專利名稱：光學(xué)系統(tǒng)星點(diǎn)實(shí)時測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于光電測量技術(shù)，特別是一種涉及光學(xué)系統(tǒng)星點(diǎn)實(shí)時測量裝置。
背景技術(shù)：
通過考察一個點(diǎn)光源經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)后在像面前后不同截面上所成衍射像的光強(qiáng)分布，即星點(diǎn)像，可以定性的評定光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量。這種衍射圖案的變形以及在各衍射環(huán)之間光能量的分布與理想情況下的差異能夠非常靈敏地反映出光學(xué)系統(tǒng)或者光學(xué)零件的缺陷。以往傳統(tǒng)的星點(diǎn)測量方法都是借助于顯微鏡等目視工具，其測量裝置主要由一個包括光源在內(nèi)的光具座、被測光學(xué)系統(tǒng)鏡頭和顯微鏡組成，測量人員通過顯微鏡的目鏡直接進(jìn)行觀察和測量，所以效率較低，測量結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，費(fèi)時費(fèi)力，且測量時人為因素的影響較大。在觀察其衍射圖案時不易察覺一些細(xì)節(jié)；在測量能量分布情況時，由于受測量人員的影響，其結(jié)果也是不同的。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠快速判讀，且測量精度較高的光學(xué)系統(tǒng)星點(diǎn)實(shí)時測量裝置。
解決上述問題的技術(shù)方案是所提供的光學(xué)系統(tǒng)星點(diǎn)實(shí)時測量裝置具有依次排列的一個包括光源在內(nèi)的光具座、被測光學(xué)系統(tǒng)鏡頭和顯微物鏡，本實(shí)用新型的特別之處是在上述顯微物鏡后面設(shè)有一個面陣電荷耦合器，在該面陣電荷耦合器的輸出端接有一個帶采集卡的計算機(jī)。光源發(fā)出的光經(jīng)過光具座、被測光學(xué)系統(tǒng)鏡頭和顯微鏡物鏡后被面陣電荷耦合器接收，再通過計算機(jī)進(jìn)行圖像處理，計算出星點(diǎn)像的大小。
面陣電荷耦合器的光敏元存在一定形式的幾何空間排列，其感光像元的幾何精度是靠光刻工藝保證的，累積誤差小于1微米，且每個像素的位置可尋址。本實(shí)用新型以面陣電荷耦合器作為探測器，可以將測量目標(biāo)像采集，避免了人為因素的影響，消除了眼睛疲勞，減輕了勞動強(qiáng)度，不但使測量精度大大提高，而且提高了勞動效率，并且可以進(jìn)行多人觀測，其檢測結(jié)果還可以以圖片形式保存，以備查驗(yàn)。


附圖是本實(shí)用新型一個實(shí)施例的結(jié)構(gòu)原理示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖所示光具座1包括光源11、濾光片12、聚光鏡13、星點(diǎn)板14和平行光管物鏡15，在平行光管物鏡15的后面設(shè)有一個被測光學(xué)系統(tǒng)鏡頭2，再之后是顯微鏡3，顯微物鏡3后面接有一個面陣電荷耦合器4，面陣電荷耦合器4的輸出端與計算機(jī)5相接。光源11發(fā)出的光經(jīng)過濾光片12后通過聚光鏡13會聚在星點(diǎn)板上14上，再通過平行光管物鏡15后的光線為平行光束，然后通過被測光學(xué)系統(tǒng)鏡頭2后被顯微物鏡3放大，再被面陣電荷耦合器4接收，最后用帶有采集卡的計算機(jī)5對被測光學(xué)系統(tǒng)星點(diǎn)像進(jìn)行圖像采集，通過圖像處理計算出星點(diǎn)像的大小，將星點(diǎn)形狀和大小以圖表形式列出。
本實(shí)例中的星點(diǎn)板圓孔直徑為0.4mm；平行光管焦距為35mm；被測光學(xué)系統(tǒng)焦距為250mm；面陣電荷耦合器采用MTV-1881EX型，圖像采集卡分辨率為800×600，所測的光學(xué)系統(tǒng)星點(diǎn)在子午和弧矢方向均為0.053mm。
權(quán)利要求1.一種光學(xué)系統(tǒng)星點(diǎn)實(shí)時測量裝置，具有依次排列的一個包括光源在內(nèi)的光具座(1)、被測光學(xué)系統(tǒng)鏡頭(2)和顯微物鏡(3)，其特征是在所述顯微物鏡(3)的后面設(shè)有一個面陣電荷耦合器(4)，在該面陣電荷耦合器(4)的輸出端接有一個帶采集卡的計算機(jī)(5)。
專利摘要本實(shí)用新型屬于光電測量技術(shù)，是一種光學(xué)系統(tǒng)星點(diǎn)實(shí)時測量裝置，它具有一個包括光源在內(nèi)的光具座、被測光學(xué)系統(tǒng)鏡頭和顯微鏡，在所述顯微鏡的物鏡后面設(shè)有一個面陣電荷耦合器，在該面陣電荷耦合器的輸出端接有一個帶采集卡的計算機(jī)。光源發(fā)出的光經(jīng)過光具座、被測光學(xué)系統(tǒng)鏡頭和顯微鏡物鏡后被面陣電荷耦合器接收，再通過計算機(jī)進(jìn)行圖像處理，計算出星點(diǎn)像的大小。由于采用了面陣電荷耦合器作為探測器，可以將測量目標(biāo)像采集，所以能夠快速判讀，且測量精度較高。
文檔編號G01M11/02GK2735322SQ200420085949
公開日2005年10月19日 申請日期2004年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月16日
發(fā)明者王虎, 張毅, 趙建科, 車馳騁 申請人:中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所