專利名稱：布線圖形檢查裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及布線圖形檢查裝置及方法，尤其涉及對帶載方式的TAB(Tape Automated Bonding)帶照射照明光，利用攝像裝置攝取形成在TAB帶上的布線圖形，并通過與作為檢查標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)圖形比較，而自動進(jìn)行布線圖形檢查的布線圖形檢查裝置及布線圖形的檢查方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體器件為了因應(yīng)高集成化與高密度安裝的要求，正推進(jìn)多引線化與微小化。由于有利于此多引線化或微小化，所以采用將半導(dǎo)體芯片與設(shè)在薄膜狀的TAB帶上的多個引線相連接的方法。
圖5表示制作TAB帶的順序。
(1)如圖5(a)所示，TAB帶10是由厚度20-150μm左右(多數(shù)為25-75μm)、寬度35-165mm左右的樹脂薄膜形成的，在該樹脂薄膜上，除了形成有穿孔103的兩側(cè)周邊部外，均涂敷有厚度10-15μm左右的粘合劑。
(2)如圖5(b)所示，在其上貼合銅箔等金屬箔105。
(3)如圖5(e)所示，通過曝光及蝕刻來加工該金屬箔(銅箔)105，而形成布線圖形。此時，粘合劑層104層未被去除而原樣殘留。
圖6是表示如前所述形成有布線圖形的TAB帶的1個例子。
如該圖所示，在帶狀的帶(TAB帶)上連續(xù)制作多個同一電路，并以該圖的虛線所包圍的部分作為1個布線圖形(稱為1段)。該圖中，111是布線電路圖形。另外，內(nèi)部的長方形是安裝半導(dǎo)體芯片的開口部(器件孔)110，設(shè)置于長方形的兩側(cè)的部分是可在該部分上折疊布線圖形的縫隙部112。
在這種TAB帶10的制造工序中，需要檢查是否正確形成布線圖形，通過布線圖形檢查裝置進(jìn)行檢查。
布線圖形檢查裝置是以照明光對所檢查的TAB帶10進(jìn)行照明，以攝像裝置或目視來檢測出布線圖形的狀態(tài)(外觀)，并與標(biāo)準(zhǔn)圖形進(jìn)行比較，以判定所形成的布線圖形是否合格。
近年來，也采用自動檢查裝置，預(yù)先在檢查裝置的控制部的存儲部中存儲裝置標(biāo)準(zhǔn)圖形，并比較存儲的標(biāo)準(zhǔn)圖形和通過攝像裝置攝取的實際的布線圖形，自動地判定是否合格。
在前述的自動檢查裝置中，為了攝取布線圖形而對TAB帶照射照明光的方法，有使用落射光的方法及使用透射光方法。
使用落射光的方法，是從TAB帶的上方(形成有布線的兩側(cè))照射照明光，由照射照明光的方向觀察由來自TAB帶的反射光的形成的布線圖形的圖像，例如，通過如CCD攝像機之類的攝像元件來攝取布線圖形的像，并進(jìn)行圖像處理。
另一方面，使用透射照明的方法，是從TAB帶的下方(與形成有布線的面相反一側(cè))進(jìn)行照明，由TAB帶的上方(與照射照明光一側(cè)相反一側(cè))觀察通過透射TAB帶的透射光形成的布線圖形的像。
TAB帶的樹脂薄膜的材料在大部分的情況下，都使用聚酰亞胺，通過調(diào)整厚度，可以透射波長大于500nm的光。因此，在進(jìn)行進(jìn)行透射照明時，選擇含500nm以上波長的光作為照明光。
另外，還提出了使用落射照明光和透射照明光的兩者，以檢查板狀的工件的方法(例如參考專利文獻(xiàn)1的現(xiàn)有例)。
前述專利文獻(xiàn)1公開了一種裝置，其設(shè)置有用于照射板狀工件的表面?zhèn)鹊穆渖湔彰餮b置、用于照明該工件的背面?zhèn)鹊耐干湔彰餮b置、及用于攝取由前述落射照明裝置形成的前述工件的反射像(以下，稱為落射照明圖像)和由前述透射照明裝置形成的前述工件的透射像(以下，稱為透射照明圖像)的攝像機，并依據(jù)工件的反射像和透射像進(jìn)行工件的各種缺陷的檢查。
專利文獻(xiàn)1日本特開2001-305074號公報布線圖形(以下，也有僅稱為圖形的)的檢查的目的，是判定布線圖形是否被形成所期望的形狀，例如，判定所形成的布線圖形的粗細(xì)相對于標(biāo)準(zhǔn)圖形，是否在允許范圍內(nèi)。所形成的布線圖形的粗細(xì)太粗(以下，稱為粗大)時，則會有與相臨的布線圖形短路的情況，其粗細(xì)太細(xì)(以下，稱為窄細(xì))時，則有斷線的情況。
在檢查這種布線圖形的粗大或窄細(xì)時，期望通過透射照明來檢查。其是基于以下理由。
如圖7所示，蝕刻銅箔等的金屬箔以形成圖形時，所形成的圖形的剖面呈梯形狀，如比較圖形的上側(cè)的寬a和下側(cè)的寬b的尺寸，則下側(cè)的寬b較大。這是基于蝕刻液由銅箔的表面往內(nèi)部蝕刻時的擴散與速度，已經(jīng)廣為人知。
在檢查這種圖形時，在落射照明中，攝像元件獲取由布線圖形的表面反射的光，其以外的部分變暗。
因此，如圖8(a)所示，即使布線圖形在下側(cè)與相鄰的圖形短路，所攝取的圖像也映射為沒有短路的正常的圖形。因此，會有落掉不合格的情況。這種布線圖形在下側(cè)與相鄰的圖形短路的狀態(tài)被稱為“殘根(根殘り)”。
另一方面，使用透射照明時，攝像元件獲取透射樹脂薄膜的光，其以外的部分變暗。
因此，如圖8(b)所示，如布線圖形在下側(cè)與相鄰的圖形短路，則該部分不會有照明光透射，所攝取的圖像映射為粗細(xì)異常的布線圖形，因此，可以檢測出不合格。當(dāng)然，由布線的細(xì)線所導(dǎo)致的不合格也可以檢測。
但是，在透射照明中，卻無法檢查基板的如下位置的圖形。
例如，在前述的器件孔110中，如圖6所示，與半導(dǎo)體芯片連接，因此，由其側(cè)邊(器件孔110與樹脂薄膜102的邊界部分，以下，也稱為周緣)的4邊朝向器件孔110的內(nèi)側(cè)而露出多個布線(導(dǎo)線)111。如此，將懸浮于中空部中的導(dǎo)線稱為懸空導(dǎo)線，而需要對該懸空導(dǎo)線進(jìn)行檢查。
可是，為了檢查該懸空導(dǎo)線部和其附近而使用透射照明時，如圖9所示，器件孔110的側(cè)邊(周緣)變成黑影，無法與布線圖形相區(qū)別。
在以目視檢查的情況下，可以分辨器件孔110的周緣和布線圖形。但是，在通過圖像處理進(jìn)行的自動檢查中，無法對其進(jìn)行分辨，檢查裝置會誤判為因為粗大(短路)而導(dǎo)致的不合格。
另外，最近為了使裝置小型化，將TAB帶折疊而安裝在裝置上的情況增加，如前述圖6所示，設(shè)置有縫隙部112。
進(jìn)行該種TAB帶的折疊的部分(縫隙部112)，樹脂薄膜被部分剝離以易于折疊。
圖10表示前述縫隙部的制作步驟。
在該圖(a)所示的樹脂薄膜102上涂敷有粘合劑104的基體材料上，如該圖(b)所示進(jìn)行沖孔。接著，如該圖(c)所示，貼合銅等的金屬箔105，如同圖(d)所示，以樹脂等的易彎曲的保護(hù)膜107覆蓋已沖孔的部分。接著，如前所述，通過曝光、蝕刻對該金屬箔進(jìn)行加工。
即使在上述的縫隙部112中，也與器件孔110的情況相同，在使用透射照明時，其周緣變成黑影，無法與布線圖形相區(qū)別，同樣會被判斷為由粗大所導(dǎo)致的不合格。
如上所述，在只以落射照明光或透射照明光其中一種進(jìn)行的檢查中，無法涵蓋基板的全部而進(jìn)行布線圖形的粗大或窄細(xì)的檢查。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于通過組合由落射照明進(jìn)行的檢查及由反射照明進(jìn)行的檢查，可涵蓋基板的全部區(qū)域，不會誤檢而準(zhǔn)確地檢查布線圖形的粗大或窄細(xì)。
本發(fā)明的布線圖形檢查裝置，通過接收形成在透光性基板上的布線圖形的透射照明圖像，并將接收的圖像與標(biāo)準(zhǔn)圖形對照，從而進(jìn)行布線圖形是否合格的檢查，其設(shè)置對透光性基板的布線圖形照射落射照明光的照明裝置。
而且，攝取布線圖形的透射照明圖像與落射照明圖像，并設(shè)定基于透射照明圖像進(jìn)行檢查的區(qū)域(檢查區(qū)域)，及基于落射照明圖像進(jìn)行檢查的區(qū)域(檢查區(qū)域)，在各區(qū)域中將透射照明圖像及落射照明圖像與作為檢查標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)圖形進(jìn)行比較，以判定布線圖形是否合格。
在器件孔的周緣區(qū)域或?qū)渲∧げ糠謩冸x的縫隙部的周緣區(qū)域等、橫跨前述透光性基板的周緣而形成布線的區(qū)域中，如前所述，在透射照明圖像中產(chǎn)生黑影，因此，基于前述落射照明圖像檢查布線圖形是否合格，而在其以外的區(qū)域，則基于透射照明圖像進(jìn)行檢查。
發(fā)明效果在本發(fā)明中，可以獲得以下的效果。
(1)對于進(jìn)行檢查的布線圖形，幾乎所有的區(qū)域是使用適合于檢測由“殘根”所導(dǎo)致的布線的短路的透射照明進(jìn)行檢查，另外，在不適用透射照明的器件孔、縫隙部等特別的區(qū)域中由落射照明進(jìn)行檢查，因而，可以不會誤檢測地檢測出不合格的布線圖形。
(2)組合透射照明圖像和落射照明圖像，從而進(jìn)行布線圖形是否合格的檢查，因此，幾乎不需要人以目視來判定是否合格，可涵蓋檢查的基板的全部區(qū)域，可以不會誤檢測地進(jìn)行布線圖形的粗大或窄細(xì)的自動檢查。


圖1是本發(fā)明的實施例的布線圖形檢查裝置的方框圖。
圖2是表示器件孔附近的檢查區(qū)域的設(shè)定例的圖。
圖3是表示縫隙部附近的檢查區(qū)域的設(shè)定例的圖。
圖4是表示器件孔或縫隙部的周緣區(qū)域的實際的透射照明圖像和落射照明圖像圖。
圖5是表示制作TAB帶的步驟圖。
圖6是表示形成有布線圖形的TAB帶的例子的圖。
圖7表示蝕刻銅箔等金屬箔而形成圖形時所形成的圖形的剖面圖。
圖8是說明將落射照明光用作照明光的情況下，所看漏的不合格圖形的圖。
圖9是表示器件孔的周緣附近的透射照明圖像的一例的圖。
圖10是顯示縫隙部的制作步驟圖。
具體實施例方式
圖1是表示本發(fā)明的實施例的布線圖形檢查裝置的方框圖。另外，在以下的實施例中，雖就基板是TAB帶的情況進(jìn)行說明，但是，本發(fā)明的方法除TAB帶之外，也可以使用于由透射照明光進(jìn)行的各種基板的檢查。
如圖1所示，本實施例的布線圖形檢查裝置具備，由傳送TAB帶10的輸出盤12、卷取盤13等所成的帶傳送機構(gòu)11，檢查部1，及對不合格圖形進(jìn)行標(biāo)記的標(biāo)記部3。
在檢查部1中，對由輸出盤12所送出的TAB帶10照射透射照明光及落射照明光，并由攝像裝置1c攝取形成在TAB帶10的圖形10a。掃描裝置2是在TAB帶10的圖形10a上以透射照明裝置1a、落射照明裝置1b、攝像裝置1c進(jìn)行掃描。
在標(biāo)記部3中，為了相對于合格品可以明確區(qū)別不合格的圖形，一旦檢查出不合格圖形，即對不合格圖形施以由穿孔機進(jìn)行的穿孔或涂色等。
另外，設(shè)置有控制部4，其用于控制前述檢查部1、掃描裝置2、標(biāo)記部3、及帶傳送機構(gòu)11的動作，并且比較所攝取的透射照明圖像圖形或落射照明圖像圖形與作為各自的標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)圖形，以判定圖形是否合格。
在控制部4中預(yù)先輸入作為圖形檢查標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)圖形。標(biāo)準(zhǔn)圖形準(zhǔn)備有用于落射照明用和用于透射照明用的2種圖形。
另外，標(biāo)準(zhǔn)圖形可以是攝取被判定為合格品的實際的圖形的圖像，也可以是使用CAD數(shù)據(jù)的圖形。
檢查部1具有從背面?zhèn)日彰鱐AB帶10的2個透射照明裝置1a，由表面?zhèn)日彰鞯?個落射照明裝置1b，及隔著TAB帶10而設(shè)置在與透射照明裝置1a相對的位置上、通過透射TAB帶10的透射照明光及由TAB帶10反射的落射照明光來攝取形成在TAB帶10上的電路等的圖形10a的攝像裝置1c。
透射照明裝置1a的光源可適當(dāng)?shù)剡x擇可發(fā)出能透射TAB帶10的樹脂薄膜的波長的，但在本實施例中，使用可射出波長850nm以上的光的LED。
攝像裝置1c是對照明光的波長具有感光靈敏度的例如CCD線性傳感器，下面對將CCD線性傳感器用作攝像裝置1b的情況進(jìn)行說明。另外，如可使透射照明裝置1a、落射照明裝置1b的光量足夠大，也可使用完全攝取整個檢查圖形的CCD攝像機以代替CCD線性傳感器。
掃描裝置2是在TAB帶10的圖形10a上，例如使CCD線性傳感器1c、透射照明裝置1a和落射照明裝置1b在該圖的紙面左右方向上掃描，并通過攝像裝置1c獲得檢查的整個圖形10a的圖像。
顯示部5用于顯示攝取的圖形10a的圖像，或預(yù)先輸入的標(biāo)準(zhǔn)圖形的圖像。輸入部6是輸入布線圖形的檢查標(biāo)準(zhǔn)等的鍵盤或滑鼠。
控制部4設(shè)置有控制檢查部1、掃描裝置2、標(biāo)記部3及帶傳送機構(gòu)11的動作的控制裝置4a，判定裝置4b，及存儲裝置4c。在判定部4b中，將如前述所攝取的通過透射照明裝置1a和落射照明裝置1b形成的圖形10a的圖像與前述的標(biāo)準(zhǔn)圖形相比較，判定圖形是否合格。該判定是將攝取的圖形10a分成檢查區(qū)域(Region of Interest＝ROI)，將每一檢查區(qū)域與標(biāo)準(zhǔn)圖形比較，從而判定是否合格。
前述圖形10a印刷有對準(zhǔn)標(biāo)記，控制部4在攝取的圖形10a上搜尋前述對準(zhǔn)標(biāo)記，進(jìn)行攝取的圖形10a和標(biāo)準(zhǔn)圖形的對位，并在各每一檢查區(qū)域比較圖形。
前述各檢查區(qū)域設(shè)定為滿足如下的標(biāo)準(zhǔn)。
(i)一個檢查區(qū)域內(nèi)，檢查項目相同。
(ii)一個檢查區(qū)域內(nèi)，布線的寬度相同。
(iii)一個檢查區(qū)域內(nèi)，檢查規(guī)格相同。
在如前述圖6所示的TAB帶10中，至少將圖形10a分割為布線圖形部分、器件孔部分、縫隙部分的多個檢查區(qū)域，并在每一檢查區(qū)域比較圖形，從而判定是否合格。
檢查區(qū)域的設(shè)定是，在前述顯示部5顯示透射照明圖像、落射照明圖像，使用前述輸入部6的鍵盤或滑鼠，設(shè)定進(jìn)行檢查的矩形或多角形的封閉區(qū)域(檢查區(qū)域(ROI))。另外，前述檢查區(qū)域雖可對應(yīng)TAB帶上的圖形形狀等而適當(dāng)?shù)卦O(shè)定，但是，關(guān)于落射照明圖像，是將器件孔(デバイスホ一ル)110、縫隙部112的周緣部分設(shè)定為檢查區(qū)域。
另外，由前述輸入部6對前述每一檢查區(qū)域輸入用于判定檢查項目和判定圖形的是否合格的檢查規(guī)格值，并進(jìn)行檢查項目和檢查規(guī)格值的設(shè)定。檢查規(guī)格值例如為雙值化臨界值、布線的粗大、窄細(xì)的判定標(biāo)準(zhǔn)(布線的寬度、其允許范圍等)。
前述所設(shè)定的檢查區(qū)域的位置座標(biāo)及檢查項目、檢查規(guī)格值，及前述標(biāo)準(zhǔn)圖形存儲在前述控制部4的存儲裝置4c中，在進(jìn)行相同TAB帶上的布線圖形的檢查時，可重復(fù)使用。
另外，在使用圖像進(jìn)行檢查，以判定是否合格的情況下，區(qū)分適當(dāng)?shù)膮^(qū)域，并以成為對象的圖像信息為基礎(chǔ)進(jìn)行的檢查，是以往所進(jìn)行的。關(guān)于這種技術(shù)，請參考例如(FEST Project 集委員會 、「新実 畫像処理」、株式會社リンクス出版事業(yè)部、2001年6月6日発行)所附的CDROM的P33-34等。
接著，說明使用前述布線圖形檢查裝置的本發(fā)明的實施例的布線圖形的檢查步驟。
(1)如前述圖6所示，在TAB帶10上連續(xù)地制作多個相同的布線圖形?？刂撇?驅(qū)動帶傳送機構(gòu)11，將TAB帶10傳送到檢查部1。
(2)在將成為TAB帶10的檢查對象的圖形10a通過帶傳送機構(gòu)11傳送至檢查部1的特定位置時，TAB掩帶10在該位置停止。
通過透射照明裝置1a，由TAB帶10的下方(沒有設(shè)置布線圖形的一側(cè))照射照明光。另外此時，并沒有從落射照明裝置1b照射照明光。
而且，通過掃描裝置2，使CCD線性傳感器1c和透射照明裝置1a和落射照明裝置1b在該圖的紙面左右方向上掃描。由此，由透射照明裝置1a射出的照明光透射TAB帶10，由CCD線性傳感器1c受光，獲取圖形10a的圖像。
由CCD線性傳感器1c所接收的圖像，在具有布線圖形的部分變暗映射，其以外的部分明亮映射。將此圖像作為透射照明圖像存儲于控制部4。
(3)接著，停止來自透射照明裝置1a的照明，并通過落射照明裝置1b從TAB帶10的上方(設(shè)置有布線圖形一側(cè))照射照明光，通過掃描裝置2，使CCD線性傳感器1c、透射照明裝置1a和落射照明裝置1b進(jìn)行掃描。另外，如在與攝取前述透射照明圖像時的掃描方向的相反方向進(jìn)行掃描，可使檢查部1回復(fù)原來的位置。
CCD線性傳感器1c接收來自TAB帶10的反射光，并由CCD線性傳感器1c攝取圖形10a的圖像。
接收的圖像中，由圖形部分反射照明光而明亮映射，其他部分變暗映射。使前述的圖像明暗逆轉(zhuǎn)，并作為落射照明圖像存儲于控制部4。另外，使明暗逆轉(zhuǎn)的理由是，由于由透射照明形成的圖像和由落射照明形成的圖像中其明暗變成相反，因此在必須比較透射照明圖像和落射照明圖像以判定是否合格的情況下，使明暗一致會易于比較。
(4)將如前所述攝取并存儲的圖形10a的透射照明圖像顯示于顯示部5，如前所述，根據(jù)透射照明圖像設(shè)定檢查區(qū)域(ROI)。這里，以器件孔110和縫隙部112的周緣區(qū)域以外的幾乎全部區(qū)域為檢查對象。
另外，如前所述，輸入設(shè)定并區(qū)分的各檢查區(qū)域的檢查項目和檢查規(guī)格值。
接著，將圖形10a的落射照明圖像顯示于顯示部5，如前所述，根據(jù)落射照明圖像設(shè)定檢查區(qū)域(RIO)。這里，如果器件孔110或縫隙部112的周緣區(qū)域等由透射照明形成的圖像產(chǎn)生黑影，將預(yù)先知道的區(qū)域設(shè)定為檢查對象。另外，如前所述，輸入各檢查區(qū)域的檢查項目和檢查規(guī)格值。
圖2、圖3表示器件孔110及縫隙部112附近的檢查區(qū)域的設(shè)定例。該圖的虛線表示以透射照明圖像檢查的檢查區(qū)域的設(shè)定例，該圖的實線是表示由落射照明圖像檢查的檢查區(qū)域的設(shè)定例。
在本實施例中，如圖2(a)所示，將器件孔110的側(cè)邊(周緣)設(shè)定為由落射照明圖像形成的檢查區(qū)域，將其他部分設(shè)定為由透射照明圖像形成的檢查區(qū)域。
關(guān)于縫隙部112的附近，如圖3(a)所示，也將縫隙部112的側(cè)邊(周緣)設(shè)定為由落射照明圖像形成的檢查區(qū)域，將其他部分設(shè)定為由透射照明圖像形成的檢查區(qū)域。另外，在只使用落射照明圖像進(jìn)行布線圖形檢查的情況下，通常，如圖2、圖3(b)所示，將整個器件孔110及縫隙部112設(shè)定為一個檢查區(qū)域。
(6)檢查的執(zhí)行前述作業(yè)一結(jié)束，就各檢查區(qū)域檢查圖形是否合格。
控制部4的判定裝置4b在以基于透射照明圖像的檢查為對象的區(qū)域中，比較存儲的透射照明圖像及其標(biāo)準(zhǔn)圖形，另外，在以基于落射照明圖像的檢查為對象的區(qū)域中，比較透射照明圖像及其標(biāo)準(zhǔn)圖形，進(jìn)行所攝取的布線圖形相對于標(biāo)準(zhǔn)圖形是否在規(guī)定的尺寸范圍內(nèi)的檢查。
即，判定裝置4b對透射照明圖像搜尋對準(zhǔn)標(biāo)記，從而進(jìn)行與標(biāo)準(zhǔn)圖形的對位，在預(yù)先設(shè)定的各檢查區(qū)域中測量線寬，將從前述預(yù)先設(shè)定的檢查規(guī)格值偏離的判定為不合格的“粗大”或“窄細(xì)”。同樣地，對落射照明圖像搜尋對準(zhǔn)標(biāo)記，進(jìn)行與標(biāo)準(zhǔn)圖形的對位，在預(yù)先設(shè)定的各檢查區(qū)域中，將從前述預(yù)先設(shè)定的檢查規(guī)格值偏離的判定為不合格的“粗大”或“窄細(xì)”。
一旦圖形被判定為不合格，則控制部4的判定裝置4b存儲該圖形，該不合格圖形一被傳送至圖1所示的標(biāo)記部3時，便對該圖形加上不合格標(biāo)記。
另外，在通過只由圖像處理進(jìn)行的自動檢查很難判定是否合格的的情況下，則在顯示部5中顯示其部分透射照明圖像和落射照明圖像，由目視進(jìn)行檢查，以判定是否合格。
圖4是表示器件孔110或縫隙部112的周緣區(qū)域的實際的透射照明圖像和落射照明圖像。
圖4(a)是表示器件孔的周緣區(qū)域的透射照明圖像，圖(b)是表示同樣的器件孔周緣區(qū)域的落射照明圖像，圖4(c)是表示縫隙部的周緣區(qū)域的透射圖像，圖(d)是表示縫隙部的周緣區(qū)域的落射照明圖像。另外，圖4所示的落射照明圖像是前述的明暗逆轉(zhuǎn)前的圖像。
在透射照明圖像中，如該圖(a)、圖(c)所示，器件孔110的周緣，及縫隙部112的樹脂薄膜被切除的邊緣部分，是布線以黑影呈現(xiàn)而相連的，無法與布線的短路相區(qū)別。
另一方面，在落射照明圖像中，如該圖(b)、圖(d)所示，對于器件孔110的邊緣，布線明亮映射，產(chǎn)生對比的差，因此，通過圖像處理，可與邊緣明確區(qū)別。另外，在縫隙部112中，縫隙部本身并不映射，可只映射布線。
另外，通過在前述(4)所設(shè)定的透射照明圖像形成的檢查區(qū)域及通過落射照明圖像形成的檢查區(qū)域的位置，是在設(shè)定前述檢查區(qū)域時，作為位置座標(biāo)而存儲在控制部4中，因此，只要檢查的圖形10a相同，在檢查項目或檢查規(guī)格不變的情況下，無須重新設(shè)定檢查區(qū)域便可進(jìn)行檢查。
權(quán)利要求
1.一種布線圖形檢查裝置，其具備受像裝置，用于接收形成在透光性基板上的布線圖形的透射照明圖像；及，判定裝置，將由該受像裝置接收的圖像與標(biāo)準(zhǔn)圖形對照，以進(jìn)行布線圖形是否合格的檢查，其特征為設(shè)置用于向透光性基板的布線圖形照射落射照明光的照明裝置，并通過前述受像裝置接收布線圖形的落射照明圖像，前述判定裝置是在橫跨前述透光性基板的周緣而形成有布線的區(qū)域中，根據(jù)前述落射照明圖像來檢查布線圖形是否合格。
2.一種布線圖形檢查方法，用于檢查形成在透光性基板上的布線圖形是否合格，其特征為其具備第1工序，對作為檢查標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)圖形照射照明光，以獲得前述標(biāo)準(zhǔn)圖形的透射照明圖像和落射照明圖像；第2工序，參照前述標(biāo)準(zhǔn)圖形的透射照明圖像和落射照明圖像來設(shè)定檢查區(qū)域，使橫跨前述透光性基板的周緣而形成布線的區(qū)域根據(jù)落射照明圖像進(jìn)行檢查，而使其以外的區(qū)域根據(jù)透射照明圖像進(jìn)行檢查；第3工序，對進(jìn)行檢查的布線圖形照射照明光，以獲得前述布線圖形的透射照明圖像和落射照明圖像；及第4工序，基于第2工序中所設(shè)定的圖像，進(jìn)行布線圖形是否合格的判定。
全文摘要
本發(fā)明的目的是，通過組合由落射照明進(jìn)行的檢查和由反射照明進(jìn)行的檢查，不會誤檢測地檢查布線圖形的粗大或窄細(xì)。在TAB帶(10)的檢查對象圖形(10a)上，使攝像裝置(1c)、透射照明裝置(1a)、落射照明裝置(1b)進(jìn)行掃描，而獲得透射照明圖像和落射照明圖像，此外，在預(yù)先設(shè)定的每個檢查區(qū)域中，將前述透射照明圖像及落射照明圖像與作為檢查標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)圖形進(jìn)行比較，以判定布線圖形是否合格，在器件孔的周緣區(qū)域或?qū)渲∧げ糠謩冸x的縫隙部的周緣區(qū)域等、橫跨前述透光性基板的周緣而形成布線的區(qū)域中，基于前述落射照明圖像，檢查布線圖形是否合格，在其以外的區(qū)域基于透射照明圖像進(jìn)行檢查。
文檔編號G01B11/24GK1614398SQ200410090559
公開日2005年5月11日 申請日期2004年11月8日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月7日
發(fā)明者笹部高史 申請人:優(yōu)志旺電機株式會社