區(qū)20，是由為若干預(yù)定數(shù)量與預(yù)定間距的焊墊所構(gòu)成，
是布設(shè)在所述的基板10第一面ll之中央位置處；且所述的各焊墊可依數(shù)量區(qū)分 為至少兩區(qū)塊，在本實(shí)施例中是區(qū)分為一第一區(qū)塊21、 一第二區(qū)塊22與一第三 區(qū)塊23，其中所述的第一區(qū)塊21具有以基板10第一面11中央位置向外擴(kuò)張的 12個(gè)焊墊，而所述的第二區(qū)塊22為含括第一區(qū)塊21與自第一區(qū)塊21位置向外 擴(kuò)張的24個(gè)焊墊其24個(gè)焊墊包含第一區(qū)塊的12個(gè)焊墊，而所述的第三區(qū)塊23 為含括第二區(qū)塊22與自第二區(qū)塊22位置向外擴(kuò)張的48個(gè)焊墊其48個(gè)焊墊包含 第二區(qū)塊的24個(gè)焊塾；且所述的垂直探針連結(jié)區(qū)20是與位于基板IO第二面12 預(yù)定位置上的焊墊圖中未示電性連接。
另外，所述的垂直探針連結(jié)區(qū)20并可依間距分為至少兩區(qū)塊，在本實(shí)施例中 是區(qū)分為以100pm為間距的第一區(qū)塊與以200nm為間距的第二區(qū)塊。
是以，上述即為本實(shí)用新型所提供一較佳實(shí)施例垂直式探針界面板100的各 部構(gòu)造介紹，接著再將其使用方式與特點(diǎn)介紹如下
請(qǐng)參閱圖6所示，當(dāng)欲由本實(shí)用新型的界面板100與一具有48探針51數(shù)量 的垂直式探針座50連結(jié)時(shí)，便可將探針51與所述的界面板IOO垂直探針連結(jié)區(qū) 20的第三區(qū)塊23加以連接，以由所述的第三區(qū)塊23的焊墊將探針51所接觸的 晶圓圖中未示電性加以傳導(dǎo)至位于基板IO第二面12的焊墊上，再由所述的焊墊 加以直接或間接傳導(dǎo)至機(jī)臺(tái)中，以進(jìn)行測(cè)試作業(yè)。
再請(qǐng)參閱圖7所示，當(dāng)欲當(dāng)欲由本實(shí)用新型的界面板IOO與一具有12探針 61數(shù)量的垂直式探針座60連結(jié)時(shí)，便可將探針61與所述的界面板100垂直探針 連結(jié)區(qū)20的第一區(qū)塊21加以連接，以由所述的第三區(qū)塊21的焊墊將探針61所 接觸的晶圓圖中未示電性加以傳導(dǎo)至位于基板10第二面12的焊墊上，再由所述 的焊墊加以直接或間接傳導(dǎo)至機(jī)臺(tái)中，以進(jìn)行測(cè)試作業(yè)。
而當(dāng)欲進(jìn)行與不同探針間距的探針座加以連結(jié)時(shí)，則運(yùn)用相同在上述方式的 方法加以分別將不同探針間距的探針加以連接至不同的區(qū)塊上，以進(jìn)行測(cè)試作業(yè) 由于其連結(jié)方式與原理與前述不同針數(shù)的方式相同，容不在此加以贅述。
另外，如圖8所示，本實(shí)用新型的垂直式探針界面板200，也可將其垂直探 針連結(jié)區(qū)70布設(shè)在基板10第一面ll之中央位置并沿X、 Y軸所排列，以能因應(yīng) 不同的測(cè)試位置需求。
如此，本實(shí)用新型{更可以單 一型態(tài)加以供不同針凄史或不同4果針間距的探針加
以連結(jié)使用，使其不僅能使其運(yùn)用范圍更加廣泛，更能減低所需的制造成本。
以上說明對(duì)本新型而言只是說明性的，而非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員 理解，在不脫離以下所附權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可做出許多修 改，變化，或等效，但都將落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種垂直式探針界面板，其特征在于其包含有一基板，具有一第一面以及一與第一面相背的第二面；一垂直探針連結(jié)區(qū)，具有復(fù)數(shù)布設(shè)在所述的基板第一面中央位置的焊墊，且所述的焊墊依數(shù)量區(qū)分為至少兩區(qū)塊并依間距不同而區(qū)分為至少兩區(qū)塊，以供探針?biāo)B結(jié)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述垂直式探針界面板，其特征在于所述的基板為一PCB板。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述垂直式探針界面板，其特征在于所述的焊墊依數(shù)量 所區(qū)分的各區(qū)塊，用以供不同針數(shù)的探針?biāo)B結(jié)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述垂直式探針界面板，其特征在于所述的焊墊依間距 所區(qū)分的各區(qū)塊，用以供不同間距的探針?biāo)B結(jié)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述垂直式探針界面板，其特征在于所述的垂直探針連 結(jié)區(qū)與基板第二面上的焊墊電性連接。
專利摘要本實(shí)用新型為一種垂直式探針界面板，包含有一基板與一垂直探針連結(jié)區(qū)；所述的基板，具有一第一面與一相背在第一面的第二面；所述的垂直探針連結(jié)區(qū)，具有若干布設(shè)在所述的基板第一面的焊墊，且所述的焊墊依數(shù)量區(qū)分為至少兩區(qū)塊，以供不同探針針數(shù)的探針座所連結(jié)，所述的焊墊并依間距不同而區(qū)分為至少兩區(qū)塊，以不同探針間距的探針座所連結(jié)；以由單一型態(tài)的界面板供多種型態(tài)的垂直式探針座所連結(jié)使用。
文檔編號(hào)G01R1/067GK201069448SQ200720141330
公開日2008年6月4日 申請(qǐng)日期2007年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月14日
發(fā)明者蘇仁彬 申請(qǐng)人:連陞科技有限公司