專(zhuān)利名稱(chēng)：測(cè)量物體二維或三維形狀的光學(xué)儀器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測(cè)量物體二維尺寸和三維特征的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，更具體地，涉及二維和三維光學(xué)測(cè)量?jī)x器，所述儀器能選擇性地和交替地測(cè)量被測(cè)物體的二維尺寸和三維特征，包括表面粗糙度。
背景技術(shù)：
一般地，隨著電子和機(jī)械的發(fā)展，電子和機(jī)械零件的小型化和精細(xì)化加速。因此，為了檢查小型化精細(xì)電子和機(jī)械零件的工藝和制造狀態(tài)，必須以高精度來(lái)測(cè)量尺寸、特征以及表面粗糙度。
使用公知的接觸式測(cè)量?jī)x器不能測(cè)量半導(dǎo)體晶片以及半導(dǎo)體晶片上形成的精細(xì)圖案的二維尺寸、三維特征和表面粗糙度。這種特別地具有探針尖端的接觸式測(cè)量?jī)x器的缺點(diǎn)在于探針尖端在測(cè)量物體的表面粗糙度時(shí)可能劃傷被測(cè)物體的表面。并且，接觸式測(cè)量?jī)x器的缺點(diǎn)還在于，它難以測(cè)量物體表面的面積。
因此，為了測(cè)量小型電子或機(jī)械零件的尺寸、特征和表面粗糙度，通過(guò)非接觸方法測(cè)量物體的二維尺寸和三維特征的二維和三維測(cè)量?jī)x器已經(jīng)出現(xiàn)。公知的二維測(cè)量?jī)x器，通過(guò)使用從光源發(fā)出的光束，僅僅測(cè)量二維尺寸。公知的三維測(cè)量?jī)x器僅僅測(cè)量三維特征和表面粗糙度，其方式是校準(zhǔn)從光源發(fā)出的光束，將校準(zhǔn)的光束投射到物體上，并對(duì)比由校準(zhǔn)光束獲取的基準(zhǔn)圖案與由測(cè)量光束獲取的變形圖案，其中測(cè)量光束是從物體上反射的光束。
但是，這種傳統(tǒng)的二維測(cè)量?jī)x器和傳統(tǒng)的三維測(cè)量?jī)x器是彼此獨(dú)立設(shè)計(jì)和分別實(shí)現(xiàn)的。因此，為了測(cè)量物體的二維尺寸和三維特征，需要同時(shí)使用傳統(tǒng)的二維和三維測(cè)量?jī)x器。由于同時(shí)使用了兩種測(cè)量?jī)x器，所以二維和三維測(cè)量工作是繁瑣的，并且浪費(fèi)了很多時(shí)間和成本。
為了解決傳統(tǒng)測(cè)量?jī)x器的這些問(wèn)題，本發(fā)明申請(qǐng)者在韓國(guó)專(zhuān)利284080中提出了一種選擇性或交替地測(cè)量物體二維尺寸和三維特征，包括表面粗糙度的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，此專(zhuān)利在此引用作為參考。
圖1、圖2和圖3表示根據(jù)先前技術(shù)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，此儀器能選擇性和交替地測(cè)量物體的二維尺寸和三維特征，包括表面粗糙度。
圖1是根據(jù)先前技術(shù)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器的透視示意圖。參看圖1，光學(xué)測(cè)量?jī)x器包括輸入裝置，如鍵盤(pán)114和鼠標(biāo)116；控制器112，用于控制和管理整個(gè)光學(xué)測(cè)量?jī)x器在鍵盤(pán)114和鼠標(biāo)116所設(shè)定的特定模式下工作；以及輸出裝置，如監(jiān)視器118和打印機(jī)120，用于輸出測(cè)量的結(jié)果，使操作者獲知結(jié)果。
根據(jù)先前技術(shù)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器還包括與控制器112連接的測(cè)量單元130，用于測(cè)量被測(cè)量物體P的二維尺寸和三維特征。測(cè)量單元130包括控制臺(tái)130a。測(cè)量單元130還包括振動(dòng)隔離系統(tǒng)136、花崗巖表面板138、X-Y臺(tái)140以及傾轉(zhuǎn)臺(tái)142，這些按次序堆積在控制臺(tái)130a上。測(cè)量單元130還包括固定在花崗巖表面板138的邊緣部分的支撐44，其中支撐44中具有探針146，用于測(cè)量物體P的特征，并被控制線(xiàn)性地上下運(yùn)動(dòng)。
探針146具有第一光學(xué)系統(tǒng)150，用于測(cè)量物體P的二維尺寸，以及第二光學(xué)系統(tǒng)152b，用于測(cè)量物體P的三維特征。圖2表示第一光學(xué)系統(tǒng)150，圖3表示第二光學(xué)系統(tǒng)152a。
參看圖2，為了使用第一光學(xué)系統(tǒng)150測(cè)量物體P的二維尺寸，光學(xué)測(cè)量?jī)x器的轉(zhuǎn)臺(tái)148(示于圖1)向前或向后轉(zhuǎn)動(dòng)，使物鏡172朝向控制臺(tái)130a上放置的物體P。當(dāng)轉(zhuǎn)臺(tái)148轉(zhuǎn)動(dòng)并且測(cè)量?jī)x器的操作啟動(dòng)后，白光束從光源160發(fā)出，并通過(guò)第一透鏡162、第二透鏡164、第三透鏡166和總反射透鏡168入射到光束分光鏡170上。
入射到光束分光鏡170上的白光束，通過(guò)物鏡172照射到被測(cè)物體P上，接著從物體P反射出去。反射的光通過(guò)物鏡172返回，由裝在反射光光路上的成像透鏡174聚焦；接著進(jìn)入其中裝有電荷耦合器件(CCD)的CCD照相機(jī)，從而獲得二維圖像并且測(cè)量二維尺寸。
另一方面，參看圖3，為了使用第二光學(xué)系統(tǒng)152a測(cè)量物體P的三維特征，轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)148(示于圖1)，使物鏡172、基準(zhǔn)面178和光束分光鏡180朝向放置在控制臺(tái)130a上的物體P。在轉(zhuǎn)臺(tái)148轉(zhuǎn)動(dòng)并且光學(xué)測(cè)量裝置的操作啟動(dòng)后，白光束從光源160發(fā)出，并且通過(guò)第一透鏡162、第二透鏡164、第三透鏡166和總反射透鏡168入射到光束分光鏡170上。
入射到光束分光鏡170的白光束通過(guò)物鏡172、基準(zhǔn)面178和光束分光鏡180照射到被測(cè)物體P上。此時(shí)，基準(zhǔn)面178相對(duì)于由物鏡172會(huì)聚的會(huì)聚光束形成基準(zhǔn)光束并且光束分光鏡形成測(cè)量物體P特征/表面粗糙度的測(cè)量光束。
基準(zhǔn)光束和測(cè)量光束分別入射到基準(zhǔn)面178和物體的測(cè)量表面，接著分別從基準(zhǔn)面178和測(cè)量表面反射。此時(shí)，在反射的基準(zhǔn)光束與反射的測(cè)量光束之間形成干涉，從而形成條紋。CCD照相機(jī)176通過(guò)成像透鏡174攝取條紋，并產(chǎn)生三維圖像，從而測(cè)量三維特征和表面粗糙度。
圖1到3所示的傳統(tǒng)光學(xué)測(cè)量?jī)x器的優(yōu)點(diǎn)在于，第一和第二光學(xué)系統(tǒng)150、152b分享共用的元件，從而簡(jiǎn)化儀器結(jié)構(gòu)。但是，圖1到3所示的傳統(tǒng)光學(xué)測(cè)量?jī)x器的缺點(diǎn)是，每當(dāng)測(cè)量參數(shù)，如二維尺寸和三維特征發(fā)生變化時(shí)，必須通過(guò)向前或向后轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)148來(lái)選擇第一光學(xué)系統(tǒng)150和第二光學(xué)系統(tǒng)152b，從而使得儀器的使用不方便。
并且，傳統(tǒng)光學(xué)測(cè)量?jī)x器的缺點(diǎn)還在于，保留在基準(zhǔn)面的圖像可能引起測(cè)量誤差，從而難以保證測(cè)量結(jié)果的可靠性，因?yàn)橛蓚鹘y(tǒng)光學(xué)測(cè)量?jī)x器CCD獲取的三維圖像是由基準(zhǔn)面和測(cè)量表面反射的光束經(jīng)干涉而形成的條紋。

發(fā)明內(nèi)容
因此，在考慮到上述問(wèn)題時(shí)提出本發(fā)明，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供二維和三維光學(xué)測(cè)量?jī)x器，它能選擇性地和交替地測(cè)量二維尺寸和三維特征，包括表面粗糙度，但不使用基準(zhǔn)面，而僅使用投射格柵。
根據(jù)本發(fā)明，上述和其它目的的實(shí)現(xiàn)是通過(guò)提供一種二維和三維光學(xué)測(cè)量?jī)x器，其中包括CCD照相機(jī)，所述CCD照相機(jī)裝在探針外殼的上部，用于通過(guò)成像透鏡產(chǎn)生物體的二維和三維圖像；第一照明系統(tǒng)，所述第一照明系統(tǒng)裝在CCD照相機(jī)的下方，并且當(dāng)測(cè)量物體的二維尺寸時(shí)照亮被測(cè)物體的測(cè)量表面；第二照明系統(tǒng)，所述第二照明系統(tǒng)裝在第一照明系統(tǒng)的下方并連接到探針外殼10底部的圖像拾取管上，當(dāng)測(cè)量物體二維尺寸時(shí)用于照亮被測(cè)物體的角；第三照明系統(tǒng)，所述第三照明系統(tǒng)裝在探針外殼的一部分中，當(dāng)測(cè)量物體的三維特征時(shí)，用于通過(guò)投射格柵、投射透鏡、總反射鏡和圖像拾取管照亮物體的測(cè)量表面；以及壓電致動(dòng)器，用于精細(xì)地移動(dòng)投射格柵。
優(yōu)選地，第一照明系統(tǒng)可以包括環(huán)形的主體，用于通過(guò)CCD照相機(jī)獲取物體的圖像信息；以及多個(gè)發(fā)光二極管，所述發(fā)光二極管以一個(gè)傾斜角度裝在相應(yīng)的槽中，所述槽沿外邊緣部分形成在主體的下部。
優(yōu)選地，第二照明系統(tǒng)可以包括環(huán)形的主體，用于通過(guò)CCD照相機(jī)獲取物體的圖像信息；在主體的下部沿外邊緣部分形成的多個(gè)槽；以及多個(gè)發(fā)光二極管，所述發(fā)光二極管置于裝在相應(yīng)槽中的相應(yīng)傾斜板上。
優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明，物體的三維特征信息可以通過(guò)展開(kāi)Moire相位來(lái)獲得，所述Moire相位是基準(zhǔn)相位與物體相位之間的相位差，基準(zhǔn)相位是通過(guò)將桶算法(bucket algorithm)應(yīng)用到基準(zhǔn)格柵圖案上得到的，所述基準(zhǔn)格柵圖案被投射在上面接收被測(cè)物體的運(yùn)送臺(tái)的基準(zhǔn)平面上，物體相位是通過(guò)將桶算法(bucket algorithm)應(yīng)用到變形格柵圖案上而獲得的，所述變形格柵圖案被投射到物體的測(cè)量表面上。
優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明，物體二維尺寸信息的獲得可以通過(guò)選擇性地使用當(dāng)?shù)谝徽彰飨到y(tǒng)點(diǎn)亮?xí)r獲取的第一照明圖像以及當(dāng)?shù)诙彰飨到y(tǒng)點(diǎn)亮?xí)r獲取的第二照明圖像，或者將第一照明圖像與第二照明圖像進(jìn)行對(duì)比。


參考附圖，并從下面的詳細(xì)描述中，將能更清楚地理解本發(fā)明的上述和其它目的、特征和其它優(yōu)點(diǎn)。在附圖中圖1是傳統(tǒng)光學(xué)測(cè)量?jī)x器的透視示意結(jié)構(gòu)圖；圖2是圖1所示傳統(tǒng)光學(xué)測(cè)量?jī)x器中包括的第一光學(xué)系統(tǒng)的示意圖；圖3是圖1所示傳統(tǒng)光學(xué)測(cè)量?jī)x器中包括的第二光學(xué)系統(tǒng)的示意圖；圖4示意地表示根據(jù)本發(fā)明的二維和三維光學(xué)測(cè)量?jī)x器的內(nèi)部；圖5是圖4中第一照明系統(tǒng)的放大圖；圖6是圖4中第二照明系統(tǒng)的放大圖；圖7是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的儀器的工作的說(shuō)明圖；圖7A是用于解釋使用根據(jù)本發(fā)明的儀器測(cè)量三維特征的方法的圖；以及圖7B和7C是用于解釋使用根據(jù)本發(fā)明的儀器測(cè)量二維尺寸的方法的圖。
具體實(shí)施例方式
下面將結(jié)合附圖詳細(xì)地描述本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例。
根據(jù)本發(fā)明的二維和三維光學(xué)測(cè)量?jī)x器的總體結(jié)構(gòu)，除了其中具有第一和第二光學(xué)系統(tǒng)的探針外，與圖1所示的傳統(tǒng)光學(xué)測(cè)量?jī)x器的結(jié)構(gòu)相同。因此，為了避免重復(fù)解釋?zhuān)旅鎯H對(duì)與本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例相關(guān)的探針進(jìn)行說(shuō)明。
圖4是根據(jù)本發(fā)明的二維和三維光學(xué)測(cè)量?jī)x器中包括的探針的剖視圖。參看圖4，探針包括探針外殼10和裝在探針外殼10內(nèi)的支架12上的CCD照相機(jī)11。探針還包括成像透鏡13，該成像透鏡13通過(guò)透鏡支架14固定在一部分探針外殼10上并且裝在CCD照相機(jī)11的下方。探針還包括第一照明系統(tǒng)15，該第一照明系統(tǒng)15通過(guò)第一照明支架16固定在一部分探針外殼10上并且裝在成像透鏡13的下方。第一照明系統(tǒng)15用于獲取物體的二維圖像。
第一照明系統(tǒng)15包括環(huán)形的主體15a，用于通過(guò)CCD照相機(jī)11獲取物體的圖像信息；沿主體15a外邊緣部分在下部形成的多個(gè)槽15b；以及裝在相應(yīng)的槽15b中并且以一個(gè)傾斜角度朝物體傾斜的多個(gè)發(fā)光二極管(LED)15c，其中物體放置在成像透鏡13的中心的正下方。
并且，探針還包括圖像拾取管17，所述圖像拾取管17在第一照明系統(tǒng)15的下方，處于探針外殼10的下部；以及第二照明系統(tǒng)18，所述第二照明系統(tǒng)18裝在圖像拾取管17的下方并且用于測(cè)量物體的三維尺寸。
參看圖6，第二照明系統(tǒng)18包括形成環(huán)形的主體18a，用于通過(guò)CCD照相機(jī)11獲取物體的圖像信息；沿主體16a的外邊緣部分在主體16a的下部形成的多個(gè)槽18b；具有一個(gè)傾斜角度的多個(gè)傾斜板18c，多個(gè)傾斜板18c裝在相應(yīng)的槽18b中，用于接收各個(gè)LED18d；以及裝在各個(gè)傾斜板上的多個(gè)LED18d。
探針還包括總反射鏡19，總反射鏡19單獨(dú)地裝在探針外殼10的內(nèi)部的一部分上，離開(kāi)第一照明系統(tǒng)15，并朝向圖像拾取管17；以及投射透鏡20，投射透鏡20通過(guò)透鏡支架21固定在探針外殼10的內(nèi)壁上且位于總反射鏡19的上方。投射透鏡20用于測(cè)量物體的三維特征。
并且，可以通過(guò)壓電致動(dòng)器(PZT)(未圖示)移動(dòng)的投射格柵22裝在投射透鏡20的上方，用于測(cè)量物體三維特征的第三照明系統(tǒng)23裝在投射格柵22的上方，并通過(guò)第三照明支架24固定在探針外殼10上。
下面參看圖7、圖7A、圖7B和圖7C描述使用根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的儀器測(cè)量二維尺寸和三維特征的方法。
首先，使用諸如鍵盤(pán)和鼠標(biāo)的輸入裝置設(shè)定三維特征的測(cè)量參數(shù)。
接著，參看圖7A，為了得到相對(duì)基準(zhǔn)面的基準(zhǔn)相位，從第三照明系統(tǒng)23發(fā)出的光束，通過(guò)投射格柵22、投射透鏡20和總反射鏡19入射到運(yùn)送臺(tái)的基準(zhǔn)面上。
從第三照明系統(tǒng)23發(fā)出的光束，將投射格柵22的格柵圖案投射到基準(zhǔn)面上，同時(shí)由壓電致動(dòng)器25精細(xì)地移動(dòng)投射格柵22，從而基準(zhǔn)格柵圖案形成在基準(zhǔn)面上，并且通過(guò)成像透鏡13被CCD照相機(jī)11攝取。因此，得到基準(zhǔn)格柵圖像。并且，通過(guò)將桶算法(bucket algorithm)應(yīng)用于基準(zhǔn)格柵圖像，而獲取相對(duì)基準(zhǔn)面的基準(zhǔn)相位。
接著，將被測(cè)物體P置于運(yùn)送臺(tái)上，并且從第三照明系統(tǒng)19發(fā)出的光束通過(guò)投射格柵22、投射透鏡20和總反射鏡19入射到物體的測(cè)量表面上。
此時(shí)，投射格柵22通過(guò)壓電致動(dòng)器25a精細(xì)地移動(dòng)，而投射格柵22的格柵圖案通過(guò)第三照明系統(tǒng)19發(fā)出的光束投射到物體P的被測(cè)表面上。投射格柵22的原始格柵圖案沿物體的彎曲表面發(fā)生變形。此變形的格柵圖案通過(guò)成像透鏡13被CCD照相機(jī)11攝取，從而得到變形的格柵圖像。
并且，通過(guò)將桶算法應(yīng)用于變形的格柵圖像，得到物體的相位。接著，通過(guò)計(jì)算基準(zhǔn)相位與物體相位之間的相位差得到Moire相位，并且通過(guò)展開(kāi)Moire相位得到物體的實(shí)際高度信息。即，得到物體的三維特征信息、高度信息。
并且，在通過(guò)使用諸如鼠標(biāo)和鍵盤(pán)的輸入裝置選擇二維尺寸的測(cè)量參數(shù)時(shí)，參看圖7B，裝在第一照明系統(tǒng)15的主體15c中的LED15c發(fā)出白光束，并且白光束入射到物體P上，從物體P的測(cè)量表面反射并進(jìn)入CCD照相機(jī)11。
接著，第一照明系統(tǒng)15熄滅，裝在第二照明系統(tǒng)18的主體18a中的LED18d被點(diǎn)亮并發(fā)出光束。光束從物體P的角上反射并通過(guò)成像透鏡13進(jìn)入CCD照相機(jī)11。因此，通過(guò)選擇性地使用由使用第一照明系統(tǒng)而得到的第一照明圖像以及由使用第二照明系統(tǒng)而得到的第二照明圖像，或者將二者進(jìn)行對(duì)比，就可得到物體P的尺寸、二維形狀信息。
從上面的描述可以清楚地看出，本發(fā)明提供一種二維和三維光學(xué)測(cè)量?jī)x器，所述儀器能選擇性地或交替地測(cè)量二維尺寸和三維特征。并且，本發(fā)明提供一種能測(cè)量三維特征的二維和三維光學(xué)測(cè)量?jī)x器，不使用從基準(zhǔn)面反射的光束，而僅使用投射格柵，從而儀器不可能產(chǎn)生測(cè)量誤差，并且可以在低成本下以緊湊的尺寸實(shí)現(xiàn)。并且，本發(fā)明的儀器便于使用。
雖然為了說(shuō)明的目的描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但本領(lǐng)域一般技術(shù)人員應(yīng)該理解的是，在不偏離權(quán)利要求限定的本發(fā)明范圍和精神的條件下，可以做出不同的修改、增添和替代。
權(quán)利要求
1.一種二維和三維光學(xué)測(cè)量?jī)x器，所述儀器能使用光學(xué)系統(tǒng)選擇性地和交替地測(cè)量物體的尺寸和特征，所述儀器包括CCD照相機(jī)，所述CCD照相機(jī)裝在探針外殼的上部，用于通過(guò)成像透鏡產(chǎn)生物體的二維圖像和三維圖像；第一照明系統(tǒng)，所述第一照明系統(tǒng)裝在CCD照相機(jī)的下方，并且當(dāng)測(cè)量物體的二維尺寸時(shí)照射被測(cè)物體的測(cè)量表面；第二照明系統(tǒng)，所述第二照明系統(tǒng)裝在第一照明系統(tǒng)的下方并連接到探針外殼底部的圖像拾取管上，當(dāng)測(cè)量物體二維尺寸時(shí)用于照亮被測(cè)物體的角；第三照明系統(tǒng)，所述第三照明系統(tǒng)裝在探針外殼的某一部分中，當(dāng)測(cè)量物體的三維特征時(shí)，用于通過(guò)投射格柵、投射透鏡、總反射鏡和圖像拾取管照亮物體的測(cè)量表面；以及壓電致動(dòng)器，所述壓電致動(dòng)器用于精細(xì)地移動(dòng)投射格柵。
2.如權(quán)利要求1所述的儀器，其中第一照明系統(tǒng)包括環(huán)形的主體，用于通過(guò)CCD照相機(jī)獲取物體的圖像信息；以及多個(gè)發(fā)光二極管，所述發(fā)光二極管以一個(gè)傾斜角度裝在相應(yīng)的槽中，所述槽沿外邊緣部分形成在主體的下部。
3.如權(quán)利要求1所述的儀器，其中第二照明系統(tǒng)包括環(huán)形的主體，用于通過(guò)CCD照相機(jī)獲取的物體的圖像信息；在主體的下部沿外邊緣部分形成的多個(gè)槽；以及多個(gè)發(fā)光二極管，所述發(fā)光二極管置于裝在相應(yīng)槽中的相應(yīng)傾斜板上。
4.如權(quán)利要求1所述的儀器，其中物體的三維特征信息是通過(guò)展開(kāi)Moire相位獲得的，所述Moire相位是基準(zhǔn)相位與物體相位之間的相位差，基準(zhǔn)相位是通過(guò)將桶算法應(yīng)用到基準(zhǔn)格柵圖案上而得到的，所述基準(zhǔn)格柵圖案被投射在上面接收被測(cè)物體的運(yùn)送臺(tái)的基準(zhǔn)平面上，物體相位是通過(guò)將桶算法應(yīng)用到變形格柵圖案上而獲得，所述變形格柵圖案被投射到物體的測(cè)量表面上。
5.如權(quán)利要求1所述的儀器，其中物體的二維尺寸信息是通過(guò)選擇性地使用當(dāng)?shù)谝徽彰飨到y(tǒng)點(diǎn)亮?xí)r所獲取的第一照明圖像和當(dāng)?shù)诙彰飨到y(tǒng)點(diǎn)亮?xí)r所獲取的第二照明圖像而獲得，或者是通過(guò)將第一照明圖像與第二照明圖像進(jìn)行對(duì)比而獲得。
全文摘要
本發(fā)明提供一種二維和三維光學(xué)測(cè)量?jī)x器，所述儀器能交替地或有選擇性地測(cè)量物體的二維尺寸和三維特征，并且不使用基準(zhǔn)面的反射光而僅使用投射格柵來(lái)測(cè)量物體的三維特征，從而最大程度地減小測(cè)量誤差。所述儀器包括CCD照相機(jī)，所述CCD照相機(jī)裝在探針外殼的上部，用于通過(guò)成像透鏡產(chǎn)生物體的二維圖像和三維圖像；第一照明系統(tǒng)，所述第一照明系統(tǒng)裝在CCD照相機(jī)的下方，并且當(dāng)測(cè)量物體的二維尺寸時(shí)照亮被測(cè)物體的測(cè)量表面；第二照明系統(tǒng)，所述第二照明系統(tǒng)裝在第一照明系統(tǒng)的下方并連接到探針外殼(10)底部的圖像拾取管上，當(dāng)測(cè)量物體二維尺寸時(shí)用于照亮被測(cè)物體的角；第三照明系統(tǒng)，所述第三照明系統(tǒng)裝在探針外殼的某一部分中，當(dāng)測(cè)量物體的三維特征時(shí)，用于通過(guò)投射格柵、投射透鏡、總反射鏡和圖像拾取管照亮物體的測(cè)量表面；以及壓電致動(dòng)器，所述壓電致動(dòng)器用于精細(xì)地移動(dòng)投射格柵。
文檔編號(hào)G01B11/24GK1615426SQ03802201
公開(kāi)日2005年5月11日 申請(qǐng)日期2003年1月10日 優(yōu)先權(quán)日2002年1月15日
發(fā)明者林雙根, 金起弘, 曹相鉉, 崔二培 申請(qǐng)人:英泰克普拉斯有限公司