專利名稱：測量單元及具備該測量單元的輸送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及潔凈室內(nèi)的清潔環(huán)境的測量、或用輸送裝置輸送過程中的物品振動的測量。
背景技術(shù)：
潔凈室內(nèi)具有想要測量清潔環(huán)境的程度——例如想要測量空氣中的顆粒按其大小區(qū)分的密度或清潔空氣的流速及其分布的要求。另外，在以下的說明中將清潔環(huán)境的程度簡稱為清潔環(huán)境，將測量清潔環(huán)境的程度稱為清潔環(huán)境測量。在液晶顯示器或等離子顯示屏等的基板的自動倉庫的情況下，有測量自動倉庫的貨架內(nèi)的清潔環(huán)境的必要。于是由人工進行清潔環(huán)境的測量。但是，隨著顯示屏的大型化，自動倉庫的每個擱板也大型化，如果沒有組裝腳手架的話，就不能測量。照這樣，即使能夠進行自動倉庫的工作前的檢查時，在開始工作后不使自動倉庫停下就測量清潔環(huán)境也是困難的。清潔環(huán)境不僅限于自動倉庫的貨架，對堆裝起重機或橋式吊車等輸送裝置的行進路線附近的暫存區(qū)、行進路線本身或載置有半導體盒(cassette)等的裝載口等也需要測量。如果暫存區(qū)或擱板在高處的話，則人工測量清潔環(huán)境困難；人工一個個地測量潔凈室內(nèi)的清潔環(huán)境非常麻煩，而且很可能妨礙潔凈室內(nèi)的半導體加工等的作業(yè)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第1目的就是要使保管物品的空間內(nèi)的清潔環(huán)境容易測量并能夠輸出。
本發(fā)明的第2目的是要提供一種用于測量清潔環(huán)境的具體結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的第3目的是要使輸送中的物品受到的振動能夠簡單地測量。
本發(fā)明的第4目的是要使測量結(jié)果容易收集。
本發(fā)明的第5目的是要簡單地將測量對象轉(zhuǎn)換成適合于測量的項目。
本發(fā)明的測量單元，在設(shè)置有輸送裝置的潔凈室內(nèi)使用，上述輸送裝置包括可保持收納物品的盒以及解除該保持的保持機構(gòu)，通過在由上述保持機構(gòu)保持著上述盒的狀態(tài)下行進，將被收納在上述盒中的上述物品進行輸送，其特征在于，該測量單元具備清潔環(huán)境測量用傳感器；通訊部，發(fā)送由上述清潔環(huán)境測量用傳感器檢測的檢測結(jié)果；以及配置部件，配置有上述清潔環(huán)境測量用傳感器以及上述通訊部，具有可由上述保持機構(gòu)進行保持及解除該保持的結(jié)構(gòu)。
所述的測量單元，其特征在于，上述測量單元的尺寸與上述盒的尺寸相同或者大致相同。
所述的測量單元，其特征在于，上述清潔環(huán)境測量用傳感器包括用于測量周圍空氣中的顆粒的數(shù)量的顆粒傳感器、以及用于測量周圍空氣的流速的傳感器。
本發(fā)明的測量單元，在設(shè)置有輸送裝置的潔凈室內(nèi)使用，上述輸送裝置包括可保持收納物品的盒以及解除該保持的保持機構(gòu)，通過在由上述保持機構(gòu)保持著上述盒的狀態(tài)下行進，將被收納在上述盒中的上述物品進行輸送，其特征在于，該測量單元具備配置部件，具有可由上述保持機構(gòu)進行保持及解除該保持的結(jié)構(gòu)；上述配置部件的振動檢測用傳感器，被配置在上述配置部件上；以及通訊部，被配置在上述配置部件上，發(fā)送由上述振動檢測用傳感器檢測的檢測結(jié)果。
所述的測量單元，其特征在于，上述測量單元的尺寸與上述盒的尺寸相同或者大致相同。
所述的測量單元，其特征在于，使上述通訊部向輸送測量單元的輸送裝置發(fā)送上述檢測結(jié)果。
本發(fā)明的輸送系統(tǒng)，其特征在于，具備輸送裝置，包括可保持收納物品的盒以及解除該保持的保持機構(gòu)，通過在由上述保持機構(gòu)保持著上述盒的狀態(tài)下在潔凈室中行進，將被收納在上述盒中的上述物品進行輸送；擱板，設(shè)置在上述潔凈室中，保管上述盒；以及測量單元，該測量單元包括配置部件，具有可由上述保持機構(gòu)進行保持及解除該保持的結(jié)構(gòu)；清潔環(huán)境測量用傳感器，配置在上述配置部件上；上述配置部件的振動檢測用傳感器，被配置在上述配置部件上；以及通訊部，被配置在上述配置部件上，向上述輸送裝置發(fā)送由上述清潔環(huán)境測量用傳感器以及上述振動檢測用傳感器檢測的檢測結(jié)果；該測量單元由上述輸送裝置輸送，可由上述擱板保管；上述輸送裝置包括通訊單元，該通訊單元對應(yīng)上述測量單元的輸送還是保管，將指示測量對象的信號發(fā)送給上述測量單元。
所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，上述測量單元的尺寸與上述盒的尺寸相同或者大致相同。
本發(fā)明的測量單元為具備通過由輸送裝置的物品支持部支持而自由輸送的筐體、被搭載在該筐體上的清潔環(huán)境測量用傳感器、以及用于將該傳感器的輸出向外部輸出的輸出機構(gòu)。
該測量單元優(yōu)選上述清潔環(huán)境測量用傳感器包括用于測量周圍空氣中的顆粒的數(shù)量、最好是每種大小的顆粒的數(shù)量的顆粒傳感器、以及用于測量周圍空氣的流速的傳感器。
并且，本發(fā)明的測量單元為具備通過由輸送裝置的物品支持部支持而自由輸送的筐體、被搭載在該筐體上的筐體的振動檢測用傳感器、以及用于將該傳感器的輸出向外部輸出的輸出機構(gòu)。
優(yōu)選使上述輸出機構(gòu)向輸送測量單元的輸送裝置發(fā)送上述輸出。
本發(fā)明的輸送系統(tǒng)為具備測量單元和保管上述測量單元的擱板；所述測量單元具備通過由輸送裝置的物品支持部支持而自由輸送的筐體、被搭載在該筐體上的清潔環(huán)境測量用傳感器和筐體的振動檢測用傳感器、以及用于將上述各傳感器的輸出發(fā)送給輸送裝置的輸出機構(gòu)；設(shè)置了輸送裝置，該輸送裝置輸送上述單元，并且具有用于根據(jù)輸送還是保管向測量單元指示測量對象的機構(gòu)。
發(fā)明的效果通過本發(fā)明，能夠用輸送裝置來輸送測量單元，將測量單元保管到貨架或暫存區(qū)等的擱板或裝載口等中，能夠測量其間的清潔環(huán)境。因此，只要是能夠用輸送裝置輸送單元、并且能夠保管單元的位置，能夠測量任意位置的清潔環(huán)境。而且能夠由輸出機構(gòu)輸出測量結(jié)果，能夠容易地收集。因此能夠使?jié)崈羰覂?nèi)的清潔環(huán)境的測量幾乎自動完成，并且對潔凈室內(nèi)的本來的處理妨礙少。
作為清潔環(huán)境的測量，如果用顆粒傳感器計算空氣中顆粒的數(shù)量、測量空氣的流速，則根據(jù)空氣的流速就可以知道是否提供了充分的清潔空氣，根據(jù)顆粒數(shù)可以知道是否混入了污染空氣。其中，如果求得按每種顆粒的大小區(qū)分的數(shù)的話，可以知道哪種程度大小的顆粒被包含到什么程度的密度。
并且，本發(fā)明由于用輸送裝置輸送測量單元，同時測量測量單元的筐體的振動，從輸出單元輸出，因此能夠容易地測量輸送路徑上物品受到的振動。
而且，本發(fā)明如果將傳感器輸出發(fā)送給輸送裝置的話，則與從測量單元直接發(fā)送給地面上的控制部等時相比能夠更切實地發(fā)送測量結(jié)果。如果將傳感器輸出發(fā)送給輸送裝置，則與發(fā)送給地面控制部時相比能夠使發(fā)送行程為最小的限度，能夠減輕對周圍的電波干擾，而且能夠根據(jù)來自輸送裝置的要求從測量單元輸出，因此能夠使發(fā)送協(xié)議簡單。
并且，本發(fā)明的輸送系統(tǒng)中，用測量單元測量保管物品的擱板的清潔環(huán)境并且測量輸送中的振動，同時根據(jù)輸送或者保管的狀態(tài)從輸送裝置指示測量對象。因此能夠幾乎自動地測量潔凈室內(nèi)擱板的清潔環(huán)境，并且也能夠幾乎自動地測量輸送路徑上的振動。


圖1是實施例的測量單元和貨架的主要部分的俯視圖。
圖2是實施例的測量單元和貨架的主要部分的側(cè)視圖。
圖3是實施例的測量單元和堆裝起重機的升降臺的主要部分的俯視圖。
圖4是表示實施例的測量單元的傳感器類和控制系統(tǒng)的方框圖。
圖5是變形例的測量單元、橋式吊車及周圍的裝載口以及暫存區(qū)的主視圖。
具體實施例方式
下面說明用于實施本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
實施例圖1～圖5表示實施例及其變形。在圖1～圖4中，2為測量單元，尺寸與收納液晶顯示器基板或等離子顯示屏基板的盒(cassette)相同。4為其框體，6為板，在框體4和板6以外的部分處，使得在測量單元2沒有外壁的骨架狀態(tài)下能讓氣流盡可能自由地通過測量單元2內(nèi)部，可以使其為方筒狀。測量單元2具有方向性，如果將清潔空氣流入的一側(cè)作為上游、將清潔空氣流出的一側(cè)作為下游的話，則在上游側(cè)設(shè)置有噴霧產(chǎn)生部8、和用于放出所產(chǎn)生的噴霧的噴霧放出管10，噴霧放出管10例如呈門型配置在測量單元2的上游側(cè)。
12為激光光源，如圖的點劃線所示，將激光照射成具有一定厚度的扇形；14為高速照相機，每秒拍攝1000～10000幅左右，拍攝噴霧(細微的水滴)通過激光光源12照射的扇形部分期間從噴霧反射的光，監(jiān)控其位置和運動。用噴霧產(chǎn)生部8～高速照相機14測量測量單元2內(nèi)氣流(清潔空氣)的方向和流速的分布。由噴霧產(chǎn)生部8、噴霧放出管10、激光光源12以及高速照相機14構(gòu)成測量測量單元2內(nèi)氣流的方向和流速的分布的傳感器。15為高速照相機14的支持部件。16為顆粒傳感器，吸引周圍的空氣，利用內(nèi)置的激光光源射出的光被吸入的空氣中的顆粒散射，來求出顆粒的大小和數(shù)量。
測量單元2的板6為由圖3的堆裝起重機的滑叉43支持的部分，在該部分上設(shè)置有加速度傳感器18。加速度傳感器18測量測量單元2的振動，其位置為任意的。并且，電路部20驅(qū)動噴霧產(chǎn)生部8～高速照相機14和顆粒傳感器16以及加速度傳感器18，將檢測結(jié)果發(fā)送給圖3的堆裝起重機的通訊單元48。
22為貨架，在堆裝起重機的行進軌道30的左右設(shè)置例如一對；24為擱板底座，為支持尺寸與測量單元2相同的盒的部分。25、26為支柱，28為風扇過濾器單元，給貨架22內(nèi)提供清潔空氣。由貨架22、圖3的堆裝起重機40、以及測量單元2和圖中沒有表示的盒構(gòu)成自動倉庫。清潔空氣從風扇過濾器單元28沿空心箭頭所示的方向流入，從噴霧放出管10流出的噴霧反射激光光源12射出的激光，被高速照相機14拍攝。于是，如果每秒拍攝例如1000～10000幅左右的話，則能夠拍攝噴霧的運動。
圖3表示載置在堆裝起重機40的升降臺42上的測量單元2。44為桅桿，46為下部設(shè)置的臺車，43為滑叉，支持測量單元2的板6，在與貨架的擱板底座之間移動。升降臺42上設(shè)置有通訊單元48，與測量單元2的電路部20進行通訊，例如往電路部20輸入輸送中/移載中/移載結(jié)束后由貨架預(yù)定保管等狀態(tài)，指示測量項目。作為測量項目，在貨架中保管時為清潔空氣的流向和速度分布以及顆粒數(shù)量；在移載中或輸送中時為加速度傳感器18進行的振動檢測。另外，在由貨架保管時也可以測量振動，并且在移載中或輸送中也可以測量清潔空氣的流向和速度分布以及顆粒的數(shù)量等。
圖4表示測量單元的電路部20與傳感器的關(guān)系。電路部20的控制部50通過通訊部52與堆裝起重機40的通訊單元48通訊，接收輸送中或保管中等測量單元的狀態(tài)以及測量指示(測量項目)。并且從通訊單元48接收測量結(jié)果的發(fā)送指示，將測量結(jié)果從通訊部52發(fā)送給通訊單元48。存儲部54中不僅保存測量單元的狀態(tài)，還保存測量數(shù)據(jù)。驅(qū)動部56驅(qū)動噴霧產(chǎn)生部8、激光光源12和高速照相機14，為了避免電池68的消耗，使它們短時間內(nèi)脈沖動作，動作次數(shù)為相對于利用貨架的一次保管的1～3次左右。在用測量單元測量工作站等沒有風扇過濾器單元的場所的清潔環(huán)境時，發(fā)出將測量單元移載到工作站等、與堆裝起重機的行進配合地測量清潔環(huán)境的指示；或者發(fā)出與堆裝起重機的行進不同步、反復(fù)進行測量的指示。
測量中，在噴霧產(chǎn)生部8產(chǎn)生噴霧的同時使激光光源12動作，并且使高速照相機14動作。通過高速照相機14拍攝噴霧的運動，由此拍攝使清潔空氣流可視化的圖像，由圖像識別部58求出噴霧的位置及其運動方向以及速度，保存到存儲部60中。顆粒傳感器16求出吸入的空氣中的每種大小的顆粒的數(shù)量。并且，由振動檢測部66處理加速度傳感器18的信號，保存測量單元受到的振動——例如對于預(yù)定的加速度以上的振動保存其波形?；蛘邔⒄駝硬ㄐ握沓杉铀俣?、頻率以及波數(shù)等的分布加以存儲。這些數(shù)據(jù)作為測量數(shù)據(jù)被存儲到存儲部54中，由電池68給電路部20的各部分提供電力。并且，在測量單元被安放在堆裝起重機的升降臺上時，從通訊單元48接收輸出命令，將測量數(shù)據(jù)發(fā)送給通訊單元48。并且，通訊單元48利用自動倉庫的地面控制部70與堆裝起重機之間的通訊功能將測量數(shù)據(jù)發(fā)送給地面控制部70，接收測量位置、測量對象或測量條件等的指示。
發(fā)送給地面控制部70的數(shù)據(jù)為貨架擱板中的清潔空氣的流向、速度分布及顆粒的大小和數(shù)量，以及測量單元在輸送中的振動或移載中的振動。并且，測量單元測量的對象或測量條件在堆裝起重機40上從通訊單元48被發(fā)送。另外，也可以在貨架上設(shè)置天線，與通訊單元52之間進行通訊，來取代通過通訊單元48將測量結(jié)果輸入地面控制部70。
下面說明實施例的動作。當用堆裝起重機40輸送測量單元2時，從通訊單元48向控制部50發(fā)送測量單元的狀態(tài)和測量對象、測量條件等指示。由此，測量單元2測量輸送中的振動或移載中的振動，或測量貨架中保管狀態(tài)下的清潔空氣的流向和速度分布以及顆粒的大小和數(shù)量。測量結(jié)果存儲在存儲部54中，當將測量單元2移載到堆裝起重機40的升降臺42上時，向通訊單元48輸出。貨架22內(nèi)從風扇過濾器單元28中提供來的清潔空氣從上游側(cè)經(jīng)過測量單元2內(nèi)部流向下游側(cè)。該氣流被噴霧和激光可視化，用高速照相機14拍攝。另外，清潔空氣的流向和流速分布的測量方法本身是任意的。
測量單元2的尺寸與液晶顯示器基板或等離子顯示屏基板的盒的尺寸相同，能夠被堆裝起重機40輸送，在與貨架22之間移載。結(jié)果能夠自動地測量貨架22的各位置或工作站、貨架22、22之間的行進路線上的清潔環(huán)境(清潔空氣的流向和流速的部分以及顆粒的大小和數(shù)量)，不需要人工測量高處，也能夠測量輸送中或移載中的振動。
圖5表示變形例，與圖1～圖4的實施例相同的符號表示相同的部件。并且，圖1～圖4的實施例中的有關(guān)敘述只要不事先特別申明，適用于圖5的變形例。80為橋式吊車，82為行進軌道，84為行進臺車，在行進軌道82內(nèi)行進，86為供電臺車，從行進軌道82接受供電。88為橫向輸送部，橫向輸送轉(zhuǎn)動部90～測量單元96或半導體盒等輸送物品，90為轉(zhuǎn)動部，使升降驅(qū)動部92～測量單元96等在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動，92為升降驅(qū)動部，使升降臺94升降。
測量單元96與測量單元2一樣為骨架狀，為長方體形狀，清潔空氣能夠自由地通過其6個面。并且，測量單元96的上部設(shè)置有凸緣97，在升降臺94上夾緊或釋放自如。圖5的情況下清潔空氣從上往下流動，因此例如在測量單元96的上側(cè)設(shè)置有噴霧放出管10，由激光光源12照射激光，用高速照相機14拍攝噴霧的運動。用顆粒傳感器16檢測顆粒的大小和數(shù)量，用加速度傳感器18檢測加速度。98為側(cè)暫存區(qū)，高度與利用橋式吊車80輸送中的測量單元96或圖中沒有表示的半導體盒等的高度大致相同，保管這些。另外，也可以在行進軌道82的下側(cè)設(shè)置暫存區(qū)，測量該位置的清潔環(huán)境。99為處理裝置，在行進軌道82下方有裝載口100，裝載口100上的清潔環(huán)境也要測量。
橋式吊車80給測量單元96發(fā)送測量對象和測量次數(shù)等測量條件的指示。在橋式吊車80輸送測量單元96的過程中，用加速度傳感器18測量測量單元96的振動。并且，由顆粒傳感器16測量行進路徑的顆粒的大小和數(shù)量，如果必要，停止下來測量清潔空氣的流向和速度分布。由于半導體盒除了放置于儲料器的擱板以外，還放置在側(cè)暫存區(qū)98或裝載口100上，因此這些位置處的清潔環(huán)境也要測量。因此用橫向輸送部88和升降驅(qū)動部92將測量單元96移載到這些位置上，測量清潔環(huán)境。并且在測量以后用升降臺94夾緊測量單元96回收，將測量結(jié)果發(fā)送給橋式吊車80。另外，也可以不將測量單元96移載到暫存區(qū)98或裝載口100，而用橫向輸送部88和升降驅(qū)動部92將測量單元96移動到這些位置附近測量清潔環(huán)境。
變形例中，能夠在用橋式吊車系統(tǒng)輸送半導體盒等時，測量輸送路徑的清潔環(huán)境和暫存區(qū)和裝載口附近的清潔環(huán)境。而且能夠測量輸送物品在輸送過程中受到的振動。
此外在本發(fā)明中，升降臺42、94和滑叉43作為可保持收納物品的盒及解除該保持的保持機構(gòu)而發(fā)揮其功能。
并且，由框體4、板6和支持部件15構(gòu)成具有可由保持機構(gòu)保持及解除該保持的結(jié)構(gòu)的配置部件。
權(quán)利要求
1.一種測量單元，在設(shè)置有輸送裝置的潔凈室內(nèi)使用，上述輸送裝置包括可保持收納物品的盒以及解除該保持的保持機構(gòu)，通過在由上述保持機構(gòu)保持著上述盒的狀態(tài)下行進，將被收納在上述盒中的上述物品進行輸送，其特征在于，該測量單元具備清潔環(huán)境測量用傳感器；通訊部，發(fā)送由上述清潔環(huán)境測量用傳感器檢測的檢測結(jié)果；以及配置部件，配置有上述清潔環(huán)境測量用傳感器以及上述通訊部，具有可由上述保持機構(gòu)進行保持及解除該保持的結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的測量單元，其特征在于，上述測量單元的尺寸與上述盒的尺寸相同或者大致相同。
3.如權(quán)利要求1所述的測量單元，其特征在于，上述清潔環(huán)境測量用傳感器包括用于測量周圍空氣中的顆粒的數(shù)量的顆粒傳感器、以及用于測量周圍空氣的流速的傳感器。
4.一種測量單元，在設(shè)置有輸送裝置的潔凈室內(nèi)使用，上述輸送裝置包括可保持收納物品的盒以及解除該保持的保持機構(gòu)，通過在由上述保持機構(gòu)保持著上述盒的狀態(tài)下行進，將被收納在上述盒中的上述物品進行輸送，其特征在于，該測量單元具備配置部件，具有可由上述保持機構(gòu)進行保持及解除該保持的結(jié)構(gòu)；上述配置部件的振動檢測用傳感器，被配置在上述配置部件上；以及通訊部，被配置在上述配置部件上，發(fā)送由上述振動檢測用傳感器檢測的檢測結(jié)果。
5.如權(quán)利要求4所述的測量單元，其特征在于，上述測量單元的尺寸與上述盒的尺寸相同或者大致相同。
6.如權(quán)利要求1～5中的任一項所述的測量單元，其特征在于，使上述通訊部向輸送測量單元的輸送裝置發(fā)送上述檢測結(jié)果。
7.一種輸送系統(tǒng)，其特征在于，具備輸送裝置，包括可保持收納物品的盒以及解除該保持的保持機構(gòu)，通過在由上述保持機構(gòu)保持著上述盒的狀態(tài)下在潔凈室中行進，將被收納在上述盒中的上述物品進行輸送；擱板，設(shè)置在上述潔凈室中，保管上述盒；以及測量單元，該測量單元包括配置部件，具有可由上述保持機構(gòu)進行保持及解除該保持的結(jié)構(gòu)；清潔環(huán)境測量用傳感器，配置在上述配置部件上；上述配置部件的振動檢測用傳感器，被配置在上述配置部件上；以及通訊部，被配置在上述配置部件上，向上述輸送裝置發(fā)送由上述清潔環(huán)境測量用傳感器以及上述振動檢測用傳感器檢測的檢測結(jié)果；該測量單元由上述輸送裝置輸送，可由上述擱板保管；上述輸送裝置包括通訊單元，該通訊單元對應(yīng)上述測量單元的輸送還是保管，將指示測量對象的信號發(fā)送給上述測量單元。
8.如權(quán)利要求7所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，上述測量單元的尺寸與上述盒的尺寸相同或者大致相同。
全文摘要
本發(fā)明在尺寸與液晶顯示器基板的盒大致相同的測量單元(2)中設(shè)置有噴霧產(chǎn)生部(8)和噴霧放出管(10)、激光光源(12)、高速照相機(14)，根據(jù)被激光照射的噴霧的運動來測量清潔空氣的流向和速度的分布。并且，用顆粒傳感器(16)求得顆粒的大小和數(shù)量，用加速度傳感器(18)測量單元(2)受到的振動。用堆裝起重機將單元(2)搬入/搬出貨架(22)，并測量在貨架中保管狀態(tài)下的清潔環(huán)境，測量輸送中的振動。由此，能夠自動地測量貨架擱板中的清潔空氣的流速分布或顆粒的大小和數(shù)量。
文檔編號G01N35/00GK101067597SQ200710102180
公開日2007年11月7日 申請日期2007年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月2日
發(fā)明者松葉克己 申請人:村田機械株式會社