專利名稱：測(cè)試插件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)量LSI芯片等半導(dǎo)體器件的各種電氣特性的測(cè)試插件。
背景技術(shù)：
以往的測(cè)試插件有稱為懸臂型的臥式和稱為垂直型的立式。隨著近年來(lái)LSI芯片的大規(guī)模高集成化和測(cè)試的多重化，這種臥式測(cè)試插件存有不適應(yīng)同時(shí)測(cè)量多個(gè)芯片的方面。另一方面，立式測(cè)試插件，由于可以使用更多的測(cè)試插件、測(cè)試插件配置的自由度高，因此，它適于同時(shí)測(cè)量多個(gè)芯片。
為了檢測(cè)半導(dǎo)體器件，要求同時(shí)測(cè)定多個(gè)芯片，近年在這方面使用的測(cè)試插件的電極數(shù)進(jìn)一步增多，也要求有電氣穩(wěn)定性高、高性能、高可靠性的測(cè)試插件。
因此，以往立式測(cè)試插件的結(jié)構(gòu)如圖17所示，設(shè)有在與測(cè)量?jī)x器的電極座相接觸的面上有多個(gè)第1接觸電極4′的第1主面1a′和有依靠配線與第1接觸電極通導(dǎo)的第2接觸電極5′的第2主面1b′的主襯底1′，設(shè)有備有與測(cè)量對(duì)象物的電極座相接觸的多個(gè)第5接觸電極17′的第2主面2b′、有依靠配線與第5接觸電極17′通導(dǎo)的第4接觸電極16′的第1主面2a′的間隔變換器2′，在主襯底1′和間隔變換器2′之間安裝有支承襯底25；設(shè)有穿過(guò)支承襯底并彎曲成弓形等形狀的連接卡7′，連接卡7′的一側(cè)的前端部與主襯底1′的第2接觸電極5′接觸，另一側(cè)的前端部與間隔變換器2′的第4接觸電極16′接觸。
然而，這種測(cè)試插件采用了設(shè)有主襯底1′、間隔變換器2′、使該二者相對(duì)的電極間通電的連接卡7以及固定連接卡7的支承襯底的結(jié)構(gòu)，因此，作為通電吸附點(diǎn)至少保持有兩處主襯底1′的第2主面與連接卡7的一側(cè)的前端部、以及間隔變換器2′的第1主面與連接卡7′的另一側(cè)的前端部的接觸部位，作為整體存有易產(chǎn)生通電不良的問(wèn)題。
發(fā)明專利內(nèi)容因此，本發(fā)明在于解決以往測(cè)試插件所存在的課題，提供以能夠抑制電極間導(dǎo)電不良的產(chǎn)生、具有高電接觸穩(wěn)定性、高可靠性為目的的測(cè)試插件。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的測(cè)試插件一測(cè)定測(cè)量對(duì)象物的各項(xiàng)電氣特性的測(cè)試插件，由有與測(cè)量?jī)x器接觸的第1連接電極的主襯底、有與上述第1連接電極通電的多個(gè)通孔并與上述主襯底連接的副襯底、以及在一個(gè)主面上設(shè)有能插入上述通孔、可能裝卸的連接卡并在另一主面上設(shè)有與上述連接卡通電且與測(cè)量對(duì)象物接觸的多個(gè)測(cè)頭的間隔變換器組成。
而且，主襯底與間隔變換器之間形成能夠拆卸的結(jié)構(gòu)。進(jìn)而，主襯底在結(jié)構(gòu)上設(shè)有裝有第1連接電極的第1主面和裝有依靠配線與第1連接電極導(dǎo)電的第2連接電極的第2主面，在該第2主面與備有與第2主面相對(duì)的通孔的副襯底的第1主面之間設(shè)有電氣接觸的導(dǎo)體。
同時(shí)，采用如下結(jié)構(gòu)主襯底在備有第1連接電極的第1主面上鋪設(shè)可抑制主襯底變形的加強(qiáng)板。而且，連接卡與副襯底上插入連接卡的通孔之間，在通孔內(nèi)保持彈性接觸。它由備有與測(cè)量?jī)x器接觸的第1連接電極的主襯底、備有與上述第1連接電極通電的多個(gè)通孔并與上述主襯底連接的副襯底、在另一個(gè)主面上設(shè)有與測(cè)量對(duì)象物接觸的多個(gè)測(cè)頭并設(shè)有與測(cè)頭通電的多個(gè)通孔的間隔變換器、以及一端安裝在間隔變換器的通孔內(nèi)并能拆卸、另一端安裝在副襯底的通孔內(nèi)并能拆卸的連接卡構(gòu)成。而且，間隔變換器采用分成多個(gè)單元的結(jié)構(gòu)。


附圖中圖1為表示本發(fā)明實(shí)施例的斷面結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖，圖2為表示本發(fā)明實(shí)施例的斷面結(jié)構(gòu)原理的詳圖，圖3為表示本發(fā)明實(shí)施例的斷面結(jié)構(gòu)的局部簡(jiǎn)圖，圖4為表示本發(fā)明實(shí)施例中主襯底與副襯底的連接狀態(tài)的局部簡(jiǎn)圖，圖5為表示本發(fā)明實(shí)施例中主襯底與副襯底的其他連接狀態(tài)的局部簡(jiǎn)圖，圖6為表示本發(fā)明實(shí)施例中連接卡的放大圖，圖7為表示本發(fā)明實(shí)施例中其他連接卡連接狀態(tài)的局部簡(jiǎn)圖。
圖8為表示本發(fā)明實(shí)施例中連接卡連接狀態(tài)的局部簡(jiǎn)圖，圖9為表示本發(fā)明中副襯底的其他實(shí)施例的簡(jiǎn)圖，圖10為表示本發(fā)明實(shí)施例中其他連接卡連接狀態(tài)的局部簡(jiǎn)圖，
圖11為表示本發(fā)明實(shí)施例中其他連接卡連接狀態(tài)的局部簡(jiǎn)圖，圖12為表示本發(fā)明實(shí)施例中其他連接卡連接狀態(tài)的局部簡(jiǎn)圖，圖13為表示本發(fā)明實(shí)施例中連接卡連接狀態(tài)的局部放大簡(jiǎn)圖，圖14為表示本發(fā)明實(shí)施例中連接卡連接狀態(tài)的局部簡(jiǎn)圖，圖15為表示本發(fā)明的其他實(shí)施例的斷面結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖，圖16為表示本發(fā)明實(shí)施例中其他加強(qiáng)板的局部簡(jiǎn)圖，圖17為表示以往的測(cè)試插件的局部斷面結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。
符號(hào)說(shuō)明A測(cè)試插件1、1′ 主襯底2、2′ 間隔變換器3副襯底4、4、4′第1連接電極5、5、5′第2連接電極6、6 測(cè)頭7、7 連接卡8加強(qiáng)板8a、8b 加強(qiáng)板的獨(dú)立構(gòu)件9通孔10 定位架13 導(dǎo)體15、15 第3連接電極16、16、16′第4連接電極17、17 第5連接電極20 接觸部21 支持部22 限位器23 端子部24 間隔變換器的通孔25 支承襯底
26 內(nèi)觸頭27 頂端部31 第1副襯底32 第2副襯底33 第6連接電極319第1副襯底用通孔329第2副襯底用通孔具體實(shí)施方式
下面，根據(jù)附圖就本發(fā)明的實(shí)施例做一說(shuō)明。
如圖1或圖3所示，測(cè)試插件A由備有與測(cè)試儀等檢測(cè)用儀器(圖中省略)接觸的第1連接電極4的主襯底1、備有與上述第1連接電極通電的多個(gè)通孔9的副襯底3、插入上述通孔9并可能裝卸的連接卡7、在一個(gè)主面2a上裝有連接卡7且在另一主面2b上設(shè)有與作為測(cè)量對(duì)象物的IC芯片等半導(dǎo)體器件(圖中省略)接觸的多個(gè)測(cè)頭6的間隔變換器2、以及將該間隔變換器2安裝在主襯底1上并能拆卸的定位架10組成。
如圖1或圖3所示，主襯底1在第1主面1a上裝有與檢測(cè)用測(cè)量?jī)x器通電的第1連接電極4、4，而且在第2主面1b上裝有與下述副襯底3通電的多個(gè)第2連接電極5、5，通過(guò)主襯底內(nèi)的配線使該第2連接電極5與第1連接電極4導(dǎo)電。
主襯底1從第2主面1b的相鄰間隔窄的第2連接電極間向第1主面1a的相鄰間隔寬的第1連接電極間變換，在相當(dāng)于測(cè)量?jī)x器的電極間的寬間隔內(nèi)配置第1主面1a的第1連接電極。
在主襯底的第1主面1a上裝有加強(qiáng)板8。
主襯底1會(huì)吸收因與主襯底1的第1主面1a接觸的測(cè)量?jī)x器的接觸壓力變化所引起的電氣接觸不穩(wěn)定而產(chǎn)生的熱量，由于主襯底1的熱膨脹差造成主襯底1變形呈彎曲形狀、引起導(dǎo)電不良。設(shè)置該加強(qiáng)板8是為了消除這種不正常情況。
該加強(qiáng)板8最好能夠盡量抑制主襯底1的變形，因此，也可如圖16所示那樣，可以在主襯底1的第1主面1a上設(shè)置多個(gè)獨(dú)立的構(gòu)件8a、8b，即使主襯底1的側(cè)端產(chǎn)生變形，主襯底1的中間也可保持平面。而且，也可將多個(gè)獨(dú)立的構(gòu)件分別采用不同的材料，以便更有效地抑制主襯底1的變形。
如圖1或圖3所示，副襯底3設(shè)有與主襯底1的第2主面1b相對(duì)的第1主面3a和與后述間隔變換器2的第1主面2a相對(duì)的第2主面3b，該第1主面3a和第2主面3b之間設(shè)有多個(gè)通孔9、9。
該通孔9在第1主面3a和第2主面3b之間用導(dǎo)電性鍍層貫通，與裝在第1主面3a上的第3連接電極15導(dǎo)通。
副襯底3在其第3連接電極15與主襯底1的第2連接電極5之間，用焊錫、導(dǎo)電性樹(shù)脂等導(dǎo)體固定；該主襯底1的第2主面1b與相對(duì)的副襯底3的第1主面3a之間導(dǎo)體以外部分，填充襯底粘接用樹(shù)脂構(gòu)件14。從而，副襯底3在與主襯底1通導(dǎo)的同時(shí)又連成一體。
如圖1或圖3所示，間隔變換器2設(shè)有與副襯底3的第2主面3b相對(duì)的第1主面2a和裝有與高密度半導(dǎo)體器件連接的電極座(圖示省略)接觸的多個(gè)測(cè)頭6、6的第2主面2b。
間隔變換器2的第1主面2a上裝有多個(gè)第4連接電極16、16，后述連接卡7釬焊在該第4連接電極16上。間隔變換器2的第2主面2b上裝有多個(gè)第5連接電極17、17，測(cè)頭6釬焊在該第5連接電極17上。
通過(guò)間隔變換器2內(nèi)的配線使該間隔變換器2的第4連接電極16與第5連接電極17通電。
間隔變換器2的多個(gè)相鄰的測(cè)頭6之間，應(yīng)與半導(dǎo)體器件的電極座(圖示省略)的窄間隔相對(duì)應(yīng)。
也可如后述圖15所示那樣，該間隔變換器2做成單元型，能夠及時(shí)修正導(dǎo)電不良等不合格部位和更換單元。
安裝在間隔變換器2上的連接卡7朝向副襯底3的通孔9內(nèi)，穿通并拆卸自由，如后述圖6或圖8及圖10、圖12或圖13所示，與備有導(dǎo)電性電鍍層的通孔9、24內(nèi)部保持彈性接觸。而且，也可如后述圖11所示那樣，連接卡7的另一端不釬焊在間隔變換器2上，而保持彈性接觸。
上述副襯底3的另一種實(shí)施例如圖9所示，可采用如下結(jié)構(gòu)副襯底3由第1副襯底31、第2副襯底32兩層構(gòu)成，副襯底31、32上分別錯(cuò)開(kāi)位置設(shè)置第1副襯底用通孔319、第2副襯底用通孔329，通過(guò)第6連接電極33使第1副襯底用通孔319與第2副襯底用通孔329通導(dǎo)。
第1副襯底用通孔319與副襯底的第3連接電極15通電，該第3連接電極15與主襯底1的第2連接電極5通過(guò)焊錫、導(dǎo)電性樹(shù)脂等導(dǎo)體13固定并導(dǎo)通。該第2連接電極5依靠主襯底1內(nèi)的配線與第1連接電極4導(dǎo)通。
而且，在間隔變換器2的第2主面2b上裝有第5連接電極17，測(cè)頭6釬焊在該第5連接電極17上。并且，在第2副襯底用通孔329內(nèi)電氣連接的后述連接卡7的端子部23在間隔變換器2的通孔內(nèi)貫通，釬焊在第5連接電極17上。該副襯底3由第1副襯底31、第2副襯底32兩層構(gòu)成，但是也可由三層以上多層構(gòu)成。
這樣將副襯底3做成兩層以上，通過(guò)使各層副襯底內(nèi)的通孔錯(cuò)開(kāi)位置，當(dāng)從主襯底1的第1連接電極4向間隔變換器2的測(cè)頭6變換間隔時(shí)，可以將副襯底3內(nèi)按第2間隔變換、第3間隔變換進(jìn)行兩極變換；因此，與藉助一個(gè)直接的通孔、從主襯底1進(jìn)行間隔變換相比，可以將主襯底1的集中配線分散于副襯底，可以減輕主襯底1的配線負(fù)載。
如圖1所示，將間隔變換器2安裝在主襯底1上并能拆卸的定位架10，由旋緊固定在主襯底1的螺釘11、抑制間隔變換器2變形的彈簧12、12組成。由于加在與測(cè)量對(duì)象物的電極座(圖示省略)接觸的測(cè)頭6上的接觸壓力變化引起電氣接觸不良，由此產(chǎn)生的熱量被間隔變換器2吸收，間隔變換器2因熱膨脹差而變形呈彎曲狀、引起導(dǎo)電不良。該彈簧12的作用就是為了消除這種不正常情況。
這樣，如從間隔變換器2一側(cè)旋轉(zhuǎn)螺釘11的螺釘頭并從主襯底1上取下，就可簡(jiǎn)便地分開(kāi)與副襯底3結(jié)合成一體的主襯底1和間隔變換器2，也可更換間隔變換器2上的不合格連接卡。并且，反之，只要反向旋轉(zhuǎn)螺釘11，就可方便地組裝間隔變換器2和主襯底1。
下面，就圖4及圖5說(shuō)明主襯底1和副襯底3的連接狀況。
主襯底1和副襯底3的連接狀況如圖4所示，與副襯底3的有導(dǎo)電性鍍層的通孔通電的第1主面3a的第3連接電極15與主襯底1的第2主面1b第2連接電極5之間用焊錫、導(dǎo)電性導(dǎo)體13固定，導(dǎo)體部分外的副襯底3和主襯底1之間導(dǎo)體以外部分填充襯底粘接用樹(shù)脂構(gòu)件14，從而連成一體。
按從副襯底3的第1主面3a的窄間隔的相鄰電極間向主襯底1的第1主面3a的寬間隔的相鄰電極間變換、配置的通電區(qū)域，通過(guò)主襯底1和副襯底3得以固定。從而，主襯底1和副襯底3的連接，可以抑制通電不良、保持良好的接觸穩(wěn)定性，減少通電吸附點(diǎn)。
如圖5所示那樣，也可在與副襯底3上設(shè)有導(dǎo)電性鍍層的通孔9通電的第1主面3a的第3連接電極15與離開(kāi)副襯底3通孔位置的主襯底1的第2主面1b第2連接電極之間用導(dǎo)體13固定。
連接卡7是通過(guò)刻蝕、沖壓等加工方式加工成U字型或V字型形狀，如圖6所示，它由在副襯底3內(nèi)保持彈性接觸的接觸部20、支撐接觸部的支持部21、在支持部的端部限制支持部過(guò)多進(jìn)入通孔9的限位器22以及釬焊在間隔變換器2的第4連接電極16的端子部23組成。
該連接卡7如圖3所示，將接觸部20及支持部21插入通孔9內(nèi)，該接觸部20可以與有導(dǎo)電性鍍層的通孔內(nèi)壁接觸，形成可能導(dǎo)電的狀態(tài)。當(dāng)然，如果取下間隔變換器2，就可從通孔9拔下連接卡的接觸部及支持部。
圖7中的連接卡7，其接觸部20為雙層結(jié)構(gòu)，與上述的接觸部相比，在副襯底3的通孔9內(nèi)的彈性接觸能更牢靠、耐久性也更優(yōu)。
還有，圖8表示連接卡7的端子部23的固定結(jié)構(gòu)，連接卡7的端子部插入設(shè)在間隔變換器2的通孔24內(nèi)，釬焊在間隔變換器2的第5連接電極17上，導(dǎo)電性好、連接卡7固定得更牢固。
而且，圖10中的連接卡7的接觸部20分為雙層，它的端子部23與上述圖8一樣，插入設(shè)在間隔變換器2的通孔24內(nèi)，釬焊在間隔變換器2的第5連接電極17上，導(dǎo)電性好、連接卡7固定得更牢固。
還有，圖11為除連接卡7的接觸部20外端子部23也保持彈性接觸的結(jié)構(gòu)，連接卡7的接觸部20與支持部21與上述圖8一樣，插入副襯底3的通孔內(nèi)，使接觸部20在通孔內(nèi)保持彈性接觸；以使端子部23插入設(shè)在間隔變換器2的通孔24內(nèi)，端子部與該通孔24內(nèi)壁保持彈性接觸。以此，間隔變換器2與連接卡7之間不進(jìn)行釬焊，也可簡(jiǎn)便地拆卸間隔變換器2與連接卡7。
而且，此時(shí)，通過(guò)設(shè)定副襯底3一側(cè)的連接卡7的接觸部20的彈簧壓力和與設(shè)在間隔變換器2的通孔24接觸的連接卡7的端子部的彈簧壓力之間的差，當(dāng)從副襯底3拆卸間隔變換器2時(shí)，可以選擇留住連接卡7的構(gòu)件。也就是說(shuō)，通過(guò)設(shè)定使副襯底3一側(cè)的彈簧壓力大于間隔變換器2一側(cè)的彈簧壓力，當(dāng)拆卸間隔變換器2時(shí)連接卡7一定留在副襯底3一側(cè)，連接卡7就不會(huì)從副襯底3和間隔變換器2的兩個(gè)通孔9、24脫落(若設(shè)定得間隔變換器2一側(cè)的壓力大，則連接卡7會(huì)留在間隔變換器2一例)。
還有，圖12及圖13為直線卡結(jié)構(gòu)的連接卡7，尖的內(nèi)觸頭26裝在副襯底3的通孔9內(nèi)，連接卡7頂端貫通內(nèi)觸頭26時(shí)，則與該內(nèi)觸頭26的頂端27保持彈性接觸。該有導(dǎo)電性鍍層的通孔9與內(nèi)觸頭26之間通電。該直線型連接卡與內(nèi)觸頭26的連接，通電性好，作為直線型連接卡能夠更順暢地插拔。
進(jìn)而，圖14與圖12一樣，是直線型連接卡與內(nèi)觸頭26的連接，但是線型卡是通過(guò)插入設(shè)在間隔變換器2的通孔24、釬焊在間隔變換器2的第5連接電極17上得以固定的，導(dǎo)電性好、連接卡7固定得更牢靠。
圖15為本發(fā)明的另一實(shí)施例—單元型結(jié)構(gòu)的間隔變換器2，副襯底3與主襯底1連成一體，裝有可插入該副襯底3的通孔9內(nèi)的連接卡7的間隔變換器2分成多個(gè)單元。
由于該間隔變換器2劃分成多個(gè)單元，可以及時(shí)修正導(dǎo)電不良等不合格部位和更換單元，因此，在測(cè)量多個(gè)半導(dǎo)體器件時(shí)，能進(jìn)一步提高可靠性。
以上就本發(fā)明的代表性實(shí)施事例做了說(shuō)明，但是，本發(fā)明并非僅限定于這些實(shí)施事例的結(jié)構(gòu)；只要具備本發(fā)明所述的構(gòu)成條件且能實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的、在具備以下效果的范圍內(nèi)，就可以做適當(dāng)?shù)淖兏右詫?shí)施。
發(fā)明的效果由上述表明，本發(fā)明所述的測(cè)試插件的結(jié)構(gòu)由備有與測(cè)量?jī)x器接觸的第1連接電極的主襯底、備有與上述第1連接電極通電的多個(gè)通孔并與上述主襯底連接的副襯底、在一個(gè)主面上設(shè)有能插入上述通孔、可能裝卸的連接卡并在另一主面上設(shè)有與上述連接卡通電且與測(cè)量對(duì)象物接觸的多個(gè)測(cè)頭的間隔變換器構(gòu)成；因此，從窄間隔的相鄰電極間向較寬間隔的相鄰電極間變換、配置的通電區(qū)域，通過(guò)主襯底和副襯底得以固定，從而，每次檢查無(wú)須擔(dān)心主襯底和副襯底的導(dǎo)電不良情況，可以只考慮副襯底與間隔變換器間的連接卡接觸所引起的通電情況，從而，可靠性高、能夠方便地發(fā)現(xiàn)通電不良部位，維修管理也更簡(jiǎn)便。
而且，主襯底與間隔變換器配置成能夠拆卸的結(jié)構(gòu)，因此，可以更換安裝在間隔變換器上的不合格連接卡。
進(jìn)而，主襯底備有設(shè)有第1連接電極的第1主面和設(shè)有依靠布線與第1連接電極導(dǎo)通的第2連接電極的第2主面，該第2主面與設(shè)有和第2主面相對(duì)的通孔的副襯底的第1主面之間采用設(shè)有通電導(dǎo)體的結(jié)構(gòu)，從副襯底的第1主面的窄間隔的相鄰電極間向主襯底的第1主面的寬間隔的相鄰電極間變換、配置的通電區(qū)域，通過(guò)主襯底和副襯底得以固定，因此可以抑制導(dǎo)電不良情況，接觸穩(wěn)定性良好、并可減少通電吸附點(diǎn)。
而且，主襯底采用在有第1連接電極的第1主面上鋪設(shè)可抑制主襯底變形的加強(qiáng)板的結(jié)構(gòu)，因此，可以消除主襯底彎曲變形引起的導(dǎo)電不良、電氣接觸不穩(wěn)定情況。
而且，連接卡與插入連接卡的副襯底的通孔，采取在通孔內(nèi)彈性接觸的結(jié)構(gòu)，因此，連接牢固，可以抑制通導(dǎo)不良現(xiàn)象。
由于采用備有與測(cè)量?jī)x器接觸的第1連接電極的主襯底，備有與上述第1連接電極通電的多個(gè)通孔并與上述主襯底連接的副襯底，在另一主面上設(shè)有與測(cè)量對(duì)象物接觸的多個(gè)測(cè)頭并有與測(cè)頭通電的多個(gè)通孔的間隔變換器，以及一端安裝在間隔變換器的通孔內(nèi)并能拆卸、另一端安裝在副襯底的通孔內(nèi)并能拆卸的連接卡組成的結(jié)構(gòu)，因此，連接牢固、可以抑制導(dǎo)通不良現(xiàn)象。
并且，由于采用將間隔變換器分解成多個(gè)單元的結(jié)構(gòu)，因此，對(duì)于間隔變換器的局部不合格，不必更換整個(gè)間隔變換器，靠更換單元就可完成；可以達(dá)到力求大幅削減經(jīng)費(fèi)等明顯的效果。
權(quán)利要求
1.一種具有如下特點(diǎn)的測(cè)試插件在測(cè)定測(cè)量對(duì)象物的各項(xiàng)電氣特性的測(cè)試插件上安裝有備有與測(cè)量?jī)x器接觸的第1連接電極的主襯底、備有與上述第1連接電極通電的多個(gè)通孔并與上述主襯底連接的副襯底、以及在一個(gè)主面上設(shè)有能插入上述通孔、可以裝卸的連接卡并在另一主面上設(shè)有與上述連接卡通電且與測(cè)量對(duì)象物接觸的多個(gè)測(cè)頭的間隔變換器。
2.權(quán)利要求1所述的測(cè)試插件，上述副襯底與間隔變換器配置得能夠拆卸。
3.權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的測(cè)試插件，上述主襯底備有設(shè)有第1連接電極的第1主面和設(shè)有依靠配線與第1連接電極導(dǎo)通的第2連接電極的第2主面，該第2主面與設(shè)有和第2主面相對(duì)的通孔的副襯底的第1主面之間設(shè)有電氣連接的導(dǎo)體。
4.權(quán)利要求1或權(quán)利要求3所述的測(cè)試插件，上述主襯底在備有第1連接電極的第1主面上鋪設(shè)可抑制主襯底變形的加強(qiáng)板。
5.上述連接卡與副襯底上插入連接卡的通孔之間，在通孔內(nèi)保持彈性接觸的權(quán)利要求1或權(quán)利要求4所述的測(cè)試插件。
6.一種具有如下特征的測(cè)試插件，它安裝有備有與測(cè)量?jī)x器接觸的第1連接電極的主襯底，備有與上述第1連接電極通電的多個(gè)通孔、并與上述主襯底連接的副襯底，在另一個(gè)主面上設(shè)有與測(cè)量對(duì)象物接觸的多個(gè)測(cè)頭并設(shè)有與測(cè)頭通電的多個(gè)通孔的間隔變換器，一端安裝在間隔變換器的通孔內(nèi)并能拆卸、另一端安裝在副襯底的通孔內(nèi)并能拆卸的連接卡。
7.權(quán)利要求1或權(quán)利要求5或權(quán)利要求6所述的測(cè)試插件，上述間隔變換器分成多個(gè)部分。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種能夠拆卸、組裝構(gòu)成測(cè)試插件的構(gòu)件，同時(shí)，可以抑制電極間發(fā)生的導(dǎo)通不良現(xiàn)象，具有的高電接觸穩(wěn)定性、高可靠性。測(cè)定測(cè)量對(duì)象物的各項(xiàng)電氣特性的測(cè)試插件的結(jié)構(gòu)是安裝有在其表面上裝有與測(cè)量對(duì)象物的電極座接觸的多個(gè)測(cè)頭、而且在其與該測(cè)頭相對(duì)的一側(cè)上備有多個(gè)連接卡的間隔變換器，備有與測(cè)量?jī)x器的電極座接觸的多個(gè)第1連接電極的主襯底，在該主襯底與間隔變換器插入連接卡且備有與第1連接電極通電的多個(gè)通孔的副襯底；該副襯底與主襯底連接成一體。
文檔編號(hào)G01R31/26GK1573337SQ200410048729
公開(kāi)日2005年2月2日 申請(qǐng)日期2004年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月19日
發(fā)明者佐藤勝?gòu)? 森親臣, 中島雅成 申請(qǐng)人:日本電子材料株式會(huì)社