專利名稱：多參數(shù)微傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及傳感器技術(shù)，特別是一種微型生物傳感器集成化技術(shù)，是一種基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的多參數(shù)微傳感器陣列集成化試條及其多參數(shù)全血生化檢測微系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
微型生物傳感器集成化技術(shù)研究是目前國際生物傳感器的前沿和熱點(diǎn)問題，在醫(yī)藥、衛(wèi)生、食品、環(huán)境科學(xué)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用和明確的產(chǎn)業(yè)化前景。微電極的設(shè)計(jì)、工藝、檢測、集成等背景技術(shù)對微系統(tǒng)性能具有重要的影響。目前依托于絲網(wǎng)印刷的厚膜技術(shù)用于制作單參數(shù)的一次性傳感器試條以及檢測儀表已經(jīng)開始商品化生產(chǎn)，但是這種采用厚膜技術(shù)的傳感器試條制作耗時(shí)、耗材，工藝較為復(fù)雜而且在響應(yīng)時(shí)間、靈敏度、穩(wěn)定性等方面不如基于先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)的薄膜電極。在檢測技術(shù)中生物酶的固定技術(shù)對傳感器的響應(yīng)時(shí)間、靈敏度、使用壽命等性能有至關(guān)重要的影響，目前生物酶的固定方法有很多，因此尋找一種簡單易于生產(chǎn)并且使傳感器陣列具有較好的分析性能的酶固定方法是微系統(tǒng)應(yīng)用開發(fā)中不可缺少的關(guān)鍵技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)生產(chǎn)一種響應(yīng)時(shí)間快、靈敏度高、使用壽命長的多參數(shù)微傳感器。
本發(fā)明的另一目的是，這種多參數(shù)微傳感器對生物酶有較好的固定性能，且工藝簡單。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)解決方案是提供一種多參數(shù)微傳感器，由載體材料、薄膜微電極陣列、微型反應(yīng)室和進(jìn)樣微腔組成，其在載體材料表面固設(shè)有薄膜微電極陣列；薄膜微電極陣列由工作電極和對電極組成，各工作電極和對電極都有引出端，引出端上連有導(dǎo)電引線；在工作電極和對電極之間有微型反應(yīng)室，微型反應(yīng)室連有進(jìn)樣微腔。
所述的多參數(shù)微傳感器，其所述工作電極和對電極表面有一層金屬納米顆粒。
所述的多參數(shù)微傳感器，其所述薄膜微電極陣列的工藝制作，包括以下步驟(1)預(yù)清洗首先將載體材料放在濃硫酸和重鉻酸鉀(25∶1)混合溶液中浸泡，再用去離子水沖洗，直到載體材料表面親水為止，最后放在烘箱里烘干；(2)薄膜制備采用真空鍍膜法先沉積鉻，取出，再沉積金；(3)甩膠、光刻、顯影在勻膠機(jī)上沉積負(fù)性光刻膠，經(jīng)烘箱里烘干，然后在光刻機(jī)上曝光，再在負(fù)膠顯影液中顯影，接著用負(fù)膠清洗液沖洗，最后在烘箱里再烘干；(4)腐蝕金在碘和碘化鉀(1∶4)混合溶液中浸泡，直到除電極以外部分的金完全腐蝕為止；(5)腐蝕鉻在氫氧化鈉和高錳酸鉀溶液中浸泡，直到除電極以外部分的鉻完全腐蝕為止；(6)去膠采用干刻或濕刻方法去除表面膠膜；(7)完成得到產(chǎn)品。
所述的多參數(shù)微傳感器，其所述薄膜微電極陣列的工藝制作步驟(1)中，載體材料在濃硫酸和重鉻酸鉀(25∶1)混合溶液中浸泡時(shí)間≥6小時(shí)；在80℃烘箱里烘烤1.5～2.5小時(shí)。
所述的多參數(shù)微傳感器，其所述薄膜微電極陣列的工藝制作步驟(2)中，真空鍍膜條件為真空度10-3Pa，溫度180℃；鉻沉積190～210埃，金沉積2980～3020埃。
所述的多參數(shù)微傳感器，其所述薄膜微電極陣列的工藝制作步驟(3)中，負(fù)性光刻膠沉積1.4～1.6μ，在80℃烘箱里烘25～35分鐘，然后在光刻機(jī)上曝光1～2秒，再在負(fù)膠顯影液中顯影1～2分鐘，接著用負(fù)膠清洗液沖洗1～2分鐘，最后在180℃烘箱里再烘35～45分鐘。
所述的多參數(shù)微傳感器，其所述薄膜微電極陣列的工藝制作步驟(6)中，干刻法采用反應(yīng)離子刻蝕機(jī)腐蝕，其工藝條件為RF功率為50Watt，刻蝕氣體為30ml/分鐘的氧氣，工作氣壓為4Pa，自偏壓為50Volt，刻蝕時(shí)間為10～15分鐘。
所述的多參數(shù)微傳感器，其所述薄膜微電極陣列的工藝制作步驟(6)中，濕刻法就是把電極陣列放在發(fā)煙HNO3中浸泡10～15分鐘左右，取出，用去離子水沖洗，直到在顯微鏡下觀察到電極陣列表面的膠已去除為止。
所述的多參數(shù)微傳感器，其所述微電極表面有一層金屬納米顆粒，是采用電化學(xué)沉積的方法在微電極上沉積一層鉑黑顆粒；可采用不同的電化學(xué)沉積條件組裝不同比表面積的金屬納米顆粒。
所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述表面有一層金屬納米顆粒的微電極，可將含有基體溶液和酶的混合溶液直接吸附在多孔疏松狀的金屬納米顆粒層內(nèi)。
所述的多參數(shù)微傳感器，其微系統(tǒng)的檢測原理是在修飾了多孔的鉑黑微電極陣列上，不同微電極同時(shí)吸附了不同的生物酶和電子媒介體，當(dāng)固定在各自的工作電極上的氧化酶分別將各自底物進(jìn)行氧化作用時(shí)，電子媒介體將還原酶氧化成氧化酶，氧化酶再進(jìn)一步對其底物進(jìn)行氧化，并使電子媒介體變成還原態(tài)，累積的還原態(tài)電子媒介體在工作電極上較低電壓下氧化，其氧化電流與待測底物成正比。
所述的多參數(shù)微傳感器，其所述載體材料包括玻璃、玻璃纖維和高分子絕緣材料。
所述的多參數(shù)微傳感器，其所述高分子絕緣材料為環(huán)氧樹脂、聚亞酰氨酯(PEO)、乙烯-對二苯酸酯(PET)。
所述的多參數(shù)微傳感器，其所述微型反應(yīng)室，其功能是為了減小反應(yīng)產(chǎn)物的瞬間擴(kuò)散和酶的流失，微腔由兩端通的毛細(xì)管構(gòu)成使得樣品在毛細(xì)管力的作用下可瞬間充滿整個(gè)微型反應(yīng)室。
所述的多參數(shù)微傳感器，其通過薄膜微電極陣列引出端上的導(dǎo)電引線與微型儀表相連，構(gòu)成便攜式多參數(shù)全血生化檢測微系統(tǒng)。
所述的多參數(shù)微傳感器，其所述微型儀表為便攜式檢測儀表，設(shè)有獨(dú)特的微弱信號的檢測電路。
本發(fā)明解決了微系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、工藝、金屬納米顆粒組裝、酶的固定化、穩(wěn)定性、封裝、多參數(shù)檢測方法以及多參數(shù)傳感器與檢測電路系統(tǒng)集成等關(guān)鍵技術(shù)，利用本發(fā)明將微機(jī)械制造技術(shù)，電化學(xué)技術(shù)、多通道微弱信號檢測技術(shù)、數(shù)字化和智能化技術(shù)應(yīng)用于微量全血樣品的生化多參數(shù)檢測分析。微系統(tǒng)具有工藝流程短、制造成本低、使用簡便、檢測迅速、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)，適合于家庭、臨床快速低創(chuàng)生化檢測，對糖尿病患者及大眾醫(yī)療保健具有重要的意義，因此，具有良好的商業(yè)化前景。對社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展，國家人類健康和科技自身發(fā)展具有重要的意義。
本發(fā)明與目前國內(nèi)外產(chǎn)品比較具有許多優(yōu)勢，首先在應(yīng)用上可以檢測全血中多個(gè)生化指標(biāo)，再次由于一次性試條的生產(chǎn)工藝采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMES)工藝，既保證了檢測的可靠性和一致性，又降低了試條的生產(chǎn)成本，采用簡單有效的酶的固定方法，使得試條的生產(chǎn)更為簡便，而且系統(tǒng)的響應(yīng)快，靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)。


圖1本發(fā)明多參數(shù)微傳感器設(shè)計(jì)圖；圖2本發(fā)明多參數(shù)微傳感器微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝流程圖；圖3本發(fā)明多參數(shù)微傳感器電極上鉑黑顆粒SEM圖；圖4本發(fā)明多參數(shù)微傳感器不同活性電極表面循環(huán)伏安圖；圖5本發(fā)明多參數(shù)微傳感器對葡萄糖溶液的響應(yīng)圖；圖6本發(fā)明多參數(shù)微傳感器對乳酸溶液的響應(yīng)圖；圖7本發(fā)明多參數(shù)微傳感器葡萄糖和乳酸溶液的響應(yīng)的線性關(guān)系圖。
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)附圖結(jié)合實(shí)例詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)方式實(shí)施例1圖1表示本發(fā)明實(shí)施例的多參數(shù)微傳感器設(shè)計(jì)圖，主要包括以下部分電極制作采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝，其中工作電極和對電極采用相同的貴金屬金或鉑濺射或者蒸發(fā)在玻璃或PET材料基質(zhì)上(10.0×26.0×1.0mm3)，在薄膜工作電極1(0.8×0.6mm2)和對電極2(1.0×8mm2)上制作SU8膠絕緣層6(10×10×0.2mm3)，經(jīng)曝光后，即可得到反應(yīng)溝道4(10×1.5×0.2mm3)，在露出的工作電極周圍制作SU8反應(yīng)室3(0.8×0.6×0.02mm3)，在反應(yīng)溝道4上面粘貼一層聚合物作為封裝層5(10×4.0×0.2mm3)，形成進(jìn)樣微腔，加上電極引線7組成了一個(gè)完整的傳感器試條。測試時(shí)將帶有引線的一端插入微型儀表，構(gòu)成便攜式多參數(shù)全血生化檢測微系統(tǒng)。
該微系統(tǒng)的檢測原理是在修飾了多孔的鉑黑微電極陣列上，不同微電極同時(shí)吸附了不同的生物酶和電子媒介體，當(dāng)固定在各自的工作電極上的氧化酶分別將各自底物進(jìn)行氧化作用時(shí)，電子媒介體將還原酶氧化成氧化酶，氧化酶再進(jìn)一步對其底物進(jìn)行氧化，并使電子媒介體變成還原態(tài)，累積的還原態(tài)電子媒介體在工作電極上較低電壓下氧化，其氧化電流與待測底物成正比。
該微型儀表為便攜式檢測儀表，設(shè)有獨(dú)特的微弱信號的檢測電路。
實(shí)施例2圖2為本發(fā)明采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝的制作薄膜電極陣列主要工藝流程圖，包括以下幾個(gè)步驟(1)預(yù)清洗首先將載體材料玻璃片9放在濃硫酸和重鉻酸鉀(25∶1)混合溶液中浸泡6小時(shí)以上然后取出，用去離子水沖洗，直到玻璃片表面親水為止，最后放在80℃烘箱里烘2小時(shí)。
(2)薄膜制備在真空度為10-3Pa、溫度為180℃時(shí)，采用真空鍍膜法沉積200埃鉻(Cr)8，取出再沉積3000埃金(Au)11。
(3)甩膠、光刻、顯影在勻膠機(jī)上沉積1.5μ負(fù)性光刻膠10，在80℃烘箱里烘30分鐘。然后在光刻機(jī)上曝光1.5秒，在負(fù)膠顯影液中顯影1分鐘，接著用負(fù)膠清洗液沖洗1分鐘，最后在180℃烘箱里烘40分鐘。
(4)腐蝕金(Au)11在碘和碘化鉀(1∶4)混合溶液中浸泡，直到除電極以外部分的金(Au)11完全腐蝕為止。
(5)腐蝕鉻(Cr)8在氫氧化鈉和高錳酸鉀溶液中浸泡，直到除電極以外部分的鉻(Cr)8完全腐蝕為止。
(6)去膠采用干刻或濕刻方法去除表面膠膜，干刻法采用反應(yīng)離子刻蝕機(jī)腐蝕，其工藝條件為RF功率為50Watt，刻蝕氣體為30ml/min的氧氣，工作氣壓為4Pa，自偏壓為50Volt，刻蝕時(shí)間為10min。濕刻法就是把電極陣列放在發(fā)煙HNO3中浸泡10分鐘左右，取出，用去離子水沖洗，直到在顯微鏡下觀察到電極陣列表面的膠已去除為止。
實(shí)施例3圖3是根據(jù)本發(fā)明，采用電化學(xué)沉積的方法在微電極上沉積一層鉑黑顆粒從而獲取多孔疏松狀的高比表率電極表面的SEM照片。其方法是首先將被沉積鉑黑的微電極與CHI 660A電化學(xué)工作站工作電極的引線連接，用粗鉑絲電極與工作站的對電極引線和參比電極引線同時(shí)連接，在24mMH2PtCl6，2mM PbAC組成的電解質(zhì)溶液中，采用恒電流(100μA/cm2)通電120s。
在微電極陣列上為了獲取多孔的活性電極表面而采用不同的電化學(xué)沉積條件組裝不同比表面積的金屬納米顆粒，金屬納米顆粒層可以牢固吸附基體溶液和酶的混合溶液。
圖4為鍍鉑黑前后以及加酶與不加酶微電極的循環(huán)伏安圖的比較中可以看出在電極的表面沉積鉑黑可以有效地增加電極的比表面積，使響應(yīng)電流明顯增大，即使在吸附固定一定量的生物酶后，電流也基本不變，說明生物大分子固定在多孔的鉑黑顆粒中不會(huì)對鐵氰化鉀等小分子的電子媒介體的電子轉(zhuǎn)移有影響。
圖4中的循環(huán)伏安圖的測試液均為1mM鐵氰化鉀，基相溶液為pH7.4的10mM磷酸鹽緩沖液；掃描速度為100mV/sec。參比電極與工作電極為同一種電極材料。
實(shí)施例4采用微操作儀，對實(shí)施例3所得微電極上的反應(yīng)室里分別滴加葡萄糖氧化酶、鐵氰化鉀和基相溶液的混合溶液，乳酸氧化酶、鐵氰化鉀和基相溶液混合溶液，這些溶液直接吸附在多孔疏松狀的微電極上。
采用安培法測試對不同濃度的葡萄糖和乳酸檢測所得響應(yīng)曲線分別如圖5，6。圖中表明在傳感器試條上加入底物時(shí)，電流迅速增大，并在小于60秒的時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)態(tài)，因此，可以用于全血的快速檢測。圖7是系統(tǒng)對兩種底物標(biāo)定曲線，結(jié)果表明在一定的濃度范圍內(nèi)兩種底物的線性關(guān)系相當(dāng)好，且響應(yīng)電流的靈敏度好，能夠滿足全血快速檢測的基本要求。
微型反應(yīng)室的功能是為了減小反應(yīng)產(chǎn)物的瞬間擴(kuò)散和酶的流失，微腔由兩端通的毛細(xì)管構(gòu)成使得樣品在毛細(xì)管力的作用下可瞬間充滿整個(gè)微型反應(yīng)室。
本系統(tǒng)的操作方法可簡要概述如下首先關(guān)閉微型儀表電源，將新的密碼牌放入插槽。每次使用新的一盒多參數(shù)微傳感器檢測試條，必須換上新的密碼牌。待插入本發(fā)明所制成的多參數(shù)微傳感器檢測試條，微型儀表自動(dòng)開啟(也可以按鈕開啟)，當(dāng)?shù)窝栭W爍時(shí)，將血液樣本緊貼試條邊緣，血液自動(dòng)在毛細(xì)管力的作用下通過反應(yīng)溝道4并迅速充滿整個(gè)微型反應(yīng)室3，當(dāng)聽到“B”的一聲時(shí)，測試開始。一定時(shí)間后，結(jié)果按一定的順序輪次顯示在微型儀表的顯示屏上。
權(quán)利要求
1.一種多參數(shù)微傳感器，由載體材料、薄膜微電極陣列、微型反應(yīng)室和進(jìn)樣微腔組成，其特征在于，在載體材料表面固設(shè)有薄膜微電極陣列；薄膜微電極陣列由工作電極和對電極組成，各工作電極和對電極都有引出端，引出端上連有導(dǎo)電引線；在工作電極和對電極之間有微型反應(yīng)室，微型反應(yīng)室連有進(jìn)樣微腔。
2.如權(quán)利要求1所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述工作電極和對電極表面有一層金屬納米顆粒。
3.如權(quán)利要求1所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述薄膜微電極陣列的工藝制作，包括以下步驟(1)預(yù)清洗首先將載體材料放在濃硫酸和重鉻酸鉀混合溶液中浸泡，再用去離子水沖洗，直到載體材料表面親水為止，最后放在烘箱里烘干；(2)薄膜制備采用真空鍍膜法先沉積鉻，取出，再沉積金；(3)甩膠、光刻、顯影在勻膠機(jī)上沉積負(fù)性光刻膠，經(jīng)烘箱里烘干，然后在光刻機(jī)上曝光，再在負(fù)膠顯影液中顯影，接著用負(fù)膠清洗液沖洗，最后在烘箱里再烘干；(4)腐蝕金在碘和碘化鉀混合溶液中浸泡，直到除電極以外部分的金完全腐蝕為止；(5)腐蝕鉻在氫氧化鈉和高錳酸鉀溶液中浸泡，直到除電極以外部分的鉻完全腐蝕為止；(6)去膠采用干刻或濕刻方法去除表面膠膜；(7)完成得到產(chǎn)品。
4.如權(quán)利要求3所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述薄膜微電極陣列的工藝制作步驟(1)中，濃硫酸和重鉻酸鉀混合溶液的配比是25∶1，載體材料在濃硫酸和重鉻酸鉀混合溶液中浸泡時(shí)間≥6小時(shí)；在80℃烘箱里烘烤1.5～2.5小時(shí)。
5.如權(quán)利要求3所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述薄膜微電極陣列的工藝制作步驟(2)中，真空鍍膜條件為真空度10-3Pa，溫度180℃；鉻沉積190～210埃，金沉積2980～3020埃。
6.如權(quán)利要求3所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述薄膜微電極陣列的工藝制作步驟(3)中，負(fù)性光刻膠沉積1.4～1.6μ，在80℃烘箱里烘25～35分鐘，然后在光刻機(jī)上曝光1～2秒，再在負(fù)膠顯影液中顯影1～2分鐘，接著用負(fù)膠清洗液沖洗1～2分鐘，最后在180℃烘箱里再烘35～45分鐘。
7.如權(quán)利要求3所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述薄膜微電極陣列的工藝制作步驟(4)中，碘和碘化鉀混合溶液的配比是1∶4。
8.如權(quán)利要求3所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述薄膜微電極陣列的工藝制作步驟(6)中，干刻法采用反應(yīng)離子刻蝕機(jī)腐蝕，其工藝條件為RF功率為50Watt，刻蝕氣體為30ml/分鐘的氧氣，工作氣壓為4Pa，自偏壓為50Volt，刻蝕時(shí)間為10～15分鐘。
9.如權(quán)利要求3所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述薄膜微電極陣列的工藝制作步驟(6)中，濕刻法就是把電極陣列放在發(fā)煙HNO3中浸泡10～15分鐘左右，取出，用去離子水沖洗，直到在顯微鏡下觀察到電極陣列表面的膠已去除為止。
10.如權(quán)利要求2所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述微電極表面有一層金屬納米顆粒，是采用電化學(xué)沉積的方法在微電極上沉積一層鉑黑顆粒；可采用不同的電化學(xué)沉積條件組裝不同比表面積的金屬納米顆粒。
11.如權(quán)利要求2或10所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述表面有一層金屬納米顆粒的微電極，可將含有基體溶液和酶的混合溶液直接吸附在多孔疏松狀的金屬納米顆粒層內(nèi)。
12.如權(quán)利要求1所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，微系統(tǒng)的檢測原理是在修飾了多孔的鉑黑微電極陣列上，不同微電極同時(shí)吸附了不同的生物酶和電子媒介體，當(dāng)固定在各自的工作電極上的氧化酶分別將各自底物進(jìn)行氧化作用時(shí)，電子媒介體將還原酶氧化成氧化酶，氧化酶再進(jìn)一步對其底物進(jìn)行氧化，并使電子媒介體變成還原態(tài)，累積的還原態(tài)電子媒介體在工作電極上較低電壓下氧化，其氧化電流與待測底物成正比。
13.如權(quán)利要求1所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述載體材料包括玻璃、玻璃纖維和高分子絕緣材料。
14.如權(quán)利要求13所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述高分子絕緣材料為環(huán)氧樹脂、聚亞酰氨酯(PEO)、乙烯-對二苯酸酯(PET)。
15.如權(quán)利要求1所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，所述微型反應(yīng)室，其功能是為了減小反應(yīng)產(chǎn)物的瞬間擴(kuò)散和酶的流失，微腔由兩端通的毛細(xì)管構(gòu)成使得樣品在毛細(xì)管力的作用下可瞬間充滿整個(gè)微型反應(yīng)室。
16.如權(quán)利要求1所述的多參數(shù)微傳感器，其特征在于，通過薄膜微電極陣列引出端上的導(dǎo)電引線與微型儀表相連，構(gòu)成便攜式多參數(shù)全血生化檢測微系統(tǒng)。
全文摘要
本發(fā)明涉及傳感器技術(shù)，特別是一種微型生物傳感器集成化技術(shù)。本發(fā)明多參數(shù)微傳感器，由載體材料、薄膜微電極陣列、微型反應(yīng)室和進(jìn)樣微腔組成，在載體材料表面固設(shè)有薄膜微電極陣列；薄膜微電極陣列由工作電極和對電極組成，各工作電極和對電極都有引出端，引出端上連有導(dǎo)電引線；在工作電極和對電極之間有微型反應(yīng)室，微型反應(yīng)室連有進(jìn)樣微腔。本發(fā)明在應(yīng)用上可以檢測全血中多個(gè)生化指標(biāo)，把集成傳感器陣列制作成一次性檢測試條，其生產(chǎn)工藝采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMES)工藝，既保證了檢測的可靠性和一致性，又降低了試條的生產(chǎn)成本，采用簡單有效的酶的固定方法，使得試條的生產(chǎn)更為簡便，而且系統(tǒng)的響應(yīng)快，靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號G01N33/66GK1566938SQ0314115
公開日2005年1月19日 申請日期2003年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月11日
發(fā)明者李華清, 蔡新霞, 王利, 崔大付 申請人:中國科學(xué)院電子學(xué)研究所