專利名稱：回轉(zhuǎn)運動角位移精度檢測儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種角位移精度檢測儀，特別是一種回轉(zhuǎn)運動的角位移精度檢測儀，可應(yīng)用于回轉(zhuǎn)運動的定位精度、重復(fù)定位精度的角位移檢測。
背景技術(shù)：
回轉(zhuǎn)運動的角位移精度一般用回轉(zhuǎn)運動的定位精度及重復(fù)定位精度來評價，被測轉(zhuǎn)臺的回轉(zhuǎn)定位精度和重復(fù)定位精度的傳統(tǒng)檢測方法是采用自準直儀和多面體進行測量，這種方法不能全面進行回轉(zhuǎn)運動精度的評定。近幾年英國RENISHAW公司推出用激光干涉儀和RX10轉(zhuǎn)臺附件結(jié)合起來進行回轉(zhuǎn)運動精度檢測的方法，該方法可全面進行回轉(zhuǎn)運動評估；但尚存在的問題是對于轉(zhuǎn)臺附件與被測轉(zhuǎn)臺安裝不同心的情況下不適用。美國API公司推出的旋轉(zhuǎn)軸角擺儀是利用電子水平儀，但它存在的問題是1、無法直接用于被測轉(zhuǎn)臺為水平轉(zhuǎn)臺的情況，而且必須嚴格同心安裝。2、由于水平儀液體的粘性，跟隨不能太快，無法跟蹤控制，檢測效率較低。
本實用新型針對上述已有技術(shù)的不足設(shè)計了一種回轉(zhuǎn)運動角位移精度檢測儀；該檢測儀既可用于檢測轉(zhuǎn)臺與被測轉(zhuǎn)臺同軸安裝的情況，又可用于兩者不能同軸安裝的情況。
為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案回轉(zhuǎn)運動角位移精度檢測儀包括有檢測轉(zhuǎn)臺、被測轉(zhuǎn)臺，檢測轉(zhuǎn)臺安裝在被測轉(zhuǎn)臺上；還包括有位移傳感器、基準規(guī)和一個由滑板、滑座、滑板及滑座組成的兩軸精密平臺；傳感器安裝于檢測轉(zhuǎn)臺上，基準規(guī)安裝在滑板上，滑板安裝在滑座上，并可沿滑座在Y方向移動；滑座與滑板連接，滑板安裝在滑座上，并可沿滑座在X方向移動。檢測轉(zhuǎn)臺與被測轉(zhuǎn)臺可以同軸安裝，也可以不同軸安裝；檢測轉(zhuǎn)臺由伺服電機驅(qū)動，并裝有高精度圓光柵尺；兩軸精密平臺由伺服電機驅(qū)動，并裝有高精度直線光柵尺；傳感器最少須安裝兩個，也可同時安裝多個，傳感器可以采用接觸式，也可以采用非接觸式。


圖1為本實用新型被檢測工作轉(zhuǎn)臺為立式工作臺主視圖；圖2為本實用新型被檢測工作轉(zhuǎn)臺為立式工作臺的俯視圖；圖3為本實用新型被檢測工作轉(zhuǎn)臺為臥式工作臺的主視圖；圖4為本實用新型被檢測工作轉(zhuǎn)臺為臥式工作臺的俯視圖。
具體實施方式
以下參照附圖對本實用新型作進一步的詳細說明。
參照圖1和圖2的立式工作臺主視圖及俯視圖，精密檢測轉(zhuǎn)臺1安裝在被測轉(zhuǎn)臺2上，由滑板5、滑座6、滑板7及滑座8組成了兩軸精密平臺9；高精度位移傳感器3安裝于精密檢測轉(zhuǎn)臺1上，基準規(guī)4安裝在滑板5上，滑板5安裝在滑座6上，并可沿滑座6在Y軸方向移動；滑座6與滑板7連接，滑板7安裝在滑座8上，并可沿滑座8在X軸方向移動。
參照圖3和圖4的臥式工作臺主視圖及俯視圖，被檢測工作轉(zhuǎn)臺為臥式放置，其軸線為水平軸線，結(jié)構(gòu)形式與立式工作臺相同。
本實用新型的精密檢測轉(zhuǎn)臺由伺服電機驅(qū)動，為了保證檢測精度，并在檢測轉(zhuǎn)臺1上裝有高精度圓光柵尺；兩軸精密檢測平臺的各軸均由伺服電機驅(qū)動，并在檢測轉(zhuǎn)臺1上裝有精密直線光柵尺。
本實用新型有兩種檢測過程1、檢測轉(zhuǎn)臺1與被測轉(zhuǎn)臺2同心安裝，檢測轉(zhuǎn)臺1與被檢測工作轉(zhuǎn)臺2同步反向轉(zhuǎn)動，由兩個傳感器3相對基準規(guī)4的位移變化即可測出被檢工作轉(zhuǎn)臺的角位移偏差。利用上述方法可進行被檢工作轉(zhuǎn)臺的定位精度和重復(fù)定位精度的檢測。
2、對于位置不同但檢測轉(zhuǎn)臺與被測轉(zhuǎn)臺不同心安裝時，檢測轉(zhuǎn)臺中心相對被檢轉(zhuǎn)臺中心有一偏心距時，檢測過程中檢測轉(zhuǎn)臺中心產(chǎn)生了X、Y方向的偏移。檢測時，一方面使檢測轉(zhuǎn)臺與被測轉(zhuǎn)臺作同步但反向回轉(zhuǎn)即n2＝-n1；另一方面驅(qū)動兩軸精密檢測平臺與檢測轉(zhuǎn)臺X、Y方向的偏移作同步同向運動。從而保證了安裝在檢測轉(zhuǎn)臺上的位移傳感器與基準規(guī)的相對位置關(guān)系不變，用方法1即可進行被檢轉(zhuǎn)臺的回轉(zhuǎn)定位精度和重復(fù)定位精度的測量。
實施例1由圖1和圖2所示，被檢測工作轉(zhuǎn)臺2為立式工作臺，即工作臺的軸線垂直；檢測轉(zhuǎn)臺1與被檢工作臺2同心安裝時，檢測過程中檢測轉(zhuǎn)臺1與被檢工作轉(zhuǎn)臺2同步反向轉(zhuǎn)動，這時兩軸精密檢測平臺9僅作調(diào)整用，在檢測過程中不動；檢測轉(zhuǎn)臺1與被檢工作臺2不同心時，則檢測過程中檢測轉(zhuǎn)臺1一方面與被檢工作轉(zhuǎn)臺2同步反向轉(zhuǎn)動，一方面兩軸檢測平臺9同時作同步同向移動。
實施例2由圖3和圖4所示，被檢測工作轉(zhuǎn)臺2為臥式工作臺，即軸線為水平軸線，檢測過程中檢測轉(zhuǎn)臺1與被檢工作轉(zhuǎn)臺2同步反向轉(zhuǎn)動，這時兩軸精密檢測平臺或僅作調(diào)整用，在檢測過程中不動；或與被測工作臺作同步同向的X、Y方向的移動。
本實用新型的特點是適用范圍廣，該檢測儀既可用于檢測轉(zhuǎn)臺與被測轉(zhuǎn)臺同軸安裝的定位及重復(fù)定位精度檢測，又可用于兩者不能同軸安裝的精度檢測，檢測精度和檢測效率高。
權(quán)利要求1.一種回轉(zhuǎn)運動角位移精度檢測儀，包括有檢測轉(zhuǎn)臺(1)和被測轉(zhuǎn)臺(2)，檢測轉(zhuǎn)臺(1)安裝在被測轉(zhuǎn)臺(2)上，其特征在于該精度檢測儀還包括有位移傳感器(3)、基準規(guī)(4)和一個由滑板(5)、滑座(6)、滑板(7)及滑座(8)組成的兩軸精密平臺(9)；傳感器(3)安裝于檢測轉(zhuǎn)臺(1)上，基準規(guī)(4)安裝在滑板(5)上，滑板(5)安裝在滑座(6)上，并可沿滑座(6)在Y方向移動；滑座(6)與滑板(7)連接，滑板(7)安裝在滑座(8)上，并可沿滑座(8)在X方向移動。
2.如權(quán)利要求1所述的回轉(zhuǎn)運動角位移精度檢測儀，其特征在于檢測轉(zhuǎn)臺(1)與被測轉(zhuǎn)臺(2)可以同軸安裝；也可以不同軸安裝。
3.如權(quán)利要求1所述的回轉(zhuǎn)運動角位移精度檢測儀，其特征在于檢測轉(zhuǎn)臺(1)由伺服電機驅(qū)動，并在檢測轉(zhuǎn)臺(1)上裝有高精度圓光柵尺。
4.如權(quán)利要求1所述的回轉(zhuǎn)運動角位移精度檢測儀，其特征在于精密平臺(9)兩軸均由伺服電機驅(qū)動，并檢測轉(zhuǎn)臺(1)上裝有高精度直線光柵尺。
5.如權(quán)利要求1所述的回轉(zhuǎn)運動角位移精度檢測儀，其特征在于傳感器(3)最少須安裝兩個，也可同時安裝多個，傳感器(3)可以采用接觸式，也可以采用非接觸式。
專利摘要本實用新型公開了一種新型回轉(zhuǎn)運動角位移精度檢測儀，用于回轉(zhuǎn)運動的定位精度和重復(fù)定位精度檢測。該檢測儀的精密檢測轉(zhuǎn)臺1安裝在被測轉(zhuǎn)臺2上，由滑板5、滑座6、滑板7及滑座8組成了兩軸精密平臺9；高精度位移傳感器3安裝于精密檢測轉(zhuǎn)臺2上，基準規(guī)4安裝在滑板5上，滑板5安裝在滑座6上，并可沿滑座6在Y軸方向移動；滑座6與滑板7連接，滑板7安裝在滑座8上，并可沿滑座8在X軸方向移動。該檢測儀適用范圍廣，既可適用于檢測轉(zhuǎn)臺與被測轉(zhuǎn)臺同軸安裝的定位及重復(fù)定位精度檢測；又可用于兩者不能同軸安裝的情況，檢測精度高，檢測效率高。
文檔編號G01B5/24GK2670902SQ200320109938
公開日2005年1月12日 申請日期2003年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月15日
發(fā)明者黃玉美, 彭中波, 高峰, 史文浩, 程祥 申請人:西安理工大學(xué)