專利名稱：導(dǎo)電圖案檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及檢查在襯底上形成的導(dǎo)電圖案的狀態(tài)的導(dǎo)電圖案檢查裝置。
背景技術(shù)：
作為檢查在襯底上形成的導(dǎo)電圖案(conductive pattern)的狀態(tài)的方法，現(xiàn)有技術(shù)中，已知使觸頭探針(pin probe)接觸導(dǎo)電圖案兩端的方法。其在一個(gè)觸頭探針中流過電流而通過另一個(gè)觸頭探針檢測電壓值。并且，通過從所檢測的值中求出導(dǎo)電圖案的電阻值，而檢測出導(dǎo)電圖案的斷路(disconnection)和短路(short)。
但是，該方法中，存在因觸頭探針的接觸造成的導(dǎo)電圖案損傷和必須根據(jù)導(dǎo)電圖案的間距來替換觸頭探針的問題。
因此，日本專利申請公開2002-365325號(hào)公報(bào)中公開了非接觸檢查導(dǎo)電圖案的狀態(tài)的電路圖案檢查裝置。其從與導(dǎo)電圖案的一端靜電電容耦合(electrostatic capacitory coupling)的饋電電極將交流信號(hào)饋電給導(dǎo)電圖案。并且，通過靜電電容耦合到導(dǎo)電圖案的另一端的兩種傳感器電極檢測出該信號(hào)，并根據(jù)所檢測出的信號(hào)來檢查導(dǎo)電圖案的狀態(tài)。
由此，由于可以非接觸地檢查，所以不會(huì)損傷圖案，不需要根據(jù)間距來替換探針。
但是，該檢查裝置中，形成饋電的信號(hào)從饋電電極向?qū)щ妶D案，從導(dǎo)電圖案流向地的電流路徑。因此，導(dǎo)電圖案上所感應(yīng)的電壓值非常小，很容易受到雜音的影響。因此，不能進(jìn)行可靠性高的檢查。另外，需要供給高電壓的信號(hào)，而需要放電等的對策。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種可更簡單地進(jìn)行可靠性高的檢查的導(dǎo)電圖案檢查裝置。
根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電圖案檢查裝置，檢查在襯底上配置的多個(gè)導(dǎo)電圖案的狀態(tài)，其特征在于，包括傳感器電極，與檢查對象圖案的一端靜電耦合；饋電電極，與包含檢查對象圖案的至少兩個(gè)以上的連續(xù)導(dǎo)電圖案的另一端電連接；信號(hào)施加單元，經(jīng)饋電電極和傳感器電極向?qū)ο髨D案施加交流信號(hào)；電流值檢測單元，檢測出在信號(hào)施加單元的電源和傳感器電極或饋電電極間流過的電流值；缺陷檢測單元，根據(jù)所檢測出的電流值，檢測出有無導(dǎo)電圖案的斷路或短路。
根據(jù)本發(fā)明的另一導(dǎo)電圖案檢查裝置，檢查在襯底上配置的多個(gè)導(dǎo)電圖案的狀態(tài)，其特征在于，包括一對第一電極，與包含對象圖案和其兩側(cè)的導(dǎo)電圖案的至少三個(gè)以上的導(dǎo)電圖案的兩端電連接；一對第二電極，為配置在對象圖案的兩側(cè)的導(dǎo)電圖案上的一對電極，且分別靜電耦合到兩側(cè)的導(dǎo)電圖案上；第一施加單元，經(jīng)一對第一電極將第一頻率的交流信號(hào)施加給導(dǎo)電圖案；第二施加單元，經(jīng)一對第二電極將第二頻率的交流信號(hào)施加給導(dǎo)電圖案；傳感器電極，為設(shè)置在對象圖案上的電極，且靜電耦合到對象圖案上；電壓檢測單元，檢測出傳感器電極的每個(gè)頻率的電壓值；缺陷檢測單元，根據(jù)所檢測出的電壓值檢測有無斷路和短路。
根據(jù)本發(fā)明的其他導(dǎo)電圖案檢查裝置，檢查在襯底上按列狀配置、并通過Cs用公共條連接其一端的多個(gè)Cs圖案和與Cs圖案彼此交互按列狀配置的多個(gè)柵極圖案，其特征在于，包括Cs用電極，與包含對象Cs圖案的至少一個(gè)以上的Cs圖案的另一端靜電耦合；Cs用施加單元，經(jīng)Cs用公共條和Cs用電極將第一頻率的交流信號(hào)施加給對象Cs圖案；一對柵極用電極，與包含相鄰于對象Cs圖案的對象柵極圖案的至少一個(gè)以上的柵極圖案的兩端電連接；柵極用施加單元，經(jīng)一對柵極用電極將第二頻率的交流信號(hào)施加給對象柵極圖案；傳感器電極，與對象Cs圖案或?qū)ο髺艠O圖案靜電耦合；電壓值檢測單元，檢測出傳感器電極的每個(gè)頻率的電壓值；缺陷檢測單元，根據(jù)所檢測出的電壓值檢測出Cs圖案和柵極圖案的缺陷。
根據(jù)本發(fā)明的另一導(dǎo)電圖案檢查裝置，檢查在襯底上按列狀配置、并通過Cs用公共條連接其一端的多個(gè)Cs圖案和與Cs圖案彼此交互按列狀配置的多個(gè)柵極圖案，其特征在于，包括Cs用電極，與包含對象Cs圖案的至少一個(gè)以上的Cs圖案的另一端靜電耦合；Cs用施加單元，經(jīng)Cs用公共條和Cs用電極將交流信號(hào)施加給對象Cs圖案；一對柵極用電極，與包含相鄰于對象Cs圖案的對象柵極圖案的至少一個(gè)以上的柵極圖案的兩端電連接；柵極用施加單元，經(jīng)一對柵極用電極將交流信號(hào)施加給對象柵極圖案；傳感器電極，與對象Cs圖案或?qū)ο髺艠O圖案靜電耦合，與Cs用施加單元和柵極用施加單元的電源相連；電流值檢測單元，檢測出電源和傳感器電極之間的電流值；電流值檢測單元，根據(jù)所檢測出的電流值檢測出Cs圖案和柵極圖案的短路和斷線。
另外，這里，雖然襯底最好是用于液晶顯示面板等的玻璃襯底，但是若為按列狀配置多個(gè)導(dǎo)電圖案的襯底，也可以是其他襯底。另外，導(dǎo)電圖案包含稱為柵極圖案(gate pattern)、Cs圖案、數(shù)據(jù)圖案(datapattern)等的導(dǎo)電圖案。
根據(jù)本發(fā)明，向?qū)щ妶D案的交流信號(hào)的施加率變高，即使是低電壓的交流信號(hào)，也可進(jìn)行可靠性高的檢查。因此，可以更簡單地進(jìn)行可靠性高度的檢查。
根據(jù)其他本發(fā)明，向柵極圖案和Cs圖案的交流信號(hào)的施加率提高，故即使為低電壓的交流信號(hào)，也可進(jìn)行可靠性高的檢查。因此，可以更簡單進(jìn)行可靠性高的柵極圖案和Cs圖案的檢查。


圖1是作為本發(fā)明的實(shí)施例的圖案檢查裝置的概略側(cè)面圖；圖2是作為本發(fā)明的實(shí)施例的圖案檢查裝置的概略俯視圖；圖3是示出斷路位置檢測原理的圖；圖4是示出短路位置檢測原理的圖；圖5是作為其他實(shí)施例的圖案檢查裝置的概略俯視圖；圖6是作為其他實(shí)施例的圖案檢查裝置的概略俯視圖；圖7是示出斷路位置檢測原理的圖；圖8是示出短路位置檢測原理的圖；圖9是作為其他實(shí)施例的圖案檢查裝置的概略俯視圖；
圖10是示出短路位置檢測原理的圖；圖11是示出斷路位置檢測原理的圖；圖12是作為其他實(shí)施例的圖案檢查裝置的概略俯視圖；圖13是作為其他實(shí)施例的圖案檢查裝置的概略俯視圖。
符號(hào)說明10圖案檢查裝置；14導(dǎo)電圖案；16饋電電極；18，36，62傳感器電極；20，40，42，64，66電源；22電流檢測器；30公共條；32第一電極；34第二電極；44電壓值檢測器；50柵極圖案；52Cs圖案；56柵極用電極；60Cs用電極；82引出電極。
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的實(shí)施例。下面的說明中，尤其將用于液晶顯示面板等的玻璃襯底上配置的導(dǎo)電圖案作為檢查對象。但是，并不限于此，若為具有彼此獨(dú)立的列狀導(dǎo)電圖案，也可以其他導(dǎo)電圖案為對象。
圖1表示作為本發(fā)明的實(shí)施例的圖案檢查裝置10的概略側(cè)面圖；圖2表示概略俯視圖。
該裝置10檢查玻璃襯底12上配置的導(dǎo)電圖案14的狀態(tài)。玻璃襯底12通過圖中沒有示出的吸附單元固定在基臺(tái)24上。在玻璃襯底12上列狀配置多個(gè)導(dǎo)電圖案14。該導(dǎo)電圖案14在正常狀態(tài)下彼此獨(dú)立，而不與相鄰的導(dǎo)電圖案14接觸。另外，大致等間距配置，其兩端的位置大致相同。但是，即使是具有不等間距和不等長度的導(dǎo)電圖案的玻璃襯底，也可通過調(diào)整兩種電極的大小等來對應(yīng)。
在玻璃襯底12的上方間隔預(yù)定空間設(shè)置兩種電極16、18。饋電電極16是檢查時(shí)定位于導(dǎo)電圖案14的一端上方的導(dǎo)電性片。其具有覆蓋全部圖案端部的寬度，并與全部導(dǎo)電圖案14的一端靜電耦合(capacitive coupling)。但是，饋電電極16(electric supplyelectrode)若為覆蓋兩個(gè)以上圖案的端部的寬度，也可以是其他寬度。這時(shí)，可以配合后述的傳感器電極18向Y方向的移動(dòng)，饋電電極16也移動(dòng)。
傳感器電極18是大致一個(gè)圖案寬的導(dǎo)電型片。其在檢查有無斷路或者短路這樣的缺陷時(shí)，定位于為檢查對象的導(dǎo)電圖案14的另一端的上方。另外，在檢測缺陷位置時(shí)，沿檢查對象的導(dǎo)電圖案14(X方向)移動(dòng)。該傳感器電極18也與導(dǎo)電圖案14靜電耦合。將移動(dòng)時(shí)的傳感器電極18的位置信息發(fā)送到圖中沒有示出的控制裝置，來進(jìn)行存儲(chǔ)。
電源20是將交流信號(hào)施加給導(dǎo)電圖案14用的交流電源。將該電源20的兩端連接到傳感器電極18和饋電電極16。因此，從電源20生成、輸出的交流信號(hào)與導(dǎo)電圖案14靜電耦合的傳感器電極18和饋電電極16施加給導(dǎo)電圖案14。
這里，通過兩電極16、18對導(dǎo)電圖案14具有的靜電電容的比來分割施加給導(dǎo)電圖案14的電壓。由于對一個(gè)圖案傳感器電極18和饋電電極16具有的靜電電容大致相等，所以導(dǎo)電圖案14具有的電壓是所施加的交流電壓的約二分之一。因此，可以高效施加電壓，由電源20輸出的信號(hào)的電壓可以是幾伏到幾十伏這樣的低電壓。
在電源20和傳感器電極18之間設(shè)置檢測電流值的電流檢測器22。將由該電流檢測器22檢測出的電流值送到控制裝置，而與傳感器電極18的位置信息一起存儲(chǔ)。電流檢測器22中例如可使用變壓器，可通過調(diào)整所繞的線圈匝數(shù)來調(diào)整檢測靈敏度。另外，也可由差動(dòng)放大器檢測出電阻的電壓降。
接著，說明該圖案檢查裝置10的導(dǎo)電圖案檢查原理。在檢查導(dǎo)電圖案14有無缺陷(斷路和短路)的情況下，將傳感器電極18定位于檢查對象導(dǎo)電圖案14的一端上方，將饋電電極16定位在另一端上方，而從電源20輸出交流信號(hào)。所輸出的交流信號(hào)經(jīng)傳感器電極18和饋電電極16施加給導(dǎo)電圖案14。
在導(dǎo)電圖案14是沒有斷路和短路的正常圖案時(shí)，形成包括導(dǎo)電圖案14的閉合電路。因此，在導(dǎo)電圖案14上流過對應(yīng)于所施加的信號(hào)的電壓和電路內(nèi)的電阻的預(yù)定值(大于0)的電流。由電流檢測器22檢測出該電流值。
另一方面，在有斷路A的斷路圖案14a的情況下，不流過電流。因此，電流檢測器22檢測出大致為0的電流值。另外，在有短路B的短路圖案14b的情況下，整體的電阻值降低，而檢測出比正常的導(dǎo)電圖案14高的電流。
因此，通過使傳感器電極18向與圖案平行的方向(圖2的Y方向)移動(dòng)，而得到圖2的右側(cè)所示的電流值。即，當(dāng)傳感器電極18位于正常的導(dǎo)電圖案14上時(shí)，檢測出預(yù)定值的電流值，當(dāng)其位于斷路圖案14a上時(shí)，檢測出大致為0的電流值，當(dāng)其位于短路圖案14b上時(shí)，檢測出比預(yù)定值高的電流值。
將該電流值和傳感器電極18的位置信息送到控制裝置，在控制裝置中根據(jù)這些信息來特定有短路和斷路的導(dǎo)電圖案。即，可檢測出在檢測出大致為0的電流值時(shí)，將與傳感器電極18靜電耦合的導(dǎo)電圖案檢測為斷路圖案，與檢測出預(yù)定值以上的電流值時(shí)的傳感器電極18靜電耦合的導(dǎo)電圖案檢測為短路圖案。
這時(shí)，如上所述，由于兩端經(jīng)大致相同的靜電電容向?qū)щ妶D案14施加交流信號(hào)，所以即使施加了低電壓的信號(hào)也可檢測出高的電流值。因此，很難受到噪音的影響，即使為低電壓也可進(jìn)行高精度的檢查。另外，由于為低電壓，所以不需要放電對策等，可進(jìn)行簡單檢查。進(jìn)一步，可僅通過在與導(dǎo)電圖案14平行的方向上移動(dòng)一次傳感器電極18而同時(shí)進(jìn)行有無斷路和短路的檢查。
接著，用圖3、圖4說明檢測缺陷的位置的原理。圖3是表示斷路位置檢測原理的圖，圖4是表示短路位置檢測原理的圖。分別在圖的下側(cè)表示由電流檢測器22檢測出的電流值。
在檢測斷路位置或短路位置的情況下，沿?cái)嗦穲D案14a或短路圖案14b移動(dòng)傳感器電極18。
在沿?cái)嗦穲D案14a移動(dòng)傳感器電極18的情況下，檢測出圖3的下側(cè)所示的電流值。即，在傳感器電流18處于斷路A之前(圖中左側(cè))的期間，由于沒有流過電流，所以檢測出大致為0的值。并且，在傳感器電極18超過斷路位置的時(shí)刻，檢測出預(yù)定值的電流值。并且，若接近饋電電極16側(cè)，由于整體的電阻值降低，所以電流值升高。將該電流值和傳感器電極18的位置信息送到控制裝置，在控制裝置中根據(jù)這些信息檢測出斷路位置。即，將電流值從大致為0變化為預(yù)定值時(shí)的傳感器電極18的位置作為斷路位置檢測出。
另一方面，在沿短路圖案14b移動(dòng)傳感器電極18的情況下，檢測出圖4的下側(cè)所示的電流值。即，在傳感器電極18處于短路B之前期間，電流值穩(wěn)步增加，在超過短路B的時(shí)刻為大致一定。并且，若傳感器電極18進(jìn)一步接近饋電電極16側(cè)，重新開始緩慢增加。將控制裝置中從平穩(wěn)增加到一定的變化點(diǎn)時(shí)的傳感器電極18的位置作為短路位置檢測出。
這樣，通過沿有缺陷的導(dǎo)電圖案移動(dòng)傳感器電極，檢測出這時(shí)的電流值，而可特定缺陷位置。
另外，本實(shí)施例中，雖然移動(dòng)傳感器電極18，但是也可移動(dòng)玻璃襯底12。另外，也可在全部圖案的有無缺陷檢查終止后進(jìn)行缺陷位置的檢測，也可在每次檢測出缺陷圖案時(shí)進(jìn)行。
接著，說明將公共條(common bar)作為饋電電極來使用的情況。
通常，導(dǎo)電圖案14中，為了防止因靜電而產(chǎn)生的導(dǎo)電圖案的損傷，通過被稱為公共條的導(dǎo)電性片來連接全部導(dǎo)電圖案的一端。在為這種玻璃襯底的情況下，也可將該公共條用作饋電電極。
具體的，如圖5所示，經(jīng)傳感器電極18和公共條30向?qū)щ妶D案14施加交流信號(hào)。這時(shí)，向公共條30的饋電例如，也可使用單觸頭的接觸式探針等。由于公共條30與全部圖案的一端物理地、電氣地連接，所以具有與上述饋電電極同樣的作用。
因此，在使傳感器電極18沿Y方向移動(dòng)的情況下，由電流檢測器22檢測出的電流值為圖5的右側(cè)所示。即，在斷路圖案14a上檢測出大致為0的電流值，在短路圖案14b上檢測出比預(yù)定值大的電流值。另外，在檢測出斷路A或短路B的位置的情況下，也可沿有缺陷的導(dǎo)電圖案移動(dòng)傳感器電極18。
這樣，通過將公共條30用作饋電電極，可以更容易地進(jìn)行圖案檢查。另外，由于可以更可靠地進(jìn)行向?qū)щ妶D案14的饋電，所以可以進(jìn)行更正確的檢查。
接著，說明其他實(shí)施例。
圖6是作為其他實(shí)施例的圖案檢查裝置10的概略俯視圖。該圖案檢查裝置10中，作為饋電電極，使用設(shè)置在圖案兩端的一對第一電極32和設(shè)置在檢查對象圖案的兩側(cè)圖案上的一對第二電極34。另外，根據(jù)設(shè)置在檢查對象圖案上的傳感器電極36的電壓值進(jìn)行缺陷檢查。
一對第一電極32為檢查時(shí)定位于導(dǎo)電圖案14的兩端上方的導(dǎo)電性片，具有作為斷路檢查用的饋電電極的功能。第一電極32具有覆蓋全部圖案的端部的寬度，與全部導(dǎo)電圖案14的端部靜電耦合。但是，第一電極32若為覆蓋包含檢查對象圖案和其兩側(cè)的導(dǎo)電圖案的三個(gè)以上圖案端部的寬度，也可以為其他寬度。這時(shí)，也可配合后述的傳感器電極36向Y方向移動(dòng)，第一電極32也移動(dòng)。
一對第二電極34在檢查時(shí)是定位于檢查對象圖案的兩側(cè)圖案上方的導(dǎo)電性片，具有作為短路檢查用的饋電電極的功能。第二電極34大致具有與1圖案相同的寬度，與檢查對象圖案的兩側(cè)導(dǎo)電圖案14靜電耦合。該第二電極34也可配合后述的傳感器電極36的移動(dòng)，而移動(dòng)。
傳感器電極36是大致一圖案寬的導(dǎo)電性片。其在檢查有無斷路或短路等缺陷時(shí)，定位于與檢查對象的導(dǎo)電圖案14的中央偏離預(yù)定距離的位置上。另外，在檢測缺陷位置時(shí)，沿檢查對象的導(dǎo)電圖案14移動(dòng)。該傳感器電極36也與導(dǎo)電圖案14靜電耦合。將這時(shí)的傳感器電極36的位置信息送到圖中未示的控制裝置后，進(jìn)行存儲(chǔ)。
第一電源40和第二電源42生成頻率不同的第一頻率f1和第二頻率f2的交流信號(hào)而輸出。將第一電源40的兩端連接到一對第一電極32，將第二電源42的兩端連接到一對第二電極34。因此，從第一電源40和第二電源42生成、輸出的兩個(gè)頻率f1、f2的交流信號(hào)分別經(jīng)一對第一電極32和第二電極32施加給導(dǎo)電圖案14。
這里，在一對第一電極32和導(dǎo)電圖案14之間形成的靜電電容在兩端大致相等。因此，導(dǎo)電圖案14具有的第一頻率f1的電壓為所施加的交流電壓的約二分之一。由此，由于可以高效地施加電壓，所以電源40輸出的信號(hào)的電壓可以是幾伏到幾十伏的低電壓。另外，由于一對第二電極34形成的靜電電容也在兩側(cè)大致相等，所以第二電源42輸出的信號(hào)的電壓可以是幾伏到幾十伏的低電壓。第一電源40和第二電源42最好都使用變壓器，來作為中點(diǎn)接地。
將檢測每一頻率的電壓值的電壓值檢測器44連接到傳感器電極36。其由放大由傳感器電極36檢測出的交流信號(hào)的放大器46和取出每一頻率的信號(hào)用的識(shí)別濾波器48(discriminating filter)構(gòu)成。由此，可以檢測出每一頻率的電壓值。另外，還包括可判別所檢測出的信號(hào)極性的相位檢波器(圖中未示)。
接著，說明該圖案檢查裝置10的導(dǎo)電圖案檢查原理。
在檢查有無缺陷(斷路或短路)的情況下，將傳感器電極36定位于對于檢查對象的導(dǎo)電圖案14的中央偏移的位置上，從第一電源40輸出交流信號(hào)。將該交流信號(hào)經(jīng)一對第一電極32施加給導(dǎo)電圖案14。
由于第一電源40是中點(diǎn)接地，所以一對經(jīng)第一電源40施加的信號(hào)電壓在其兩端相位相差180度。因此，由正常的導(dǎo)電圖案14感應(yīng)的電壓值因抵消，而在圖案中心大致為0，越接近其兩端，越慢慢增加或減小。因此，在導(dǎo)電圖案14是沒有短路或斷路的正常圖案的情況下，由于傳感器電極36位于與導(dǎo)電圖案14的中心偏移的位置，所以在傳感器電極上具有預(yù)定的電壓。由電壓值檢測器44檢測出該電壓值。
另一方面，在有斷路A的斷路圖案14a的情況下，沒有抵消從導(dǎo)電圖案14的左右施加的反相位電壓。因此，在與中央位置偏移的傳感器電極36中，原樣(仍沒有抵消相位)檢測出從一端施加的電壓值。該電壓值比由正常導(dǎo)電圖案14檢測出的電壓值高。因此，若檢測出比預(yù)定的電壓值高的頻率f1的電壓，可以作為斷路圖案檢測出。
另一方面，在檢查有無短路的情況下，將傳感器電極36定位于與檢查對象導(dǎo)電圖案14的中心偏移的位置上，從第二電源42輸出第二頻率f2的交流信號(hào)。在導(dǎo)電圖案14為沒有短路的正常圖案情況下，傳感器電極36中有頻率為f2的預(yù)定值電壓。由電壓值檢測器44檢測出該電壓值。另一方面，在有短路B的短路圖案14b的情況下，由于從兩側(cè)施加的電壓平衡破壞，所以檢測出比通常值高的電壓。因此，若檢測出比預(yù)定的電壓值高的頻率f2的電壓，可檢測為短路圖案。
因此，通過使傳感器電極36向與圖案平行的方向(圖6的Y方向)移動(dòng)，而可得到圖6右側(cè)所示的電壓值。即，在傳感器電極36位于正常的導(dǎo)電圖案14上時(shí)，頻率f1的電壓值為預(yù)定的值，在處于斷路圖案14a上時(shí)，檢測出比預(yù)定值高的電壓值。另一方面，在傳感器電極36位于正常的導(dǎo)電圖案14上時(shí)，頻率f2的電壓值檢測出預(yù)定值的電壓值，在處于短路圖案14b上時(shí)檢測出比預(yù)定值高的電壓。
將該電流值和傳感器電極18的位置信息送到控制裝置，并在控制裝置中根據(jù)這些信息特定有缺陷的導(dǎo)電圖案。即，在檢測出預(yù)定值以上的頻率f1的電壓值時(shí)，將與傳感器電極36靜電耦合的圖案作為斷路圖案檢測出。另外，在檢測出預(yù)定值以上的頻率f2的電壓值時(shí)，將與傳感器電極36靜電耦合的圖案作為短路圖案檢測出。
當(dāng)然，也可同時(shí)進(jìn)行有無該斷路和短路的檢測。由于電壓值檢測器44具有檢測每一頻率的電壓值用的識(shí)別濾波器48，所以即使向?qū)щ妶D案14施加f1和f2的電壓，也可檢測出各自的電壓值。因此，通過使傳感器電極36和第二電極34移動(dòng)，而可同時(shí)檢測出短路和斷路。
這時(shí)，如上所述，由于兩端中經(jīng)大致相同的靜電電容將交流信號(hào)施加給導(dǎo)電圖案14，所以信號(hào)施加率變高。因此，即使信號(hào)為低電壓，也可感應(yīng)出可充分檢測的電壓，即使是低電壓，也很難受到噪音等的影響，也可進(jìn)行高精度的檢查。另外，由于是低電壓，所以不需要有放電等的對策，可進(jìn)行簡單檢查。進(jìn)一步，可僅通過沿與導(dǎo)電圖案14平行的方向上移動(dòng)一次傳感器電極36和第二電極34而同時(shí)檢測出斷路A和短路B兩者。
當(dāng)傳感器電極恰好位于斷路位置的情況下，或處于斷路和斷路之間的情況下，不能由傳感器電極檢測出電壓值。但是，這時(shí)，不檢測出規(guī)定的電壓值，而檢測出0電壓值。因此，可以將檢測出大致為0的電壓值的導(dǎo)電圖案作為斷路圖案檢測出。
另外，本實(shí)施例中，以電源作為中點(diǎn)接地，而使傳感器電極定位于與中心偏離的位置上。這是因?yàn)椋梢钥煽康貙?電壓值作為異常檢測出。但是，即使不這樣，由于正常的圖案和有缺陷的圖案中電壓值有一些變化，所以可以將有變化的圖案作為缺陷圖案檢測出。
接著，使用圖7、圖8說明檢測斷路或短路位置的原理。
圖7是表示斷路位置檢測原理的圖，圖8是表示短路位置檢測原理的圖。分別在圖的下側(cè)表示由電壓值檢測器44檢測出的電壓值。
在檢測出斷路的情況下，使傳感器電極36沿?cái)嗦穲D案14a移動(dòng)。這時(shí)，檢測出圖7的下側(cè)所示的電壓值。即，傳感器電極36處于斷路A之前(圖中左側(cè))期間，檢測出從單側(cè)(圖中左側(cè))施加的信號(hào)的電壓值。并且，在傳感器電極36超過了斷路位置的時(shí)刻，相位變化180度，而檢測出從相反側(cè)(圖中右側(cè))施加的信號(hào)的電壓值。因此，通過相位檢波器判別由傳感器電極36檢測出的信號(hào)極性，而將極性翻轉(zhuǎn)的位置作為斷路位置檢測出。將該檢測結(jié)果和傳感器電極36的位置信息送到控制裝置，在控制裝置中根據(jù)這些信息檢測出斷路位置。即，將電壓的相位變化了180度時(shí)的傳感器電極36的位置作為斷路位置檢測出。
另一方面，在使傳感器電極36沿短路圖案14b移動(dòng)的情況下，檢測出圖8的下側(cè)所示的電壓值。即，傳感器電極36在短路B之前為預(yù)定值的電壓值，由于越接近于短路位置，平衡越破壞，所以當(dāng)來到短路位置的上方時(shí)，表示急劇上升下降的峰值。并且，若超過短路B，重新回到預(yù)定值的電壓值。即，在短路B的位置中檢測出電壓值的峰值?？刂蒲b置中將檢測出該峰值電壓值時(shí)的傳感器電極36的位置作為短路位置檢測出。
這樣，使傳感器電極沿有缺陷的導(dǎo)電圖案移動(dòng)，通過檢測出這時(shí)的電壓值，而可特定缺陷位置。
另外，本實(shí)施例中，雖然移動(dòng)傳感器電極36，但是也可移動(dòng)玻璃襯底12。另外，也可在檢查全部圖案有無缺陷終止后進(jìn)行缺陷位置的檢測，也可每次檢測出缺陷圖案時(shí)進(jìn)行。另外，在將公共條連接到導(dǎo)電圖案14的情況下，也可將公共條用作第一電極。
接著，說明作為其他實(shí)施例的圖案檢查裝置10。
該圖案檢查裝置10尤其用于液晶顯示面板中使用的玻璃襯底上配置的柵極圖案和Cs圖案的檢查。
在液晶顯示面板的制造工藝中，首先同時(shí)在玻璃襯底12上配置柵極圖案和Cs圖案。柵極圖案是在玻璃襯底上按列狀配置的多個(gè)導(dǎo)電圖案。Cs圖案是與其交互按列狀配置的導(dǎo)電圖案。由于該柵極圖案和Cs圖案的距離小到極點(diǎn)(例如，幾十um)，所以很容易產(chǎn)生短路。說明尤其適用于該短路檢查的圖案檢查裝置10。
圖9表示該圖案檢查裝置10的概略俯視圖。
在檢查對象的玻璃襯底12上彼此相鄰配置柵極圖案50和Cs圖案52。另外，柵極圖案50和Cs圖案52都通過公共條54、58連接其一端。
在玻璃襯底12的上方設(shè)置柵極用電極56、Cs用電極60來作為饋電電極。另外，將傳感器電極62設(shè)置在檢查對象的導(dǎo)電圖案上。
柵極用電極56是在檢查時(shí)設(shè)置在與柵極用公共條54相反側(cè)的柵極圖案50的一端的導(dǎo)電性片。其具有覆蓋全部柵極圖案50的一端的寬度，與全部柵極圖案50的一端靜電耦合。但是，若為覆蓋包含檢查對象的柵極圖案的一個(gè)以上的柵極圖案的寬度，也可以是其他寬度。這時(shí)，也可配合后述的傳感器電極62向Y方向的移動(dòng)來移動(dòng)。
Cs用電極60是檢查時(shí)設(shè)置在與Cs用公共條58相反側(cè)的Cs圖案52的一端的導(dǎo)電性片。其也與Cs圖案52靜電耦合，具有覆蓋全部Cs圖案52的一端的寬度。當(dāng)然若為覆蓋包含對象Cs圖案的一個(gè)以上的Cs圖案的寬度，也可以是其他寬度。
傳感器電極62是在檢查時(shí)定位于檢查對象的柵極圖案50或Cs圖案52上方的導(dǎo)電性片，并與這些圖案靜電耦合。傳感器電極62在檢查時(shí)可沿Y方向或X方向移動(dòng)，將這時(shí)的位置信息送到?jīng)]有圖示的控制裝置后，進(jìn)行存儲(chǔ)。
在傳感器電極62中設(shè)置電壓值檢測器76，而檢測出傳感器電極62的位置的電壓值。將所檢測出的電壓值與傳感器62的位置信息一起送到控制裝置后，進(jìn)行存儲(chǔ)。
電壓值檢測器76由放大由傳感器電極62檢測出的交流信號(hào)的放大器78和取出每一頻率的信號(hào)用的識(shí)別濾波器80構(gòu)成。由此，可以檢查出每個(gè)頻率的電壓值。另外，還包括可判別所檢測出的信號(hào)的極性的相位檢波器(圖中未示)。
經(jīng)柵極用電極56和柵極用公共條54向柵極圖案50施加頻率f1的交流信號(hào)。其通過將一端連接到柵極用電極56、將另一端連接到柵極用公共條54的柵極用電源64來施加。另一方面，經(jīng)Cs用電極60和Cs用公共條58通過Cs用電源66將頻率f2的交流信號(hào)施加給Cs圖案52。柵極用電源64和Cs用電源66都是中點(diǎn)接地。
接著，說明柵極圖案50和Cs圖案52的短路A和斷路B的檢測原理。這時(shí)，將傳感器電極62定位于檢查對象的柵極圖案50或Cs圖案52上。這時(shí)，傳感器電極62最好位于與圖案的中心偏移一些的位置上。
該狀態(tài)下，從柵極用電源64和Cs用電源66施加頻率f1、f2的交流信號(hào)。并且，由電壓值檢測器76檢測出傳感器電極62的每一頻率的電壓值。
這時(shí)，雖然沒有短路A或斷路B的正常柵極圖案50上感應(yīng)了頻率f1(柵極用電源的頻率)的電壓，但沒有感應(yīng)頻率f2(Cs用電源的頻率)的電壓。另外，雖然正常的Cs圖案52上感應(yīng)了頻率f2(Cs用電源的頻率)的電壓，但是沒有感應(yīng)頻率f1的電壓(柵極用電源的頻率)。
另一方面，在有短路A的柵極圖案50a上還感應(yīng)了頻率f1的電壓和頻率f2的電壓。另外，在有短路A的Cs圖案52a中也感應(yīng)了頻率f1和頻率f2的兩個(gè)頻率的電壓。即，可判斷為感應(yīng)了頻率f2(Cs用電源的頻率)的電壓的柵極圖案、感應(yīng)了頻率f1(柵極用電源的頻率)的電壓的Cs圖案產(chǎn)生了短路。
接著，說明檢測有無斷路B的情況。在檢測有無斷路B的情況下，著眼于所檢測出的電壓值。當(dāng)柵極圖案50、Cs圖案52都為正常圖案的情況下，檢測出預(yù)定值的電壓值。這是因?yàn)閺膱D案的兩側(cè)施加了反相位的電壓。由于存在電壓的相位抵消，所以電壓值在圖案中心大致為0，越接近于兩端越慢慢變高(變低)。因此，在與中心偏移了一些位置的傳感器電極62的位置上，檢測出預(yù)定的電壓值(大于0)。
另一方面，在有斷路的圖案50b、52b的情況下，由于沒有相位抵消，所以檢測出比預(yù)定值高的電壓。即，將檢測出比預(yù)定值高的電壓值的圖案作為斷路圖案50b、52b檢測出。
另外，當(dāng)傳感器電極恰好處于斷路位置的情況下，或斷路和斷路之間的情況下，不能由傳感器電極檢測出電壓值。但是，這時(shí)，沒有檢測出預(yù)定的電壓值，而檢測出0電壓值。因此，檢測出大致為0的電壓值的導(dǎo)電圖案可以作為斷路圖案檢測出。
通過使傳感器電極62沿Y方向移動(dòng)而得到圖9右側(cè)所示的電壓值。即，當(dāng)傳感器電極62位于產(chǎn)生了短路A的Cs圖案52a上或柵極圖案50a上時(shí)，頻率f1和頻率f2的電壓都檢測出預(yù)定的值。
另一方面，當(dāng)位于產(chǎn)生了斷路的柵極圖案50b上時(shí)，頻率f1的電壓值變高。另外，當(dāng)位于產(chǎn)生了斷路的Cs圖案52b上時(shí)，檢測出頻率為f2的高電壓。
將該電壓值和傳感器電極62的位置信息送到控制裝置后，在控制裝置中，根據(jù)這些信息檢測短路圖案和斷路圖案。即，將檢測出頻率為f1的電壓的Cs圖案52或檢測出頻率為f2的電壓的柵極圖案50作為短路圖案檢測。另外，將檢測出比預(yù)定值高的、或0電壓值的圖案作為斷路圖案檢測出。
接著，說明檢測缺陷位置的情況。在檢測缺陷位置的情況下，使傳感器電極62沿缺陷圖案移動(dòng)。
若使傳感器電極62沿短路圖案50a、52a移動(dòng)，在傳感器電極62位于短路A的上方時(shí)檢測出最大的電壓值(圖10)。另一方面，若使傳感器電極62沿?cái)嗦穲D案50b、52b移動(dòng)，則當(dāng)傳感器電極62位于斷路B的上方時(shí)，相位翻轉(zhuǎn)180度(圖11)?？刂蒲b置中，根據(jù)電壓值(相位檢波結(jié)果)和傳感器電極62的位置信息檢測短路或斷路的位置。
這樣，根據(jù)本實(shí)施例，由于從圖案的兩端施加交流信號(hào)，故信號(hào)施加率很高。因此，檢測的信號(hào)很難受噪音的影響，可以進(jìn)行高精度地檢查。另外，由于即使為低電壓的交流信號(hào)也可進(jìn)行檢查，所以不需要放電對策等，可以進(jìn)行簡單地檢查。
另外，可以容易地檢測出容易產(chǎn)生短路的柵極圖案和Cs圖案的短路。進(jìn)一步，通過使傳感器電極62沿Y方向移動(dòng)，而可同時(shí)進(jìn)行有無短路或斷路的檢查。
另外，本實(shí)施例中，雖然使用了有柵極用公共條54的玻璃襯底12，但是當(dāng)然也可以是沒有柵極用公共條54的玻璃襯底12。在沒有柵極用公共條54的情況下，也可以在柵極圖案50的兩端設(shè)置與柵極圖案的端部靜電耦合的一對柵極用電極56。
接著，使用圖12說明其他實(shí)施例。其也是適用于檢測柵極圖案和Cs圖案的短路的圖案檢查裝置10。
其根據(jù)電流值進(jìn)行有無缺陷的檢測。
在該圖案檢查裝置10中，也可將傳感器電極62連接到柵極用電源64和Cs用電源66的中點(diǎn)。
接著，說明使用該圖案檢查裝置10的有無缺陷(短路或斷路)的檢查。
這時(shí)，將傳感器電極62定位于檢查對象的柵極圖案50或Cs圖案52上。并且，經(jīng)各自的電極56、60和公共條54、58將交流信號(hào)施加給柵極圖案50和Cs圖案52。這時(shí)，將傳感器電極62連接到兩電源64、66的中心。這時(shí)，通過連接傳感器電極62和電源64、66的線，而形成兩個(gè)電路IR和IL。若是沒有短路A或斷路B的正常圖案，則流過該IR和IL的電流值大致相等，并為逆向。因此，在正常圖案的情況下，電流檢測器68、70中檢測出大致為0的電流值。
但是，在傳感器電極62位于產(chǎn)生了短路A的圖案50a、52b上的情況下，由于電壓的平衡破壞(IR和IL中的電流值不相等)，所以兩個(gè)電流檢測器68、70中檢測出高的電流值。將這時(shí)的電流值和傳感器電極62的位置信息一起存儲(chǔ)到控制裝置中。
另外，有斷路B的情況下也檢測出高的電流值。但是，這時(shí)，與產(chǎn)生了斷路B的圖案不同的圖案用的電流檢測器中為大致0的電流值。即，在柵極圖案有斷路的情況下，在柵極用電流檢測器68中檢測出高的電流值，在Cs用電流檢測器70中檢測出大致為0的電流值。相反，在Cs圖案有斷路的情況下，在Cs用電流檢測器中檢測出高的電流值，在柵極用電流檢測器68中檢測出大致為0的電流值。
因此，在柵極用電流檢測器68、Cs用電流檢測器70兩者檢測出高的電流值的情況下，可判斷為短路，在僅柵極用電流檢測器68、Cs用電流檢測器70的其中一個(gè)檢測出高電流值的情況下，可判斷為斷路。
因此，通過使傳感器電極62沿Y方向移動(dòng)，而可同時(shí)進(jìn)行有無斷路和短路的檢查。
在特定斷路位置的情況下，也可使傳感器電極62沿有斷路的圖案移動(dòng)。由于從圖案的兩側(cè)施加反相位的電壓，所以以斷路位置為邊界相位不同。因此，通過由相位檢波裝置(圖中未示)等看相位的變化而可特定斷路位置。另外，由于斷路位置中，電流值大致為0，所以也可以將檢測出大致為0的電壓值的位置作為斷路位置來特定。
這樣，根據(jù)本實(shí)施例，由于從圖案的兩端施加交流信號(hào)，所以信號(hào)施加率很高。因此，所檢測出的信號(hào)很難受噪音的影響，可進(jìn)行高精度的檢查。另外，由于即使是低電壓的交流信號(hào)也可進(jìn)行檢查，所以不需要放電等的對策，可以簡單地進(jìn)行檢查。
另外，可以容易地檢測出很容易產(chǎn)生短路的柵極圖案和Cs圖案的短路。
接著，使用圖13說明其他實(shí)施例。其用于更容易地檢測出柵極圖案和Cs圖案的短路。
該檢查裝置10檢測具有引出電極82的柵極圖案50和通過公共條58連接一端的Cs圖案52的短路。
將輸出、生成交流信號(hào)的電源64的兩端連接到傳感器電極62和公共條58。傳感器電極62是與引出電極大致具有相同寬度的導(dǎo)電性片，在檢測出短路時(shí)，定位于連接到檢查對象的導(dǎo)電圖案的引出電極82的上方，而與引出的電極82靜電耦合。
將電源64的一端連接到公共條58，將另一端連接到傳感器電極62，在公共條58和電源64之間設(shè)置檢測電流值用的電流檢測器68。
接著，說明該圖案檢查裝置10的短路檢測原理。在檢測有無短路的情況下，將傳感器電極62定位于與檢查對象的柵極圖案50連接的引出電極82上方。并且，從電源64輸出交流信號(hào)。將電源20的一端連接到公共條58，將另一端連接到傳感器電極62。
這時(shí)，公共條58與Cs圖案52電物理連接。另外，傳感器電極62經(jīng)引出電極82與柵極圖案50電連接。因此，在柵極圖案50和Cs圖案52沒有短路的情況下，不流過電流。因此，在傳感器電極62位于正常圖案上的情況下，檢測出大致為0的電流值。
另一方面，若柵極圖案50和Cs圖案52短路，則經(jīng)短路部A流過電流。因此，在傳感器電極62處于短路圖案上的情況下，檢測出高的電流值。
因此，若使傳感器電極62沿Y方向移動(dòng)，則檢測出圖13的右側(cè)所示的電流值。即，在正常的柵極圖案50的情況下，檢測出大致為0的電流值，在產(chǎn)生短路的柵極圖案50a的情況下，檢測出高值電流值。控制裝置中，根據(jù)這時(shí)的電流值和傳感器電極62的位置信息來檢測有無短路。即，將與檢測出高電流值時(shí)的傳感器電極62電連接的柵極圖案50作為有短路的圖案檢測出。
這樣，根據(jù)本實(shí)施例，可以通過一個(gè)電源檢測出有無短路。
權(quán)利要求
1.一種導(dǎo)電圖案檢查裝置，檢查在襯底上配置的多個(gè)導(dǎo)電圖案的狀態(tài)，其特征在于，包括傳感器電極，與檢查對象圖案的一端靜電耦合；饋電電極，與包含檢查對象圖案的至少兩個(gè)以上的連續(xù)導(dǎo)電圖案的另一端電連接；信號(hào)施加單元，經(jīng)饋電電極和傳感器電極向?qū)ο髨D案施加交流信號(hào)；電流值檢測單元，檢測出在信號(hào)施加單元的電源和傳感器電極或饋電電極間流過的電流值；缺陷檢測單元，根據(jù)所檢測出的電流值，檢測導(dǎo)電圖案有無斷路或短路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電圖案檢測裝置，其特征在于，包括移動(dòng)單元，使傳感器電極沿檢測短路或斷路的導(dǎo)電圖案移動(dòng)；位置檢測單元，從移動(dòng)過程中的電流值的變化檢測出斷路或短路的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的導(dǎo)電圖案檢測裝置，其特征在于饋電電極是靜電耦合到另一端的電極板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的導(dǎo)電圖案檢測裝置，其特征在于饋電電極是設(shè)置在導(dǎo)電圖案的另一端的公共條。
5.一種導(dǎo)電圖案檢查裝置，檢查在襯底上配置的多個(gè)導(dǎo)電圖案的狀態(tài)，其特征在于，包括一對第一電極，與包含對象圖案和其兩側(cè)的導(dǎo)電圖案的至少三個(gè)以上的導(dǎo)電圖案的兩端電連接；一對第二電極，為配置在對象圖案兩側(cè)的導(dǎo)電圖案上的一對電極，且分別靜電耦合到兩側(cè)的導(dǎo)電圖案上；第一施加單元，經(jīng)一對第一電極將第一頻率的交流信號(hào)施加給導(dǎo)電圖案；第二施加單元，經(jīng)一對第二電極將第二頻率的交流信號(hào)施加給導(dǎo)電圖案；傳感器電極，為設(shè)置在對象圖案上的電極，且靜電耦合到對象圖案上；電壓檢測單元，檢測出傳感器電極的每個(gè)頻率的電壓值；缺陷檢測單元，根據(jù)所檢測出的電壓值檢測有無斷路和短路。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的導(dǎo)電圖案檢測裝置，其特征在于電壓檢測單元具有通過頻率來識(shí)別傳感器電極的電位而檢測的識(shí)別單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的導(dǎo)電圖案檢測裝置，其特征在于第一施加單元和第二施加單元中的至少一個(gè)電源是中點(diǎn)接地，傳感器電極位于與對象圖案的中心偏移的位置上。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的導(dǎo)電圖案檢測裝置，其特征在于，進(jìn)一步具有移動(dòng)單元，使傳感器電極沿檢測斷路或短路的導(dǎo)電圖案移動(dòng)；位置檢測單元，從移動(dòng)過程中的電壓值變化檢測出斷路或短路的位置。
9.一種導(dǎo)電圖案檢查裝置，檢查在襯底上按列狀配置的多個(gè)柵極圖案和與柵極圖案相鄰地按列狀配置、并通過Cs用公共條連接其一端的多個(gè)Cs圖案，其特征在于，包括一對柵極用電極，與包含對象柵極圖案的至少一個(gè)以上的柵極圖案的兩端電連接；柵極用施加單元，經(jīng)一對柵極用電極將第一頻率的交流信號(hào)施加給對象柵極圖案；Cs用電極，與包含相鄰于對象柵極圖案的對象Cs圖案的至少一個(gè)以上的Cs圖案的另一端靜電耦合；Cs用施加單元，經(jīng)Cs用公共條和Cs用電極將第二頻率的交流信號(hào)施加給對象Cs圖案；與對象柵極圖案或?qū)ο驝s圖案靜電耦合的電極；短路檢測單元，檢測出傳感器電極的電壓值；缺陷檢測單元，根據(jù)所檢測出的電壓值檢測柵極圖案和Cs圖案的缺陷。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的導(dǎo)電圖案檢查裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括移動(dòng)單元，使傳感器電極沿檢測斷路或短路的對象圖案移動(dòng)；位置檢測單元，從移動(dòng)過程中的電壓值變化檢測斷路或短路的位置。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的導(dǎo)電圖案檢查裝置，其特征在于柵極用施加單元和Cs用施加單元的電源是中點(diǎn)接地，傳感器用電極位于與對象圖案的中點(diǎn)位置偏移的位置上。
12.一種導(dǎo)電圖案檢查裝置，檢查在襯底上按列狀配置的多個(gè)柵極圖案和與柵極圖案相鄰地按列狀配置、并通過Cs用公共條連接其一端的多個(gè)Cs圖案，其特征在于，包括一對柵極用電極，與包含對象柵極圖案的至少一個(gè)以上的柵極圖案的兩端電連接；柵極用施加單元，經(jīng)一對柵極用電極將交流信號(hào)施加給對象柵極圖案；Cs用電極，與包含相鄰于對象柵極圖案的對象Cs圖案的至少一個(gè)以上的Cs圖案的另一端靜電耦合；Cs用施加單元，經(jīng)Cs用公共條和Cs用電極將交流信號(hào)施加給對象Cs圖案；傳感器電極，與對象柵極圖案或?qū)ο驝s圖案靜電耦合，與柵極用施加單元和Cs用施加單元的電源相連；電流值檢測單元，檢測在電源和傳感器電極之間流過的電流值；缺陷檢測單元，根據(jù)所檢測出的電流值檢測出Cs圖案和柵極圖案的缺陷。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的導(dǎo)電圖案檢查裝置，其特征在于傳感器電極被連接到柵極用施加單元和Cs用施加單元的電源的中心，并處于對象圖案的大致中心。
14.根據(jù)權(quán)利要求9或12所述的導(dǎo)電圖案檢查裝置，其特征在于一對柵極用電極中一個(gè)是柵極用公共條。
15.根據(jù)權(quán)利要求9或12所述的導(dǎo)電圖案檢查裝置，其特征在于一對柵極用電極中至少一個(gè)通過與柵極圖案靜電耦合來連接。
全文摘要
本發(fā)明提供一種導(dǎo)電圖案檢查裝置，可以更簡單進(jìn)行可靠性高的導(dǎo)電圖案的狀態(tài)的檢查。導(dǎo)電圖案檢查裝置(10)具有與檢查對象圖案(14)的一端靜電耦合的傳感器電極(18)和與全部導(dǎo)電圖案(14)的另一端靜電耦合的饋電電極(16)。并且，經(jīng)饋電電極(16)和傳感器電極(18)向?qū)ο髨D案施加交流信號(hào)，而檢測出在電源(20)和傳感器電極(18)之間流過的電流值。根據(jù)所檢測出的電流值檢測出有無導(dǎo)電圖案的短路和短路。
文檔編號(hào)G01R31/00GK1576870SQ200410069169
公開日2005年2月9日 申請日期2004年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月4日
發(fā)明者小原徹, 板垣卓男, 藤井昌幸 申請人:株式會(huì)社東京陰極研究所