專利名稱：使用參數(shù)測量單元檢測被測器件的電壓的制作方法
使用參數(shù)測量單元檢測被測器件的電壓技術(shù)領(lǐng)域本專利申請總的來說涉及測試器件，更加具體地說涉及利用參數(shù) 測量單元檢測器件中的電壓。
背景技術(shù)：
自動測試設(shè)備(Automatic test equipment, ATE)指的是自動化的、 通常由計算機驅(qū)動的、接近測試器件、諸如半導(dǎo)體、電子電路和印刷 電路板之類的組件。參數(shù)測量單元(parametric measurement unit, PMU) 通常是ATE的一部分。在器件測試期間使用PMU來測量器件管腳中 諸如電壓和電流之類的參數(shù)以及調(diào)節(jié)那些參數(shù)。PMU嘗試確保在測試 期間將恰當?shù)膮?shù)值應(yīng)用于被測器件(device under test, DUT)上。PMU通常包括將電壓和/或電流加載(force)給DUT的電路。在 從該電路到DUT的電路路徑中的阻抗(例如，電阻)導(dǎo)致電壓降。該 電壓降減少施加到DUT的電壓量。在此以前，PMU是例如約為2mA 或者更少量級的相對低電流的器件，這使得在通向DUT的電路路徑中 的電壓降相對可被忽略。然而，隨著例如約為50mA的大電流PMU的 出現(xiàn)，在通向DUT的電路路徑上的電壓降就變成十分重要。當電壓降 十分高時，通常大電流PMU就是這樣，其將妨礙在測試期間DUT的 正確執(zhí)行，導(dǎo)致錯誤的測試結(jié)果。發(fā)明內(nèi)容本專利申請描述了利用PMU來檢測DUT的電壓的方法和裝置， 包括計算機程序產(chǎn)品?？偟膩碚f，在一個方面，本發(fā)明涉及用于測試器件的電路。所述 電路包括將加載電壓施加給器件的第一測量單元和具有禁用的功能的 第二測量單元。第二測量單元包括從器件接收檢測電壓的檢測路徑。 檢測路徑通過第二測量單元同第一測量單元相連接。第一測量單元根 據(jù)檢測的電壓調(diào)整加載電壓。因為檢測路徑始于器件，所以檢測路徑 能夠考慮在直到同器件的連接點的電路路徑上發(fā)生的電壓降。例如， 可以通過調(diào)整加載電壓的方式來補償這些電壓降。上述方面可以包括一個或多個以下特征。第一測量單元實質(zhì)上可 以與第二測量單元相同。在第二測量單元中禁用的功能可以是向器件施加加載電壓的能力。第二測量單元可以包括禁用功能的三態(tài)驅(qū)動器。 第二測量單元中的檢測路徑可以是其上基本上未發(fā)生電壓降的高阻抗路徑。第一測量單元可以包括提供加載電壓的驅(qū)動器，以及通過其向器件施加加載電壓的輸出路徑。該輸出路徑可以具有產(chǎn)生電壓降的阻抗。 第一測量單元可以調(diào)整加載電壓以基本上補償該電壓降。第一測量單 元的輸出路徑可以與第二測量單元的檢測路徑對應(yīng)。第一測量單元可 以包括反饋路徑以檢測在驅(qū)動器和器件之間的電壓降。檢測路徑可以 包括通過第二測量單元的電路路徑。通常，在另一方面，本發(fā)明還涉及一種測試器件的方法。所述方 法包括向器件施加第一電壓，并檢測器件的第二電壓。第二電壓與在 第一電壓和所經(jīng)歷的電壓降之間的差值相對應(yīng)，所述電壓降是向器件 施加第一電壓的結(jié)果。所述方法還包括根據(jù)第二電壓調(diào)整第一電壓。 在所述方法中，施加和檢測是利用第一器件和第二器件執(zhí)行的，其中 第一器件和第二器件在設(shè)計上基本相同。上述方面可以包括一個或多個以下特征。第一器件和第二器件可以分別是第一和第二 PMU。檢測第二電壓可以包括配置第二 PMU使 其其作為在其上檢測第二電壓的檢測路徑?？梢酝ㄟ^控制第二PMU中
的電路以影響在電路路徑之間的連接的方式來配置第二 PMU。第二電 壓可以與器件管腳中的電壓對應(yīng)。通常，在另一個方面，本發(fā)明涉及供DUT使用的ATE。 ATE包 括用于調(diào)整施加到DUT的電壓的多個PMU。多個PMU包括配置成向 DUT加載電壓的第一 PMU和配置成向第一 PMU提供檢測路徑的第二 PMU。第二PMU具有與第一PMU基本上相同的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的該方 面還可以包括一個或多個以下特征。多個PMU可以包括被配置成向DUT加載電壓的第三PMU和被 配置成向第三PMU提供檢測路徑的第四PMU，第四PMU具有與第三 PMU、第二PMU和第一PMU基本上相同的結(jié)構(gòu)。第一、第二、第三 和第四PMU可以僅以硬件來實現(xiàn)，或者利用硬件和軟件的組合來實現(xiàn)。 第二PMU可以是三態(tài)的，以禁用向DUT加載電壓的功能。通過第二PMU的檢測路徑可以分接DUT中的檢測電壓。該檢測 電壓可以被從檢測路徑施加到第一 PMU。第一PMU可以包括驅(qū)動器。 檢測電壓可以被施加到驅(qū)動器，驅(qū)動器可以根據(jù)檢測電壓調(diào)節(jié)到DUT 的電壓。在以下的附圖即說明中闡述了一個或多個實例的細節(jié)。根據(jù)說明 書、附圖和權(quán)利要求書，本發(fā)明的其他特征、方面和優(yōu)點將變得顯而 易見。


圖1是ATE中的PMU的框圖。圖2是顯示圖1的兩個PMU的電路圖。圖3是顯示圖1的對DUT供電的PMU的電路圖。圖4是圖3所示的電路圖的替換配置。圖5是顯示用于利用軟件來實現(xiàn)ATE以控制電壓的加載和調(diào)節(jié)的
處理的流程圖。不同附圖中的相同附圖標記表示相同的元件。
具體實施方式
圖1是用于測試DUTll的ATE 10的框圖。如圖1所示，ATE 10 包括四個PMU 14至17，其分別與四個測試通道相對應(yīng)。PMU14至 17的一個功能是測試DUT的直流(directcurrent, DC)參數(shù)，包括電 壓和電流。PMU 14至17還可以作為DUT11的電源。也就是說，兩個 或更多PMU14至17的電流輸出可以被施加到DUT11的電源管腳，借 此在測試期間向DUT 11供電。PMU 14至17具有基本上相同的結(jié)構(gòu)，意味著他們基本上包括相 同的電路元件，盡管那些電路元件可以不同地配置。因而，僅詳細描 述一個PMU。圖2是顯示PMU 14和15的一個實施方式的電路圖(在此指的是 作為第一PMU 14和第二 PMU 15)。如圖2所示，第一PMU14包括 驅(qū)動器19、電阻20、到DUT11的電路路徑21和反饋路徑22。驅(qū)動器19可以是運算放大器(op-amp)或者類似的器件，用于經(jīng) 由電阻20和電路路徑21接收電壓以及輸出(或者"加載")電壓或者電 流到DUT 11。在"加載電壓"模式中，驅(qū)動器19調(diào)節(jié)第一 PMU 14的電 壓輸出；在"加載電流"模式中，驅(qū)動器19調(diào)節(jié)第一PMU 14的電流輸 出。然而，在加載電壓和加載電流這兩種模式中，電流被從驅(qū)動器19 中輸出。在該實施方式中，第一PMU 14是大電流器件，意味著驅(qū)動器19 輸出約為50mA量級的電流(盡管PMU14也可以在弱電流下工作)。 驅(qū)動器19包括兩個輸出端24和25。在該實例中，第一輸入端24用于
從外部源(未顯示)接收輸入電壓Vin，第二輸入端25用于接收檢測 電壓(如下所述)。驅(qū)動器19根據(jù)在Vin和檢測電壓之間的差值調(diào)節(jié) 它的輸出電壓和電流。電阻20位于驅(qū)動器19的輸出路徑中，并用于同反饋路徑22連接 以測量驅(qū)動器19的輸出電流。具體而言，經(jīng)由反饋路徑22中的差動 放大器26測量電阻20兩端的電壓。在點27輸出測量的電壓。從那兒， 開關(guān)29(如下所述)被配置為將電壓輸出到端口 30。在PMU(未顯示) 以外的ATE中的電路知曉電阻20的阻值，并借助于差動放大器26知 曉通過電阻20的電壓降。根據(jù)該信息，外部電路能夠確定驅(qū)動器19 的輸出電流。反饋路徑22還包括電壓檢測路徑31。電壓檢測路徑31用來檢測 在電路路徑21之前的PMU14內(nèi)的點32處的電壓。也就是說，當開關(guān) 29被適當配置時點32的電壓被反饋到驅(qū)動器19的輸入端25。通過輸 入端25，驅(qū)動器19能夠考慮到直到點32所發(fā)生的電壓降并對于電壓 降補償其輸出，例如，增加其輸出電壓以補償電壓降。然而，因為點 32在電路路徑21之前，所以在電路路徑21上發(fā)生的電壓降不能夠由 反饋路徑22補償。下面將描述利用現(xiàn)有的PMU補償該電壓降的方法。在PMU14中，每一個開關(guān)29可以由任何的電子和/或機械機構(gòu)來 實現(xiàn)，所述電子和/或機械機構(gòu)能夠在電路路徑之間做出適當?shù)倪B接。 在該實施方式中，開關(guān)29包括開關(guān)29a、開關(guān)29b和開關(guān)29c。開關(guān) 29a連接在電路路徑34和35之間；開關(guān)29b連接在電路路徑36和37 之間；開關(guān)29c連接在電路路徑50和31之間。當連接到路徑34(第 一PMU14中所示的配置)時，開關(guān)29a將放大器26的輸出("電流反 饋路徑")連接到端口 30。這被稱為電流檢測配置，因為其是使得第一 PMU14能夠提供用于測量驅(qū)動器19的輸出電流的指示的開關(guān)配置。因 為電流反饋路徑的輸出(也就是放大器26的電壓輸出)用來確定通過 電阻20的電流，所以電流反饋路徑因此得名。開關(guān)29還可能被配置以定義電壓檢測配置。在第一電壓檢測配置中，開關(guān)29b同路徑36相連接(第一 PMU14中所示的配置)，開關(guān) 29c同路徑31相連接，且開關(guān)29a同路徑35相連接。在該配置中，路 徑31 ("電壓反饋路徑")接近點32的電壓，所述電壓被傳送至驅(qū)動器 19的輸入端25和端口 30 (經(jīng)由開關(guān)29)這二者。如上所述，點32的 電壓考慮了電阻20的電壓降，但是未說明由電路路徑21的阻抗產(chǎn)生 的電壓降。如圖2所示，電路路徑21從點32延伸至DUT11。在該實施方式 中，電路路徑21具有大約1Q到的阻抗(在其他實施方式中，電 路路徑21的阻抗可能比這多或比這少)。該阻抗減少放大器19施加 至IJDUTU的電壓。也就是說，來自驅(qū)動器19的電流通過電路路徑21， 所述電路路徑21的阻抗引發(fā)電壓降，這導(dǎo)致施加到DUT11的電壓的 下降。對50mA的電流而言，電壓降大約為50mV到200mV，其可能 對DUTll的測試產(chǎn)生顯著的不利影響。作為說明，因此補償電路路徑 21的電壓降，第二PMU15被配置成作為檢測路徑。在該配置中，第二 PMU15的一些功能被禁用以便確保第二 PMU15不執(zhí)行PMU功能。更加具體地說，第二PMU15的驅(qū)動器40是三態(tài)的，以阻止驅(qū)動 器40輸出電流和/或電壓至DUTll。在這點上，除具有被稱作"使能" 輸入端的額外輸入端41以外，諸如驅(qū)動器40之類的三態(tài)電路類似于 普通電路。當使能輸入是"l"時，三態(tài)電路的作用就像相應(yīng)的普通(非 三態(tài))電路一樣。當使能輸入是"O"時，三態(tài)電路(在這種情況下，驅(qū) 動器40)的輸出同電路的其他部分斷開。因此，在這里，當驅(qū)動器40 是三態(tài)的時，其輸出從電阻42斷開，阻止驅(qū)動器40提供電流和/或電 壓到DUTll。當驅(qū)動器40是三態(tài)的時，第二PMU15可以被配置成作為DUT11 的檢測路徑。電路(未顯示的)經(jīng)由施加到開關(guān)44的一個或多個控制
信號配置第二 PMU15。當如此配置第二 PMU15時，開關(guān)44a和44b 分別同電路路徑46和47相連接，以便在放大器49的輸出端產(chǎn)生開路。 開關(guān)44c可以同電路路徑50相連接(顯示的)，或者開關(guān)44c可以同 電路路徑50斷開。電路路徑50作為從DUT11到第一 PMU14的直接 檢測路徑。也就是說，電路路徑50分接入DUT管腳的電壓，所述DUT 管腳接收來自第一 PMU14的加載電壓。電路路徑50具有比較高的阻 抗，并且在其檢測能力下不形成顯著的電流量。結(jié)果，沿電路路徑50 有比較小的電壓降。沿著電路路徑50的電壓因此基本上與DUT11處 的電壓相對應(yīng)。第一 PMU14經(jīng)由開關(guān)29b和29c分接DUT檢測路徑(也就是， 電路路徑50)的電壓。也就是說，開關(guān)29b和29c被配置成(如第一 PMU14所示)將電路路徑50同驅(qū)動器19的輸入端25相連接(開關(guān) 29a還可以被配置成連接到端口 30，借此輸出端口 30的DUT電壓)。 以這種方法，來自DUT11的電壓被施加到驅(qū)動器19的輸入端25。因 此，驅(qū)動器19能夠調(diào)整其輸出以補償在電路路徑21中發(fā)生的電壓降 (在點32之前的任何電壓降除外)。如圖2所示，在電路路徑50中 可以提供電壓放大器51以緩沖信號。除上述之外，PMU14至17還可以共同工作，作為電源以在測試 期間向DUT11提供電源。圖3是顯示被配置以向DUT11供電的PMU14 至17的電路圖。在該配置中，PMU14處于加載電壓模式，PMU16和 17處于加載電流方式。在該配置中，經(jīng)由第一PMU14的輸出電路路徑 21、經(jīng)由第三PMU16的輸出電路路徑61以及經(jīng)由第四PMU17的輸出 電路路徑62提供電流至DUTll。來自PMU的電流被提供給DUT11 上的電源管腳，其中他們被結(jié)合并被用于向DUT11供電。來自每個PMU的電流被以如上所述的方式提供給DUTll。如上 所述，在圖3的實施方式中，第二PMU15被配置成提供DUT11的電 壓檢測線路。執(zhí)行此以將電源管腳中的電壓維持在預(yù)定電平。如果實
質(zhì)上并不關(guān)心電源管腳中的電壓穩(wěn)定度，那么第二PMU15還可以用來 提供電流至DUT11的電源管腳(也就是，第二 PMU15可以不被配置 成作為電壓檢測路徑)。如上所述，在圖3的實施方式中，電路路徑50 (DUT檢測路徑) 將DUT 11中的電壓反饋回驅(qū)動器19。 PMU 14中的放大器26用來測 量驅(qū)動器19輸出端的電阻20中的電流，并將該電流轉(zhuǎn)換為電壓。所 獲得的輸出電壓還被經(jīng)由電路路徑66施加到PMU 16的輸入端64和 PMU 17的輸入端65。因此，在主加載PMU 14中的電流被映射到PMU 16和17中?？梢匝仉娐仿窂?6設(shè)置一個或多個放大器(未顯示)， 從而緩沖施加到輸入端64和65的信號。如上所述，PMU 16和17的 開關(guān)67和69被配置以斷開檢測路徑70和71，并通過來自點72和74 的反饋允許驅(qū)動電流的調(diào)節(jié)?？刂齐娐?未顯示)可以用來連接圖3所示的配置中的PMU 14 至17。例如，該控制電路可以控制PMU16和17的開關(guān)63和68以連 接到電路路徑66而不是連接到電壓輸入端73和75,這與PMU 14中 的Vin相對應(yīng)。如上述的情況那樣，開關(guān)63和68可以利用任何的電子 和/或機械機構(gòu)來實現(xiàn)，所述電子和/或機械機構(gòu)可用于在電路路徑之間 建立適當?shù)倪B接。在圖3的實施方式中，PMU14、 16和17的每一個都連接到DUT 11上的單個電源管腳。來自每個PMU的電流因此擴大了提供給電源管 腳的總電流。因此，例如，如果PMU14、 16和17的每一個都能夠提 供50mA，那么提供給電源管腳的總電流是150mA。提供給電源管腳 的電流量取決于許多因素，包括每個PMU能夠提供的電流量和能夠提 供電流的PMU數(shù)目。例如，如果PMU15被配置成提供電流而不是作 為檢測路徑，那么能夠提供給DUT 11的總電流將為200mA。另一方 面，PMU 14和15可能需要被用作DUT 11上的非電源管腳，那么僅余 PMU16和17來提供電源至電源管腳。
在PMU16和17中，如圖所示，開關(guān)67和69被配置成將其各自 的電流反饋路徑與驅(qū)動器87和88相連接。同樣地，如圖所示，電路 路徑66同PMU 14的電流反饋路徑相連接。該配置提供從PMU到DUT 11的輸出電流的相對有效的調(diào)節(jié)。也就是說，PMU 14、 16和17的每 一個的電流輸出量大約相同。
圖4顯示了圖3的電路的替換配置。在該配置中，PMU 14、 16 和17全部均為加載電壓模式。如所示，在圖4的電路中，開關(guān)67和 69將驅(qū)動器87和88的輸入端連接到它們各自的電壓反饋路徑，開關(guān) 29連接到電路路徑50。電路路徑66還連接到由電路路徑50提供的電 壓反饋。在該配置中，每個PMU14、 16和17輸出的電流量可以變化。
應(yīng)該注意的是盡管圖3中僅顯示了四個PMU，但是在ATE中 可以具有任意數(shù)量的PMU，并且可以用于向DUT供給電源。
在該實施方式中，在作為ATE的一部分的單個芯片上實現(xiàn)PMU14 到16，并且ATE不包括除PMU14至17以外的電源。消除ATE上的 獨立電源將減少執(zhí)行ATE所需的電路板空間量以及減少生產(chǎn)ATE所需 要的費用。
盡管圖2至4顯示了被用作第一 PMU 14的檢測路徑的第二 PMU 15，但是ATE不限于此。也就是說，第二PMU 15可以被配置成加載電 壓至DUT11，第一PMU 14可以被配置成作為第二PMU 15的檢測路徑。 可以通過重新配置它們的開關(guān)29和44并將PMU 15的反饋路徑從 DUT11連接到電路路徑66的方式來改變第一和第二PMU 14和15的功 能。參照圖2，在該替換配置中，驅(qū)動器19是三態(tài)的，開關(guān)29a同電路 路徑35相連接，開關(guān)29b同電流路徑36相連接。開關(guān)29c同電路路徑 31相連接以將電路路徑50同第一 PMU14斷開。開關(guān)44c同電路路徑 54 (DUT檢測線路)相連接，開關(guān)44b被連接以將其中的電壓施加到驅(qū) 動器40的輸入端52。因此，驅(qū)動器40的輸入端52接收來自DUT 11 的電壓，驅(qū)動器40根據(jù)該電壓補償沿著電路路徑55的電壓降。代替利用第二 PMU15作為檢測路徑，第三PMU16和/或第四 PMU17可以作為檢測路徑?？梢杂萌缟纤龊偷诙?PMU15 —樣的方 法來配置第三PMU16和第四PMU17。上述的實施方式描述了僅利用硬件實現(xiàn)的PMU。在其他實施方式 中，每個PMU的至少一部分可以利用軟件來實現(xiàn)。例如，驅(qū)動器19 和40可以受基于軟件的控制過程的控制。在該實例中，軟件可被用于 調(diào)節(jié)輸出到DUTll的電壓。也就是說，軟件可以接收檢測電壓，并根 據(jù)該接收的檢測電壓控制由第一 PMU14輸出到電路路徑21的電壓。 因此，如果在DUTll要求40V，并且檢測電壓指示80mV的電壓降， 那么軟件可以控制第一 PMU 14增加電壓輸出到40V加80mV以補償 通過電路路徑21的電壓降。圖5是顯示利用軟件實現(xiàn)ATE以控制電壓的加載和調(diào)節(jié)的處理80 的流程圖。處理80從向器件施加(81)第一電壓開始。這是通過加載 電壓到DUTll的方式執(zhí)行的。通過施加控制信號至電壓電源，或者由 任何其他的機制可以加載電壓。軟件知曉電路路徑21的阻抗，例如， 軟件可以被編程為能預(yù)先知曉阻抗。處理80利用來自PMU 14的電流 反饋路徑檢測(82) PMU 14的電流輸出。處理40調(diào)整(84)施加到 驅(qū)動器19的輸入電壓以補償通過電路路徑21的電壓降。也就是說， 處理40根據(jù)驅(qū)動器19的電流輸出和電路路徑21的阻抗來確定電壓降， 并因此調(diào)整驅(qū)動器的輸入電壓。在此描述的ATE不局限于利用如上所述的硬件和軟件。ATE能夠 以數(shù)字電子電路實現(xiàn)，或者以計算機硬件、固件、軟件或者其組合實 現(xiàn)。 ATE的至少一部分可以經(jīng)由計算機程序產(chǎn)品來實現(xiàn)，也就是在信息載體中(例如在機器可讀存儲器件中或者在傳送信號中)具體表現(xiàn) 的計算機程序，用于由數(shù)據(jù)處理裝置執(zhí)行或者控制數(shù)據(jù)處理裝置的工 作，所述數(shù)據(jù)處理裝置例如是可編程處理機、計算機或者多個計算機。 計算機程序可以以任何形式的程序設(shè)計語言來撰寫，包括編譯或者解 釋語言，并且其能夠以任何形式來推廣應(yīng)用，包括作為獨立程序或者 作為模塊、組件、子程序或者適合在計算環(huán)境中使用的其他單元。計 算機程序可以被推廣為在一個計算機上或者多個計算機上執(zhí)行，所述 多個計算機可以位于一個地點的或者被分配在多個站點中并由通信網(wǎng)絡(luò)互連。
與實現(xiàn)ATE有關(guān)的方法步驟可以由一個或多個可編程處理器執(zhí) 行，所述一個或多個可編程處理器執(zhí)行一個或多個計算機程序從而實 現(xiàn)ATE的功能。ATE的全部或者部分可以以特殊用途的邏輯電路實現(xiàn)， 例如，F(xiàn)PGA (現(xiàn)場可編程門陣列)和/或ASIC (專用集成電路)。舉例來說，適合于執(zhí)行計算機程序的處理器包括通用微處理器和 專用微處理器，以及任何種類的數(shù)字計算機的任意一個或多個處理器。 通常，處理器將接收來自只讀存儲器或者隨機存取存儲器或者這兩者 的指令和數(shù)據(jù)。計算機元件包括用于執(zhí)行指令的處理器和用于存儲指 令和數(shù)據(jù)的一個或多個存儲器件。
在如上所述的實施方式中，用于實現(xiàn)驅(qū)動器和緩沖器的放大器可 以具有一的增益，不過也可以使用其他增益。在此描述的不同實施方式的元素可以合并成在上文中沒有特別闡 述的其他實施方式。在此沒有特別描述的其他實施方式也在以下權(quán)利 要求的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1. 一種用于測試器件的電路，包括 第一測量單元，其施加加載電壓至器件；以及第二測量單元，其具有禁用的功能，第二測量單元包括接收來自 器件的檢測電壓的檢測路徑，所述檢測路徑通過第二測量單元連接至 第一測量單元；其中第一測量單元根據(jù)檢測電壓調(diào)整加載電壓。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的電路，其中，該第一測量單元基本上和 第二測量單元相同，并且第二測量單元被禁用的功能包括施加加載電 壓至器件的能力。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的電路，其中，該第二測量單元包括驅(qū)動 器，所述驅(qū)動器是三態(tài)的以禁用功能。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的電路，其中，該檢測路徑包括在其上基 本上不發(fā)生電壓降的高阻抗路徑。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的電路，其中，該第一測量單元包括 驅(qū)動器，其提供加載電壓；以及輸出路徑，通過所述輸出路徑將加載電壓施加至器件，該輸出路 徑具有產(chǎn)生電壓降的阻抗；其中該第一測量單元調(diào)整加載電壓以基本上補償所述電壓降。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的電路，其中，該第一測量單元的輸出路 徑與第二測量單元的檢測路徑相對應(yīng)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路，其中，該第一測量單元包括 驅(qū)動器，其提供加載電壓；以及 反饋路徑，其檢測在驅(qū)動器和器件之間的電壓降。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的電路，其中，該檢測路徑包括通過第二 測量單元的電路路徑。
9. 一種測試器件的方法，包括 施加第一電壓至器件；檢測在器件處的第二電壓，第二電壓對應(yīng)于在第一電壓和作為施 加第一電壓至器件的結(jié)果所經(jīng)歷的電壓降之間的差值；以及 根據(jù)第二電壓調(diào)整第一電壓；其中利用設(shè)計上基本相同的第一器件和第二器件來執(zhí)行施加和檢
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中，該第一器件和第二器件 分別包括第一和第二參數(shù)測量單元。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，該檢測第二電壓的步驟 包括將第二參數(shù)測量單元配置成作為用于檢測第二電壓的檢測路徑。
12. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的方法，其中，該第二參數(shù)測量單元是 通過控制第二參數(shù)測量單元中的電路來影響在電路路徑之間的連接的 方式配置的。
13. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中，該第二電壓包括器件管 腳處的電壓。
14. 一種供被測器件使用的自動測試設(shè)備，所述自動測試設(shè)備包括多個參數(shù)測量單元，用于調(diào)節(jié)施加到被測器件的電壓，所述多個參數(shù)測量單元包括 第一參數(shù)測量單元，其被配置成加載電壓至被測器件；以及 第二參數(shù)測量單元，其被配置成提供用于第一參數(shù)測量單元的檢測路徑，該第二參數(shù)測量單元具有與第一參數(shù)測量單元基本上相同的結(jié)構(gòu)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的自動測試設(shè)備，其中，所述多個參數(shù)測量單元還包括第三參數(shù)測量單元，其被配置成加載電壓至被測器件；以及第四參數(shù)測量單元，其被配置成提供用于第三參數(shù)測量單元的檢 測路徑，該第四參數(shù)測量單元具有與第三參數(shù)測量單元、第二參數(shù)測 量單元和第一參數(shù)測量單元基本上相同的結(jié)構(gòu)。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的自動測試設(shè)備，其中，該第一和第二 參數(shù)測量單元是僅以硬件實現(xiàn)的。
17. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的自動測試設(shè)備，其中，該第一和第二 參數(shù)測量單元是利用硬件和軟件的組合實現(xiàn)的。 —
18. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的自動測試設(shè)備，其中，該第二參數(shù)測 量單元是三態(tài)的，以禁用加載電壓至被測器件的功能。
19. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的自動測試設(shè)備，其中，該檢測路徑分 接被測器件的檢測電壓，所述檢測電壓是從檢測路徑施加到第一參數(shù) 測量單元的。
20. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的自動測試設(shè)備，其中，該第一參數(shù)測 量單元包括驅(qū)動器，檢測電壓被施加到驅(qū)動器，驅(qū)動器根據(jù)檢測電壓 調(diào)節(jié)到被測器件的電壓。
全文摘要
用于測試器件的電路包括向器件施加加載電壓的第一測量單元和具有禁用的功能的第二測量單元。第二測量單元包括從器件接收檢測電壓的檢測路徑，其中所述檢測路徑通過第二測量單元與第一測量單元相連接。第一測量單元根據(jù)檢測電壓調(diào)整加載電壓。
文檔編號G01R31/28GK101124486SQ200580043098
公開日2008年2月13日 申請日期2005年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月17日
發(fā)明者歐內(nèi)斯特·P·沃克, 羅納德·A·薩特斯奇夫 申請人:泰拉丁公司