專利名稱：加速度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種使用由壓電基板構(gòu)成的振動(dòng)檢測(cè)元件的加速度傳感叫器o背景技術(shù)在硬盤驅(qū)動(dòng)器等中，為了感知因作用于該驅(qū)動(dòng)器的來(lái)自外部的沖擊或 振動(dòng)產(chǎn)生的應(yīng)力，以往一直使用加速度傳感器。對(duì)于加速度傳感器，因其用途的不同，提出有各種構(gòu)造。作為檢測(cè)感 度較高的加速度傳感器，已知一種加速度傳感器，其具有振動(dòng)檢測(cè)元件的 一個(gè)端部被保持，另一個(gè)端部為自由端的懸臂梁的構(gòu)造(例如，參照下列 專利文獻(xiàn)l)。這種現(xiàn)有的加速度傳感器，在長(zhǎng)方體狀的保持部件的側(cè)面設(shè)有橫孔， 上面設(shè)有連通上述橫孔的縱孔，通過(guò)在橫孔中插入并臨時(shí)固定振動(dòng)檢測(cè)元 件，從縱孔注入保持用樹脂，之后使其固化，可以使振動(dòng)檢測(cè)元件的一個(gè) 端部得到保持。這樣保持振動(dòng)檢測(cè)元件的保持部件，被裝在金屬制外殼中，這些振動(dòng) 檢測(cè)元件、保持部件和金屬外殼，被收納在樹脂制的外殼中。當(dāng)因沖擊等產(chǎn)生的加速度作用于這種加速度傳感器時(shí)，由于振動(dòng)檢測(cè) 元件彎曲，在構(gòu)成振動(dòng)檢測(cè)元件的壓電基板上會(huì)產(chǎn)生翹曲。產(chǎn)生翹曲的壓電基板中，因壓電效果而產(chǎn)生電荷，進(jìn)而在壓電基板的 兩個(gè)主面形成的信號(hào)電極間產(chǎn)生電位差。通過(guò)將該電位差作為輸出電壓取 出，就可以檢測(cè)出加速度。專利文獻(xiàn)1:特開平9-113533號(hào)公報(bào)然而，加速度傳感器的檢測(cè)感度，與檢測(cè)元件的自由長(zhǎng)即彎曲的起點(diǎn) 至自由端部的長(zhǎng)度有關(guān)，因此，如果彎曲的起點(diǎn)發(fā)生變動(dòng)，檢測(cè)感度就會(huì)產(chǎn)生偏差。因此，優(yōu)選彎曲的起點(diǎn)不要變動(dòng)。但是，作為上述的現(xiàn)有加速度傳感器，振動(dòng)檢測(cè)元件的彎曲，除了振 動(dòng)檢測(cè)元件的一個(gè)端部的縱孔中的部分，還由用來(lái)進(jìn)行臨時(shí)固定而設(shè)置的 橫孔內(nèi)壁來(lái)規(guī)定，所以，成為一種處于橫孔中的部分也會(huì)產(chǎn)生彎曲的起點(diǎn) 的結(jié)構(gòu)。也就是說(shuō)，從振動(dòng)檢測(cè)元件的一個(gè)端部的縱孔中的部分，到處于 橫孔中的部分，彎曲的起點(diǎn)有可能變動(dòng)，這樣，加速度傳感器的檢測(cè)感度 會(huì)的偏差會(huì)增大。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明正是鑒于上述問(wèn)題提出的，其目的在于，提供一種檢測(cè)感度的 偏差較小的加速度傳感器。本發(fā)明的加速度傳感器，包括由條狀壓電基板和覆蓋在該壓電基板 兩面上的信號(hào)電極構(gòu)成的振動(dòng)檢測(cè)元件；和用來(lái)保持該振動(dòng)檢測(cè)元件的保 持部件。在所述保持部件上設(shè)有用來(lái)插入所述振動(dòng)檢測(cè)元件的貫通孔，在 所述振動(dòng)檢測(cè)元件的一個(gè)端部設(shè)有保持用樹脂。所述振動(dòng)檢測(cè)元件插入在 所述貫通孔中的狀態(tài)下，所述保持用樹脂緊貼所述貫通孔的內(nèi)面。這樣， 所述振動(dòng)檢測(cè)元件被保持在所述保持部件中。通過(guò)本發(fā)明的加速度傳感器，由于振動(dòng)檢測(cè)元件的產(chǎn)生彎曲的起點(diǎn)的 位置，被限定為插入振動(dòng)檢測(cè)元件的貫通孔的部分。因此，振動(dòng)檢測(cè)元件 的自由長(zhǎng)的長(zhǎng)度將不易變動(dòng)，可以有效抑制加速度傳感器的檢測(cè)感度的偏 差。此外，本發(fā)明的加速度傳感器，收納在具有開口部的長(zhǎng)方體狀外殼中， 所述保持部件配置在所述外殼的開口部附近。通過(guò)這種構(gòu)成，外殼組裝后 也可以簡(jiǎn)單地使振動(dòng)檢測(cè)元件收納到外殼內(nèi)。此外，本發(fā)明的加速度傳感器中，所述保持部件以距所述外殼的開口 部給定量的狀態(tài)靠近所述外殼的內(nèi)側(cè)，并且，在由所述保持部件的外側(cè)表 面和所述外殼的開口部側(cè)的內(nèi)壁圍成的區(qū)域填充有密封用樹脂。通過(guò)這種 構(gòu)成，可以保護(hù)振動(dòng)檢測(cè)元件和保持部件，同時(shí)，可以使保持部件更加可 靠地安裝在外殼上。若所述密封用樹脂和所述保持用樹脂雙方都由環(huán)氧類樹脂構(gòu)成，并且，兩樹脂在所述外殼的開口部附近相互粘接，則密封用樹脂和保持用樹 脂之間的粘結(jié)性更好，可以更加穩(wěn)定地保持振動(dòng)檢測(cè)元件。此外，本發(fā)明的加速度傳感器，也可以具有如下構(gòu)造將所述外殼的 外表面上設(shè)置的端子電極，引出至所述保持部件的外側(cè)表面，并且，使覆 蓋所述壓電基板的信號(hào)電極在所述外殼的開口部側(cè)露出，通過(guò)導(dǎo)電性粘結(jié) 材料，將所述端子電極的引出側(cè)的端部與所述信號(hào)電極的露出部電連接。 通過(guò)這種構(gòu)造，可以簡(jiǎn)單可靠地將信號(hào)電極與外部端子相連。若在所述保持部件的外側(cè)表面上設(shè)有階差部，并且，所述導(dǎo)電性粘結(jié) 材料被填充在所述階差部中，可以抑制導(dǎo)電性粘結(jié)材料的擴(kuò)散，防止導(dǎo)電 性粘結(jié)材料的不需要的短路。若所述導(dǎo)電性粘結(jié)材料，由第1導(dǎo)電性粘結(jié)材料和第2導(dǎo)電性粘結(jié)材 料構(gòu)成，所述第1導(dǎo)電性粘結(jié)材料和所述第2導(dǎo)電性粘結(jié)材料之間形成有 堰，則可以通過(guò)該堰，有效防止第1導(dǎo)電性粘結(jié)材料與第2導(dǎo)電性粘結(jié)材 料之間的短路。本發(fā)明的上述的、或其他的優(yōu)點(diǎn)、特征和效果，可以參照附圖，通過(guò) 下述的對(duì)實(shí)施方式的說(shuō)明來(lái)搞清。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式下的加速度傳感器的分解立體圖。圖2是表示加速度傳感器組裝后狀態(tài)的外觀立體圖。 圖3是表示對(duì)圖2的加速度傳感器使用密封用樹脂后的狀態(tài)的外觀立 體圖。圖4是保持部件的正面圖。 圖5是振動(dòng)檢測(cè)元件的外觀立體圖。 圖6是圖3的加速度傳感器的A面截面圖。 圖7是本發(fā)明的其他實(shí)施方式下的加速度傳感器的截面圖。 圖中1—外殼，la、 lb—端子電極，lh—開口部，2 —保持部件，2a、 2b—階差部，2h—貫通孔，3 —振動(dòng)檢測(cè)元件，4a、 4b—保持用樹脂，5 — 密封用樹脂，6a、 6b—導(dǎo)電性粘結(jié)材料，7a、 7b—端子電極的端部，8a、 8b—樹脂堰，9一粘結(jié)劑，31、 32 —壓電基板，31a、 31b、 32a、 32b—信號(hào)電極。
具體實(shí)施方式
圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式下的加速度傳感器的分解立體圖，圖2 是表示加速度傳感器組裝后狀態(tài)的外觀立體圖，圖3是表示對(duì)組裝后的加 速度傳感器使用密封用樹脂5后的狀態(tài)的外觀立體圖。加速度傳感器大致由以下部分構(gòu)成收納振動(dòng)檢測(cè)元件3的外殼1; 收納在外殼1內(nèi)振動(dòng)檢測(cè)元件3;用于將振動(dòng)檢測(cè)元件3保持在外殼1內(nèi) 的保持部件2。外殼1是在一端側(cè)具有開口部lh的長(zhǎng)方體狀容器體，材質(zhì)使用例如液晶聚合體(LCP)、聚苯硫醚(PPS)、聚醚醚酮(PEEK)等。外殼1上裝有端子電極la、 lb。通過(guò)用焊料等使這些端子電極la、lb與外部的電路布線基板上的電極墊連接，可以使加速度傳感器與電路布線基板電連接 機(jī)械連接。端子電極la、 lb，例如由磷青銅等組成，其厚度被設(shè)定為例如0.1 0.5mm。另夕卜，本實(shí)施方式的加速度傳感器中，端子電極la、 lb，通過(guò)嵌入成型(insertmold)而與外殼1成型為一體。外殼1中裝有保持振動(dòng)檢測(cè)元件3的保持部件2。該保持部件2配置在外殼1的開口部lh附近。本實(shí)施方式中，外殼1和保持部件2是由不同的部件構(gòu)成，通過(guò)使保持部件2與外殼1的內(nèi)壁嵌合，保持部件2被固定在外殼l中。此外，如圖1所示，保持部件2的中央部，設(shè)有用于壓入并保持振動(dòng) 檢測(cè)元件3的貫通孔2h。貫通孔2h大致為矩形，形成為相對(duì)水平方向傾斜。如后所述，這是 因?yàn)橐允拐駝?dòng)檢測(cè)元件3傾斜的狀態(tài)保持，可以檢測(cè)水平、垂直兩個(gè)方向 的振動(dòng)的緣故。圖4是形成有貫通孔2h的保持部件2的正面圖。用虛線表示振動(dòng)檢 測(cè)元件3的外形形狀(指的是不包含保持用樹脂4a、 4b的振動(dòng)檢測(cè)元件3 的外形尺寸)。貫通孔2h的尺寸，設(shè)定得比振動(dòng)檢測(cè)元件3的外形尺寸稍大。具體來(lái)說(shuō)，振動(dòng)檢測(cè)元件3的外形與貫通孔2h的內(nèi)面間形成的間隔X，例如 設(shè)定為10nm 20pm;振動(dòng)檢測(cè)元件3的側(cè)面與貫通孔2h的內(nèi)面間形成 的間隔Y，例如是10|im 30nm。此外，在位于保持部件2的對(duì)角線上的一對(duì)角上，設(shè)有階差部2a、 2b。 該階差部2a、 2b，是后述的導(dǎo)電性粘結(jié)材料6a、 6b的悍區(qū)。此外，在階 差部2a、 2b內(nèi)，露出有從端子電極la、 lb延伸出來(lái)的端子電極的端部7a、 7b。這種由保持部件2保持的振動(dòng)檢測(cè)元件3，如圖5所示具有如下構(gòu)造: 通過(guò)粘結(jié)劑9，將多個(gè)覆蓋有一對(duì)信號(hào)電極31a、 31b、 32a、 32b的條狀壓 電基板31、 32貼合在一起。本實(shí)施方式的加速度傳感器，采用通過(guò)將2片壓電基板31、 32貼合 來(lái)構(gòu)成雙壓片(bimorph)型的振動(dòng)檢測(cè)元件。壓電基板31、 32在厚度方向上極化，材質(zhì)是由例如鈦鋯酸鉛或鈦酸 鉛等壓電陶瓷材料組成，尺寸設(shè)定為長(zhǎng)0.5 5.0mm、寬0.2 1.0mm、厚 0.1 1.0mm的條狀。要制作壓電基板31、 32，采用包括如下工序的的制作方法通過(guò)向原 料粉末添加粘結(jié)劑并進(jìn)行擠壓的方法，或使用球磨(ball mill)將原料粉末 與水、偏差劑混合在一起并進(jìn)行干燥，并加入粘結(jié)劑、溶劑、可塑劑等后 用刮刀(doctorblade)法鑄型的方法等，形成片狀的工序；以1100'C 1400 。C的峰值溫度，燒結(jié)幾十分 幾小時(shí)，形成基板的工序；和在厚度方向上， 以例如6(TC 15(TC的溫度施加3kV/mm 15kV/mm的電壓，進(jìn)行極化處 理的工序。在振動(dòng)檢測(cè)元件3的兩個(gè)主面3a、 3b上，配置有保持用樹脂4a、 4b。 保持用樹脂4a、 4b，由例如環(huán)氧類樹脂等組成。這里，重要的是，要事先進(jìn)行設(shè)定，使保持用樹脂4a、 4b的與貫通 孔2h抵接的部分在插入前的厚度T，厚于振動(dòng)檢測(cè)元件3的兩個(gè)主面3a、 3b與貫通孔2h的內(nèi)面間形成的間隔X。例如，厚度T設(shè)定為比間隔X厚 0.3(j_m 60(im。在形成保持用樹脂4a、 4b時(shí)，首先，準(zhǔn)備由壓電基板31、 32構(gòu)成的 兩片壓電母板接合而成的薄片，通過(guò)絲網(wǎng)印刷，在薄片兩面的規(guī)定位置，印刷并固化樹脂膏。根據(jù)需要，可重復(fù)多次絲網(wǎng)印刷，或研磨保持用樹脂 的上面以確保厚度的精度。然后，在確認(rèn)固化后的樹脂膏的位置的同時(shí)，用劃片機(jī)(dicing saw)等，在可得到規(guī)定長(zhǎng)度的保持用樹脂和自由長(zhǎng)的位置上切斷，由此，可以得到覆蓋保持用樹脂4a、 4b的振動(dòng)檢測(cè)元件3。振動(dòng)檢測(cè)元件3的形狀， 例如是長(zhǎng)3.0mm、寬0.5mm、厚0.25mm、自由長(zhǎng)度2.0mm。上述的振動(dòng)檢測(cè)元件3，通過(guò)從前端部插入到保持部件2的貫通孔2h 中，并將另一端部的形成有保持用樹脂4a、 4b的部分推入貫通孔2h，而 保持在保持部件2中。保持在保持部件2中的振動(dòng)檢測(cè)元件3，成為所謂的懸臂梁構(gòu)造的加 速度傳感器，先插入的前端部是自由端，另一端部是固定端。這樣，由于將一對(duì)保持用樹脂4a、 4b緊貼設(shè)置在外殼1內(nèi)的保持部 件2的貫通孔2h的內(nèi)面，因此，在振動(dòng)檢測(cè)元件3的產(chǎn)生彎曲起點(diǎn)的位 置，可以確定為插入振動(dòng)檢測(cè)元件3的貫通孔2h、并與貫通孔2h抵接的 部分。由此，振動(dòng)檢測(cè)元件3的自由長(zhǎng)的長(zhǎng)度將不易變動(dòng)，可以有效抑制 加速度傳感器的檢測(cè)感度的偏差。被固定的振動(dòng)檢測(cè)元件3， 一旦遭受外部的物理沖擊，就會(huì)以保持部 件2為軸在自由端側(cè)發(fā)生彎曲，覆蓋在貼合起來(lái)的壓電基板31、 32上的 一對(duì)信號(hào)電極31a、 31b、 32a、 32b產(chǎn)生電荷，因此，該沖擊可被視作振 動(dòng)而檢測(cè)出來(lái)。圖6是沿圖3的對(duì)角面A切開的截面圖。從振動(dòng)檢測(cè)元件3的自由端 部，到保持用樹脂4a、 4b的與貫通孔2h內(nèi)面緊貼的區(qū)域中距離自由端側(cè) 最近的點(diǎn)P，是振動(dòng)檢測(cè)元件3的自由長(zhǎng)L。此外，如圖7所示，保持用樹脂4a、 4b的形狀，優(yōu)選為是厚度越向 自由端方向走就越薄的錐形。這樣，通過(guò)使保持用樹脂4a、 4b形成錐形， 同時(shí)，從自由端部起實(shí)施往振動(dòng)檢測(cè)元件3的開口部的插入，可以使壓入 作業(yè)順暢進(jìn)行，防止保持用樹脂4a、 4b破損。振動(dòng)檢測(cè)元件3如上所述，相對(duì)于水平方向被傾斜保持，不但是來(lái)自 其垂直方向的應(yīng)力，來(lái)自橫向的應(yīng)力也能感知。具體來(lái)說(shuō)，按照用途的不 同，將垂直于外殼1的安裝面的面與振動(dòng)檢測(cè)元件3的主面3a、 3b所成的角(成為銳角一側(cè)的角)0 (圖4所示)，設(shè)定在20 5(T的范圍。覆蓋在壓電基板3K 32上的信號(hào)電極31a、 31b、 32a、 32b，其材質(zhì) 是由例如金、銀、銅、鉻、鎳、錫、鉛、鋁等導(dǎo)電性良好的金屬組成，可 以通過(guò)眾所周知的真空蒸鍍或?yàn)R射法等將這些金屬材料覆蓋，形成在壓電 基板31、 32上，或者，通過(guò)眾所周知的印刷法等將含有上述金屬材料的 規(guī)定的導(dǎo)電膏涂抹在規(guī)定圖形上，通過(guò)高溫?zé)Y(jié)而覆蓋，形成。通過(guò)用粘結(jié)劑9貼合覆蓋有信號(hào)電極的2片壓電基板31、 32，構(gòu)成振 動(dòng)檢測(cè)元件3。粘結(jié)劑9使用玻璃布基材環(huán)氧樹脂、無(wú)機(jī)質(zhì)玻璃、環(huán)氧樹脂等絕緣材 料，或?qū)щ娦哉辰硬牧?、金屬片等?dǎo)電材料。在使用玻璃布基材環(huán)氧樹脂 實(shí)施的接合中，通過(guò)將使含浸環(huán)氧樹脂的預(yù)浸材料夾在玻璃纖維間，上下 重合壓電基板，邊加壓邊加熱，可以使環(huán)氧樹脂壓縮固化成規(guī)定的厚度。 在使用由無(wú)機(jī)質(zhì)玻璃實(shí)施的接合中，印刷涂抹玻璃膏后進(jìn)行重合，邊加負(fù) 荷邊用燒結(jié)爐熔化為一體。燒結(jié)爐中加熱到300 70(TC。如果燒結(jié)時(shí)是在 真空爐中進(jìn)行，則可以抑制玻璃結(jié)合中間層中氣泡的混入。以30(TC以上 高溫接合時(shí)，壓電基板的極化會(huì)消去，所以接合后需要做極化處理。此外，信號(hào)電極31a、 31b、 32a、 32b的一部分，在外殼1的開口部 lh側(cè)露出。另一方面，外殼l外表面上所設(shè)的端子電極la、 lb，通過(guò)外殼l和保 持部件2的內(nèi)部，被引出到保持部件2的外側(cè)表面。而且，如圖2所示， 通過(guò)第1導(dǎo)電性粘結(jié)劑6a，引至端子電極la的保持部件2的外側(cè)表面?zhèn)?的端部7a與信號(hào)電極31a、 31b的外殼1的開口部側(cè)的露出部，形成電連 接。同樣，如圖2所示，通過(guò)第1導(dǎo)電性粘結(jié)劑6a，引至端子電極lb的 保持部件2的外側(cè)表面?zhèn)鹊亩瞬?b與信號(hào)電極32a、 32b的外殼1的開口 部側(cè)的露出部形成電連接。通過(guò)該構(gòu)造，即便是將振動(dòng)檢測(cè)元件2收納到外殼1之后，也可以簡(jiǎn) 單可靠地使信號(hào)電極31a、 31b、 32a、 32b與外部端子la、 lb相連。第1、第2導(dǎo)電性粘結(jié)劑6a、 6b，分別在設(shè)于保持部件2的階差部2a、 2b內(nèi)被填充 固化。這樣，通過(guò)在保持部件2中設(shè)置階差部2a、 2b，就 可以在填充第l、第2導(dǎo)電性粘結(jié)劑6a、 6b時(shí)，抑制第l、第2導(dǎo)電性粘結(jié)劑6a、 6b擴(kuò)散，防止第l、第2導(dǎo)電性粘結(jié)劑6a、 6b的無(wú)用的短路。此外，在保持部件2的外側(cè)表面，由樹脂組成的堰8a、 8b設(shè)置在第l 導(dǎo)電性粘結(jié)劑6a與第2導(dǎo)電性粘結(jié)劑6b之間。由此，可以有效防止第1 導(dǎo)電性粘結(jié)劑6a與第2導(dǎo)電性粘結(jié)劑6b之間的短路。進(jìn)而，填充密封用樹脂5，覆蓋向著振動(dòng)檢測(cè)元件3的開口部側(cè)的露 出部和保持部件2的外側(cè)表面等。這樣，可以保護(hù)振動(dòng)檢測(cè)元件3和保持 部件2，同時(shí)，可以使保持部件2往外殼1的固定更為可靠。另外，優(yōu)選使用相同的環(huán)氧類樹脂，形成密封用樹脂5和保持用樹脂 4a、 4b。這樣，密封用樹脂5和保持用樹脂4a、 4b之間的粘結(jié)性增強(qiáng)， 可以更加穩(wěn)定地保持振動(dòng)檢測(cè)元件3。本發(fā)明并不限于上述實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明的精神的范圍內(nèi)，當(dāng)可 做各種更動(dòng)和修改。例如，在上述的實(shí)施方式中，外殼1和保持部件2是由不同部件構(gòu)成， 保持部件2嵌合在外殼1中，但也可以使保持部件2與外殼1一體成型。此外，雖然在上述的實(shí)施方式中，振動(dòng)檢測(cè)元件3采用的是將兩片壓 電基板貼合的構(gòu)造，但也可以重疊3片以上。這種情況下，由于可以增加 電荷的發(fā)生量，所以能夠提高加速度傳感器的感度。此外，在上述的實(shí)施方式中，振動(dòng)檢測(cè)元件3的固定端是從保持部件 2中露出，但也可以使固定端配置在貫通孔2h內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種加速度傳感器，包括由條狀壓電基板和覆蓋在該壓電基板兩面上的信號(hào)電極構(gòu)成的振動(dòng)檢測(cè)元件；和用來(lái)保持該振動(dòng)檢測(cè)元件的保持部件，其特征在于，在所述保持部件上設(shè)有用來(lái)插入所述振動(dòng)檢測(cè)元件的貫通孔，在所述振動(dòng)檢測(cè)元件的一個(gè)端部設(shè)有保持用樹脂，所述振動(dòng)檢測(cè)元件插入在所述貫通孔中，在所述保持用樹脂緊貼所述貫通孔的內(nèi)面的狀態(tài)下，所述振動(dòng)檢測(cè)元件被保持在所述保持部件中。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于， 所述振動(dòng)檢測(cè)元件和所述保持部件，收納在具有開口部的長(zhǎng)方體狀外殼中，所述保持部件配置在所述外殼的開口部附近。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于， 所述保持部件以距所述外殼的開口部給定量的狀態(tài)靠近所述外殼的內(nèi)側(cè)，并且，在由所述保持部件的外側(cè)表面和所述外殼的開口部側(cè)的內(nèi)壁 圍成的區(qū)域填充有密封用樹脂。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的加速度傳感器，其特征在于， 所述密封用樹脂和所述保持用樹脂雙方都由環(huán)氧類樹脂構(gòu)成，并且，兩樹脂在所述外殼的開口部附近相互粘接。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于， 將所述外殼的外表面上設(shè)置的端子電極，引出至所述保持部件的外側(cè)表面，并且，使覆蓋所述壓電基板的信號(hào)電極在所述外殼的開口部側(cè)露出， 通過(guò)導(dǎo)電性粘結(jié)材料，將所述端子電極的引出側(cè)的端部與所述信號(hào)電極的 露出部電連接。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的加速度傳感器，其特征在于， 在所述保持部件的外側(cè)表面上設(shè)有階差部，并且，所述導(dǎo)電性粘結(jié)材料被填充在所述階差部中。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的加速度傳感器，其特征在于， 所述導(dǎo)電性粘結(jié)材料，由第1導(dǎo)電性粘結(jié)材料和第2導(dǎo)電性粘結(jié)材料構(gòu)成，所述第1導(dǎo)電性粘結(jié)材料和所述第2導(dǎo)電性粘結(jié)材料之間形成有堰。
全文摘要
本發(fā)明提供一種加速度傳感器，通過(guò)以不變動(dòng)振動(dòng)檢測(cè)元件的自由長(zhǎng)的方式，固定振動(dòng)檢測(cè)元件的一個(gè)端部，可使檢測(cè)感度偏差很小。在條狀的振動(dòng)檢測(cè)元件(3)的一個(gè)端部形成保持用樹脂(4a、4b)。振動(dòng)檢測(cè)元件(3)，在插入設(shè)于外殼(1)的保持部件(2)的貫通孔(2h)的狀態(tài)下，保持用樹脂(4a、4b)緊貼貫通孔(2h)的內(nèi)面。振動(dòng)檢測(cè)元件(3)被固定·保持在保持部件(2)上。
文檔編號(hào)G01P15/09GK101278199SQ20058005174
公開日2008年10月1日 申請(qǐng)日期2005年10月4日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月4日
發(fā)明者久高將文, 百瀨一久 申請(qǐng)人:京瓷株式會(huì)社