專(zhuān)利名稱：圖像測(cè)定方法、圖像測(cè)定系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有非停止測(cè)定模式的圖像測(cè)定方法、圖像測(cè)定系統(tǒng)，該非停止測(cè)定模式通過(guò)攝像部件對(duì)于支承被測(cè)定對(duì)象的測(cè)定臺(tái)相對(duì)移動(dòng)，同時(shí)在指定的測(cè)定位置不停止而取得瞬間的圖像信息，從而進(jìn)行圖像測(cè)定。
背景技術(shù)：
以往，如圖8所示，CNC圖像測(cè)定機(jī)使測(cè)定臺(tái)對(duì)于CCD照相機(jī)等攝像部件移動(dòng)，在測(cè)定位置使其停止，同時(shí)調(diào)整照明光量來(lái)取得被測(cè)定對(duì)象的圖像信息，對(duì)于取得的圖像信息實(shí)施測(cè)定工具設(shè)定以及邊緣檢測(cè)等圖像處理，從而執(zhí)行一個(gè)測(cè)定位置的測(cè)定。通過(guò)如測(cè)定1、測(cè)定2、…這樣將該測(cè)定對(duì)所有的測(cè)定位置重復(fù)執(zhí)行，從而進(jìn)行必要的位置的測(cè)定(以下，將這樣的測(cè)定模式稱作‘標(biāo)準(zhǔn)模式’)。
相對(duì)于此，為了提高測(cè)定的吞吐量的目的，提出一種具有即使在測(cè)定位置也不使測(cè)定臺(tái)對(duì)于攝像部件停止而進(jìn)行測(cè)定動(dòng)作的測(cè)定模式(以下，將這樣的測(cè)定模式稱作‘非停止測(cè)定模式’)的圖像測(cè)定機(jī)(參照特表2004-535587號(hào)公報(bào)，段落0005～0006、圖2)。如圖9所示，該圖像測(cè)定機(jī)通過(guò)輸入(取り込む)不使測(cè)定臺(tái)在規(guī)定位置停止而對(duì)被測(cè)定對(duì)象照射閃光燈照明而且使用帶有快門(mén)的CCD照相機(jī)攝像而得到的瞬間的圖像信息，從而進(jìn)行圖像測(cè)定。此外，在該圖像測(cè)定機(jī)中，將CCD照相機(jī)高速且粗略定位在測(cè)定區(qū)域，然后減速后在規(guī)定的勻速區(qū)域輸入圖像。
上述現(xiàn)有的圖像測(cè)定機(jī)在要測(cè)定的多個(gè)位置被配置在直線上的情況下沒(méi)有問(wèn)題，但在未排列在直線上的情況下，在非停止測(cè)定模式進(jìn)行測(cè)定時(shí)，測(cè)定位置成為攝像部件的移動(dòng)路線的彎曲點(diǎn)，因此對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)施加過(guò)負(fù)荷，引起用于保險(xiǎn)的熔絲熔斷的問(wèn)題。此外，移動(dòng)機(jī)構(gòu)發(fā)生振動(dòng)，還存在測(cè)定精度惡化的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于這樣的問(wèn)題點(diǎn)而完成，其目的在于提供一種不使測(cè)定精度惡化而且也可以防止對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)施加過(guò)負(fù)荷的圖像測(cè)定方法、圖像測(cè)定系統(tǒng)。
為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的圖像測(cè)定方法一邊使攝像部件對(duì)于支承被測(cè)定對(duì)象的測(cè)定臺(tái)相對(duì)移動(dòng)，一邊通過(guò)使所述攝像部件在多個(gè)測(cè)定位置的每一個(gè)不停止而輸入所述被測(cè)定對(duì)象的瞬間的圖像信息，從而進(jìn)行圖像測(cè)定，其特征在于，將朝向所述攝像部件接著要測(cè)定的第一測(cè)定位置的方向設(shè)為第一方向，并將從所述第一測(cè)定位置朝向作為下一個(gè)測(cè)定位置的第二測(cè)定位置的方向設(shè)為第二方向時(shí)，在所述第一方向和所述第二方向所成的角度超過(guò)規(guī)定角度的情況下，形成所述攝像部件在向所述第一方向通過(guò)了所述第一測(cè)定位置之后向所述第一方向僅移動(dòng)規(guī)定距離的過(guò)沖路線，所述第一方向和所述第二方向所成的角度越大則使所述第一測(cè)定位置的所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)速度越低。
此外，本發(fā)明的圖像測(cè)定系統(tǒng)一邊使攝像部件對(duì)于支承被測(cè)定對(duì)象的測(cè)定臺(tái)相對(duì)移動(dòng)，一邊通過(guò)使所述攝像部件在多個(gè)測(cè)定位置的每一個(gè)不停止而輸入所述被測(cè)定對(duì)象的瞬間的圖像信息，從而進(jìn)行圖像測(cè)定，其特征在于，該系統(tǒng)包括指示所述多個(gè)測(cè)定位置的部件；基于由該部件指示的所述多個(gè)測(cè)定位置的信息來(lái)決定所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)路線以及相對(duì)移動(dòng)速度的移動(dòng)路線/速度決定部件；以及基于由該移動(dòng)路線/速度決定部件決定的相對(duì)移動(dòng)路線以及相對(duì)移動(dòng)速度來(lái)使所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)相對(duì)移動(dòng)的部件，所述移動(dòng)路線/速度決定部件將朝向所述攝像部件接著要測(cè)定的第一測(cè)定位置的方向設(shè)為第一方向，并將從所述第一測(cè)定位置朝向作為下一個(gè)測(cè)定位置的第二測(cè)定位置的方向設(shè)為第二方向時(shí)，在所述第一方向和所述第二方向所成的角度超過(guò)規(guī)定角度的情況下，形成所述攝像部件在向所述第一方向通過(guò)了所述第一測(cè)定位置之后向所述第一方向僅移動(dòng)規(guī)定距離的過(guò)沖路線，并決定所述相對(duì)移動(dòng)路線以及相對(duì)移動(dòng)速度，以使所述第一方向和所述第二方向所成的角度越大則使所述第一測(cè)定位置的所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)速度越低。
根據(jù)本發(fā)明，由于在攝像部件朝向接著要測(cè)定的第一測(cè)定位置的第一方向和從第一測(cè)定位置朝向作為下一個(gè)測(cè)定位置的第二測(cè)定位置的第二方向所成的角度超過(guò)規(guī)定角度的情況下，從第一測(cè)定位置向第一方向形成過(guò)沖路線，所以可以防止第一測(cè)定位置成為移動(dòng)路線的彎曲點(diǎn)。由此，可以防止測(cè)定精度的惡化。
此外，根據(jù)本發(fā)明，由于第一方向和第二方向所成的角度越大則使第一測(cè)定位置的攝像部件的相對(duì)移動(dòng)速度越低，所以可以抑制移動(dòng)路線的彎曲點(diǎn)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的過(guò)負(fù)荷。


以下，參照

本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。
圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的圖像測(cè)定系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的外觀立體圖。
圖2是該測(cè)定系統(tǒng)中的計(jì)算機(jī)的功能方框圖。
圖3是表示該測(cè)定系統(tǒng)的測(cè)定路線的一個(gè)例子的圖。
圖4是表示該測(cè)定路線的速度模式的一個(gè)例子的圖。
圖5是表示該系統(tǒng)中的路線/速度表的一個(gè)例子的圖。
圖6A以及圖6B是表示本發(fā)明的其它實(shí)施方式的測(cè)定路線的一個(gè)例子的圖。
圖7是表示該測(cè)定路線的速度模式的圖。
圖8是用于說(shuō)明標(biāo)準(zhǔn)模式下的測(cè)定的圖。
圖9是用于說(shuō)明非停止測(cè)定模式下的測(cè)定的圖。
具體實(shí)施例方式
接著，基于

本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的圖像測(cè)定系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。該系統(tǒng)包括非接觸型的圖像測(cè)定機(jī)1；驅(qū)動(dòng)控制該圖像測(cè)定機(jī)1的同時(shí)執(zhí)行必要的數(shù)據(jù)處理的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)2；以及將計(jì)測(cè)結(jié)果進(jìn)行打印輸出的打印機(jī)3。
圖像測(cè)定機(jī)1如下構(gòu)成。即，在架臺(tái)11上安裝有用于載置被測(cè)定對(duì)象(以下稱作工件)12的測(cè)定臺(tái)13，該測(cè)定臺(tái)13由未圖示的Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)向Y軸方向驅(qū)動(dòng)。在架臺(tái)11的兩側(cè)邊緣中央部固定有向上方延伸的支承臂14、15，固定X軸導(dǎo)軌16使其連接該支承臂14、15的兩上端部。該X軸導(dǎo)軌16上支承有攝像單元17。攝像單元17由未圖示的X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿X軸導(dǎo)軌16驅(qū)動(dòng)。在攝像單元17的下端部與測(cè)定臺(tái)13相對(duì)地安裝有CCD照相機(jī)18。此外，在攝像單元17的內(nèi)部除了未圖示的照明裝置以及聚焦機(jī)構(gòu)以外，還內(nèi)置有使CCD照相機(jī)18的Z軸方向的位置移動(dòng)的Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)2包括以下裝置而構(gòu)成計(jì)算機(jī)主體21、鍵盤(pán)22、操縱桿箱(以下稱作J/S)23、鼠標(biāo)24以及顯示裝置25。計(jì)算機(jī)主體21與存儲(chǔ)在內(nèi)部的規(guī)定的程序一同實(shí)現(xiàn)例如圖2所示的各功能。
即，設(shè)有用于根據(jù)來(lái)自鍵盤(pán)22、J/S23以及鼠標(biāo)24等輸入部件的指示輸入而控制圖像測(cè)定機(jī)1的臺(tái)移動(dòng)處理部31、照明調(diào)整處理部32以及其它測(cè)定條件調(diào)整處理部33。臺(tái)移動(dòng)處理部31基于來(lái)自輸入部件的臺(tái)移動(dòng)指示輸入，控制圖像測(cè)定機(jī)1的XYZ軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使CCD照相機(jī)18對(duì)于測(cè)定臺(tái)13的位置移動(dòng)。照明調(diào)整處理部32在示教(teaching)時(shí)，以規(guī)定周期使圖像測(cè)定機(jī)1的照明裝置連續(xù)地點(diǎn)亮閃光燈，同時(shí)基于來(lái)自輸入部件的照明調(diào)整指示輸入，調(diào)整點(diǎn)亮閃光燈的脈寬，在非停止動(dòng)作模式時(shí)，在指定的測(cè)定位置，以預(yù)先設(shè)定的脈寬點(diǎn)亮閃光燈。其它測(cè)定條件調(diào)整處理部33基于其它測(cè)定條件調(diào)整指示輸入，調(diào)整透鏡放大率、聚焦調(diào)整等其它的測(cè)定條件。
由這些各處理部31～33調(diào)整的臺(tái)位置、點(diǎn)亮閃光燈的脈寬的信息以及其它的測(cè)定條件信息，基于通過(guò)輸入部件的規(guī)定的指示輸入，由參數(shù)輸入(取込)部34輸入。由參數(shù)輸入部34輸入的參數(shù)被存儲(chǔ)在參數(shù)存儲(chǔ)部35中。部分程序(part program)生成部36使用存儲(chǔ)在參數(shù)存儲(chǔ)部35中的參數(shù)，生成用于測(cè)定的部分程序。此時(shí)，在由輸入部件指示非停止測(cè)定模式的情況下，部分程序生成部36生成非停止測(cè)定模式的部分程序。生成的部分程序被存儲(chǔ)在部分程序存儲(chǔ)部37中。
部分程序執(zhí)行部38從部分程序存儲(chǔ)部37中讀出必要的參數(shù)并執(zhí)行它，按照部分程序中記述的各種命令，適當(dāng)驅(qū)動(dòng)臺(tái)移動(dòng)處理部31、照明調(diào)整處理部32、其它測(cè)定條件調(diào)整處理部33、圖像取得部42以及圖像處理部43。由CCD照相機(jī)18攝像的圖像信息由圖像存儲(chǔ)部41依次存儲(chǔ)。存儲(chǔ)在圖像存儲(chǔ)部41中的圖像信息由顯示裝置25依次顯示，另一方面，基于部分程序，由圖像取得部42作為靜止圖像捕捉。圖像處理部43對(duì)于由圖像取得部42取得的圖像信息，執(zhí)行測(cè)定工具的設(shè)定、邊緣檢測(cè)、坐標(biāo)檢測(cè)等用于圖像測(cè)定的圖像處理。
接著，說(shuō)明這樣構(gòu)成的本實(shí)施方式的圖像測(cè)定系統(tǒng)的測(cè)定動(dòng)作。
圖3表示了測(cè)定位置為三處(MP1、MP2、MP3)的情況下的測(cè)定臺(tái)13的移動(dòng)路線。這三個(gè)測(cè)定位置MP1～MP3未排列在直線上。從CCD照相機(jī)18對(duì)于當(dāng)前的測(cè)定臺(tái)13的位置朝向測(cè)定位置MP1的方向和從測(cè)定位置MP1朝向下一個(gè)測(cè)定位置MP2的方向所構(gòu)成的角度為45°。同樣，從測(cè)定位置MP1朝向其下一個(gè)測(cè)定位置MP2的方向和從測(cè)定位置MP2朝向其下一個(gè)測(cè)定位置MP3的方向所構(gòu)成的角度為90°。
圖4表示了如上述這樣的移動(dòng)路線上的測(cè)定表13的速度模式。
本系統(tǒng)中，由彎曲點(diǎn)的角度對(duì)最大速度施加限制。例如，在角度0°(直線)時(shí)，為最初的測(cè)定速度原樣，在角度45°的角設(shè)定10mm/s這樣，在角度90°的角設(shè)定5mm/s這樣部分地被限制了速度的速度模式。
此外，根據(jù)彎曲點(diǎn)的角度，也可以改變過(guò)沖測(cè)定位置MP1、MP2、MP3的量。例如，在45°的角如0.3mm這樣設(shè)定過(guò)沖量，在角度90°的角如0.5mm這樣設(shè)定過(guò)沖量。從而，實(shí)際的測(cè)定路線如圖3的虛線所示，為在過(guò)沖點(diǎn)OP1、OP2彎曲的路線。
由此，可防止在測(cè)定位置MP1、MP2、MP3的振動(dòng)從而進(jìn)行高精度的測(cè)定。
為了實(shí)現(xiàn)以上的動(dòng)作，部分程序生成部36包含移動(dòng)路線/速度決定部件(程序，routine)。移動(dòng)路線/速度決定部件包含有例如圖5所示的預(yù)先注冊(cè)了對(duì)于移動(dòng)路線的角角度(彎曲點(diǎn)處的角度)的最大速度以及過(guò)沖量的路線/速度表。在由輸入部件指定測(cè)定位置時(shí)，移動(dòng)路線/速度決定部件將測(cè)定位置相互連接而生成移動(dòng)路線，并計(jì)算移動(dòng)路線的各測(cè)定位置的角度，從該角度，參照路線/速度表，求最大速度和過(guò)沖量。在該實(shí)施方式中，例如在角度小于5°的情況下，無(wú)速度限制，使過(guò)沖量為0。
此外，這里為了方便，在測(cè)定區(qū)域以外的高速移動(dòng)區(qū)域中為‘移動(dòng)速度’，在測(cè)定區(qū)域中為‘測(cè)定速度’這樣區(qū)別進(jìn)行說(shuō)明。在本系統(tǒng)中，如圖4所示，進(jìn)行速度控制，以便在從移動(dòng)速度減速到測(cè)定速度為止之后，通過(guò)測(cè)定位置MP1～MP3、進(jìn)而在過(guò)沖期間維持該測(cè)定速度，從而在測(cè)定位置MP1～MP3，加速度為0。由此，可進(jìn)行高精度的測(cè)定。另外，移動(dòng)路線/速度決定部件考察移動(dòng)速度、測(cè)定速度之后決定通路距離。
圖6A以及圖6B是用于說(shuō)明本發(fā)明的其它實(shí)施方式的圖。
圖6A中示出，由于測(cè)定位置MP1～MP3排列在直線上，同時(shí)測(cè)定開(kāi)始點(diǎn)SP有時(shí)不排列為同一直線狀，因此考慮過(guò)沖時(shí)的測(cè)定路線成為鋸齒形的例子。
在這樣的情況下，如圖6B所示，使得可設(shè)定不進(jìn)行測(cè)定動(dòng)作的通過(guò)點(diǎn)(Way PointWP)。在通過(guò)點(diǎn)WP不附加過(guò)沖路線。但是，在通過(guò)點(diǎn)WP的最大速度限制根據(jù)需要進(jìn)行。由此，可以使測(cè)定路線在直線上。通過(guò)進(jìn)行這樣的設(shè)定，如圖7所示，可以不減速地(即，以移動(dòng)速度)測(cè)定所有的測(cè)定位置MP1～MP3。此外，這樣的通過(guò)點(diǎn)WP的指示對(duì)于在測(cè)定臺(tái)上存在想要避免干擾的位置的情況下也有效。
根據(jù)以上的系統(tǒng)，不必對(duì)測(cè)定位置的配置位置、測(cè)定的順序設(shè)置限制。此外，不論測(cè)定位置的配置如何，都可以根據(jù)測(cè)定位置和下一個(gè)測(cè)定位置決定的路線、以及與下一個(gè)路線的角度來(lái)自動(dòng)計(jì)算速度和過(guò)沖量，所以可以不對(duì)機(jī)械施加負(fù)荷而高精度地進(jìn)行測(cè)定。進(jìn)而，起到可在一個(gè)路線內(nèi)高精度地進(jìn)行穩(wěn)定的精度的測(cè)定的效果。
權(quán)利要求
1.一種圖像測(cè)定方法，一邊使攝像部件對(duì)于支承被測(cè)定對(duì)象的測(cè)定臺(tái)相對(duì)移動(dòng)，一邊通過(guò)使所述攝像部件在多個(gè)測(cè)定位置的每一個(gè)不停止而輸入所述被測(cè)定對(duì)象的瞬間的圖像信息，從而進(jìn)行圖像測(cè)定，其特征在于，將朝向所述攝像部件接著要測(cè)定的第一測(cè)定位置的方向設(shè)為第一方向，并將從所述第一測(cè)定位置朝向作為下一個(gè)測(cè)定位置的第二測(cè)定位置的方向設(shè)為第二方向時(shí)，在所述第一方向和所述第二方向所成的角度超過(guò)規(guī)定角度的情況下，形成所述攝像部件在向所述第一方向通過(guò)了所述第一測(cè)定位置之后向所述第一方向僅移動(dòng)規(guī)定距離的過(guò)沖路線，所述第一方向和所述第二方向所成的角度越大則使所述第一測(cè)定位置的所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)速度越低。
2.如權(quán)利要求1所述的圖像測(cè)定方法，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向所成的角度越大則使所述過(guò)沖路線的長(zhǎng)度越長(zhǎng)。
3.如權(quán)利要求1所述的圖像測(cè)定方法，其特征在于，設(shè)置向所述第一方向到達(dá)所述第一測(cè)定位置的規(guī)定距離的通路，在所述第一測(cè)定位置的前后，使所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)速度一定。
4.如權(quán)利要求1所述的圖像測(cè)定方法，其特征在于，輸入用于指示所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)的通過(guò)點(diǎn)的信息，決定所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)的移動(dòng)路線，以便使其通過(guò)該被輸入的通過(guò)點(diǎn)。
5.一種圖像測(cè)定系統(tǒng)，一邊使攝像部件對(duì)于支承被測(cè)定對(duì)象的測(cè)定臺(tái)相對(duì)移動(dòng)，一邊通過(guò)使所述攝像部件在多個(gè)測(cè)定位置的每一個(gè)不停止而輸入所述被測(cè)定對(duì)象的瞬間的圖像信息，從而進(jìn)行圖像測(cè)定，其特征在于，該系統(tǒng)包括指示所述多個(gè)測(cè)定位置的部件；基于由該部件指示的所述多個(gè)測(cè)定位置的信息來(lái)決定所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)路線以及相對(duì)移動(dòng)速度的移動(dòng)路線/速度決定部件；以及基于由該移動(dòng)路線/速度決定部件決定的相對(duì)移動(dòng)路線以及相對(duì)移動(dòng)速度來(lái)使所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)相對(duì)移動(dòng)的部件，所述移動(dòng)路線/速度決定部件將朝向所述攝像部件接著要測(cè)定的第一測(cè)定位置的方向設(shè)為第一方向，并將從所述第一測(cè)定位置朝向作為下一個(gè)測(cè)定位置的第二測(cè)定位置的方向設(shè)為第二方向時(shí)，在所述第一方向和所述第二方向所成的角度超過(guò)規(guī)定角度的情況下，形成所述攝像部件在向所述第一方向通過(guò)了所述第一測(cè)定位置之后向所述第一方向僅移動(dòng)規(guī)定距離的過(guò)沖路線，并決定所述相對(duì)移動(dòng)路線以及相對(duì)移動(dòng)速度，以使所述第一方向和所述第二方向所成的角度越大則使所述第一測(cè)定位置的所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)速度越低。
6.如權(quán)利要求5所述的圖像測(cè)定系統(tǒng)，其特征在于，所述移動(dòng)路線/速度決定部件生成所述相對(duì)移動(dòng)路線，以使所述第一方向和所述第二方向所成的角度越大則使所述過(guò)沖路線的長(zhǎng)度越長(zhǎng)。
7.如權(quán)利要求5所述的圖像測(cè)定系統(tǒng)，其特征在于，所述移動(dòng)路線/速度決定部件設(shè)置向所述第一方向到達(dá)所述第一測(cè)定位置的規(guī)定距離的通路，在所述第一測(cè)定位置的前后，使所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)速度一定。
8.如權(quán)利要求5所述的圖像測(cè)定系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)有用于指示所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)的通過(guò)點(diǎn)的部件，所述移動(dòng)路線/速度決定部件決定所述攝像部件對(duì)于所述測(cè)定臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)路線，以便使其通過(guò)被輸入的通過(guò)點(diǎn)。
全文摘要
一種圖像測(cè)定方法，不使對(duì)于測(cè)定臺(tái)的攝像部件在測(cè)定位置(MP1～MP3)停止而輸入瞬間圖像，并輸入測(cè)定所必需的信息，其中在朝向接著要測(cè)定的測(cè)定位置(MP1)的第一方向和從測(cè)定位置(MP1)朝向作為下一個(gè)測(cè)定位置的測(cè)定位置(MP2)的第二方向所成的角度超過(guò)規(guī)定角度的情況下，在向第一方向通過(guò)測(cè)定位置(MP1)的一側(cè)形成過(guò)沖路線。第一方向和所述第二方向所成的角度越大則使測(cè)定位置(MP1)的測(cè)定速度越低。
文檔編號(hào)G01B11/00GK1877250SQ20061009238
公開(kāi)日2006年12月13日 申請(qǐng)日期2006年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月3日
發(fā)明者松宮貞行, 園部平人, 小松浩一 申請(qǐng)人:三豐株式會(huì)社