專(zhuān)利名稱(chēng)：圖案生成器及測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種圖案生成器及測(cè)試裝置。特別是本發(fā)明關(guān)于一種用于對(duì)電子元件進(jìn)行測(cè)試的圖案生成器及測(cè)試裝置。對(duì)認(rèn)可文獻(xiàn)的利用參照的組入的指定國(guó)，將下述的申請(qǐng)中所記述的內(nèi)容利用參照組入本申請(qǐng)中，作為本申請(qǐng)的記述的一部分。
日本專(zhuān)利的特申2003-277278申請(qǐng)日平成15年7月22日背景技術(shù)在習(xí)知技術(shù)中，在進(jìn)行電子元件的功能測(cè)試及掃描測(cè)試的測(cè)試裝置中，利用生成測(cè)試圖案的圖案生成器。圖案生成器具有存儲(chǔ)用于生成測(cè)試圖案的數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器。在進(jìn)行功能測(cè)試的情況下，圖案生成器從存儲(chǔ)器中讀出用于生成功能測(cè)試用的測(cè)試圖案的圖案數(shù)據(jù)及時(shí)序數(shù)據(jù)，并生成測(cè)試圖案。而且，在進(jìn)行掃描測(cè)試的情況下，圖案生成器從存儲(chǔ)器中讀出掃描測(cè)試用的圖案數(shù)據(jù)，并作為測(cè)試圖案輸出。
而且，近年來(lái)，電子元件的多比特化顯著。因此，輸出的信號(hào)的邏輯值同時(shí)反轉(zhuǎn)的電子元件的輸出針數(shù)增加，而在輸出信號(hào)中產(chǎn)生噪聲。為了降低這種噪聲，有一種在輸出信號(hào)的每一周期，使輸出數(shù)據(jù)反轉(zhuǎn)并輸出的電子元件。即，在對(duì)前一周期，輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行反轉(zhuǎn)的輸出針數(shù)多的情況下，藉由使各個(gè)輸出針的輸出數(shù)據(jù)反轉(zhuǎn)并輸出，而使對(duì)前一周期，輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行反轉(zhuǎn)的輸出針數(shù)減少。在這種情況下，電子元件還輸出用于表示使該周期的輸出信號(hào)進(jìn)行反轉(zhuǎn)的意旨的反轉(zhuǎn)周期信號(hào)。
但是，在習(xí)知的圖案生成器中，需要將與掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案大致相同的數(shù)據(jù)作為圖案數(shù)據(jù)在存儲(chǔ)器中進(jìn)行存儲(chǔ)，必需有大容量的存儲(chǔ)器。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種可以解決上述課題的圖案生成器及測(cè)試裝置。該目的由權(quán)利要求范圍中的獨(dú)立項(xiàng)所記述的特征的組合達(dá)成。而且，從屬項(xiàng)規(guī)定本發(fā)明的更加有利的具體例子。
為了解決上述課題，本發(fā)明的第1形態(tài)提供一種圖案生成器，為一種生成用于進(jìn)行電子元件的掃描測(cè)試的測(cè)試圖案的圖案生成器，包括主存儲(chǔ)器，將含有用于進(jìn)行掃描測(cè)試的圖案數(shù)據(jù)的掃描圖案數(shù)據(jù)塊，和含有用于表示應(yīng)向電子元件供給掃描圖案數(shù)據(jù)塊的數(shù)據(jù)的順序的指令的掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊對(duì)應(yīng)地進(jìn)行存儲(chǔ)；數(shù)據(jù)展開(kāi)部，藉由實(shí)行掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊的指令，而展開(kāi)對(duì)應(yīng)的掃描圖案數(shù)據(jù)塊的圖案數(shù)據(jù)，并生成測(cè)試圖案。
主存儲(chǔ)器也可將多個(gè)掃描圖案數(shù)據(jù)塊在連續(xù)的區(qū)域中進(jìn)行存儲(chǔ)，并將多個(gè)掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊在連續(xù)的區(qū)域中進(jìn)行存儲(chǔ)。而且，數(shù)據(jù)展開(kāi)部在掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊中的指令的實(shí)行過(guò)程中，如檢測(cè)到應(yīng)將對(duì)應(yīng)的掃描圖案數(shù)據(jù)塊中的設(shè)定區(qū)域的圖案數(shù)據(jù)反復(fù)地進(jìn)行展開(kāi)的反復(fù)指令，也可將設(shè)定的區(qū)域的圖案數(shù)據(jù)反復(fù)地進(jìn)行展開(kāi)。
數(shù)據(jù)展開(kāi)部具有用于存儲(chǔ)應(yīng)依次實(shí)行的掃描時(shí)序數(shù)據(jù)模塊的時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器、用于存儲(chǔ)與時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器所存儲(chǔ)的掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊相對(duì)應(yīng)的掃描圖案數(shù)據(jù)塊的圖案高速緩沖存儲(chǔ)器；圖案生成器還具有將與應(yīng)生成的測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊及掃描圖案數(shù)據(jù)塊從主存儲(chǔ)器中依次讀出，并在時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器及圖案高速緩沖存儲(chǔ)器中進(jìn)行存儲(chǔ)的存儲(chǔ)器控制部。
本發(fā)明的第2形態(tài)提供一種測(cè)試裝置，一種對(duì)電子元件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置，包括生成用于對(duì)電子元件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試圖案的圖案生成器、將測(cè)試圖案整形的整波器、根據(jù)基于測(cè)試圖案而從電子元件輸出的輸出信號(hào)判定電子元件的好壞的判定部；其特征在于圖案生成器生成用于進(jìn)行電子元件的掃描測(cè)試的測(cè)試圖案，包括主存儲(chǔ)器，將含有用于進(jìn)行掃描測(cè)試的圖案數(shù)據(jù)的掃描圖案數(shù)據(jù)塊，和含有用于表示應(yīng)向電子元件供給掃描圖案數(shù)據(jù)塊的數(shù)據(jù)的順序的指令的掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊對(duì)應(yīng)地進(jìn)行存儲(chǔ)；數(shù)據(jù)展開(kāi)部，藉由實(shí)行掃描圖案數(shù)據(jù)塊的指令，而展開(kāi)對(duì)應(yīng)的掃描圖案數(shù)據(jù)塊中的圖案數(shù)據(jù)，并生成測(cè)試圖案。
測(cè)試裝置進(jìn)行電子元件的功能測(cè)試及掃描測(cè)試；圖案生成器在生成功能測(cè)試用的測(cè)試圖案的情況下，如檢測(cè)到應(yīng)生成掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案的指令，也可生成掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案。
電子元件包括用于進(jìn)行功能測(cè)試的一般針、用于進(jìn)行掃描測(cè)試的掃描針；圖案生成器向一般針及掃描針供給測(cè)試圖案，如檢測(cè)到應(yīng)生成掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案的指令，也可在掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案的生成結(jié)束之前，向一般針供給大致相同的圖案。
圖案生成器如檢測(cè)到應(yīng)生成掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案的指令，則在掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案的生成結(jié)束之前，也可將稍前所生成的功能測(cè)試用的測(cè)試圖案中的最后的圖案，供給到一般針。
另外，上述發(fā)明的概要并未列舉本發(fā)明的所有的必要特征，這些特征群的子集也可又形成發(fā)明。
如利用本發(fā)明，可效率良好地生成測(cè)試圖案。而且，可效率良好地對(duì)電子元件進(jìn)行測(cè)試。而且，能夠縮小所使用的存儲(chǔ)器的容量。


圖1所示為關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的測(cè)試裝置100的構(gòu)成的一個(gè)例子。(實(shí)施例1)圖2所示為圖案生成器50的構(gòu)成的一個(gè)例子。
圖3所示為數(shù)據(jù)展開(kāi)部170的構(gòu)成的一個(gè)例子。
圖4所示為主存儲(chǔ)器60的數(shù)據(jù)構(gòu)成的一個(gè)例子。
圖5所示為測(cè)試裝置100的構(gòu)成的另一例子。(實(shí)施例2)圖6所示為與各針相對(duì)應(yīng)的圖案生成器50所輸出的測(cè)試圖案的一個(gè)例子。
10故障存儲(chǔ)器 20判定部30信號(hào)輸出入部 40整波器50圖案生成器 60主存儲(chǔ)器70存儲(chǔ)器控制部 80圖案生成部82圖案高速緩沖存儲(chǔ)器 84圖案控制部90時(shí)序裝置 92時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器94時(shí)序控制部 100測(cè)試裝置110總線控制部 120算法圖案生成部130捕獲部 140捕獲控制部150測(cè)試控制部 170數(shù)據(jù)展開(kāi)部200電子元件具體實(shí)施方式
下面，通過(guò)發(fā)明的實(shí)施形態(tài)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明，但以下的實(shí)施形態(tài)并不限定于有關(guān)權(quán)利要求范圍的發(fā)明，而且，實(shí)施形態(tài)中所說(shuō)明的特征的組合的全部也未必是發(fā)明的解決方法所必須的。
實(shí)施例1圖1所示為關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的測(cè)試裝置100的構(gòu)成的一個(gè)例子。測(cè)試裝置100對(duì)電子元件200進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試裝置100包括圖案生成器50、整波器40、信號(hào)輸出入部30及判定部20。這里，電子元件200是指依據(jù)所給予的電氣信號(hào)進(jìn)行動(dòng)作的元件。例如包括具有半導(dǎo)體元件的IC芯片、LSI等半導(dǎo)體電路。
圖案生成器50從外部所設(shè)置的測(cè)試控制部150，接收應(yīng)對(duì)電子元件200進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)，并根據(jù)該測(cè)試數(shù)據(jù)生成用于對(duì)電子元件200進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試圖案。測(cè)試控制部150為例如工作站等計(jì)算機(jī)。而且，圖案生成器50也可生成用于表示電子元件200根據(jù)所輸入的測(cè)試圖案應(yīng)輸出的期待值的期待值信號(hào)。
整波器40接收測(cè)試圖案并整形，且以所需的時(shí)序向信號(hào)輸出入部30進(jìn)行供給。信號(hào)輸出入部30將接收的測(cè)試圖案供給到電子元件200，并接收電子元件200根據(jù)測(cè)試圖案所輸出的輸出信號(hào)。而且，信號(hào)輸出入部30將接收的輸出信號(hào)供給到判定部20。
判定部20根據(jù)所接收的輸出信號(hào)，判定電子元件200的好壞。例如，判定部20藉由從圖案生成器50接收期待值信號(hào)，并將該期待值信號(hào)和電子元件200的輸出信號(hào)進(jìn)行比較，而判定電子元件200的好壞。
圖2所示為圖案生成器50的構(gòu)成的一個(gè)例子。圖案生成器50包括主存儲(chǔ)器60、數(shù)據(jù)展開(kāi)部170、時(shí)序裝置90、總線控制部110、算法圖案生成部120、捕獲部130、捕獲控制部140及失效存儲(chǔ)器10。數(shù)據(jù)展開(kāi)部170具有圖案生成部80及時(shí)序裝置90。
主存儲(chǔ)器60將用于生成測(cè)試圖案的測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲(chǔ)。測(cè)試數(shù)據(jù)被分割為多個(gè)測(cè)試數(shù)據(jù)塊并被存儲(chǔ)。例如，主存儲(chǔ)器60將用于表示應(yīng)付與電子元件200的信號(hào)的圖案數(shù)據(jù)所分割成的多個(gè)圖案數(shù)據(jù)塊、用于指示應(yīng)向電子元件200付與圖案數(shù)據(jù)的順序的時(shí)序數(shù)據(jù)所分割成的多個(gè)時(shí)序數(shù)據(jù)塊，作為測(cè)試數(shù)據(jù)塊進(jìn)行存儲(chǔ)。而且，主存儲(chǔ)器60將圖案數(shù)據(jù)塊和時(shí)序數(shù)據(jù)塊建立對(duì)應(yīng)并進(jìn)行存儲(chǔ)。
總線控制部110從測(cè)試控制部150，接收用于指示應(yīng)將測(cè)試數(shù)據(jù)塊向圖案生成部80及/或時(shí)序裝置90進(jìn)行供給的順序的指示信息，并根據(jù)該指示信息，依次指示存儲(chǔ)器控制部70應(yīng)將哪個(gè)圖案數(shù)據(jù)塊及/或時(shí)序數(shù)據(jù)塊從主存儲(chǔ)器60中讀出。主控制部70根據(jù)從總線控制部110所接收的指示，從主存儲(chǔ)器60依次讀出圖案數(shù)據(jù)塊及時(shí)序數(shù)據(jù)塊，并將所讀出的圖案數(shù)據(jù)塊依次供給到圖案生成部80，將所讀出的時(shí)序數(shù)據(jù)塊依次供給到時(shí)序裝置90。
圖案生成部80依次接收?qǐng)D案數(shù)據(jù)塊，并根據(jù)圖案數(shù)據(jù)塊生成測(cè)試圖案。時(shí)序裝置90將所接收的時(shí)序數(shù)據(jù)塊依次進(jìn)行存儲(chǔ)，并根據(jù)所存儲(chǔ)的時(shí)序數(shù)據(jù)塊，對(duì)圖案生成部80進(jìn)行控制。例如，時(shí)序數(shù)據(jù)塊為用于指示應(yīng)將圖案數(shù)據(jù)塊中的數(shù)據(jù)進(jìn)行輸出的順序并生成測(cè)試圖案的程序，可使圖案生成部80生成與該程序?qū)?yīng)的測(cè)試圖案。時(shí)序裝置90也可根據(jù)時(shí)序數(shù)據(jù)塊，對(duì)圖案生成部80依次指示圖案生成部80應(yīng)輸出的圖案數(shù)據(jù)塊的地址。
而且，在應(yīng)進(jìn)行測(cè)試的電子元件200為存儲(chǔ)器的情況下，時(shí)序裝置90也可對(duì)算法圖案生成部120供給用于生成存儲(chǔ)器測(cè)試用的圖案數(shù)據(jù)的指示信號(hào)。算法圖案生成部120在接收了該指示信號(hào)的情況下，根據(jù)預(yù)先所設(shè)定的算法，生成存儲(chǔ)器試驗(yàn)用的圖案數(shù)據(jù)。在這種情況下，圖案生成部80還根據(jù)存儲(chǔ)器測(cè)試用的圖案數(shù)據(jù)，生成測(cè)試圖案。
捕獲部130及捕獲控制部140將判定部20的判定結(jié)果，在失效存儲(chǔ)器10中進(jìn)行存儲(chǔ)。捕獲部130接收時(shí)序裝置90對(duì)圖案生成部80進(jìn)行指示的圖案數(shù)據(jù)塊的地址，或算法圖案生成部120所生成的存儲(chǔ)器測(cè)試用數(shù)據(jù)中的某一個(gè)或者兩個(gè)。捕獲部130對(duì)判定結(jié)果，付與對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)塊的地址，或?qū)?yīng)的存儲(chǔ)器測(cè)試用的數(shù)據(jù)的某一個(gè)或者兩者。捕獲控制部140從測(cè)試控制部150，接收用于指示是否將判定結(jié)果在失效存儲(chǔ)器10中進(jìn)行存儲(chǔ)的指示信號(hào)，并依據(jù)該指示信號(hào)，將判定結(jié)果供給到失效存儲(chǔ)器10。
而且，捕獲控制部140也可在利用一個(gè)圖案數(shù)據(jù)塊的測(cè)試結(jié)束時(shí)，對(duì)總線控制部110通知該圖案數(shù)據(jù)塊的判定結(jié)果。在這種情況下，總線控制部110向測(cè)試控制部150通知該判定結(jié)果。
而且，失效存儲(chǔ)器10存儲(chǔ)判定部20的判定結(jié)果。測(cè)試控制部150可讀出失效存儲(chǔ)器10所存儲(chǔ)的判定結(jié)果，進(jìn)行電子元件200的測(cè)試結(jié)果的解析，也可根據(jù)每一圖案數(shù)據(jù)塊的判定結(jié)果，進(jìn)行測(cè)試結(jié)果的解析。而且，在本例中，圖案生成器50具有失效存儲(chǔ)器10，但在其它的例子中，圖案生成器50也可不具有失效存儲(chǔ)器10，而使測(cè)試裝置100具有失效存儲(chǔ)器10，或使測(cè)試控制部150具有失效存儲(chǔ)器10。
圖3所示為數(shù)據(jù)展開(kāi)部170的構(gòu)成的一個(gè)例子。圖案生成部80具有圖案高速緩沖存儲(chǔ)器82和圖案控制部84。時(shí)序裝置90具有時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器92和時(shí)序控制部94。圖案高速緩沖存儲(chǔ)器82將圖案數(shù)據(jù)塊進(jìn)行存儲(chǔ)，而時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器92將時(shí)序數(shù)據(jù)塊進(jìn)行存儲(chǔ)。圖案高速緩沖存儲(chǔ)器82及時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器92具有能夠存儲(chǔ)多個(gè)數(shù)據(jù)塊的地址空間為佳。
圖案控制部84根據(jù)圖案高速緩沖存儲(chǔ)器82所存儲(chǔ)的圖案數(shù)據(jù)塊，生成測(cè)試圖案。例如，從時(shí)序控制部94，依次接收?qǐng)D案高速緩沖存儲(chǔ)器82的地址，并將所接收的地址的圖案數(shù)據(jù)依次輸出，生成測(cè)試圖案。
時(shí)序控制部94依次取出時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器92所存儲(chǔ)的時(shí)序數(shù)據(jù)塊并實(shí)行。例如，時(shí)序數(shù)據(jù)塊為含有跳變指令、反復(fù)指令、返回指令等的指令群，時(shí)序控制部94根據(jù)時(shí)序數(shù)據(jù)塊的指令，對(duì)圖案控制部84依次指示圖案高速緩沖存儲(chǔ)器82的地址。
而且，時(shí)序控制部94在時(shí)序數(shù)據(jù)塊的執(zhí)行中，當(dāng)檢測(cè)到應(yīng)將另外的時(shí)序數(shù)據(jù)塊進(jìn)行預(yù)讀的預(yù)讀命令時(shí)，將該預(yù)讀命令通知存儲(chǔ)器控制部70。存儲(chǔ)器控制部70根據(jù)所通知的預(yù)讀命令，從主存儲(chǔ)器60中讀出時(shí)序數(shù)據(jù)塊及對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)塊，并在圖案高速緩沖存儲(chǔ)器82及時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器92中進(jìn)行存儲(chǔ)。
圖4所示為主存儲(chǔ)器60的數(shù)據(jù)構(gòu)成的一個(gè)例子。在本例中，測(cè)試裝置100進(jìn)行電子元件200的功能測(cè)試及掃描測(cè)試。這里，所說(shuō)的功能測(cè)試，是指用于對(duì)電子元件200的邏輯部進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試，所說(shuō)的掃描測(cè)試，是指包含例如由IEEE1149.1而確定測(cè)試規(guī)格的測(cè)試，且利用電子元件的掃描路線的測(cè)試。
主存儲(chǔ)器60將多個(gè)時(shí)序數(shù)據(jù)塊、多個(gè)掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊、多個(gè)圖案數(shù)據(jù)塊及多個(gè)掃描圖案數(shù)據(jù)塊進(jìn)行存儲(chǔ)。時(shí)序數(shù)據(jù)塊及圖案數(shù)據(jù)塊為用于進(jìn)行功能測(cè)試的數(shù)據(jù)塊，掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊及掃描圖案數(shù)據(jù)塊為用于進(jìn)行掃描測(cè)試的數(shù)據(jù)塊。
主存儲(chǔ)器60也可將圖案數(shù)據(jù)塊與時(shí)序數(shù)據(jù)塊的某一個(gè)對(duì)應(yīng)地進(jìn)行存儲(chǔ)。而且，也可將掃描圖案數(shù)據(jù)塊與掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊的某一個(gè)對(duì)應(yīng)地進(jìn)行存儲(chǔ)。掃描圖案數(shù)據(jù)塊包括用于進(jìn)行掃描測(cè)試的圖案數(shù)據(jù)，掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊包括用于表示應(yīng)將掃描圖案數(shù)據(jù)塊的數(shù)據(jù)供給到電子元件200的順序的指令。
在進(jìn)行掃描測(cè)試的情況下，圖案高速緩沖存儲(chǔ)器82存儲(chǔ)掃描圖案數(shù)據(jù)塊，時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器92存儲(chǔ)掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊。時(shí)序控制部94依次實(shí)行時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器92所存儲(chǔ)的掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊中的指令，并將圖案高速緩沖存儲(chǔ)器82的地址，依次通知圖案控制部84。
圖案控制部84根據(jù)所通知的地址，將圖案高速緩沖存儲(chǔ)器82所存儲(chǔ)的掃描圖案數(shù)據(jù)塊中的圖案數(shù)據(jù)展開(kāi)，生成掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案。掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊包括應(yīng)將例如設(shè)定的地址范圍的圖案數(shù)據(jù)反復(fù)進(jìn)行輸出的反復(fù)指令。根據(jù)該反復(fù)指令，圖案控制部84將設(shè)定的地址范圍的圖案反復(fù)地進(jìn)行輸出。因此，主存儲(chǔ)器60沒(méi)有必要在掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案中，將反復(fù)使用的數(shù)據(jù)圖案重復(fù)地進(jìn)行存儲(chǔ)。即，主存儲(chǔ)器60可存儲(chǔ)與作為測(cè)試圖案輸出的數(shù)據(jù)量進(jìn)行比較，并被壓縮的狀態(tài)的掃描圖案數(shù)據(jù)塊。而且，圖案控制部84可將被壓縮的掃描圖案數(shù)據(jù)塊，根據(jù)對(duì)應(yīng)的掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊進(jìn)行展開(kāi)。
而且，主存儲(chǔ)器60將多個(gè)掃描圖案數(shù)據(jù)塊在連續(xù)的區(qū)域中進(jìn)行存儲(chǔ)，并將多個(gè)掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊在連續(xù)的區(qū)域中進(jìn)行存儲(chǔ)。圖案控制部84可根據(jù)預(yù)讀指令預(yù)先讀取另外的時(shí)序數(shù)據(jù)塊，并對(duì)應(yīng)跳變指令開(kāi)始另外的時(shí)序數(shù)據(jù)塊的實(shí)行，所以即使在主存儲(chǔ)器60中不按照實(shí)行順序使數(shù)據(jù)塊進(jìn)行存儲(chǔ)，也可連續(xù)地生成測(cè)試圖案。
如利用本例中的圖案生成器50，則具有掃描測(cè)試用的時(shí)序數(shù)據(jù)，所以可將掃描圖案數(shù)據(jù)塊進(jìn)行壓縮存儲(chǔ)，因此能夠降低存儲(chǔ)器容量。
實(shí)施例2圖5所示為測(cè)試裝置100的構(gòu)成的另一例子。電子元件200具有功能測(cè)試用的一般針、掃描測(cè)試用的掃描針。而且，掃描針也可利用于功能測(cè)試中。在本例中，測(cè)試裝置100具有與電子元件200的針相對(duì)應(yīng)的多個(gè)圖案生成器50。
與掃描針相對(duì)應(yīng)的圖案生成器50在生成功能測(cè)試用的測(cè)試圖案的情況下，如檢測(cè)到應(yīng)生成掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案的指令，則生成掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案。例如，在時(shí)序數(shù)據(jù)塊的實(shí)行中，如檢測(cè)到應(yīng)跳轉(zhuǎn)到掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊的跳轉(zhuǎn)命令，則根據(jù)掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊，生成掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案。
而且，與一般針對(duì)應(yīng)的圖案生成器50在測(cè)試裝置100轉(zhuǎn)到掃描測(cè)試的情況下，向一般針供給大致相同的數(shù)據(jù)。例如，也可將在功能測(cè)試中最后輸出的數(shù)據(jù)，在掃描測(cè)試期間供給一般針。
圖6所示為與各針對(duì)應(yīng)的圖案生成器50所生成的測(cè)試圖案的一個(gè)例子。在本例中，針1為掃描針，針2～針4為通常針。
如圖5中所說(shuō)明的，在轉(zhuǎn)移到掃描測(cè)試的情況下，與針1對(duì)應(yīng)的圖案生成器50生成掃描測(cè)試用的掃描測(cè)試圖案。而且，與另一針對(duì)應(yīng)的圖案生成器50，對(duì)一般針供給大致相同的圖案，直至掃描測(cè)試結(jié)束。例如，圖案生成器在掃描測(cè)試結(jié)束之前，將在功能測(cè)試圖案的最后所輸出的數(shù)據(jù)進(jìn)行保持，并供給到一般針。
如以上所說(shuō)明的，如利用關(guān)于本實(shí)施形態(tài)的測(cè)試裝置100，則在掃描測(cè)試中，藉由利用時(shí)序數(shù)據(jù)，可使用被壓縮的圖案數(shù)據(jù)。因此，能夠降低所使用的存儲(chǔ)器的容量。而且，能夠連續(xù)地生成測(cè)試圖案。
以上對(duì)本發(fā)明利用實(shí)施形態(tài)進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限定于上述實(shí)施形態(tài)所記述的范圍。在上述實(shí)施形態(tài)上，可加以各種各樣的變更或改良。由權(quán)利要求范圍的記述可明確得知，這種施加了變更或改良的形態(tài)也可包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍中。
如上述說(shuō)明所說(shuō)明的，如利用本發(fā)明，能夠效率良好且精度良好地進(jìn)行將輸出信號(hào)在每周期進(jìn)行反轉(zhuǎn)或非反轉(zhuǎn)地輸出的電子元件的測(cè)試。
權(quán)利要求
1.一種圖案生成器，為一種生成用于進(jìn)行電子元件的掃描測(cè)試的測(cè)試圖案的圖案生成器，包括主存儲(chǔ)器，將含有用于進(jìn)行前述掃描測(cè)試的圖案數(shù)據(jù)的掃描圖案數(shù)據(jù)塊，和含有用于表示應(yīng)向前述電子元件供給前述掃描圖案數(shù)據(jù)塊的數(shù)據(jù)的順序的指令的掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊對(duì)應(yīng)地進(jìn)行存儲(chǔ)；數(shù)據(jù)展開(kāi)部，藉由實(shí)行前述掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊的前述指令，而展開(kāi)對(duì)應(yīng)的前述掃描圖案數(shù)據(jù)塊的圖案數(shù)據(jù)，并生成前述測(cè)試圖案。
2.如權(quán)利要求1所述的圖案生成器，其特征在于前述主存儲(chǔ)器將多個(gè)前述掃描圖案數(shù)據(jù)塊在連續(xù)的區(qū)域中進(jìn)行存儲(chǔ)，并將多個(gè)前述掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊在連續(xù)的區(qū)域中進(jìn)行存儲(chǔ)。
3.如權(quán)利要求1所述的圖案生成器，其特征在于前述數(shù)據(jù)展開(kāi)部在前述掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊中的指令的實(shí)行過(guò)程中，如檢測(cè)到應(yīng)將對(duì)應(yīng)的前述掃描圖案數(shù)據(jù)塊中的設(shè)定區(qū)域的圖案數(shù)據(jù)反復(fù)地進(jìn)行展開(kāi)的反復(fù)指令，則將前述設(shè)定的區(qū)域的圖案數(shù)據(jù)反復(fù)地進(jìn)行展開(kāi)。
4.如權(quán)利要求1所述的圖案生成器，其特征在于前述數(shù)據(jù)展開(kāi)部具有用于存儲(chǔ)應(yīng)依次實(shí)行的前述掃描時(shí)序數(shù)據(jù)模塊的時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器、用于存儲(chǔ)與前述時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器所存儲(chǔ)的前述掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊相對(duì)應(yīng)的前述掃描圖案數(shù)據(jù)塊的圖案高速緩沖存儲(chǔ)器；前述圖案生成器還具有將與應(yīng)生成的測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的前述掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊及前述掃描圖案數(shù)據(jù)塊從前述主存儲(chǔ)器中依次讀出，并在前述時(shí)序高速緩沖存儲(chǔ)器及前述圖案高速緩沖存儲(chǔ)器中進(jìn)行存儲(chǔ)的存儲(chǔ)器控制部。
5.一種測(cè)試裝置，為一種對(duì)電子元件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置，包括生成用于對(duì)前述電子元件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試圖案的圖案生成器、將前述測(cè)試圖案整形的整波器、根據(jù)基于前述測(cè)試圖案而從前述電子元件輸出的輸出信號(hào)判定前述電子元件的好壞的判定部；其特征在于前述圖案生成器生成用于進(jìn)行前述電子元件的掃描測(cè)試的測(cè)試圖案，并包括主存儲(chǔ)器，將含有用于進(jìn)行前述掃描測(cè)試的圖案數(shù)據(jù)的掃描圖案數(shù)據(jù)塊，和含有用于表示應(yīng)向前述電子元件供給前述掃描圖案數(shù)據(jù)塊的數(shù)據(jù)的順序的指令的掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊對(duì)應(yīng)地進(jìn)行存儲(chǔ)；數(shù)據(jù)展開(kāi)部，藉由實(shí)行前述掃描圖案數(shù)據(jù)塊的前述指令，而展開(kāi)對(duì)應(yīng)的前述掃描圖案數(shù)據(jù)塊中的圖案數(shù)據(jù)，并生成前述測(cè)試圖案。
6.如權(quán)利要求5所述的測(cè)試裝置，其特征在于前述測(cè)試裝置進(jìn)行前述電子元件的功能測(cè)試及掃描測(cè)試；前述圖案生成器在生成功能測(cè)試用的前述測(cè)試圖案的情況下，根據(jù)應(yīng)生成掃描測(cè)試用的前述測(cè)試圖案的指令，生成前述掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案。
7.如權(quán)利要求6所述的測(cè)試裝置，其特征在于前述電子元件包括用于進(jìn)行前述功能測(cè)試的一般針、用于進(jìn)行前述掃描測(cè)試的掃描針；前述圖案生成器向前述一般針及前述掃描針供給前述測(cè)試圖案，并根據(jù)應(yīng)生成前述掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案的指令，在前述掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案的生成結(jié)束之前，向前述一般針供給大致相同的圖案。
8.如權(quán)利要求7所述的測(cè)試裝置，其特征在于前述圖案生成器，在檢測(cè)到應(yīng)生成前述掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案的指令的場(chǎng)合，則在前述掃描測(cè)試用的測(cè)試圖案的生成結(jié)束之前，將稍前所生成的前述功能測(cè)試用的測(cè)試圖案中的最后的圖案，供給到前述一般針。
全文摘要
本發(fā)明提供一種圖案生成器，為一種生成用于進(jìn)行電子元件的掃描測(cè)試的測(cè)試圖案的圖案生成器，包括主存儲(chǔ)器，將含有用于進(jìn)行掃描測(cè)試的圖案數(shù)據(jù)的掃描圖案數(shù)據(jù)塊，和含有用于表示應(yīng)向電子元件供給掃描圖案數(shù)據(jù)塊的數(shù)據(jù)的時(shí)序的指令的掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊對(duì)應(yīng)地進(jìn)行存儲(chǔ)；數(shù)據(jù)展開(kāi)部，藉由實(shí)行掃描時(shí)序數(shù)據(jù)塊的指令，而展開(kāi)對(duì)應(yīng)的掃描圖案數(shù)據(jù)塊的圖案數(shù)據(jù)，并生成測(cè)試圖案。
文檔編號(hào)G01R31/3185GK1826535SQ20048002095
公開(kāi)日2006年8月30日 申請(qǐng)日期2004年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月22日
發(fā)明者中山浩康 申請(qǐng)人:愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試株式會(huì)社