專利名稱：六腳型壓電振動陀螺儀的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在汽車導航或船舶航行用的姿勢控制裝置等中用作角速度檢測器的陀螺儀，尤其涉及壓電振動陀螺儀。
背景技術：
作為可高精度檢測角速度的陀螺儀，例如，在特開2001-255152號公報中公開了六腳型壓電振動陀螺儀。該六腳型壓電振動陀螺儀，包括壓電體、結合在壓電體上的驅動側電極及檢測側電極。壓電體，具有以正反面作為主面的矩形板狀的本體部、從本體部的相互對向的邊的一方延長的驅動側臂部、從另一方延長的檢測側臂。驅動側臂部，具有一對激勵用臂及在它們之間的1個非激勵用臂。檢測側臂，具有一對檢測用臂及在它們之間的1個非檢測用臂。在激勵用臂上分別形成驅動側電極，用于激勵向與本體部的主面平行的方向振動的面內振動。在檢測用臂上分別形成檢測側電極，用于檢測向與本體部的主面垂直的方向振動的面垂直振動。通常，激勵用臂、非激勵用臂、檢測用臂及非檢測用臂，從批量生產性方面考慮，全部用相同的寬度尺寸及厚度形成。
為了提供高靈敏度的六腳型壓電振動陀螺儀，需要相互接近驅動側臂部上的各臂的驅動振動模式(即，面內振動)中的共振頻率、和檢測用臂部上的各臂的檢測振動模式(即，面垂直振動)中的共振頻率。但是，在此種情況下，由于總共6腳的各臂的各自的面垂直振動及面內振動近似，因此在驅動振動模式及檢測模式的附近存在寄生頻率，激勵進行面內振動的寄生振動，向壓電振動子或壓電體提供機械的結合。其結果，旋轉靈敏度即檢測靈敏度顯著下降。尤其，面內振動的寄生振動的強度，與面垂直振動的寄生振動的強度相比大得多，所以成為降低旋轉靈敏度的主要原因。
發(fā)明內容
為此，本發(fā)明的其目的在于，提供一種旋轉靈敏度優(yōu)良的、可高精度檢測角速度的壓電振動陀螺儀。
根據本發(fā)明的一方式，能夠提供一種壓電振動陀螺儀，其特征是包括，本體部、從所述本體部相互間隔地向第1方向延長的一對激勵用臂、在所述激勵用臂間從所述本體部向所述第1方向延長的1個非激勵用臂、從所述本體部相互間隔地向與所述第1方向相反的第2方向延長的一對檢測用臂、在所述檢測用臂間從所述本體部向所述第2方向延長的1個非檢測用臂、分別結合在所述激勵用臂上的驅動側電極、及分別結合在所述檢測用臂上的檢測側電極；所述激勵用臂、所述非激勵用臂、所述檢測用臂及所述非檢測用臂各自構成壓電體；所述激勵用臂各自和所述非激勵用臂在寬度尺寸上相互不同，所述激勵用臂各自和所述檢測用臂各自在寬度尺寸上相互不同，所述激勵用臂各自和所述非檢測用臂在寬度尺寸上相互不同。
圖1是根據本發(fā)明的第1實施方式的六腳型壓電振動陀螺儀所含的壓電體的主視圖。
圖2A是將電極結合在圖1所示的壓電體上的六腳型壓電振動陀螺儀的俯視圖。
圖2B是圖2A的六腳型壓電振動陀螺儀的主視圖。
圖2C是圖2A的六腳型壓電振動陀螺儀的仰視圖。
圖3是表示圖2A-圖2c所示的六腳型壓電振動陀螺儀的驅動側的電接線的說明圖。
圖4是表示圖2A-圖2c所示的六腳型壓電振動陀螺儀的檢測側的電接線的說明圖。
圖5是根據本發(fā)明的第2實施方式的六腳型壓電振動陀螺儀所含的壓電體的主視圖。
圖6A是將電極結合在圖5所示的壓電體上的六腳型壓電振動陀螺儀的俯視圖。
圖6B是圖5A的六腳型壓電振動陀螺儀的主視圖。
圖6C是圖5A的六腳型壓電振動陀螺儀的仰視圖。
圖7是表示圖6A-圖6c所示的六腳型壓電振動陀螺儀的驅動側的電接線的說明圖。
圖8是表示圖6A-圖6c所示的六腳型壓電振動陀螺儀的檢測側的電接線的說明圖。
圖9是表示壓電體的其它例主視圖。
圖10是表示壓電體的又一其它例主視圖。
圖11是表示壓電體的又一其它例主視圖。
具體實施例方式
參照圖1及圖2，說明本發(fā)明的第1實施方式的六腳型壓電振動陀螺儀。
該六腳型壓電振動陀螺儀，包含X切割朗格賽特(Xカツトランガサイト)結晶制的壓電體1。在圖1中，用X、Y、Z軸表示屬于三方晶系的朗格賽特的方向性及角速度Ω的運動方向。另外，壓電體1也可以規(guī)定為X切割水晶制。
壓電體1，包括以正反面作為主面的矩形板狀的本體部2、從本體部2的一邊相互間隔地向第1方向A1延長的一對激勵用臂3a、3b、在激勵用臂3a、3b間從本體部2的一邊相互間隔地向第1方向A1延長的1個非激勵用臂3c、從本體部2的相反邊相互間隔地向與第1方向A1相反的第2方向A2延長的一對檢測用臂4a、4b、及在檢測用臂4a、4b間從本體部2的相反邊向第2方向A2延長的1個非檢測用臂4c。
激勵用臂3a、3b及非激勵用臂3c相互平行，且與本體部2的主面平行地延長。激勵用臂3a、3b及非激勵用臂3c各自為角柱狀。檢測用臂4a、4b及非檢測用臂4c相互平行，且與本體部2的主面平行地延長。檢測用臂4a、4b及非檢測用臂4c各自為角柱狀。激勵用臂3a、3b、非激勵用臂3c、檢測用臂4a、4b及非檢測用臂4c，相互相同地具有5.5mm的臂長。
本體部2，具有不向檢測用臂4a、4b傳播在激勵用臂3a、3b發(fā)生的面內振動波動的功能，因此在Y軸的周圍，按角度Ω旋轉壓電體1的時候，能夠利用科里奧利力，用檢測用臂4a、4b檢測角度Ω。
以下，包括激勵用臂3a、3b及非激勵用臂3c，稱為驅動側臂部3，包括檢測用臂4a、4b及非檢測用臂4c，稱為檢測側臂部4。在驅動側臂部3，將激勵用臂3a、3b各自的寬度尺寸設定為W1、將非激勵用臂3c的寬度尺寸設定為W2。在檢測側臂部4，將檢測用臂4a、4b各自的寬度尺寸設定為W3、將非檢測用臂4c的寬度尺寸設定為W4。此處，分別將這些寬度尺寸W1、W2、W3、W4設定為不同的值，使壓電體1的重心與本體部2的幾何學的中心位置一致。結果，能夠用其重心支持六腳型壓電振動陀螺儀。
下面，具體說明寬度尺寸W1、W2、W3、W4。
激勵用臂3a、3b各自的寬度尺寸W1為420μm。非激勵用臂3c的寬度尺寸W2是比寬度尺寸W1大約大19％的500μm。檢測用臂4a、4b各自的寬度尺寸W3是比寬度尺寸W1大約大5％的440μm。非檢測用臂4c的寬度尺寸W4是比寬度尺寸W2大約小8％的460μm。在通過這些寬度尺寸W1、W2、W3、W4，使驅動側臂部3的3腳的臂和檢測側臂部4的3腳的臂上的重量相等后，能夠使壓電體1的重心與本體部2的幾何學的中心位置一致。
用氧化鋁重心支持該壓電體1，為了調整激勵用臂3a、3b上的共振頻率和檢測用臂4a、4b上的共振頻率的差分，加工激勵用臂3a、3b及檢測用臂4a、4b各自的前端部，進行失調寬度處理。具體是，預先在前端部上成膜導電性金屬材料即金鍍膜，附加質量，然后通過激光修整該鍍膜，實施失調寬度處理，由此將面內振動的共振頻率和面垂直振動的共振頻率的差，調整到低于30Hz。
關于該壓電體1，通過有限要素法(FEM)分析以及實測，調查在面內振動的寄生振動，結果發(fā)現(xiàn)，相對于驅動共振頻率8767Hz，在±200Hz以內，完全不存在。此外，有關面垂直振動的寄生振動的強度與面內振動的寄生振動的強度相比非常小，由于只在從驅動共振頻率大約離開280Hz時存在，因此也表明不影響旋轉靈敏度。此外，采用壓電體1，制作六腳型壓電振動陀螺儀，在用頻率8767Hz、驅動電亞1Vp-p驅動，在Y軸周圍，將角速度Ω規(guī)定為3度/s旋轉時，旋轉輸出功率為0.36mV，判定能夠得到高靈敏度的旋轉特性。
另外，在激勵用臂3a、3b各自上，結合多個即在表面?zhèn)燃氨趁鎮(zhèn)确謩e各兩個，合計4個驅動側電極21。驅動側電極21，用于在激勵用臂3a、3b激勵面內振動，具有規(guī)定間隔地配設成平行的帶狀。
另外，在檢測用臂4a、4b各自上，結合多個即各面各1個，合計4個檢測側電極22。檢測側電極22，用于檢測檢測用臂4a、4b的面垂直振動，各自配設成帶狀。
參照圖3，說明與驅動側電極21的電接線。
在激勵用臂3a、3b各自上，在交流電源的兩極上分別連接相互對向的2個驅動側電極，并且在交流電源的兩極上也分別連接在相同的面內鄰接的2個驅動側電極21。而且，作為激勵用臂3a、3b整體，在驅動側電極21的外側的和內側的，相對于交流電源的連接極性相反。如此，以向在本體部2的厚度方向相反的方向激勵激勵用臂3a、3b各自的方式，形成電接線。用箭頭表示驅動側電極21形成的電力線的方向。
參照圖4，說明與檢測側電極22的電接線。
在一方的檢測用臂4a上，將在板厚方向相互對向的2個檢測側電極22，連接在檢測裝置(未圖示)的負極上，并且將其余的2個檢測側電極22連接在正極上。在另一方的檢測用臂4b上，將在板厚方向相互對向的2個檢測側電極22，連接在檢測裝置的正極上，并且將其余的2個檢測側電極22連接在負極上。另外，用箭頭表示檢測用臂4a、4b的電力線的方向。
參照圖5及圖6，說明本發(fā)明的第2實施方式的六腳型壓電振動陀螺儀。對于相同的部分，附加相同的參照符號，并省略說明。
圖5的壓電體1，是Z切割朗格賽特結晶制的壓電體，但也可以是Z切割水晶制的。用X、Y、Z軸表示屬于三方晶系的朗格賽特的方向性及角速度Ω的運動方向。
在壓電體1中，激勵用臂3a、3b、非激勵用臂3c、檢測用臂4a、4b、及非檢測用臂4c各自為角柱狀，臂長6.0mm。在Y軸的周圍，按角度Ω旋轉壓電體1的時候，向激勵用臂3a、3b作用科里奧利力。由于該科里奧利力向面垂直方向作用，所以激勵用臂3a、3b進行面垂直振動。本體部2具有向一對檢測用臂4a、4b傳遞該面垂直振動的功能。
在該壓電體1中，激勵用臂3a、3b各自的寬度尺寸W1為400μm。非激勵用臂3c的寬度尺寸W2是比寬度尺寸W1大約小10％的360μm。檢測用臂4a、4b各自的寬度尺寸W3是比寬度尺寸W1大約小7.5％的370μm。非檢測用臂4c的寬度尺寸W4是比非激勵用臂3c的寬度尺寸W2大約大17％的420μm。如此，通過使驅動側臂部3的3腳的臂和檢測側臂部4的3腳的臂上的重量相等外，而且使壓電體1的重心與本體部2的幾何學的中心位置一致。通過使用該壓電體1，在Y軸的周圍以角速度Ω旋轉壓電體1時，能夠用檢測用臂4a、4b檢測角速度Ω。
用氧化鋁重心支持該壓電體1，為了調整激勵用臂3a、3b上的共振頻率和檢測用臂4a、4b上的共振頻率的差分，加工激勵用臂3a、3b及檢測用臂4a、4b各自的前端部，進行失調寬度處理。具體是，通過利用濺射法在前端部上成膜導電性金屬材料金(Au)，在降低頻率的方向，實施失調寬度處理，由此將面內振動的共振頻率和面垂直振動的共振頻率的差，調整到18Hz。
關于該壓電體1，通過有限要素法(FEM固有值)分析以及實測，調查在面內振動的寄生振動，結果發(fā)現(xiàn)，相對于驅動共振頻率7830Hz，在±200Hz以內，完全不存在。此外，采用壓電體1，制作六腳型壓電振動陀螺儀，在用頻率7830Hz、驅動電亞1Vp-p驅動，在Y軸周圍，將角速度Ω規(guī)定為2度/s旋轉時，旋轉輸出功率為0.26mV，判定能夠得到高靈敏度的旋轉特性。
另外，參照圖6，在激勵用臂3a、3b各自上，結合多個即在各面各1個，合計4個驅動側電極11。驅動側電極11，用于在激勵用臂3a、3b激勵面內振動，各個配設成帶狀。
另外，在檢測用臂4a、4b各自上，結合多個即在與表面及背面直交的兩面各2個，合計4個檢測側電極12。檢測側電極12，用于檢測檢測用臂4a、4b的面垂直振動，具有規(guī)定間隔地配設成平行的帶狀。
參照圖7，說明與驅動側電極11的電接線。
在一方的激勵用臂3a上，將在板厚方向相互對向的2個驅動側電極1 1連接在交流電源的一方的極上，并且將其余的2個驅動側電極11連接在交流電源的另一方的極上。在另一方的激勵用臂3b上，將在板厚方向相互對向的2個驅動側電極11，連接在交流電源的另一方的極上，并且將其余的2個驅動側電極11連接在一方的極上。另外，用箭頭表示驅動側電極11形成的電力線的方向。
參照圖8，說明與檢測側電極12的電接線。
在檢測用臂4a、4b上，將相互對向的2個檢測側電極12，連接在檢測裝置(未圖示)的兩極上，并且也分別將在相同的面內鄰接的2個檢測側電極12連接在兩極上。如此，以檢測激勵用臂3a、3b各自的相反方向的振動的方式，形成電接線。另外，用箭頭表示檢測用臂4a、4b的電力線的方向。
參照圖9，說明壓電體1的其它例子。對于相同的部分，附加相同的參照符號，并省略說明。
圖9的壓電體1，是Z切割水晶制，但也可以是Z切割朗格賽特結晶制的壓電體。用X、Y、Z軸表示屬于三方晶系的水晶的方向性及角速度Ω的運動方向。
在壓電體1中，激勵用臂3a、3b、非激勵用臂3c、檢測用臂4a、4b、及非檢測用臂4c各自為角柱狀，臂長6.0mm。在Y軸的周圍，按角度Ω旋轉壓電體1的時候，能夠向激勵用臂3a、3b作用科里奧利力。由于該科里奧利力向面垂直方向作用，所以激勵用臂3a、3b進行面垂直振動。本體部2具有向一對檢測用臂4a、4b傳遞該面垂直振動的功能。
在該壓電體1中，激勵用臂3a、3b各自的寬度尺寸W1為400μm。非激勵用臂3c的寬度尺寸W2是比寬度尺寸W1大約大10％的440μm。檢測用臂4a、4b各自的寬度尺寸W3是比寬度尺寸W1大約小5％的380μm。非檢測用臂4c的寬度尺寸W4是比非激勵用臂3c的寬度尺寸W2大約大9％的480μm。如此，通過使驅動側臂部3的3腳的臂和檢測側臂部4的3腳的臂上的重量相等，而且使重心與本體部2的幾何學的中心位置一致。通過使用該壓電體1，在Y軸的周圍以角速度Ω旋轉壓電體1時，能夠用檢測用臂4a、4b檢測角速度Ω。
用氧化鋁重心支持該壓電體1，為了調整激勵用臂3a、3b上的共振頻率和檢測用臂4a、4b上的共振頻率的差分，加工激勵用臂3a、3b及檢測用臂4a、4b各自的前端部，進行失調寬度處理。由此將面內振動的共振頻率和面垂直振動的共振頻率的差，調整到9Hz。
關于該壓電體1，通過有限要素法(FEM固有值)分析以及實測，調查在面內振動的寄生振動，結果發(fā)現(xiàn)，相對于驅動共振頻率9361Hz，在±200Hz以內，完全不存在。此外，采用壓電體1，制作六腳型壓電振動陀螺儀，在用頻率9361Hz、驅動電亞1Vp-p驅動，在Y軸周圍，將角速度Ω規(guī)定為1度/s旋轉時，旋轉輸出功率為0.062mV，判定能夠得到高靈敏度的旋轉特性。
參照圖10，說明壓電體1的又一其它例子。對于相同的部分，附加相同的參照符號，并省略說明。
圖10的壓電體1，是Z切割水晶制，但也可以是Z切割朗格賽特結晶制的壓電體。用X、Y、Z軸表示屬于三方晶系的水晶的方向性及角速度Ω的運動方向。
在壓電體1中，激勵用臂3a、3b、非激勵用臂3c、檢測用臂4a、4b、及非檢測用臂4c各自為角柱狀，臂長6.0mm。在Y軸的周圍，按角度Ω旋轉壓電體1的時候，能夠向激勵用臂3a、3b作用科里奧利力。由于該科里奧利力向面垂直方向作用，所以激勵用臂3a、3b進行面垂直振動。本體部2具有向一對檢測用臂4a、4b傳遞該面垂直振動的功能。
在該壓電體1中，激勵用臂3a、3b各自的寬度尺寸W1為400μm。非激勵用臂3c的寬度尺寸W2是比寬度尺寸W1大約小15％的340μm。檢測用臂4a、4b各自的寬度尺寸W3是比寬度尺寸W1大約小10％的360μm。非檢測用臂4c的寬度尺寸W4是比非激勵用臂3c的寬度尺寸W2大約大24％的420μm。如此，通過使驅動側臂部3的3腳的臂和檢測側臂部4的3腳的臂上的重量相等，而且使重心與本體部2的幾何學的中心位置一致。通過使用該壓電體1，在Y軸的周圍以角速度Ω旋轉壓電體1時，能夠用檢測用臂4a、4b檢測角速度Ω。
用氧化鋁重心支持該壓電體1，為了調整激勵用臂3a、3b上的共振頻率和檢測用臂4a、4b上的共振頻率的差分，加工激勵用臂3a、3b及檢測用臂4a、4b各自的前端部，進行失調寬度處理。由此將面內振動的共振頻率和面垂直振動的共振頻率的差，調整到10Hz。
關于該壓電體1，通過有限要素法(FEM固有值)分析以及實測，調查在面內振動的寄生振動，結果發(fā)現(xiàn)，相對于驅動共振頻率9353Hz，在±200Hz以內，完全不存在。此外，采用壓電體1，制作六腳型壓電振動陀螺儀，在用頻率9353Hz、驅動電亞1Vp-p驅動，在Y軸周圍，將角速度Ω規(guī)定為1度/s旋轉時，旋轉輸出功率為0.061mV，判定能夠得到高靈敏度的旋轉特性。
參照圖11，說明壓電體1的又一其它例子。對于相同的部分，附加相同的參照符號，并省略說明。
圖11的壓電體1，是Z切割水晶制的，但也可以是Z切割朗格賽特結晶制的。用X、Y、Z軸表示屬于三方晶系的水晶的方向性及角速度Ω的運動方向。
在壓電體1中，激勵用臂3a、3b、非激勵用臂3c、檢測用臂4a、4b、及非檢測用臂4c各自為角柱狀，臂長6.0mm。在Y軸的周圍，按角度Ω旋轉壓電體1的時候，能夠向激勵用臂3a、3b作用科里奧利力。由于該科里奧利力向面垂直方向作用，所以激勵用臂3a、3b進行面垂直振動。本體部2具有向一對檢測用臂4a、4b傳遞該面垂直振動的功能。
在該壓電體1中，激勵用臂3a、3b各自的寬度尺寸W1為400μm。非激勵用臂3c的寬度尺寸W2是比寬度尺寸W1大約小5％的380μm。檢測用臂4a、4b各自的寬度尺寸W3是比寬度尺寸W1大約大10％的440μm。非檢測用臂4c的寬度尺寸W4是比非激勵用臂3c的寬度尺寸W2大約小21％的300μm。如此，通過使驅動側臂部3的3腳的臂和檢測側臂部4的3腳的臂上的重量相等，而且使重心與本體部2的幾何學的中心位置一致。通過使用該壓電體1，在Y軸的周圍以角速度Ω旋轉壓電體1時，能夠用檢測用臂4a、4b檢測角速度Ω。
用氧化鋁重心支持該壓電體1，為了調整激勵用臂3a、3b上的共振頻率和檢測用臂4a、4b上的共振頻率的差分，加工激勵用臂3a、3b及檢測用臂4a、4b各自的前端部，進行失調寬度處理。由此將面內振動的共振頻率和面垂直振動的共振頻率的差，調整到8Hz。
關于該壓電體1，通過有限要素法(FEM固有值)分析以及實測，調查在面內振動的寄生振動，結果發(fā)現(xiàn)，相對于驅動共振頻率9361Hz，在±200Hz以內，完全不存在。此外，采用壓電體1，制作六腳型壓電振動陀螺儀，在用頻率9361Hz、驅動電亞1Vp-p驅動，在Y軸周圍，將角速度Ω規(guī)定為1度/s旋轉時，旋轉輸出功率為0.063mV，判定能夠得到高靈敏度的旋轉特性。
在以上說明的各六腳型壓電振動陀螺儀中，由于激勵用臂3a、3b的寬度尺寸和檢測用臂4a、4b的寬度尺寸有很大不同，所以面內振動的共振頻率相互不同，通過在驅動振動頻率的附近不存在有關檢測側的面內振動的寄生振動，能夠得到高靈敏度、穩(wěn)定性優(yōu)良的基本特性。
另外，在上述中，說明了將壓電體1規(guī)定為X切割水晶制或X切割水晶制、或Z切割朗格賽特結晶制或Z切割水晶制的例子，但是除此以外，由于采用130度旋轉Y板鉭酸鋰或壓電陶瓷等，也能夠得到同樣的作用效果，所以壓電體1的材料不局限于所述的材料。
如以上說明，根據本發(fā)明的六腳型壓電振動陀螺儀，面內振動的共振頻率相互不同，在使用狀態(tài)下，在驅動振動頻率的附近不存在有關檢測側的面內振動的寄生振動，在制作陀螺儀時，能夠充分抑制壓電體上的面內振動的寄生振動。此外，能夠進行穩(wěn)定性高、旋轉靈敏度優(yōu)良、高精度的利用高S/N比的角速度檢測，結果能夠用優(yōu)良的分解能檢測地球的自傳速度以下的小的角速度。
本發(fā)明的六腳型壓電振動陀螺儀，能夠在汽車導航或船舶航行用的姿勢控制裝置等中用作角速度檢測器。
權利要求
1.一種壓電振動陀螺儀，其特征是包括本體部、從所述本體部相互間隔地向第1方向延長的一對激勵用臂、在所述激勵用臂間從所述本體部向所述第1方向延長的1個非激勵用臂、從所述本體部相互間隔地向與所述第1方向相反的第2方向延長的一對檢測用臂、在所述檢測用臂間從所述本體部向所述第2方向延長的1個非檢測用臂、分別結合在所述激勵用臂上的驅動側電極、及分別結合在所述檢測用臂上的檢測側電極，所述激勵用臂、所述非激勵用臂、所述檢測用臂及所述非檢測用臂各自由壓電體構成，所述激勵用臂各自和所述非激勵用臂在寬度尺寸上相互不同，所述激勵用臂各自和所述檢測用臂各自在寬度尺寸上相互不同，所述激勵用臂各自和所述非檢測用臂在寬度尺寸上相互不同。
2.如權利要求1所述的壓電振動陀螺儀，其特征是具有與所述本體部的幾何學的中心位置一致的重心。
3.如權利要求1或2所述的壓電振動陀螺儀，其特征是所述本體部是以正反面各自作為主面的矩形板，所述激勵用臂、所述非激勵用臂、所述檢測用臂及所述非檢測用臂各自，與所述主面平行地延長。
4.如權利要求1～3中任何一項所述的壓電振動陀螺儀，其特征是所述驅動側電極，相互在逆相位分別激勵所述激勵用臂。
5.如權利要求1～4中任何一項所述的壓電振動陀螺儀，其特征是所述非激勵用臂的寬度尺寸，以2％～60％的范圍大于所述激勵用臂各自的寬度尺寸，所述檢測用臂各自的寬度尺寸，以1％～30％的范圍大于所述激勵用臂各自的寬度尺寸，所述非檢測用臂的寬度尺寸，以2％～60％的范圍小于所述非激勵用臂各自的寬度尺寸。
6.如權利要求1～4中任何一項所述的壓電振動陀螺儀，其特征是所述非激勵用臂的寬度尺寸，以2％～60％的范圍大于所述激勵用臂各自的寬度尺寸，所述檢測用臂各自的寬度尺寸，以1％～30％的范圍小于所述激勵用臂各自的寬度尺寸，所述非檢測用臂的寬度尺寸，以2％～60％的范圍大于所述非激勵用臂各自的寬度尺寸。
7.如權利要求1～4中任何一項所述的壓電振動陀螺儀，其特征是所述非激勵用臂的寬度尺寸，以2％～60％的范圍小于所述激勵用臂各自的寬度尺寸，所述檢測用臂各自的寬度尺寸，以1％～30％的范圍大于所述激勵用臂各自的寬度尺寸，所述非激勵用臂的寬度尺寸，以2％～60％的范圍小于所述非激勵用臂各自的寬度尺寸。
8.如權利要求1～4中任何一項所述的壓電振動陀螺儀，其特征是所述非激勵用臂的寬度尺寸，以2％～60％的范圍小于所述激勵用臂各自的寬度尺寸，所述檢測用臂各自的寬度尺寸，以1％～30％的范圍小于所述激勵用臂各自的寬度尺寸，所述非檢測用臂的寬度尺寸，以2％～60％的范圍大于所述非激勵用臂各自的寬度尺寸。
9.如權利要求1～8中任何一項所述的壓電振動陀螺儀，其特征是所述本體部的幾何學的中心位置被支撐。
10.如權利要求1～9中任何一項所述的壓電振動陀螺儀，其特征是所述激勵用臂及所述檢測用臂的至少一方，具有用于調整兩者間的共振頻率的差分的進行了失調寬度處理的特定部分。
11.如權利要求10所述的壓電振動陀螺儀，其特征是所述失調寬度處理，包括對所述特定部分實施的加工。
12.如權利要求11所述的壓電振動陀螺儀，其特征是所述失調寬度處理，包括對所述特定部分利用濺射法形成導電性膜。
13.如權利要求12所述的壓電振動陀螺儀，其特征是所述失調寬度處理，另外還包括對所述導電性膜的激光修整。
全文摘要
本發(fā)明提供一種六腳型壓電振動陀螺儀，具有從本體部(2)相互間隔地向第1方向(A1)延長的一對激勵用臂(3a、3b)、在激勵用臂間從本體部向第1方向延長的1個非激勵用臂(3c)、從本體部相互間隔地向第2方向(A2)延長的一對檢測用臂(4a、4b)、在檢測用臂間從本體部向第2方向延長的1個非檢測用臂(4c)。在激勵用臂上結合驅動側電極。在檢測用臂上結合檢測用臂。激勵用臂、非激勵用臂、檢測用臂及非檢測用臂各自構成壓電體。激勵用臂各自和非激勵用臂在寬度尺寸上相互不同。激勵用臂各自和檢測用臂各自在寬度尺寸上相互不同。激勵用臂各自和非檢測用臂在寬度尺寸上相互不同。
文檔編號G01P9/04GK1759299SQ20048000618
公開日2006年4月12日 申請日期2004年3月5日 優(yōu)先權日2003年3月6日
發(fā)明者井上武志, 山本滿, 越智篤, 倉本健次, 中島光浩 申請人:日本電氣株式會社, 日本航空電子工業(yè)株式會社