專利名稱:變溫霍爾實(shí)驗(yàn)儀的制作方法
屬于教學(xué)科研儀器類。
霍爾試驗(yàn)儀是學(xué)校測(cè)定、表演實(shí)驗(yàn)的重要教學(xué)儀器，也是工廠科研單位試驗(yàn)、測(cè)定不可缺少的工具。主要是對(duì)半導(dǎo)體材料的霍爾系數(shù)、遷移率、載流子濃度等參數(shù)測(cè)定。
現(xiàn)有的霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)儀，只能測(cè)定室溫情況下半導(dǎo)體材料的主要參數(shù)。而不能同時(shí)測(cè)定在不同溫度情況下的主要參數(shù)。
本實(shí)用新型的變溫霍爾實(shí)驗(yàn)儀，可以不受室溫的限制。在絕對(duì)溫度77K－400K的范圍內(nèi)。隨時(shí)對(duì)半導(dǎo)體材料各種參數(shù)的測(cè)試，還可以對(duì)金屬和非金屬材料的電學(xué)和光學(xué)性能的測(cè)試。
見圖1、變溫霍爾實(shí)驗(yàn)儀，主要由微機(jī)1、打印機(jī)2、恒溫器3、樣品和電磁鐵恒流源4、真空子系統(tǒng)5、冷卻裝置6、磁場(chǎng)7等部分組成，在恒溫器內(nèi)有加熱器和溫度感溫器。
恒溫器(即杜瓦瓶)具有保溫作用，冷卻裝置用液態(tài)氮對(duì)其冷卻，可使恒溫器內(nèi)的絕對(duì)溫度最低降到77K。
恒溫器中的溫度感溫器與微機(jī)程序控制相連。溫度每間隔5℃、微機(jī)使受其控制的磁場(chǎng)磁極極性改變一次、被測(cè)樣品的電流方向改變一次。這樣，于同一溫度，在不同電流方向、不同磁極方向的情況下，對(duì)樣品分別進(jìn)行四次測(cè)試。然后取四次測(cè)試值的代數(shù)和的平均值。在測(cè)試過程中，微機(jī)、打印機(jī)、將測(cè)得的數(shù)據(jù)貯存並打印下來。之后微機(jī)又使受其控制的加熱元件加熱，使恒溫器內(nèi)的溫度再升高5℃，又重復(fù)上述的測(cè)試。這樣就能獲得樣品從絕對(duì)溫度77K－400K，再間隔5℃被測(cè)試的結(jié)果，並通過微機(jī)數(shù)據(jù)處理貯存和打印出圖表來，即打印出tgR與 1/(T) 和tgδ與 1/(T) 的曲線圖，在間隔隔5℃的曲線圖相應(yīng)各點(diǎn)打印出測(cè)試的數(shù)據(jù)。
權(quán)利要求
由磁場(chǎng)等構(gòu)成的變溫霍爾實(shí)驗(yàn)儀。其特征是a、有一個(gè)恒溫器。恒溫器內(nèi)有與微機(jī)相連接的加熱器、溫度感應(yīng)器。b、有與恒溫器相連接的真空裝置和冷卻裝置。c、有一個(gè)受微機(jī)控制的打印機(jī)。
專利摘要
變溫霍爾實(shí)驗(yàn)儀，屬教學(xué)科研儀器類。現(xiàn)有的霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)儀只能測(cè)室溫情況下的半導(dǎo)體霍爾系數(shù)、電導(dǎo)率、遷移率、載流子濃度等參數(shù)。本實(shí)用新型的實(shí)驗(yàn)儀，采用真空裝置和冷卻裝及恒溫器，在77°K—400°K溫度區(qū)間，對(duì)半導(dǎo)體材料的上述參數(shù)的測(cè)試，通過加熱器、溫度感應(yīng)器及微機(jī)控制，能貯存并自動(dòng)打印出logR與
文檔編號(hào)G01R33/06GK87207793SQ87207793
公開日1988年3月23日 申請(qǐng)日期1987年5月9日
發(fā)明者于耀川, 徐壽定, 范東華, 胡長(zhǎng)有, 周仁楷, 李瑞云, 李平江 申請(qǐng)人:東北師范大學(xué)科教儀器廠, 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan