專利名稱：電路圖案檢查裝置及電路圖案檢查方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種可檢查形成在基板上、如用于液晶顯示面板的玻璃基板上的導電圖案的是否完好的電路圖案檢查裝置和電路圖案檢查方法。
背景技術：
在制造在基板上形成導電圖案的電路基板時，有對形成在基板上的導電圖案進行是否有斷線和短路的檢查的必要。
以往，作為導電圖案的檢查方法，例如，如專利文獻1所示，已知的是一種使針腳接觸在導電圖案的兩端而從一端側的針腳對導電圖案供給電信號，而從另一端側的針腳接受該電信號，以進行導電圖案的導通測試等的接觸式的檢查方法(針腳接觸方式)。電信號的供電是通過將金屬探針立設在全端子上，并從此處對導電圖案流動電流所進行的。
該針腳接觸方式，因為直接使探針接觸，因此具有S/N比高的優(yōu)點。
但是，例如，在形成于液晶顯示面板所使用的玻璃基板的電路配線圖案等中，卻有圖案厚度薄、基板上的黏固力少，且在使針腳接觸的過程中傷及圖案的問題點。
而且，在行動電話用的液晶面板等中，配線間距也細密化，因此為制作狹小間距且多根數的探針有花費大量勞力和成本的必要。
另外，同時必須制作符合用于每一不同配線圖案(依每一檢查對象)時的新探針。因此，檢查成本更為增高而對電子零件的低成本化產生大的障礙。
另外，液晶面板所使用的配線圖案，如后述般，以相互的行狀導電圖案部變得互異的方式，來配設端部配設為行狀且基部相互連接的兩組梳齒狀導電圖案，再在其周圍配設導電圖案，而對電路而言均為短路狀態(tài)。因此迄今為止尚無適合的檢查裝置。
(專利文獻1)日本專利特開昭62-269075號公報然而，要求一種能完成電路圖案對基板的黏固力弱的液晶顯示面板所用的電路圖案的檢查要求強、但又不傷及圖案的檢查裝置。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于，解決上述先前技術中的問題，提供一種可不傷及電路圖案，而對電路圖案的基板的黏固力弱的液晶顯示面板所用的電路圖案進行檢查的電路圖案檢查裝置和電路圖案檢查方法。作為實現上述目的的一個手段，例如，本發(fā)明的一個實施例具有如下的構成。
也就是說，其提供一種電路圖案檢查裝置，用于檢查將多個末端部被配設為行狀且基端部相互連接的兩組梳齒狀導電圖案以相互的末端部變得互異的方式配設而成的電路基板的導電性圖案的狀態(tài)，其特征為具備兩個檢測機構，具有檢測電極用以檢測來自上述梳齒狀導電圖案的信號；檢查信號供給機構，在上述梳齒狀導電圖案的一端供給交流檢查信號；低電壓控制機構，將上述梳齒狀導電圖案的另一端控制為至少比上述檢查信號供給機構所供給的交流檢查信號電位低的低電壓電位；和移動機構，以離開指定距離且與相互相同的上述末端部成為電容耦合狀態(tài)的方式進行位置定位的狀態(tài)，以橫過上述末端部的方式使上述兩個檢測機構移動；且上述移動機構以橫過供給上述檢查信號的末端部的基部側與低電壓電位的末端部的前端側的方式使上述一端的檢測機構移動，同時以橫過控制在上述低電壓電位的末端部的基部側與供給檢查信號的末端部的前端側的方式使另一端的檢測機構移動，以來自上述各檢測機構的檢查信號為基礎可辨識上述末端部是否完好。
而且，例如，其特征為上述低電壓控制機構將上述梳齒狀導電圖案的另一端控制為接地電位。
另外，例如，其特征為上述圖案的至少末端部為具有指定的電阻值的導電圖案，上述移動機構將2個上述檢測機構分別定位在上述末端部的各個前端與基部附近位置，以橫過上述末端部的方式使上述兩個檢測機構移動。
另外，其提供一種圖案檢查方法，用于檢查將多個末端部配設為行狀且基端部相互連接的兩組梳齒狀導電圖案以相互的末端部變得互異的方式配設，且包含具有檢測電極用于檢測來自上述梳齒狀導電圖案的信號的兩個檢測機構的電路基板的導電性圖案的狀態(tài)，其特征為在上述梳齒狀導電性圖案的一端供給交流檢查信號，同時將上述梳齒狀導電性圖案的另一端控制在至少比上述梳齒狀導電性圖案的一端所供給的交流檢查信號電位低的低電壓電位，以橫過供給上述檢查信號的末端部的基部側與控制在低電壓電位的末端部的前端側的方式使上述兩個檢測機構的一端的檢測機構移動，同時以橫過控制在上述低電壓電位的末端部的基部側與供給檢查信號的末端部的前端側的方式使上述兩個檢測機構的另一端的檢測機構移動，并以來自上述各檢測機構的檢測信號為基礎可辨識上述末端部是否完好。
而且，例如，該圖案檢查方法，其特征為上述圖案的末端部為具有指定的電阻值的導電圖案，上述檢測機構的移動控制，將2個上述檢測機構分別定位在上述末端部的各個前端與基部附近位置，并以橫過上述末端部的方式使上述兩個檢測機構移動。
另外，例如，該圖案檢查方法，其特征為將上述梳齒狀導電性圖案的另一端控制為低電壓電位?；蚴牵搱D案檢查方法，其特征為上述梳齒狀導電性圖案的上述檢測機構的檢測結果，在來自上述一端的檢測機構和上述另一端的檢測機構的檢測結果均橫過供給有檢查信號的末端部時為高電位，而在橫過控制在低電壓電位的上述末端部時為低電位的檢測信號時，則辨識為正常圖案。
另外，該圖案檢查方法，其特征為上述梳齒狀導電圖案的上述檢測機構的檢測結果，在來自上述一端的檢測機構和上述另一端的檢測機構的檢測結果均橫過控制在低電壓電位的上述行狀圖案時為高電位的檢測信號時，則辨識在檢測信號供給側的梳齒狀圖案的基部附近部位有短路；在來自上述一端的檢測機構和上述另一端檢測機構的檢測結果均橫過供給有檢查信號的末端部時為低電位的檢測信號時，則辨識在低電壓電位側的梳齒狀圖案的基部附近部位有短路。
另外，例如，該圖案檢查方法，其特征為在橫過均控制在低電壓電位的末端部時的上述一端的檢測機構的檢測結果電位比橫過其它的檢查信號供給側末端部時的檢測結果電位高，在上述另一端的檢測機構的檢測結果電位比橫過控制在其它的低電壓電位的末端部時的檢測結果電位低的情況，則辨識在該低電壓電位的末端部具有斷線，在橫過均供給檢查信號的末端部時的上述一端的檢測機構的檢測結果電位比橫過供給其它的檢查信號的末端部時的檢測結果電位高，在上述另一端的檢測機構的檢測結果電位比橫過控制在其它的低電壓電位的上述末端部時的檢測結果電位低的情況，則辨識在該檢查信號供給側的行狀圖案具有斷線。


圖1是用于說明本發(fā)明實施例的圖案檢查原理的說明圖；圖2(A)和圖2(B)是用于說明本實施例的圖案是否完好的辨識原理的說明圖；圖3是用于說明本實施例的檢查裝置的檢查控制的流程圖。
(附圖標記說明)10 玻璃制基板15a 梳齒狀導電圖案15b 梳齒狀導電圖案15c 屏蔽圖案20 第一傳感器25 感測電極30 第二傳感器35 感測電極50 模擬信號處理電路51 放大器52 帶通濾波器53 整流電路54 平滑電路60 控制部
61 計算機(CPU)62 ROM63 RAM64 A/D變換器65 信號供給部66 顯示部70 機器人控制器80 標量機器人具體實施方式
以下，參照圖式詳細說明本發(fā)明的實施例。在以下的說明中，是以一種電路圖案檢查裝置為例進行說明，該裝置檢查作為待檢查的圖案而形成液晶顯示面板的點矩陣顯示用面板的黏貼前的點矩陣圖案是否完好。
但是，本發(fā)明并不限于以下所說明的例子，只要是至少在檢查對象區(qū)域的兩端附近形成為行狀的檢查對象圖案，便無任何的限定。
(第一發(fā)明的實施例)圖1是用于說明本發(fā)明實施例的圖案檢查原理的說明圖。
圖1中，附圖標記10是本實施例的配設有待檢查的導電性圖案的基板，本實施例中，使用液晶顯示面板用的玻璃制基板。
在玻璃制基板10的表面配設有形成由本實施例的電路圖案檢查裝置所檢查的點矩陣顯示面板用的導電圖案。
在檢查對象基板，以相互的行狀導電圖案部(末端部)變得互異的方式配設如端部配設為行狀且基端部相互連接的兩組梳齒狀導電圖案15a、15b，而且，配設以包圍圖案周圍的方式所配設的屏蔽圖案15c。
在圖1所示的用于液晶顯示面板的導電圖案例中，各梳齒狀導電圖案15a、15b的圖案寬度大致相同，各梳齒狀導電圖案15a、15b的行狀導電圖案部(末端部)具有指定的電阻值。
本實施例中，梳齒狀導電圖案的各行狀導電圖案間隔成為大致相等的間隔。但是，即便各圖案間隔不為等間隔也同樣可進行檢查。
附圖標記20為第一傳感器；30為第二傳感器；在各傳感器的至少前端部表面，各自配設有感測電極2535。感測電極25和35由金屬、如銅(Cu)所形成。此外，也可覆蓋用于被保護電極的絕緣材料。此外，例如，雖也可將半導體作為電極使用，但這是因為通過金屬形成電極，可增大與導電圖案間的靜電電容的緣故。
附圖標記50是處理來自第一傳感器20、第二傳感器30的感測電極25、35的檢測信號并輸出于控制部60的模擬信號處理電路；附圖標記60是管理本實施例的檢查裝置全體控制的控制部；附圖標記70是控制標量機器人80的機器人控制器；附圖標記80是將液晶面板10定位在檢查位置并予以保持，同時，根據機器人控制器70的控制，以第一傳感器20、第二傳感器30的各感測電極25、35順序橫過液晶面板10的檢查對象的導電圖案的各行狀圖案的端部附近的所有連接端子的方式進行掃描的標量機器人。
本實施例中，標量機器人80用于將檢查對象基板(液晶面板)10定位在指定的檢查位置，而構成為可三維定位。相同地，將第一傳感器20、第二傳感器30的感測電極25、35與檢查對象基板10的表面保持指定的距離同時在檢查對象圖案上移動，而構成為可三維定位控制。
又，在實際的檢查控制中，在移動感測電極25、35的情況，有必要控制為使相互的移動距離同步，至少將兩電極大致同時搬運至相同的行狀圖案的上部，大致同時從相同行狀圖案離開。僅利用如此的控制，即便雙端部的圖案間隔如有差異，仍可只以標量機器人的兩電極移動速度的控制進行對應。
第一傳感器20和第二傳感器30，是通過標量機器人80以橫過檢查對象配線圖案的各行狀圖案的端部附近的方式移動，定位控制為維持與各配線圖案的電容耦合狀態(tài)并可檢測各配線圖案的信號的狀態(tài)。前端部的感測電極25、35的寬度，最好在例如檢查對象圖案的圖案間距以下(檢查圖案的圖案寬度和圖案間隙以下的大小)。由此，可成為以一根檢查對象圖案的檢查信號為主進行檢測的狀態(tài)。
但是，不一定要為檢查對象圖案的圖案間距以下，只要可把握多個的檢查對象圖案與鄰接該圖案的圖案，便可進行檢查。
來自第一傳感器20和第二傳感器30的檢測信號被送至模擬信號處理電路50，以進行模擬信號處理。通過模擬信號處理電路50模擬信號處理的模擬信號，被送至控制部60以判斷檢查基板10的配線圖案是否完好。另外，控制部60還進行將檢查信號供給梳齒狀圖案其中之一的控制。
模擬信號處理電路50具有各個分別放大第一傳感器20和第二傳感器30的檢測信號的放大器51；除去由放大器51所放大的檢測信號的噪聲成份，以使檢查信號通過所用的帶通濾波器52；對來自帶通濾波器52的信號作全波整流的整流電路53；將通過整流電路53作全波整流的檢測信號作平滑處理的平滑電路54。此外，并不一定要具備進行全波整流的整流電路53。
控制部60用于管理本實施例檢查裝置全體的控制，包括計算機(CPU)61；存儲CPU61的控制順序等的ROM62；暫時存儲CPU61的處理經過信息等的RAM63；將來自模擬信號處理電路50的模擬信號變換為對應的數字信號的A/D變換器64；將檢查信號供給梳齒狀圖案之一的基部的信號供給部65；以及顯示檢查結果與操作指示導引等的顯示部66。
信號供給部65例如作為檢查信號生成交流200KHz、200V的正弦波信號，供給梳齒狀圖案之一的基部。在此情況下，帶通濾波器52作為使該檢查信號的200KHz通過的帶通濾波器。
另一方面，未被供給檢查信號的另一方的梳齒狀圖案的基部，被維持在接地電位。此外，該另一方的梳齒狀圖案的基部，不一定是接地電位，而只要供給來自一方的梳齒狀圖案的基部所供給的檢查信號的低電位信號便足夠。如此，若供給來自一方的梳齒狀圖案的基部所供給的檢查信號的低電位信號的話，因為在第一傳感器20的檢測結果和第二傳感器30的檢測結果產生差異，只要辨識該差異的檢測結果，即可完全相同地辨識圖案是否完好。
以下，參照圖2說明具備以上構成的本實施例的圖案是否完好的辨識原理。圖2(A)顯示具有短路圖案的情況，圖2(B)顯示具有斷線的情況的檢查裝置的傳感器檢測信號的例子。
本實施例，因為檢查對象圖案具有某一程度的電阻成份；第一傳感器20、第二傳感器30均為與檢查對象圖案電容耦合狀態(tài)，因此檢查結果即使不是數字形式而是在圖案與圖案之間，仍可檢測出某一程度的檢測結果。
其結果，如圖2的箭頭所示，通過標量機器人80將第一傳感器20和第二傳感器30定位在梳齒狀圖案的行狀圖案部的各個端部附近，如箭頭所示，在與圖案電容耦合的狀態(tài)以橫過各行狀圖案的方式進行移動控制。此時，第一傳感器20和第二傳感器30以響應圖案間距的速度同步移動，以大致相同時序移動于行狀圖案的上部，并以大致相同時序驅動離開行狀圖案。
其結果，在正常圖案的部分，從信號供給部65所供給的檢查信號的大部分的電流，通過短路圖案(短路狀部)15c流入接地側。
在該狀態(tài)，如如圖2(A)所示，在接地側的行狀圖案端部側與檢查信號供給側的行狀圖案的基部側的一部分具有短路部位的情況，重新成為通過圖2(A)中粗圖案所示部分的電流通路所產生的該結果下段所示的檢查信號輸出，較粗線顯示的圖案的電位隨著接近于接地側而比例減少。
為此，成為圖2(A)所示(①的電位②的電位③的電位)，而②和③的電位通過短路位置①的位置，成為大致指定的值。短路位置①的越接近檢查信號供給側梳齒狀圖案的基部側(高電壓側)的②和③的電位變高，而短路位置①的越接近另一側的梳齒狀圖案的基部側(低電壓側)的②和③的電位變低。
因此，在②和③的電位高的情況，可辨識在接近檢查信號供給側梳齒狀圖案的基部的行狀圖案部位的短路，而在②和③的電位均低的情況，可辨識在接近接地側(低電壓電位側)梳齒狀圖案的基部側的行狀圖案部位的短路。
事實上，因為該檢測電位與短路部位為對應關系，因此可從檢測電位特定大致的短路部位，即使在進行微細圖案的檢查的情況，仍可容易特定短路部位。
在行狀圖案為正常的情況，流動于檢查信號供給側(高電壓圖案側)的檢查信號的交流電流，通過與鄰接圖案的電容成份，經常流入接地側(低電壓電位側)的圖案。但是，在行狀圖案的一部分為斷線的情況，則成為圖2(B)所示的檢測結果。
例如，當檢查信號供給側的行狀圖案成為斷線(打開)狀態(tài)時，流入接地側(低電壓電位側)的電流減少，第一傳感器20的檢測電位上升。由此，來自第一傳感器20的檢測輸出也增加。另一方面，因為從斷線部位至前面的粗線所示的圖案未流過電流，因此低電壓側的第二傳感器的輸出降低。
因此，檢查信號供給側的行狀圖案的第一傳感器20的輸出，成為比來自另一圖案的檢測信號高電位的檢測結果，在第二傳感器的輸出為比來自其它的圖案的檢測信號低電位的情況，則辨識在檢查信號供給側的行狀圖案的斷線。
另一方面，在正常圖案的情況，電流通過與鄰接圖案的電容成份而經常流入接地側的梳齒狀圖案側。在接地側的行狀圖案為斷線的情況，由粗線所示的圖案的電位不是接地狀態(tài)而成為流動狀態(tài)，因為來自鄰接圖案的影響變大而使得檢測電位上升。由此，第一傳感器20的輸出增加。因為，從另一斷線部至前面的粗線所示的圖案的影響未波和第二傳感器30位置上的圖案，因此來自鄰接圖案的影響變小而使得第二傳感器的輸出降低。
從該情況，在接地側的行狀圖案的第一傳感器20的輸出比其它的傳感器輸出上升，第二傳感器30的輸出比其它的傳感器輸出降低的情況，則辨識接地側行狀傳感器的斷線。
此外，在行狀圖案的斷線的情況，因為依行狀圖案的斷線部位來決定各傳感器輸出電位，因此可從檢測電位大致特定斷線部位。
以上的斷線部位的特定，可利用預先保持標準圖案、種種的斷線、或取代短路部位的基準檢測結果，并比較所保持的基準檢測結果與檢查結果，以特定不良部位。
以下，參照圖3的流程圖，說明具備以上構成的本實施例的導電圖案的檢查控制。圖3是用于說明本實施例的檢查裝置的檢查控制的流程圖。
在通過本實施例的檢查裝置進行檢查時，形成檢查對象導電圖案的玻璃基板，在未顯示的搬運路上被搬運至本實施例的電路圖案檢查裝置位置(工件位置)。為此，首先在步驟S1，將作為檢查對象的液晶面板10設定在檢查裝置。這可通過未顯示的搬運機器人將自動搬運來的檢查對象基板設定在檢查裝置，或是可由操作者來直接設定?？刂撇?0是在檢查裝置設定檢查對象時，起動機器人控制器70以控制標量機器人80，將檢查對象定位于檢查位置。
接著，在步驟S3，將第一傳感器20的感測電極25定位在檢查對象(液晶面板10)的檢查對象行狀配線圖案15a的端部側的初期位置(離開指定距離的最端部的配線圖案位置)，同時，將第二傳感器30的感測電極35搬運定位在檢查對象行狀配線圖案15b的端部側的初期位置(離開指定距離的最端部的配線圖案位置)。
此外，在本實施例中，與基板表面的間距被保持為例如100μm～200μm。但是，間距并不限于以上的例子，本實施例中，檢查對象配線圖案與電極間的距離(間距)，依檢查對象配線圖案的尺寸所決定，若圖案的尺寸增大時則間距也增大，而在圖案的尺寸小的情況間距也變窄。
在將圖案強固地黏接在基板表面等情況中，可在電極表面由絕緣材料形成覆被，而以無直接接觸的方式形成圖案與電極，介由絕緣材料將第一傳感器20或第二傳感器30直接密接在基板上，以間距大致成為絕緣材料的厚度的方式進行控制，可容易且正確地將檢查對象圖案與電極間的距離保持為一定距離以進行檢查，或是，在移動的情況，也可使基板與傳感器離開一定距離，而在信號檢測時使基板與傳感器密接。由此，可獲得容易且正確的檢查結果。
接著，在步驟S5，于信號供給部65作指示而開始對檢查信號供給側梳齒狀圖案的基部側供給檢查信號。
接著，進入步驟S7，將圖案與電極間的距離保持為一定，以使第一傳感器20與第二傳感器30的各電極25、35同步橫過檢查對象行狀圖案的方式，且以與檢查對象圖案表面的離開距離保持為一定的方式開始邊控制邊移動的控制。由此，在其后，感測電極25、35通過與行狀圖案的電容耦合以檢測來自行狀配線圖案的信號電位。
也就是說，在感測電極25位于行狀圖案的位置的情況，感測電極35也位于相同的行狀圖案的位置，這些均控制為在一感測電極移動在行狀圖案的1個間距期間，另一感測電極也移動行狀圖案的1個間距量的狀態(tài)。
為此，在步驟S10，起動模擬信號處理電路50，進行分別處理來自感測電極25、35的檢測信號而輸出在控制部60的控制。在信號處理電路50中，如上述，由放大器51將來自第一傳感器20的感測電極25的檢測信號與來自第二傳感器30的感測電極35放大至必要的電位，將由放大器51所放大的檢測信號傳輸至使檢查信號頻率的信號通過的帶通濾波器52，以除去噪聲成份，其后，由整流電路53將來自帶通濾波器52的信號作全波整流，由平滑電路54將被全波整流的檢測信號作平滑處理，并傳輸至控制部60的A/D變換器64。
CPU61起動A/D變換器64而將所輸入的模擬信號變換為對應的數字信號，并作為數字值讀取由感測電極25、35所檢測的檢查信號。
CPU61在后續(xù)的步驟S12，調查所讀取的檢測信號是否在預先設定的臨限值范圍內。在此，若檢測結果在指定的臨限值內的話，則認為讀取圖案正常而進入步驟S16。
另一方面，在步驟S12，若所讀取的檢測信號不在預先指定的臨限值范圍內而為此以外的值情況，則判斷供給該檢查信號的配線圖案與鄰接圖案處于短路中、或途中有斷線，而將此配線圖案的狀態(tài)作為不良予以存儲。然后，進入步驟S16。
行狀圖案為斷線中或短路的行狀圖案的不良部位，依據上述的原理來辨識。
在步驟S16中，判斷該配線圖案的檢查是否有結束，例如判斷感測電極25是否有移動至超過檢查對象配線圖案的最后圖案的位置(調查該配線圖案的檢查是否結束)。
在檢查只進行至該配線圖案的途中的情況，進入步驟S18，繼續(xù)電極的掃描，將檢查信號供給下一圖案。然后，返回步驟S10，繼續(xù)讀取處理。
另一方面，在步驟S16中，在對所有的配線圖案的檢查結束的情況，進入步驟S20，在信號供給部65作指示，以使檢查信號的供給停止，同時，使信號處理電路50、A/D變換器64的動作停止。
然后，最后在步驟S22，使檢查對象離開檢查位置，定位并搬運至下一搬運位置，以進行必要的后處理。
通過如上述的控制，進行完全不與檢查對象的配線圖案接觸等的液晶顯示圖案的檢查。為此，即使是配線圖案的強度少的液晶顯示面板基板，仍可進行完全無問題的檢查。
因此，即使是用于無法充分取得圖案強度的小型行動電話所用的液晶顯示面板的液晶顯示面板用玻璃基板，仍可不傷及配線圖案而確實檢查。
根據如上述說明的本實施例，可容易且確實實現圖案狀態(tài)的檢查。
(其它發(fā)明的實施例)以上的說明中，說明了以非接觸且橫過檢查對象配線圖案的端部的方式使感測電極25和35移動，以檢測不良圖案的例子。但是，本發(fā)明并不限于以上的例子，例如，在具有檢查對象圖案的強度，并確保摩擦強度等的情況，也可以是在第一傳感器20和第二傳感器30下部的圖案側安裝由導電材料形成的電刷，使該刷子以掃描的方式移動在檢查對象圖案的表面以檢測圖案的信號的構成。在該情況，可更為明確地檢測是否短路或斷線。
而且，以上的說明中，說明了通過標量機器人80而主要在X-Y方向以二維控制感測電極25、35的移動控制的例子。這是因為檢查對象基板為液晶面板，且為玻璃基板而平滑度高的緣故。而在檢查圖案厚度厚、或檢查基板為大型而無法無視表面凹凸的影響的基板的情況，可以是不僅進行以上的二維控制，還在上下方向(Z方向)進行控制的構成，只要是即使具有檢查對象基板的凹凸仍可獲得良好的檢查結果的構成即可。
在不僅進行二維控制，還進行上下方向(Z方向)的控制的情況，將標量機器人80構成為除可二維控制第一傳感器20和第二傳感器30外，還可在圖的表背方向(上下方向)進行位置定位控制。
然后，在第一傳感器20和第二傳感器30安裝激光變位計，由控制部60取入來自安裝在各傳感器的變位計的檢測結果，測定第一傳感器20、第二傳感器30與檢查對象基板的表面的距離，控制標量機器人80而由激光變位計23、33將各電極與檢查對象基板表面的距離控制為一定。
在進行該Z軸方向的控制時，在控制部60中，將電極移動一定距離的期間的測定距離的測定結果平均化，以平均化的距離成為一定的方式來控制電極與圖案間的距離。
例如，根據檢查對象圖案的3根量的距離的平均來控制電極、基板表面間的距離。
如此將距離平均化，是為了將急劇的Z方向控制設為稍緩的控制以減輕噪聲、測定誤差等的影響的目的。
如此，不僅在X-Y方向還在Z方向進行控制，尤其對大型基板的檢查很有效。例如，在大型平板顯示器面板表面的配線圖案的檢查等中，無論如何總無法避免基板表面的彎曲產生，在如此的情況，可有效防止電極與圖案接觸的情況。
另外，在圖案的厚度厚的情況，只要是通過減窄平均化的測定距離的范圍而可進行高強度的檢測者即可。
此外，以上的說明中，主要說明了檢查液晶顯示面板的例子，但是，本發(fā)明并不限于以上的基板，例如，只要是梳齒狀圖案便可應用在任意的基板圖案。
(發(fā)明效果)根據如上述說明的本發(fā)明，可確實檢測檢查對象圖案的不良。
而且，即使是具有檢查對象圖案的損傷的問題的圖案，仍不傷及檢查對象圖案，而可進行可靠度高的圖案檢查。
權利要求
1.一種電路圖案檢查裝置，其用于檢查將多個末端部配設為行狀且基端部相互連接的兩組梳齒狀導電圖案以相互的末端部變得互異的方式配設而成的電路基板的導電性圖案的狀態(tài)，其特征為具備兩個檢測機構，具有檢測電極用以檢測來自上述梳齒狀導電圖案的信號；檢查信號供給機構，在上述梳齒狀導電圖案的一端供給交流檢查信號；低電壓控制機構，將上述梳齒狀導電圖案的另一端控制為至少比上述檢查信號供給機構所供給的交流檢查信號電位低的低電壓電位；以及移動機構，在以離開指定距離且與上述末端部成為電容耦合狀態(tài)的方式進行位置定位的狀態(tài)，以橫過上述末端部的方式使上述兩個檢測機構移動；且上述移動機構以橫過供給上述檢查信號中的末端部的基部側與低電壓電位的末端部的前端側的方式使一端的檢測機構移動，同時以橫過控制在上述低電壓電位中的末端部的基部側與供給檢查信號的末端部的前端側的方式使另一端的檢測機構移動，以來自上述各檢測機構的檢查信號為基礎辨識上述梳齒狀導電圖案是否完好。
2.如權利要求1所述的電路圖案檢查裝置，其中，上述低電壓控制機構將上述梳齒狀導電圖案的另一端控制為接地電位。
3.如權利要求1或2所述的電路圖案檢查裝置，其中，上述圖案的至少末端部是具有指定的電阻值的導電圖案，上述移動機構將兩個上述檢測機構分別定位在上述末端部的各個前端與基部附近位置，以橫過上述末端部的方式使上述兩個檢測機構移動。
4.一種圖案檢查方法，其用于檢查將多個末端部配設為行狀且基端部相互連接的兩組梳齒狀導電圖案以相互的末端部變得互異的方式配設，且包含具有檢測電極用以檢測來自上述梳齒狀導電圖案的信號的兩個檢測機構的電路基板的導電性圖案的狀態(tài)，其特征為在上述梳齒狀導電性圖案的一端供給交流檢查信號，同時將上述梳齒狀導電性圖案的另一端控制在至少比上述梳齒狀導電性圖案的一端所供給的交流檢查信號電位低的低電壓電位；以橫過供給上述檢查信號的末端部的基部側與控制在低電壓電位的末端部的前端側的方式使上述兩個檢測機構的一端的檢測機構移動，同時以橫過控制在上述低電壓電位的末端部的基部側與供給檢查信號的末端部的前端側的方式使上述兩個檢測機構的另一端的檢測機構移動，并以來自上述各檢測機構的檢測信號為基礎辨識上述梳齒狀導電圖案是否完好。
5.如權利要求4所述的圖案檢查方法，其中，上述圖案的末端部是具有指定的電阻值的導電圖案，上述檢測機構的移動控制，將兩個上述檢測機構分別定位在上述末端部的各個前端與基部附近位置，并以橫過上述末端部的方式使上述兩個檢測機構移動。
6.如權利要求4或5所述的圖案檢查方法，其中，將上述梳齒狀導電性圖案的另一端控制為低電壓電位。
7.如權利要求4或5所述的圖案檢查方法，其中，上述梳齒狀導電性圖案的上述檢測機構的檢測結果，在來自上述一端的檢測機構和上述另一端的檢測機構的檢測結果均橫過供給檢查信號的末端部時為高電位，而在橫過控制在低電壓電位的上述末端部時為低電位的檢測信號時，則辨識為正常圖案。
8.如權利要求7所述的圖案檢查方法，其中，上述梳齒狀導電圖案的上述檢測機構的檢測結果，在來自上述一端的檢測機構和上述另一端的檢測機構的檢測結果均橫過控制在低電壓電位的上述行狀圖案時為高電位的檢測信號時，則辨識在檢測信號供給側的梳齒狀圖案的基部附近部位有短路；在來自上述一端的檢測機構和上述另一端的檢測機構的檢測結果均橫過供給檢查信號的末端部時為低電位的檢測信號時，則辨識在低電壓電位側的梳齒狀圖案的基部附近部位有短路。
9.如權利要求7所述的圖案檢查方法，其中，在橫過均控制在低電壓電位的末端部時的上述一端的檢測機構的檢測結果電位，比橫過其它的檢查信號供給側末端部時的檢測結果電位高，在上述另一端的檢測機構的檢測結果電位比橫過控制在其它的低電壓電位的末端部時的檢測結果電位低的情況，則辨識在該低電壓電位的末端部具有斷線，在橫過均供給檢查信號的末端部時的上述一端的檢測機構的檢測結果電位比橫過供給其它的檢查信號的末端部時的檢測結果電位高，在上述另一端的檢測機構的檢測結果電位比橫過控制在其它的低電壓電位的上述末端部時的檢測結果電位低的情況，則辨識在該檢查信號供給側的行狀圖案具有斷線。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于，提供可確實且容易檢測電路基板的不良的電路檢查裝置。作為解決問題的手段，本發(fā)明是在至少端部被配設為行狀且基部相互連接的兩組梳齒狀導電圖案的一端(15a)供給交流檢查信號，并將另一端(15b)接地，檢查以相互的行狀導電圖案部變得互異的方式配設而成的電路基板(10)的導電性圖案的狀態(tài)的電路圖案檢查裝置，其特征在于具備兩個檢測機構(20、30)，具有檢測來自上述梳齒狀導電圖案(15a、15b)的信號的檢測電極；并在與相互相同的上述行狀導電圖案成為電容耦合狀態(tài)進行定位的狀態(tài)，以橫過行狀導電圖案的方式而利用標量機器人(80)使檢測機構(20、30)移動，以上述兩檢測機構(20、30)的檢測電位為基礎可辨識行狀圖案部是否完好。
文檔編號G01R31/28GK1720457SQ20038010461
公開日2006年1月11日 申請日期2003年11月28日 優(yōu)先權日2002年11月30日
發(fā)明者山岡秀嗣, 羽森寬, 石岡圣悟 申請人:Oht株式會社