專利名稱：塵埃粒子顯微計(jì)數(shù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及塵埃顆粒的檢測(cè)，具體屬于一種空氣中塵埃粒子顯微計(jì)數(shù)裝置。
背景技術(shù)：
目前塵埃粒子計(jì)數(shù)器被廣泛使用，它可以測(cè)量空氣中塵埃粒子的尺寸及其濃度，主要用 于微電子、光電子、生物醫(yī)學(xué)工程、航天技術(shù)、材料科學(xué)食品業(yè)等領(lǐng)域的空氣潔凈度的測(cè)試， 用于對(duì)工作臺(tái)、凈化室、凈化車間的凈化效果、潔凈級(jí)別進(jìn)行監(jiān)控，從而確保產(chǎn)品的質(zhì)量。
中國(guó)專利03244591.1公開了一種氣路裝置設(shè)置流量傳感器的塵埃粒子計(jì)數(shù)器。該塵埃 粒子計(jì)數(shù)器包括光學(xué)傳感器、氣路裝置和電路系統(tǒng)三部分，其中氣路裝置由過(guò)濾器、電磁閥、 負(fù)壓泵、儲(chǔ)氣瓶及光學(xué)傳感器的散射腔組成，氣路裝置中設(shè)置了流量傳感器，該傳感器為-一 文丘里管，其兩端連接接口，傳感器內(nèi)部設(shè)有一硅芯片，芯片包含薄膜電路、發(fā)熱及熱敏感 元件的熱隔離橋電路。該計(jì)數(shù)器提高了測(cè)量精度，實(shí)現(xiàn)了微機(jī)控制。但是，其氣路裝置較復(fù) 雜，成本較高。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種氣路裝置較簡(jiǎn)單，裝置成本較低、測(cè)量精度較高的塵埃粒 子顯微計(jì)數(shù)裝置。
本實(shí)用新型提供的一種塵埃粒子顯微計(jì)數(shù)裝置，包括光路、氣路裝置和光電傳感計(jì)數(shù)裝 置，所述的氣路裝置包括透明氣流主管，在透明氣流主管的一端設(shè)置過(guò)濾器，在透明氣流主 管的另一端的下方連接儲(chǔ)水器，儲(chǔ)水器的下端設(shè)出水管，在出水管上設(shè)置開關(guān)閥，出水管流 出的水進(jìn)入量杯，流入量杯的水的體積就等于被測(cè)空氣的體積。
另外，可以在透明氣流主管和儲(chǔ)水器之間也設(shè)置開關(guān)閥，避免在停止測(cè)量時(shí)水蒸氣回流 到透明氣流主管內(nèi)壁上造成測(cè)量時(shí)氣流不暢通。
所述的光路，可采用現(xiàn)有技術(shù)的光散射原理組成的光路。 一般采用半導(dǎo)體激光器7發(fā)出 的光順透明氣流主管1內(nèi)孔照射，在透明氣流主管1的垂直方向探測(cè)。
所述的光電傳感計(jì)數(shù)裝置，可采用顯微鏡頭、CCD、顯示屏和光敏探頭計(jì)數(shù)器組成的裝 置。也可只采用一個(gè)光敏探頭計(jì)數(shù)器。還可采用計(jì)算機(jī)程序自動(dòng)計(jì)數(shù)。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低，而且測(cè)量精度高。本系統(tǒng)可清 晰地觀測(cè)到塵埃粒子散射光斑，并據(jù)此對(duì)塵埃粒子進(jìn)行計(jì)數(shù)。我們采用較細(xì)的玻璃管作為塵 埃粒子的通道，這樣可以減少塵埃粒子逃離探測(cè)區(qū)域的幾率，并且氣流速度可以隨意調(diào)節(jié)，
有利于人工計(jì)數(shù)和計(jì)算機(jī)自動(dòng)計(jì)數(shù)，以及光敏探頭計(jì)數(shù)器直接計(jì)數(shù)。該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本 低，測(cè)量精度高。是一種比較理想的塵埃粒子的顯微計(jì)數(shù)裝置。

圖1本實(shí)用新型塵埃粒子顯微計(jì)數(shù)裝置示意圖
圖中1-透明氣流主管，2-過(guò)濾器，3-儲(chǔ)水器，4-出水管，5-開關(guān)閥，6-量杯，7-半導(dǎo)體 激光器，8-顯微鏡頭，9-CCD， 10-顯示屏，11-光敏探頭計(jì)數(shù)器。
具體實(shí)施方式

結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明
如圖1所示，該裝置包括光路、氣路裝置和光電傳感計(jì)數(shù)裝置，所述的氣路裝置包括內(nèi)
徑為0.5mm的透明氣流主管1，在透明氣流主管1的一端設(shè)置過(guò)濾器2，在透明氣流主管1 的另一端的下方通過(guò)軟管連接儲(chǔ)水器3，儲(chǔ)水器3的下端設(shè)置出水管4，在出水管4上設(shè)置開 關(guān)閥5，出水管4流出的水進(jìn)入量杯6，流入量杯6的水的體積就等于被測(cè)空氣的體積。透明 氣流主管1采用玻璃制成。所述的光路采用半導(dǎo)體激光器7發(fā)出的光順透明氣流主管1內(nèi)孔 照射，在透明氣流主管1的垂直方向用顯微鏡頭8、 CCD 9、顯示屏10和光敏探頭計(jì)數(shù)器11 組成得顯微光電傳感計(jì)數(shù)裝置，進(jìn)行探測(cè)。
用上述裝置對(duì)空氣中塵埃粒子進(jìn)行測(cè)量首先，加裝一定規(guī)格的過(guò)濾器針對(duì)某種塵埃粒
子進(jìn)行測(cè)量。第二，打開出水管上設(shè)置的開關(guān)閥，通過(guò)在顯示屏上觀察塵埃粒子運(yùn)動(dòng)快慢調(diào) 節(jié)氣流的速度，使氣流的速度調(diào)節(jié)到以光敏探頭計(jì)數(shù)器的最快反應(yīng)頻率為宜。第三，打開計(jì) 數(shù)電路進(jìn)行計(jì)數(shù)，并計(jì)量流入量杯的水的體積。第四、計(jì)算塵埃粒子的濃度，即將塵埃粒子 的數(shù)量除以量杯里的水的體積，就是空氣中塵埃粒子的濃度。
更換不同的過(guò)濾器，用同樣的方法，可以測(cè)量不同粒徑的塵埃粒子的濃度。
權(quán)利要求1、一種塵埃粒子顯微計(jì)數(shù)裝置，包括光路、氣路裝置和光電傳感計(jì)數(shù)裝置，其特征在于，所述的氣路裝置包括透明氣流主管(1)，在透明氣流主管(1)的一端設(shè)置過(guò)濾器(2)，在透明氣流主管(1)的另一端的下方連接儲(chǔ)水器(3)，儲(chǔ)水器(3)的下端設(shè)出水管(4)，出水管(4)上設(shè)置開關(guān)閥(5)，出水管(4)流出的水進(jìn)入量杯(6)，流入量杯(6)的水的體積等于被測(cè)空氣的體積。
2、 如權(quán)利要求1所述的塵埃粒子顯微計(jì)數(shù)裝置，其特征在于，所述的光電傳感計(jì)數(shù)裝置 包括顯微鏡頭(8)、 CCD (9)、顯示屏(10)和光敏探頭計(jì)數(shù)器(11)。
專利摘要一種塵埃粒子顯微計(jì)數(shù)裝置，包括光路、氣路裝置和光電傳感計(jì)數(shù)裝置，其特征在于，所述的氣路裝置包括透明氣流主管(1)，在透明氣流主管(1)的一端設(shè)置過(guò)濾器(2)，在透明氣流主管(1)的另一端的下方連接儲(chǔ)水器(3)，儲(chǔ)水器(3)的下端設(shè)出水管(4)，出水管(4)上設(shè)置開關(guān)閥(5)，出水管(4)流出的水進(jìn)入量杯(6)，流入量杯(6)的水的體積等于被測(cè)空氣的體積。該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，測(cè)量精度高。是一種比較理想的塵埃粒子顯微計(jì)數(shù)器?？捎糜跐崈艄ぷ髋_(tái)、凈化室、凈化車間空氣潔凈度等級(jí)的檢測(cè)。
文檔編號(hào)G01N15/12GK201060155SQ20072010192
公開日2008年5月14日 申請(qǐng)日期2007年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月11日
發(fā)明者楊榮國(guó), 武少文, 董有爾, 陳鳳珠 申請(qǐng)人:山西大學(xué)