專利名稱：中繼連接構(gòu)件、檢查裝置以及中繼連接構(gòu)件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在對指定的檢查對象進(jìn)行檢查時(shí)，將一端與形成在所述檢查對象上的多個(gè)端子相接觸的多個(gè)探針的另一端、與輸出所述檢查所使用的檢查信號的檢查電路之間進(jìn)行電連接的中繼連接構(gòu)件、使用了中繼連接構(gòu)件的檢查裝置、以及中繼連接構(gòu)件的制造方法。
背景技術(shù)：
以往，公知一種用于對液晶面板等電子零件進(jìn)行電特性檢查的檢查裝置。作為這樣的檢查裝置，如圖5所示，是由以下幾個(gè)部分形成，即與作為電子零件的檢查對象101所具備的端子101a相對應(yīng)設(shè)置的多個(gè)探針102；保持多個(gè)探針的探針保持具(probe holder)103；進(jìn)行指定的檢查信號的輸出等的檢查電路105；以及用于對探針和檢查電路之間進(jìn)行電連接的中繼連接構(gòu)件104。通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，檢查時(shí)由檢查電路105輸出的檢查信號，經(jīng)由在中繼連接構(gòu)件104具備的片體構(gòu)件107上形成的配線構(gòu)造106以及探針102，輸入到作為檢查對象101的電子零件，經(jīng)過電子零件內(nèi)的電路處理后的響應(yīng)信號經(jīng)由探針102以及配線構(gòu)造106被輸入到檢查電路105(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
檢查電路105雖然也可以采用專用的電子電路，但是例如在進(jìn)行電子零件的動作試驗(yàn)等情況下，優(yōu)選使用將電子零件實(shí)際安裝到產(chǎn)品上的時(shí)候?qū)嶋H使用的電子電路。例如，在進(jìn)行液晶面板檢查的檢查裝置中，一般使用實(shí)際安裝時(shí)所用的具備驅(qū)動IC的TAB(Tape Automated Bonding)作為檢查電路105。用產(chǎn)品層次所使用的電子電路作為檢查電路105的理由是，優(yōu)選在接近實(shí)際使用狀況的條件下進(jìn)行檢查，以及可避免另外制作檢查專用的電子電路而造成的檢查成本的增加。
專利文獻(xiàn)1日本特開平8-222299號公報(bào)。
但是，以往的檢查裝置卻具有這樣的問題無法排除中繼連接構(gòu)件104與探針102的電連接以及中繼連接構(gòu)件104與檢查電路105的電連接發(fā)生不良的可能性。以下，針對此問題進(jìn)行說明。
液晶面板等電子零件近年來小型化的傾向顯著，隨著這樣的傾向，在檢查時(shí)進(jìn)行檢查信號的輸入輸出的多個(gè)端子方面，也有小型化以及鄰接的端子間隔狹小化的傾向。對應(yīng)于這樣的傾向，在檢查裝置中，也產(chǎn)生了將探針102的配置間隔、以及中繼連接構(gòu)件104中形成的多個(gè)配線構(gòu)造106的間隔狹小化的必要。因此，在以往的檢查裝置中，特別是為了在探針102和形成在中繼連接構(gòu)件104中的配線構(gòu)造106之間進(jìn)行電連接，必須在探針102與中繼連接構(gòu)件104之間進(jìn)行十分正確的對位，使得檢查裝置的制作變得困難。
此外，在以往的檢查裝置中，探針102與中繼連接構(gòu)件104中的配線構(gòu)造106的連接，并不是利用焊錫等進(jìn)行固定而實(shí)現(xiàn)的，而是由與配線構(gòu)造106分別形成的探針102，在對配線構(gòu)造106施加規(guī)定負(fù)荷的同時(shí)與配線構(gòu)造106進(jìn)行物理性的接觸而實(shí)現(xiàn)的。因此，探針102在位置已偏移的狀態(tài)下與配線構(gòu)造106接觸時(shí)、或在探針102與配線構(gòu)造106接觸后位置才偏移的情況下，配線構(gòu)造106的形狀因?yàn)榕c探針102之間產(chǎn)生的摩擦力而發(fā)生變化，產(chǎn)生在相鄰接的配線構(gòu)造間發(fā)生電短路等新的問題。
再者，以往的檢查裝置，在中繼連接構(gòu)件104與檢查電路105之間的電連接方面也有問題。如圖5所示，檢查對象101所具備的端子101a與配線構(gòu)造106以相向的狀態(tài)通過探針102而實(shí)現(xiàn)電連接，結(jié)果，與映照在鏡中的道理一樣，圖5中關(guān)于紙面垂直方向的多個(gè)端子101a的排列圖案翻轉(zhuǎn)后的圖案就是配線構(gòu)造106上的圖案。因此，檢查電路105必須要和排列圖案翻轉(zhuǎn)了的中繼連接構(gòu)件104電連接，如圖5所示，中繼連接構(gòu)件104與檢查電路105，有必要以“ㄑ”字的形狀連接。因?yàn)檫@樣的連接樣態(tài)在物理性上是很牽強(qiáng)的構(gòu)造，會發(fā)生例如在物理強(qiáng)度低的部分配線構(gòu)造106等產(chǎn)生斷線等新的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述情況而提出，目的在于實(shí)現(xiàn)可對應(yīng)檢查對象具有的端子的狹小化，同時(shí)能夠充分確保與檢查對象的電連接以及內(nèi)部的電連接的檢查裝置、構(gòu)成檢查裝置的中繼連接構(gòu)件以及中繼連接構(gòu)件的制造方法。
為了解決上述課題，達(dá)成本發(fā)明的目的，第一發(fā)明的中繼連接構(gòu)件，在對規(guī)定的檢查對象進(jìn)行檢查時(shí)，所述中繼連接構(gòu)件對一端與形成在所述檢查對象上的多個(gè)端子接觸的多個(gè)探針的另一端、與輸出所述檢查使用的檢查信號的檢查電路之間進(jìn)行電連接，所述中繼連接構(gòu)件的特征在于，具有第一連接構(gòu)件，其形成有多個(gè)第一配線構(gòu)造，所述第一配線構(gòu)造在各自的一端與多個(gè)所述探針的另一端電連接，鄰接的所述第一配線構(gòu)造彼此位于不同的層上，另一端以規(guī)定長度以上的長度露出于表面；以及第二連接構(gòu)件，其在同一層上形成有多個(gè)第二配線構(gòu)造，所述第二配線構(gòu)造在一端與只以規(guī)定長度露出于表面的所述第一配線構(gòu)造的另一端接觸，在另一端與所述檢查電路電連接。
依據(jù)該第一發(fā)明，由于具備有通過使相鄰接的第一配線構(gòu)造形成于不同的層上以擴(kuò)大同一層上的第一配線構(gòu)造的間隔，而可充分確保探針與第一配線構(gòu)件之間的電導(dǎo)通的第一連接構(gòu)件；以及通過將對第一連接構(gòu)件與檢查電路進(jìn)行電連接的第二配線構(gòu)造形成于同一面上而可充分確保與檢查電路的電連接的第二連接構(gòu)件，因此可充分確保探針與檢查電路之間的電導(dǎo)通。
另外，第二發(fā)明的中繼連接構(gòu)件的特征在于，在上述的發(fā)明中，所述第一連接構(gòu)件具有層疊了多個(gè)片體構(gòu)件的結(jié)構(gòu)，所述片體構(gòu)件由絕緣構(gòu)件形成，在所述片體構(gòu)件的上表面形成有一個(gè)以上的所述第一配線構(gòu)造，相鄰的所述第一配線構(gòu)造形成在互不相同的片體構(gòu)件上。
另外，第三發(fā)明的檢查裝置，對于規(guī)定的檢查對象，通過該檢查對象所具備的多個(gè)端子對電信號進(jìn)行輸入輸出，以進(jìn)行檢查，其特征在于，具有多個(gè)探針，所述多個(gè)探針的一端與形成在所述檢查對象上的多個(gè)所述端子分別接觸；探針保持具，其在與所述端子對應(yīng)的位置收容多個(gè)所述探針；第一連接構(gòu)件，其形成有多個(gè)第一配線構(gòu)造，所述第一配線構(gòu)造在各自的一端與多個(gè)所述探針的另一端電連接，鄰接的所述第一配線構(gòu)造彼此位于不同的層上，另一端以規(guī)定長度以上的長度露出于表面；第二連接構(gòu)件，其在同一層上形成有多個(gè)第二配線構(gòu)造，所述第二配線構(gòu)造在一端與只以規(guī)定長度露出于表面的所述第一配線構(gòu)造的另一端接觸，在另一端與所述檢查電路電連接；以及檢查電路，其與所述第二連接構(gòu)件電連接，對所述第二連接構(gòu)件至少輸出檢查信號。
另外，第四發(fā)明的中繼連接構(gòu)件的制造方法，在對規(guī)定的檢查對象進(jìn)行檢查時(shí)，所述中繼連接構(gòu)件對與形成在所述檢查對象上的多個(gè)端子接觸的多個(gè)探針、與輸出所述檢查使用的檢查信號的檢查電路之間進(jìn)行電連接，所述中繼連接構(gòu)件的制造方法的特征在于，包括配線形成工序，在單一的片體構(gòu)件的表面上，形成從一方的端部延伸至中央附近的多個(gè)第一配線、以及從另一方的端部延伸至中央附近并且在中央附近位于相鄰接的所述第一配線之間而形成的第二配線；片體分割工序，通過在所述第一配線及所述第二配線延伸的方向上，將所述片體構(gòu)件分割成只形成有所述第一配線的第一區(qū)域、只形成有所述第二配線的第二區(qū)域、及形成有所述第一配線及所述第二配線這雙方的第三區(qū)域，形成第一片體構(gòu)件、第二片體構(gòu)件及第三片體構(gòu)件；層疊工序，對所述第一片體構(gòu)件及所述第二片體構(gòu)件進(jìn)行層疊，使得所述第一配線和所述第二配線的排列圖案與所述第三片體構(gòu)件中的排列圖案大致相同；以及固定工序，在將所述第一片體構(gòu)件及所述第二片體構(gòu)件的層疊構(gòu)造中的所述第一配線及所述第二配線的端部、與所述第三片體構(gòu)件中的所述第一配線及所述第二配線的端部電連接了的狀態(tài)下，對所述第一、第二及第三片體構(gòu)件的相互間的位置關(guān)系進(jìn)行固定。
依據(jù)該第四發(fā)明，由于在單一的片體構(gòu)件上橫跨第一至第三區(qū)域連續(xù)形成規(guī)定的第一配線及第二配線，因此不必對第一、第二及第三片體構(gòu)件的各個(gè)構(gòu)件分別獨(dú)立形成配線圖案，而且可抑制分離后在配線間發(fā)生位置偏移的問題，可制造電導(dǎo)通良好的中繼連接構(gòu)件。
另外，第五發(fā)明的中繼連接構(gòu)件的制造方法的特征在于，在上述的發(fā)明中，還包括標(biāo)志形成工序，在所述層疊工序之前，在所述第一片體構(gòu)件及所述第二片體構(gòu)件的至少任一方上，形成用于與另一方進(jìn)行對位的對位標(biāo)志，在所述層疊工序中，使用所述對位標(biāo)志，在進(jìn)行所述第一片體構(gòu)件和所述第二片體構(gòu)件之間的對位的同時(shí)進(jìn)行層疊。
本發(fā)明的中繼連接構(gòu)件及檢查裝置，由于具有通過使相鄰接的第一配線構(gòu)造形成于不同的層上，擴(kuò)大同一層上的第一配線構(gòu)造的間隔，而可以充分確保探針與第一配線構(gòu)造之間的電導(dǎo)通的第一連接構(gòu)件；以及通過將對第一連接構(gòu)件與檢查電路進(jìn)行電連接的第二配線構(gòu)造形成于同一面上而可以充分確保與檢查電路電連接的第二連接構(gòu)件，所以具有可以充分確保探針與檢查電路之間的電導(dǎo)通的效果。
另外，本發(fā)明的中繼連接構(gòu)件的制造方法，由于在單一的片體構(gòu)件上橫跨第一至第三區(qū)域連續(xù)形成規(guī)定的第一配線及第二配線，因此不必對第一、第二及第三片體構(gòu)件的各個(gè)構(gòu)件分別獨(dú)立形成配線圖案，而且可以抑制分離后在配線間發(fā)生位置偏移的問題，從而具有可以制造電導(dǎo)通良好的中繼連接構(gòu)件效果。


圖1是表示實(shí)施方式的檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)的模式圖；圖2是詳細(xì)表示構(gòu)成檢查裝置的第一連接構(gòu)件的探針附近部分的構(gòu)造模式圖；圖3是用于說明構(gòu)成檢查裝置的第一連接構(gòu)件、第二連接構(gòu)件以及檢查電路相互間的連接形態(tài)的模式圖；圖4是用于說明構(gòu)成檢查裝置的中繼連接構(gòu)件的制造方法的模式圖；圖5是表示以往的檢查裝置的結(jié)構(gòu)的模式圖。
圖中，1、101-檢查對象；2、101a-端子；3、102-探針；4、103-探針支持具；5、105-檢查電路；5a-IC芯片；6、104-中繼連接構(gòu)件；7、7a～7d、105a、106-配線構(gòu)造；8-第一連接構(gòu)件；9-第二連接構(gòu)件；10-加強(qiáng)構(gòu)件；11、11a～11d-第一配線構(gòu)造；12、12a～12d-第一配線構(gòu)造；13、14、15、21、107-片體構(gòu)件；16、16a～16d-第二配線構(gòu)造；18a～18d、19a～19d-連接焊盤；21a-中央?yún)^(qū)域；21b，21c-端部區(qū)域；22a～22h-第一配線；23a～23i-第二配線；24a～24h、25a～25i-焊盤(pad)；26-對準(zhǔn)標(biāo)記；S、S11、S11a、S11b、S12、S12a、S12b、S16a、S16b、S16c、S16d、T7、T7a、T7b、T7c、T7d、T16a、T16b、T16c、T16d-點(diǎn)劃線區(qū)域。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖詳細(xì)說明用于實(shí)施本發(fā)明的檢查裝置以及構(gòu)成檢查裝置的中繼連接構(gòu)件的最佳方式(以下稱為“實(shí)施方式”)。不過，應(yīng)該注意附圖為模式圖，各部分厚度與寬度的關(guān)系、各個(gè)部分的厚度的比例等與實(shí)際的會有差異，附圖相互之間當(dāng)然也包含有相互的尺寸關(guān)系或比例不同的部分。
圖1是表示實(shí)施方式的檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)的模式圖。如圖1所示，本實(shí)施方式的檢查裝置具備一端與檢查對象1所具備的端子2接觸的探針3；將探針3保持在規(guī)定位置的探針保持具4；通過探針3而對檢查對象1至少輸出檢查信號的檢查電路5；以及用于對探針3與檢查電路5進(jìn)行電連接的中繼連接構(gòu)件6。
探針3在檢查時(shí)，一端與檢查對象1所具備的端子2接觸，另一端與第一配線構(gòu)造11、12(后述)接觸，由此使檢查電路5與檢查對象1之間電連接。具體而言，探針3是由局部具備彈簧等彈性構(gòu)件的伸縮自如的導(dǎo)電性構(gòu)件所形成，具有通過在對端子2等接觸對象施加規(guī)定的按壓力的同時(shí)進(jìn)行接觸，而與接觸對象電導(dǎo)通的功能。另外，本實(shí)施方式中，形成在檢查對象1上的端子2設(shè)置有多個(gè)，本實(shí)施方式的檢查裝置，具備與多個(gè)端子2對應(yīng)的多個(gè)探針3。
探針保持具4用于將多個(gè)探針3保持在規(guī)定的位置。也就是說，探針3通過分別與形成在檢查對象1上的多個(gè)端子2接觸而與端子2電導(dǎo)通，探針保持具4具有保持多個(gè)探針3位于預(yù)先確定的位置的功能，使多個(gè)探針3可以形成良好的導(dǎo)通狀態(tài)。具體的保持方式是，探針保持具4由例如板狀體形成，使探針3在形成于該板狀體的貫通口內(nèi)且兩端從板狀體的表面略為突出，以此種方式保持探針3。
檢查電路5是在進(jìn)行檢查對象1的電特性檢查時(shí)，用于對檢查對象1輸出檢查所需的檢查信號的電路。具體而言，檢查電路5具有如下結(jié)構(gòu)該檢查電路5搭載有由TAB等構(gòu)成的、且包含生成例如檢查信號的電子電路的IC芯片5a，并且該檢查電路5具有用于對IC芯片5a與中繼連接構(gòu)件6進(jìn)行電連接的配線構(gòu)造7。另外，檢查電路5可采用另外制作的具備檢查專用電子電路的電路。不過在本實(shí)施方式中，是直接沿用在將檢查對象1作為產(chǎn)品的一部分進(jìn)行安裝的時(shí)候，對于檢查對象1進(jìn)行動作信號等的輸入輸出的電路。即，例如如果檢查對象1是液晶面板，則在使用液晶面板制作顯示器時(shí)，將對液晶面板輸入像素信號等的驅(qū)動電路作為檢查電路5。像這樣沿用既有的電子電路，既可以實(shí)現(xiàn)切合現(xiàn)實(shí)動作的檢查，又可以降低檢查裝置的制造成本。
下面，針對中繼連接構(gòu)件6進(jìn)行說明。如圖1所示，中繼連接構(gòu)件6是由如下部分構(gòu)成的，即用于和探針3電連接的第一連接構(gòu)件8；用于對第一連接構(gòu)件8與檢查電路5之間進(jìn)行電連接的第二連接構(gòu)件9；以及用于防止第一連接構(gòu)件8的彎曲等的加強(qiáng)構(gòu)件10。
第一連接構(gòu)件8具有在另一端分別與對應(yīng)的探針3電連接，并且形成在互不相同的層上的第一配線構(gòu)造11、12。具體而言，如圖1所示，第一連接構(gòu)件8具有將片體構(gòu)件13、14順次層疊的結(jié)構(gòu)，通過在片體構(gòu)件13、14的各自的表面上分別預(yù)先形成第一配線構(gòu)造11、12，而實(shí)現(xiàn)第一配線構(gòu)造11、12形成在不同的層上的結(jié)構(gòu)。
片體構(gòu)件13、14由膜厚很薄、柔軟性很好的片狀絕緣性構(gòu)件形成。具體而言，片體構(gòu)件13、14是例如以用作FPC(Flexible Printed Circuit)基材的聚酰亞胺等為材料而形成的。另外，如圖1所示，位于層疊構(gòu)造下層的片體構(gòu)件13的結(jié)構(gòu)是，為了使形成的第一配線構(gòu)造11能夠與探針3等電連接，而具有在第一配線構(gòu)造11、12的延伸方向上超出片體構(gòu)件14而延伸的結(jié)構(gòu)，且具有使第一配線構(gòu)造11延伸到超出片體構(gòu)件14而延伸的部分的構(gòu)造。
第一配線構(gòu)造11、12，作為探針3與形成在第二連接構(gòu)件9上的第二配線構(gòu)造16(后述)之間的導(dǎo)通通路而起作用。具體而言，第一配線構(gòu)造11以及12對應(yīng)于探針3各形成有多個(gè)，且第一配線構(gòu)造11與第一配線構(gòu)造12形成于不同的層上。鄰接的第一配線構(gòu)造之中，一方為第一配線構(gòu)造11，另一方為第一配線構(gòu)造12。即，鄰接的第一配線構(gòu)造形成為位于不同的層上。另外，第一配線構(gòu)造11的結(jié)構(gòu)是，雖然相對于第一配線構(gòu)造12位于下層，但對應(yīng)于作為基材的片體構(gòu)件13具有超出片體構(gòu)件14而延伸的部分的情況，第一配線構(gòu)造11延伸至該部分而形成，因此端部附近露出于表面上。
第二連接構(gòu)件9用于對構(gòu)成第一連接構(gòu)件8的第一配線構(gòu)造11、12與檢查電路5進(jìn)行電連接。具體而言，第二連接構(gòu)件9具有在片體構(gòu)件15上形成有多個(gè)第二配線構(gòu)造16的結(jié)構(gòu)，并具有利用第二配線構(gòu)造16而對第一配線構(gòu)造11、12與檢查電路5進(jìn)行電連接的功能。還有，多個(gè)第二配線構(gòu)造16具有分別形成于同一片體構(gòu)件15上、即同一層上的構(gòu)造。
加強(qiáng)構(gòu)件10用于加強(qiáng)第一連接構(gòu)件8。如上所述，第一連接構(gòu)件8的一方的端部具有通過第一配線構(gòu)造11、12與探針3接觸而相對于探針3電導(dǎo)通的結(jié)構(gòu)，因此在探針3與第一連接構(gòu)件8之間作用有規(guī)定的按壓力。另一方面，由于第一連接構(gòu)件8的作為基材發(fā)揮作用的片體構(gòu)件13、14由柔軟性很好的片狀的構(gòu)件所形成，因此，片體構(gòu)件13、14在由探針3施加的按壓力的作用下會彎曲，從而探針3與第一配線構(gòu)造11、12并不會貼緊，兩者之間的導(dǎo)通狀態(tài)有惡化的危險(xiǎn)。因此，本實(shí)施方式另外具備加強(qiáng)構(gòu)件10來加強(qiáng)第一連接構(gòu)件8，以實(shí)現(xiàn)第一配線構(gòu)造11、12的端部與探針3之間良好的電導(dǎo)通。
下面，針對在構(gòu)成第一連接構(gòu)件8的第一配線構(gòu)造11、12中，與探針3接觸一側(cè)的端部的構(gòu)造進(jìn)行詳細(xì)說明。圖2是表示第一連接構(gòu)件8中與探針3接觸一側(cè)的端部的一部分的平面圖。另外，圖2示意地表示了從探針3側(cè)看到的第一連接構(gòu)件8的平面構(gòu)造，無法直接目視的部分用虛線表示。而且，在圖2等中，為了使存在的多個(gè)第一配線構(gòu)造11、12相互區(qū)別，依需要附加a、b等下標(biāo)符號。此外，關(guān)于第一配線構(gòu)造11、12的個(gè)數(shù)，很顯然的沒有必要限定于圖2等的例子來加以解釋。
如圖2所示，形成在片體構(gòu)件13上的第一配線構(gòu)造11a～11d、以及形成在片體構(gòu)件14上的第一配線構(gòu)造12a～12d，其平面構(gòu)造具有相互交錯(cuò)配置的構(gòu)造。具體而言，在從探針3側(cè)看第一連接構(gòu)件8時(shí)，呈第一配線構(gòu)造11a、12a、11b、12b、……這樣排列，從探針3側(cè)看，相鄰接的第一配線構(gòu)造，是以位于互不相同的層(片體構(gòu)件13或片體構(gòu)件14)上的方式形成的。通過采用這樣的構(gòu)造，如圖2所示，與在單一層上形成了第一配線構(gòu)造的情況相比較，形成在同一層上的第一配線構(gòu)造的間隔是約2倍的值。
另外，在第一配線構(gòu)造11a～11d以及第一配線構(gòu)造12a～12d的端部，分別形成有連接焊盤(pad)18a～18d以及連接焊盤19a～19d，這些連接焊盤18a～18d以及連接焊盤19a～19d，在與延伸方向垂直的方向上具有比第一配線構(gòu)造寬的寬度，并分別以所謂交錯(cuò)格狀配置的方式形成。具體而言，例如連接焊盤18a～18d的情況，在第一配線構(gòu)造11的延伸方向上，連接焊盤18a、18c形成在相同的位置，另一方面，連接焊盤18b、18d、則形成在與連接焊盤18a等不同的位置上。即，連接焊盤18a～18d以及連接焊盤19a～19d，在第一配線構(gòu)造的延伸方向上，分別以鄰接的連接焊盤之間位置不同的方式形成。
下面，針對第一連接構(gòu)件8、第二連接構(gòu)件9以及檢查電路5相互間的電連接關(guān)系進(jìn)行說明。圖3是用于說明第一連接構(gòu)件8、第二連接構(gòu)件9以及檢查電路5相互間的連接方式的模式圖。以下，參照圖3說明連接方式。
首先，說明第一連接構(gòu)件8與第二連接構(gòu)件9之間的連接方式。第一連接構(gòu)件8與第二連接構(gòu)件9之間的電連接，具體而言是如下實(shí)現(xiàn)的是通過在第一連接構(gòu)件8所具備的第一配線構(gòu)造11、12的端部與第二連接構(gòu)件9所具備的第二配線構(gòu)造16的端部相接觸了的狀態(tài)下，對第一連接構(gòu)件8與第二連接構(gòu)件9之間的位置關(guān)系進(jìn)行固定而實(shí)現(xiàn)的。另外，基于將第一配線構(gòu)造11、12與第二配線構(gòu)造16之間的接觸電阻抑制到實(shí)際應(yīng)用沒有問題的程度的觀點(diǎn)，在本實(shí)施方式中，需要確保第一配線構(gòu)造11、12與第二配線構(gòu)造16相互接觸的部分只具有規(guī)定的配線長度d1。
為了在第一配線構(gòu)造11中確保該配線長度d1，本實(shí)施方式中，第一連接構(gòu)件8在與第二連接構(gòu)件9連接的一側(cè)，具有片體構(gòu)件13超出片體構(gòu)件14而延伸的構(gòu)造。如上所述，第一配線構(gòu)造11是以片體構(gòu)件13作為基材而形成的，且形成于片體構(gòu)件14的下層。因此，為了與第二配線構(gòu)造16連接，需要形成配線長度d1的范圍露出于第一連接構(gòu)件8的表面之上的構(gòu)造，為了確保該配線長度d1，采用使作為基材的片體構(gòu)件13超出片體構(gòu)件14而延伸的構(gòu)造。此外，在本實(shí)施方式中，第一配線構(gòu)造12雖然具有整體都露出于第一連接構(gòu)件8的表面上的構(gòu)造，但即使在假如采用由保護(hù)層等加以覆蓋的構(gòu)造時(shí)，也最好與第一配線構(gòu)造11的情況一樣，采用在與第二連接構(gòu)件9連接的一側(cè)的端部只露出配線長度d1的構(gòu)造。
相對于上述構(gòu)造的第一連接構(gòu)件8，第二連接構(gòu)件9所具備的第二配線構(gòu)造16，需要有相當(dāng)于配線長度d1的大約2倍的配線長度d2的范圍作為與第一配線構(gòu)造11、12接觸的區(qū)域。如上所述，第一連接構(gòu)件8具有的結(jié)構(gòu)是，為了使位于下層側(cè)的第一配線構(gòu)造11露出于表面，使片體構(gòu)件13超出片體構(gòu)件14而延伸。此處，由于片體構(gòu)件14作為第一配線構(gòu)造12的基材起作用，因此如圖3所示，形成在片體構(gòu)件13上的第一配線構(gòu)造11具有的結(jié)構(gòu)是，比形成在片體構(gòu)件14上的第一配線構(gòu)造12還朝向第二連接構(gòu)件9一側(cè)只延伸了與配線長度d1大致相等的長度。另外，多個(gè)第二配線構(gòu)造16需要分別與第一配線構(gòu)造11、12的任何一方接觸，但不管和哪一方接觸，為了實(shí)現(xiàn)對于任意一方都能夠接觸的構(gòu)造，接觸所需的配線長度d2需要為配線長度d1的大約2倍的值。
像這樣，通過采用連接用的區(qū)域確保有只是規(guī)定的配線長度的第一配線構(gòu)造11、12以及第二配線構(gòu)造16，第一連接構(gòu)件8及第二連接構(gòu)件9被電連接。即，在第一配線構(gòu)造11、12與第二配線構(gòu)造16相向的狀態(tài)(在圖3的例子中是第二連接構(gòu)件9相對于第一連接構(gòu)件8位于紙面垂直上方)下，第一連接構(gòu)件8與第二連接構(gòu)件9的端部重合，并通過使用例如ACF(Anisotropic Conductive Film各向異性導(dǎo)電性粘結(jié)劑)將兩者的位置關(guān)系加以固定。
更具體地說，在第一連接構(gòu)件8與第二連接構(gòu)件9相互固定了的狀態(tài)下，依照圖3中由兩側(cè)箭頭聯(lián)結(jié)的點(diǎn)劃線區(qū)域彼此相互接觸，進(jìn)行電導(dǎo)通。即，例如第一配線構(gòu)造11a的點(diǎn)劃線區(qū)域S11a，在其與第二配線構(gòu)造16a的點(diǎn)劃線區(qū)域S16a相接觸了的狀態(tài)下被固定，通過該接觸狀態(tài)，第一配線構(gòu)造11a與第二配線構(gòu)造16a之間在配線長度d1的范圍接觸，充分降低了接觸電阻，實(shí)現(xiàn)了良好的電導(dǎo)通。此外，第一配線構(gòu)造12a的點(diǎn)劃線區(qū)域S12a，在其與第二配線構(gòu)造16b的點(diǎn)劃線區(qū)域S16b相接觸了的狀態(tài)下被固定，第一配線構(gòu)造11b的點(diǎn)劃線區(qū)域S11b，在其與第二配線構(gòu)造16c的點(diǎn)劃線區(qū)域S16c相接觸了的狀態(tài)下被固定，第一配線構(gòu)造12b的點(diǎn)劃線區(qū)域S12b，在其與第二配線構(gòu)造16d的點(diǎn)劃線區(qū)域S16d相接觸了的狀態(tài)下被固定。如此，形成于第一連接構(gòu)件8的所有的第一配線構(gòu)造，與形成于第二連接構(gòu)件9的所有的第二配線構(gòu)造，在各個(gè)對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)良好的電導(dǎo)通。
下面，說明第二連接構(gòu)件9與檢查電路5之間的連接方式。第二連接構(gòu)件9與檢查電路5之間的電連接，具體而言，是通過第二連接構(gòu)件9所具備的第二配線構(gòu)造16的端部與檢查電路5所具備的配線構(gòu)造7的端部相接觸而實(shí)現(xiàn)的。
在使第二配線構(gòu)造16的端部與配線構(gòu)造7的端部相接觸的情況下，為了降低接觸電阻，而使其在整個(gè)配線長度d1的區(qū)域接觸。因此，第二配線構(gòu)造16在與檢查電路5接觸一側(cè)的端部確保配線長度d1的區(qū)域作為接觸區(qū)域，配線構(gòu)造7也同樣確保有配線長度d1的區(qū)域。然后，利用ACF等固定第二連接構(gòu)件9與檢查電路5之間的位置關(guān)系，使得上述確保的區(qū)域彼此相接觸，實(shí)現(xiàn)電導(dǎo)通。具體而言，通過分別使位于第二配線構(gòu)造16a的端部的點(diǎn)劃線區(qū)域T16a與位于配線構(gòu)造7a的端部的點(diǎn)劃線區(qū)域T7a接觸，使位于第二配線構(gòu)造16b的端部的點(diǎn)劃線區(qū)域T16b與位于配線構(gòu)造7b的端部的點(diǎn)劃線區(qū)域T7b接觸，使位于第二配線構(gòu)造16c的端部的點(diǎn)劃線區(qū)域T16c與位于配線構(gòu)造7c的端部的點(diǎn)劃線區(qū)域T7c接觸，使位于第二配線構(gòu)造16d的端部的點(diǎn)劃線區(qū)域T16d與位于配線構(gòu)造7d的端部的點(diǎn)劃線區(qū)域T7d接觸，實(shí)現(xiàn)第二連接構(gòu)件9與檢查電路5的電連接。
下面，說明本實(shí)施方式的檢查裝置的制造方法的一個(gè)例子。以下，在構(gòu)成檢查裝置的構(gòu)件之中，針對由第一連接構(gòu)件8與第二連接構(gòu)件9所構(gòu)成的中繼連接構(gòu)件6的制造方法進(jìn)行說明。
圖4是用于說明構(gòu)成中繼連接構(gòu)件的第一連接構(gòu)件8及第二連接構(gòu)件9的制造方法的模式圖。如圖4所示，首先在單一的片體構(gòu)件21上形成規(guī)定的配線圖案。片體構(gòu)件21由位于中央的中央?yún)^(qū)域21a(對應(yīng)于權(quán)利要求中的第三區(qū)域)、位于兩端部的端部區(qū)域21b(對應(yīng)于權(quán)利要求中的第一區(qū)域)、以及端部區(qū)域21c(對應(yīng)于權(quán)利要求中的第二區(qū)域)所構(gòu)成，且在中央?yún)^(qū)域21a及端部區(qū)域21b、21c分別以不同的圖案形成配線。
具體而言，在片體構(gòu)件21上，形成從中央?yún)^(qū)域21a到端部區(qū)域21b的第一配線22a～22h、并形成從中央?yún)^(qū)域21a到端部區(qū)域21c的第二配線23a～23i。第一配線22a～22h及第二配線23a～23i分別具有大致平行延伸的結(jié)構(gòu)，另一方面，在中央?yún)^(qū)域21a以交錯(cuò)排列的方式形成第一配線及第二配線。更具體地說，如圖4所示，以第二配線23a、第一配線22a、第二配線23b、第一配線22b、……、第一配線22h、第二配線23i的順序依次排列的方式形成配線圖案。此外，在片體構(gòu)件21的端部附近，分別與第一配線22a～22h及第二配線23a～23i的各配線對應(yīng)而形成焊盤24a～24h及焊盤25a～25i。另外，為了后述的對位時(shí)的方便，在圖4的例子中在端部區(qū)域21c上形成對位用的對準(zhǔn)標(biāo)記26(作為權(quán)利要求中的對位標(biāo)志的一個(gè)例子起作用)。
然后，沿著圖4所示的虛線將片體構(gòu)件21分割成中央?yún)^(qū)域21a、端部區(qū)域21b及端部區(qū)域21c三片。分割出的中央?yún)^(qū)域21a、端部區(qū)域21b及端部區(qū)域21c三片分別作為權(quán)利要求中的第三片體構(gòu)件、第一片體構(gòu)件以及第二片體構(gòu)件的一個(gè)例子起作用。形成了規(guī)定的配線圖案的中央?yún)^(qū)域21a、端部區(qū)域21b及端部區(qū)域21c，分別構(gòu)成中繼連接構(gòu)件6所具備的片體構(gòu)件15、片體構(gòu)件13及片體構(gòu)件14，且形成于各區(qū)域上的配線圖案，將圖4與圖3對比即很清楚，分別構(gòu)成第二配線構(gòu)造16、第一配線構(gòu)造12、第一配線構(gòu)造11。即，所形成的第一配線22a～22h及第二配線23a～23i之中，殘存于中央?yún)^(qū)域21a上的部分分別構(gòu)成第二配線構(gòu)造16，殘存于端部區(qū)域21b的部分分別構(gòu)成第一配線構(gòu)造12，殘存于端部區(qū)域21c的部分分別構(gòu)成第一配線構(gòu)造11。另外，焊盤24及焊盤25分別構(gòu)成連接焊盤19及連接焊盤18。
然后，將與用于形成第一連接構(gòu)件8的片體構(gòu)件14及片體構(gòu)件13對應(yīng)的端部區(qū)域21b、端部區(qū)域21c順次層疊并固定。在上述工序中，優(yōu)選通過上述的對準(zhǔn)標(biāo)記26來正確地進(jìn)行端部區(qū)域21b、端部區(qū)域21c的對位。例如，在圖4所示的例子中，對準(zhǔn)標(biāo)記26表示端部區(qū)域21b的中央?yún)^(qū)域21a側(cè)的端部(圖4中以虛線部分表示的一側(cè)的端部)的位置，通過使端部區(qū)域21b的端部與對準(zhǔn)標(biāo)記26的位置一致來進(jìn)行層疊及固定，即可正確地對準(zhǔn)端部區(qū)域21b、端部區(qū)域21c間的位置關(guān)系。
另一方面，中央?yún)^(qū)域21a與形成于表面上的第一配線22a～22h及第二配線23a～23i共同形成第二連接構(gòu)件9。因此，相對于層疊了端部區(qū)域21b、端部區(qū)域21c而成的構(gòu)造，將中央?yún)^(qū)域21a以配線構(gòu)造彼此相互電連接的方式、即以滿足圖3所示的連接關(guān)系的方式加以粘結(jié)固定，完成中繼連接構(gòu)件6。
下面，說明本實(shí)施方式的檢查裝置的優(yōu)點(diǎn)。首先，本實(shí)施方式的檢查裝置在第一連接構(gòu)件8，具有相互鄰接的第一配線構(gòu)造11、12形成于不同的層上而獲得的優(yōu)點(diǎn)。如圖2所示，通過使相互鄰接的第一配線構(gòu)造11、12形成于不同的層(即片體構(gòu)件13、14)上，可以將形成于同一層上的多個(gè)第一配線構(gòu)造11以及多個(gè)第一配線構(gòu)造12的配置間隔擴(kuò)大為探針3的配置間隔的兩倍。因此，具備這樣的優(yōu)點(diǎn)如圖2所示，可增大用于與探針3的端部接觸的連接焊盤18、19的面積，易于進(jìn)行探針3與連接焊盤18、19間的對位，同時(shí)可以抑制因?yàn)榕c探針3之間的摩擦力而引起的配線構(gòu)造(連接焊盤)的變形。
此外，本實(shí)施方式中，就分別形成于片體構(gòu)件13上的多個(gè)連接焊盤18、分別形成于片體構(gòu)件14上的多個(gè)連接焊盤19而言，具有相鄰接的連接焊盤彼此配置在第一配線構(gòu)造的延伸方向上不同的位置的構(gòu)造。通過采用此種構(gòu)造，可以進(jìn)一步增大連接焊盤18、19各自的面積。即，例如在圖2中，由于在第一配線構(gòu)造的延伸方向(圖2中的縱方向)上，連接焊盤18b形成在與連接焊盤18a、18c不同的位置，因此即使連接焊盤18b在與延伸方向垂直的方向(圖2中的橫方向)上延伸，也不會與連接焊盤18a、18c短路。因此，就連接焊盤18b而言，只要不與位于其附近的第一配線構(gòu)造11a、11c短路，就可以在與延伸方向垂直的方向上延伸。此道理對于其他的連接焊盤18a、19a等也一樣，通過在同一層上將相鄰接的連接焊盤彼此配置在不同的位置，可以實(shí)現(xiàn)更大面積的連接焊盤。
并且，在本實(shí)施方式中，通過在中繼連接構(gòu)件6采用另外設(shè)置了第二連接構(gòu)件9的構(gòu)造，具有可以在檢查電路5與中繼連接構(gòu)件6之間實(shí)現(xiàn)良好的電導(dǎo)通的優(yōu)點(diǎn)。以下，詳細(xì)說明這一優(yōu)點(diǎn)。
如上所述，在本實(shí)施方式中，具有在第一連接構(gòu)件8使第一配線構(gòu)造11、12形成于不同的層上的構(gòu)造，更具體地說，在第一配線構(gòu)造11、12之間夾有片體構(gòu)件14。因而，為了使位于下層的第一配線構(gòu)造11與其他配線構(gòu)造電導(dǎo)通，需要采用使第一配線構(gòu)造11在端部附近露出了的構(gòu)造，第一配線構(gòu)造11上的電連接部分(圖3中的點(diǎn)劃線區(qū)域S11)、與形成于上層的第一配線構(gòu)造12上的電連接部分(圖3中的點(diǎn)劃線區(qū)域S12)這兩者的位置在配線構(gòu)造的延伸方向上錯(cuò)開。因此，與第一連接構(gòu)件8電連接的構(gòu)件，為了與第一配線構(gòu)造11、12雙方進(jìn)行電連接，需要確保長度約為通常需要的配線長度d1的2倍的配線長度d2作為電連接部分。
與此相對，作為中繼連接構(gòu)件6的連接對象的檢查電路5，其電連接部分(配線構(gòu)造7的點(diǎn)劃線區(qū)域T7)的長度通常只具備配線長度d1的程度。如上所述，由于檢查電路5沿用的是安裝檢查對象1時(shí)作為驅(qū)動電路等使用的電路，因此檢查電路5所具備的電連接部分只具有必要的長度(例如配線長度d1)，以用于與形成在檢查對象1的表面上(即同一層上)的端子2電連接。因此，在將第一連接構(gòu)件8與檢查電路5直接連接時(shí)，會產(chǎn)生難以在第一連接構(gòu)件8與檢查電路5之間得到充分的導(dǎo)通狀態(tài)的新的問題。作為檢查電路5雖然也可以采用電連接部分為配線長度d2的檢查專用的電路，但在采用所述結(jié)構(gòu)時(shí)，又會另外產(chǎn)生難以進(jìn)行切合安裝時(shí)的動作的檢查以及檢查裝置的制造成本上升的新的問題，不能根本地解決問題。
因此，在本實(shí)施方式中，通過采用使第二連接構(gòu)件9介于第一連接構(gòu)件8與檢查電路5之間的結(jié)構(gòu)，而在中繼連接構(gòu)件6與檢查電路5之間實(shí)現(xiàn)良好的導(dǎo)通狀態(tài)。即，在第二連接構(gòu)件9，沒有配線長度的限制，容易在與第一連接構(gòu)件8連接的一側(cè)在第二配線構(gòu)造16確保配線長度d2，因此對于形成在不同的層上的第一配線構(gòu)造11、12的任何一個(gè)都能實(shí)現(xiàn)良好的導(dǎo)通狀態(tài)。此外，上述的多個(gè)第二配線構(gòu)造16均形成于單一的片體構(gòu)件15上，因此與檢查電路5所具備的配線構(gòu)造7之間的電連接只要是配線長度d1就已足夠，即使沿用既有的檢查電路5也可以確保充分的導(dǎo)通。如此，具有如下優(yōu)點(diǎn)通過不僅具有第一連接構(gòu)件8而且具有第二連接構(gòu)件9，中繼連接構(gòu)件6可以通過第一連接構(gòu)件8的作用確保對探針3的充分的導(dǎo)通，可以通過第二連接構(gòu)件9的作用確保對檢查電路5的充分的導(dǎo)通。
另外，在本實(shí)施方式中，由于中繼連接構(gòu)件6另外具備第二連接構(gòu)件9，所以具有可以實(shí)現(xiàn)構(gòu)造中沒有物理性很牽強(qiáng)的部分的檢查裝置的優(yōu)點(diǎn)。如圖5所示，以往的檢查裝置中，中繼連接構(gòu)件104具有由單一的連接構(gòu)件所形成的構(gòu)造。因此，以往的檢查裝置，為了維持形成在檢查電路105上的多個(gè)配線構(gòu)造105a與形成在檢查對象101上的多個(gè)端子101a之間的對應(yīng)關(guān)系，需要如圖5所示，將中繼連接構(gòu)件104與檢查電路105連接成“ㄑ”字形，成為在物理性上產(chǎn)生了很牽強(qiáng)部分的構(gòu)造，存在在強(qiáng)度弱的部分發(fā)生斷線等的問題。
與此相對，在本實(shí)施方式中，中繼連接構(gòu)件6具備有多個(gè)連接構(gòu)件(第一連接構(gòu)件8、第二連接構(gòu)件9)這樣的構(gòu)造，所以能夠解決所述問題。即，在圖1的紙面垂直方向的端子2的排列圖案，通過經(jīng)由以第一配線構(gòu)造11、12相對于端子2相向的狀態(tài)配置的第一連接構(gòu)件8而翻轉(zhuǎn)。然后，通過經(jīng)由以第二配線構(gòu)造16相對于第一配線構(gòu)造11、12相向的狀態(tài)配置的第二連接構(gòu)件9再次翻轉(zhuǎn)，與原排列圖案一致。結(jié)果是，檢查電路5可以和與檢查對象1所具備的多個(gè)端子2接觸的情況一樣，使配線構(gòu)造7與第二配線構(gòu)造16接觸，可以通過非“ㄑ”字形的通常的連接方式來連接第二連接構(gòu)件9與檢查電路5。結(jié)果是，本實(shí)施方式的檢查裝置具有可以實(shí)現(xiàn)沒有物理性很牽強(qiáng)部分的構(gòu)造，可降低斷線等不良情形的發(fā)生機(jī)率的優(yōu)點(diǎn)。
再者，本實(shí)施方式的檢查裝置，如圖4所示，可以用單一的片體構(gòu)件21來制造中繼連接構(gòu)件6。而且，如上所述，在構(gòu)成中繼連接構(gòu)件6的片體構(gòu)件15上形成的第二配線構(gòu)造16，具有與在片體構(gòu)件13、14上形成的第一配線構(gòu)造11、12交互連接的結(jié)構(gòu)。因此，在片體構(gòu)件21上，在中央?yún)^(qū)域21a(分離后構(gòu)成片體構(gòu)件15)上以交互排列的方式形成第一配線22與第二配線23，并使其中的第二配線23延伸至端部區(qū)域21c(分離后構(gòu)成片體構(gòu)件13)，使第一配線22延伸至端部區(qū)域21b(分離后構(gòu)成片體構(gòu)件14)，通過形成這樣的配線構(gòu)造，可以容易地實(shí)現(xiàn)第一配線構(gòu)造11、12及第二配線構(gòu)造16。因此，用于在片體構(gòu)件21上形成配線圖案的掩模，就不用每一區(qū)域準(zhǔn)備三套，可利用單純圖案的掩模來形成配線圖案。
此外，從圖4能很清楚地看出，第一配線22在中央?yún)^(qū)域21a及端部區(qū)域21b保持連續(xù)性，第二配線23在中央?yún)^(qū)域21a及端部區(qū)域21c保持連續(xù)性。因此，在通過分離片體構(gòu)件21而形成的片體構(gòu)件13～15中，不會發(fā)生相鄰接的配線構(gòu)造的間隔在形成于片體構(gòu)件13的表面上的第一配線構(gòu)造11、形成于片體構(gòu)件14的表面上的第一配線構(gòu)造12及形成于片體構(gòu)件15的表面上的第二配線構(gòu)造16的相互間產(chǎn)生偏差等弊端，具有在連接第一連接構(gòu)件8與第二連接構(gòu)件9時(shí)，任何一個(gè)配線構(gòu)造都能確保良好的導(dǎo)通狀態(tài)的優(yōu)點(diǎn)。
以上，利用實(shí)施方式對本發(fā)明進(jìn)行了說明，不過實(shí)施方式終究只是一個(gè)具體的例子，不應(yīng)將本發(fā)明限定于實(shí)施方式來進(jìn)行解釋，只要是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員就可以想到各種實(shí)施例、變形例。例如，在本實(shí)施方式中，作為第一連接構(gòu)件8的結(jié)構(gòu)，雖然具有對在表面上分別形成有規(guī)定的配線圖案的片體構(gòu)件13、14進(jìn)行層疊的構(gòu)造，但作為第一連接構(gòu)件8并不一定必須限定于對TAB、FPC等進(jìn)行層疊的構(gòu)造，只要是相鄰接的第一配線構(gòu)造形成于互不相同的層上的構(gòu)造都可以用作第一連接構(gòu)件。另外，關(guān)于形成第一配線構(gòu)造的層的數(shù)目也一樣，并不一定必須限定于兩層，若是多個(gè)，可以在任意數(shù)目的層上形成第一配線構(gòu)造。
工業(yè)實(shí)用性如上所述，本發(fā)明的中繼連接構(gòu)件、使用中繼連接構(gòu)件的檢查裝置以及中繼連接構(gòu)件的制造方法，在對規(guī)定的檢查對象進(jìn)行檢查時(shí)，在要對一端與形成于所述檢查對象上的多個(gè)端子接觸的多個(gè)探針的另一端、與輸出所述檢查所使用的檢查信號的檢查電路之間進(jìn)行電連接的時(shí)候很有用，尤其在對液晶面板等的電子零件進(jìn)行電氣特性檢查的時(shí)候適用。
權(quán)利要求
1.一種中繼連接構(gòu)件，在對規(guī)定的檢查對象進(jìn)行檢查時(shí)，所述中繼連接構(gòu)件對一端與形成在所述檢查對象上的多個(gè)端子接觸的多個(gè)探針的另一端、與輸出所述檢查使用的檢查信號的檢查電路之間進(jìn)行電連接，所述中繼連接構(gòu)件的特征在于，具有第一連接構(gòu)件，其形成有多個(gè)第一配線構(gòu)造，所述第一配線構(gòu)造在各自的一端與多個(gè)所述探針的另一端電連接，鄰接的所述第一配線構(gòu)造彼此位于不同的層上，另一端以規(guī)定長度以上的長度露出于表面；以及第二連接構(gòu)件，其在同一層上形成有多個(gè)第二配線構(gòu)造，所述第二配線構(gòu)造在一端與只以規(guī)定長度露出于表面的所述第一配線構(gòu)造的另一端接觸，在另一端與所述檢查電路電連接。
2.如權(quán)利要求1所述的中繼連接構(gòu)件，其特征在于，所述第一連接構(gòu)件具有層疊了多個(gè)片體構(gòu)件的結(jié)構(gòu)，所述片體構(gòu)件由絕緣構(gòu)件形成，在所述片體構(gòu)件的上表面形成有一個(gè)以上的所述第一配線構(gòu)造，相鄰的所述第一配線構(gòu)造形成在互不相同的片體構(gòu)件上。
3.一種檢查裝置，對于規(guī)定的檢查對象，通過該檢查對象所具備的多個(gè)端子對電信號進(jìn)行輸入輸出，以進(jìn)行檢查，其特征在于，具有多個(gè)探針，所述多個(gè)探針的一端與形成在所述檢查對象上的多個(gè)所述端子分別接觸；探針保持具，其在與所述端子對應(yīng)的位置收容多個(gè)所述探針；第一連接構(gòu)件，其形成有多個(gè)第一配線構(gòu)造，所述第一配線構(gòu)造在各自的一端與多個(gè)所述探針的另一端電連接，鄰接的所述第一配線構(gòu)造彼此位于不同的層上，另一端以規(guī)定長度以上的長度露出于表面；第二連接構(gòu)件，其在同一層上形成有多個(gè)第二配線構(gòu)造，所述第二配線構(gòu)造在一端與只以規(guī)定長度露出于表面的所述第一配線構(gòu)造的另一端接觸，在另一端與所述檢查電路電連接；以及檢查電路，其與所述第二連接構(gòu)件電連接，對所述第二連接構(gòu)件至少輸出檢查信號。
4.一種中繼連接構(gòu)件的制造方法，在對規(guī)定的檢查對象進(jìn)行檢查時(shí)，所述中繼連接構(gòu)件對與形成在所述檢查對象上的多個(gè)端子接觸的多個(gè)探針、與輸出所述檢查使用的檢查信號的檢查電路之間進(jìn)行電連接，所述中繼連接構(gòu)件的制造方法的特征在于，包括配線形成工序，在單一的片體構(gòu)件的表面上，形成從一方的端部延伸至中央附近的多個(gè)第一配線、以及從另一方的端部延伸至中央附近并且在中央附近位于相鄰接的所述第一配線之間而形成的第二配線；片體分割工序，通過在所述第一配線及所述第二配線延伸的方向上，將所述片體構(gòu)件分割成只形成有所述第一配線的第一區(qū)域、只形成有所述第二配線的第二區(qū)域、及形成有所述第一配線及所述第二配線這雙方的第三區(qū)域，形成第一片體構(gòu)件、第二片體構(gòu)件及第三片體構(gòu)件；層疊工序，對所述第一片體構(gòu)件及所述第二片體構(gòu)件進(jìn)行層疊，使得所述第一配線和所述第二配線的排列圖案與所述第三片體構(gòu)件中的排列圖案大致相同；以及固定工序，在將所述第一片體構(gòu)件及所述第二片體構(gòu)件的層疊構(gòu)造中的所述第一配線及所述第二配線的端部、與所述第三片體構(gòu)件中的所述第一配線及所述第二配線的端部電連接了的狀態(tài)下，對所述第一、第二及第三片體構(gòu)件的相互間的位置關(guān)系進(jìn)行固定。
5.如權(quán)利要求4所述的中繼連接構(gòu)件的制造方法，其特征在于，還包括標(biāo)志形成工序，在所述層疊工序之前，在所述第一片體構(gòu)件及所述第二片體構(gòu)件的至少任一方上，形成用于與另一方進(jìn)行對位的對位標(biāo)志，在所述層疊工序中，使用所述對位標(biāo)志，在進(jìn)行所述第一片體構(gòu)件和所述第二片體構(gòu)件之間的對位的同時(shí)進(jìn)行層疊。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于實(shí)現(xiàn)可應(yīng)對檢查對象的端子狹小化，同時(shí)可充分確保與檢查對象的電連接以及內(nèi)部的電連接的檢查裝置。該檢查裝置具有探針(3)；保持探針(3)的探針保持具(4)；通過探針(3)對檢查對象(1)輸出檢查信號的檢查電路(5)；以及對探針(3)與檢查電路(5)進(jìn)行電連接的中繼連接構(gòu)件(6)。中繼連接構(gòu)件(6)具有第一連接構(gòu)件(8)，其具備第一配線構(gòu)造(11、12)，該第一配線構(gòu)造與探針(3)電連接，相鄰的第一配線構(gòu)造彼此形成于不同的層上；以及第二連接構(gòu)件(9)，其具有第二配線構(gòu)造(16)，該第二配線構(gòu)造與檢查電路(5)所具備的配線構(gòu)造(7)電連接且形成于同一層上。中繼連接構(gòu)件(6)由于具備適于與探針(3)連接的第一連接構(gòu)件(8)；以及適于與檢查電路(5)連接的第二連接構(gòu)件(9)，而可以實(shí)現(xiàn)對兩者的良好的電導(dǎo)通。
文檔編號G01R31/28GK101073014SQ20058004231
公開日2007年11月14日 申請日期2005年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月8日
發(fā)明者外間?？? 風(fēng)間俊男 申請人:日本發(fā)條株式會社