專利名稱：主要包括全氟烷氧基化合物的科里奧利流量計(jì)的制造技術(shù)
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造用于測量具有超高純度的處理材料的流量的科里奧利流量計(jì)的方法。
背景技術(shù)：
使用科里奧利效應(yīng)質(zhì)量流量計(jì)測量關(guān)于通過管線流動的材料的質(zhì)量流量和其它信息是已知的，如在1985年1月1日的J.E.Smith等人的美國專利4491025和1982年2月11日的J.E.Smith的Re.31450所述。這些流量計(jì)具有一個(gè)或幾個(gè)非直的、彎曲的或不規(guī)則的構(gòu)形的流體管。每個(gè)流體管具有一組可以是簡單的彎曲的、扭轉(zhuǎn)的或扭曲型的自然振動模式。每個(gè)充有材料的流體管被驅(qū)動，使得在這些自然模式的一種模式下諧振。自然振動模式部分地由流體管和流體管內(nèi)的材料的組合的質(zhì)量確定。如果需要，流量計(jì)不必在自然模式下被驅(qū)動。
材料從在入口側(cè)上連接的材料源流入流量計(jì)。材料通過一個(gè)或幾個(gè)流體管，并流到流量計(jì)的外部。
驅(qū)動器提供用于使流體管振動的力。當(dāng)沒有材料流時(shí)，沿著流體管的所有點(diǎn)在流體管的第一彎曲模式下以相同的相位振動?？评飱W利加速度使得流體管上的每個(gè)點(diǎn)具有與流體管上的其他點(diǎn)不同的相位。在流體管的入口側(cè)上的相位滯后于驅(qū)動器，在出口側(cè)上的相位導(dǎo)前于驅(qū)動器。在流體管上設(shè)置傳感器，用于產(chǎn)生代表流體管的運(yùn)動的正弦信號。兩個(gè)檢測器信號之間的相位差除以振動頻率，從而獲得和材料流的質(zhì)量流量成比例的延遲。
使用具有不同流體管結(jié)構(gòu)的流量計(jì)是已知的。在這些結(jié)構(gòu)當(dāng)中，具有單管、雙管、直管、彎管和不規(guī)則構(gòu)形的流體管。大部分的流量計(jì)由金屬構(gòu)成，例如鋁、鋼、不銹鋼和鈦。玻璃流體管也是已知的。此外，在本領(lǐng)域中所有的直的串聯(lián)通路流量計(jì)當(dāng)前由金屬制成，特別是鈦，或者是襯有塑料特別是PTFE或PFA的金屬管。
在這些類型的流量計(jì)中鈦的有利的的屬性是其高的強(qiáng)度和低的熱膨脹系數(shù)(CTE)。鈦的不利的屬性是其金屬的性質(zhì)與制造成本。例如，在半導(dǎo)體芯片處理中，金屬離子是污染物質(zhì)。和集成電路的芯片區(qū)域接觸的金屬離子可以引起器件短路而毀壞。此外，鈦流量計(jì)制造困難而昂貴。
襯有PFA的流體管，例如在Dieter Meier的美國專利5403533中披露的，試圖組合兩種技術(shù)的有利的屬性，但是碰到了直到本發(fā)明一直未解決的新的挑戰(zhàn)。襯有PFA的金屬流體管仍然允許金屬離子通過PFA的薄的涂層遷移到流體流中，從而引起污染。此外，流體管材料和PFA襯里具有不同的熱性能。這引起PFA襯里和流體管脫離而產(chǎn)生泄露和性能問題。利用PFA進(jìn)行鑲襯金屬流體管的制造處理也是極其昂貴的?，F(xiàn)有技術(shù)還建議塑料流體管和塑料流量計(jì)。這些現(xiàn)有技術(shù)中包括整個(gè)流量計(jì)是塑料的以及其中只有流體管是由塑料制成的。這種現(xiàn)有技術(shù)的大多數(shù)涉及金屬流量計(jì)，并且僅僅包含一種斷言，指出流量計(jì)可以由各種材料例如鋼、不銹鋼、鈦或塑料制成。這種現(xiàn)有技術(shù)沒有披露關(guān)于可以在包括溫度在內(nèi)的操作條件的范圍內(nèi)精確地輸出信息的塑料的科里奧利流量計(jì)的內(nèi)容。
只用塑料的流體管替代金屬的流體管將產(chǎn)生一種看上去像流量計(jì)的結(jié)構(gòu)。不過，這種結(jié)構(gòu)不能作為流量計(jì)來在有用的操作條件范圍內(nèi)產(chǎn)生精確的輸出信息。只是作為一種斷言，認(rèn)為流量計(jì)可以由塑料制成，這除去說明塑料可以替代金屬之外，毫無意義。其沒有教導(dǎo)如何制造塑料流量計(jì)來在有用的操作條件范圍內(nèi)產(chǎn)生精確的信息。
在一些應(yīng)用中的問題是，一般的科里奧利流量計(jì)可以污染處理材料。這是其中超高純度的材料必須借助于流量計(jì)提供給用戶應(yīng)用的系統(tǒng)所不希望的。在半導(dǎo)體芯片的制造中便是這種情況，其要求使用無污染物的處理材料，所述的污染物包括從處理材料流的路徑的管子遷移的離子。在這種應(yīng)用中，流體管可能是一個(gè)污染源。流體管的金屬壁可以在處理材料流中釋放離子。釋放的離子可以使半導(dǎo)體晶片上的芯片成為有缺陷的。對于玻璃流體管同樣如此，其可以從玻璃向處理材料流釋放鉛離子。對于由常規(guī)的塑料構(gòu)成的流體管也同樣如此。
一種被稱為PFA的塑料則沒有這個(gè)問題，因?yàn)闃?gòu)成這種塑料的材料不在材料流中釋放有害的離子。在Vanderpol的美國專利5918285中建議使用PFA制造流體管。這個(gè)建議對于Vanderpol的專利是附帶性的，因?yàn)樵搶＠麤]有披露關(guān)于如何制造用于產(chǎn)生精確的流量信息的具有PFA流體管的流量計(jì)的信息。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決了上述的和其它的問題，因而推進(jìn)了本領(lǐng)域的發(fā)展，本發(fā)明披露了一種具有至少一個(gè)由全氟烷氧基共聚物(PFA)塑料制成的流體管的科里奧利流量計(jì)，所述流體管和驅(qū)動器以及至少一個(gè)傳感器相連，使得所述PFA流體管作為在材料流和超高純度的操作條件的范圍內(nèi)可以提供精確的輸出信息的科里奧利流量計(jì)的元件，所述材料流和超高純度適用于例如半導(dǎo)體制造及其它類似應(yīng)用，這些應(yīng)用要求材料流無污染并且沒有離子。
完全由PFA構(gòu)成的流體通路比鈦流體管和襯有PFA的流體管具有許多優(yōu)點(diǎn)而沒有缺點(diǎn)。PFA是一種具有優(yōu)異的耐化學(xué)性能、極少的金屬離子釋放、低的粒子產(chǎn)生的氟聚合物，并且不用花費(fèi)大量的資金便能制造。PFA材料是一種強(qiáng)的并且可被擠壓成高質(zhì)量的薄壁管的材料。薄壁的PFA管系具有低的彎曲剛度，使得對質(zhì)量流量具有較高的靈敏度，并對在流體管和處理管線之間的彈性的動態(tài)相互作用具有改進(jìn)的抗擾性。PFA的材料和物理性能允許在較高的應(yīng)力下的較大幅值的管振動，并具有幾乎無限的疲勞壽命。此外，較高的振動幅值還使得能夠利用較小質(zhì)量的傳感器，這又改善了密度靈敏度和對于安裝振動的抗擾性。
本發(fā)明的第一優(yōu)選的示例的實(shí)施例包括一種流量計(jì)，其具有一個(gè)被可振動地連接到一個(gè)大質(zhì)量的金屬底座上的PFA塑料流體管，所述大質(zhì)量的金屬底座振動地平衡所述流體管的端部節(jié)點(diǎn)。在這個(gè)實(shí)施例中，所述底座是U形的，并且所述塑料流體管通過在U形的柱的外部中的孔延伸。所述塑料流體管借助于O形環(huán)或合適的粘合劑特別是氰基丙稀酸酯固定到所述底座結(jié)構(gòu)上，所述粘合劑圍繞著所述流體管，并把流體管剛性地粘結(jié)到所述金屬底座上。所述流體管的中心被連附到一個(gè)電磁驅(qū)動器上，所述驅(qū)動器接收來自合適的儀表電子電路的驅(qū)動信號，從而使流體管垂直于其縱向通路振動。所述流體管還和傳感器相連，所述傳感器檢測在振動的流體管內(nèi)的材料流的科里奧利響應(yīng)。也由PFA制成的處理連接部和底座相連并端接所述流體管。
PFA是一種氟化聚合物，其在化學(xué)上是惰性的，并具有極低的表面能量，這使得利用普通的粘合劑或溶劑進(jìn)行連接是困難的。為了幫助在流量計(jì)的PFA元件和非PFA元件之間進(jìn)行連接，一種優(yōu)選的制造方法包括一種使PFA元件被蝕刻的處理。蝕刻改變PFA元件的外部表面的化學(xué)性質(zhì)，使得它們能夠被連接到非PFA元件上。所述蝕刻處理需要把PFA元件浸沒到含有乙二醇二醚最好是二甘醇-鈉二甲醚萘(diglyme-sodium naphthalene)的加熱槽中，并輕輕地?cái)噭覲FA元件一段時(shí)間。
專用于制造管子的PFA的另一個(gè)特征是，其制造方法產(chǎn)生一種具有固有的彎曲或曲率的管材，所述彎曲需要在將其制成流量計(jì)之前從管材中消除。用于在處理之前消除管材中的有害的彎曲的一種優(yōu)選的方法是通過退火處理把流體管拉直。所述退火處理包括把流體管置于一個(gè)拉直固定件內(nèi)。所述固定件以適合于處理成流量計(jì)的直的形式約束所述管材。流體管和固定件被加熱一段時(shí)間，然后被取出并允許冷卻到室溫。在達(dá)到室溫之后，從固定件中取出流體管，從而得到直的流體管。
如在第一優(yōu)選實(shí)施例中所述，所述流體管和其傳感器裝置相連。在一個(gè)實(shí)施例中，傳感器裝置呈線圈/磁體的形式。利用粘合劑使磁體和流體管相連，并使用粘合劑或機(jī)械連接把線圈連附到底座上。在另一個(gè)實(shí)施例中，傳感器是光學(xué)裝置，其發(fā)送光束，并接收由流體管的運(yùn)動改變的光束。為了幫助使用光學(xué)傳感器，流體管的部分被制成不透明的。這使得光能夠被流體管反射或者由不透明的涂層吸收，而不通過一般半透明的流體管。流體管可以通過多種方法被制成不透明的，包括使用涂層或涂料。這種光檢測的實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)是使得在振動的流體管上具有較輕的重量。
如在第一優(yōu)選實(shí)施例中所述，流體管和處理連接部相連，從而形成PFA的流動通路。在另一個(gè)實(shí)施例中，這種連接借助于使流體管具有張開部分來實(shí)現(xiàn)，以便使得能夠?qū)⑵洳迦胩幚磉B接部的管嘴上。在另一個(gè)實(shí)施例中，流體管被插入處理連接部的通孔內(nèi)，并在處理連接部的表面密封。
在優(yōu)選實(shí)施例中，借助于激光焊接處理把流體管密封到處理連接部的端面上。激光焊接是一種非接觸形式的焊接，其在流體管和處理連接部的端面之間的界面上產(chǎn)生熱量。其它的用于把流體管密封到處理連接部的端面上的方法有熱切口堆焊、超聲波焊接以及粘合劑。
除去和處理連接部相連的管子之外，處理連接部還和底座相連。用于使處理連接部和底座相連的優(yōu)選方法是在底座中形成孔，并把處理連接部的端部固定在孔內(nèi)?？梢越柚趯Φ鬃坠ヂ菁y，并把處理連接部的端部擰入有螺紋的孔內(nèi)使處理連接部固定。上述方法的一種替代方法是使用粘合劑簡單地把處理連接部的端部粘結(jié)到底座孔內(nèi)。另一種用于把處理連接部固定到底座上的方法是在底座中形成鎖定孔。鎖定孔被這樣形成，使得鎖定孔的中心線和接收孔的中心線相交。在形成孔并把處理連接部的端部插入接收孔之后，在鎖定孔中插入鎖定機(jī)構(gòu)，從而固定處理連接部。用于把處理連接部鎖定到接收孔內(nèi)的優(yōu)選實(shí)施例是對鎖定孔攻螺紋，并在鎖定孔內(nèi)擰入定位螺釘，所述螺釘壓緊處理連接部并阻止運(yùn)動。
按照本發(fā)明的其它的實(shí)施例，提供了其它的流體管結(jié)構(gòu)。本發(fā)明可以借助于利用反相振動的雙流體管來實(shí)施。所述雙流體管可以是直的，可以是U形的，或者具有不規(guī)則的構(gòu)形。使用雙流體管的優(yōu)點(diǎn)是，其提供一種動平衡的結(jié)構(gòu)，并減少用于安裝流體管所需的底座的質(zhì)量。
按照另一個(gè)實(shí)施例，當(dāng)使用雙直流體管時(shí)，它們可被安裝在底座上，并在水平平面或垂直平面內(nèi)反相振動。在垂直于U形底座的底面的水平平面內(nèi)的振動消除流量計(jì)結(jié)構(gòu)的垂直晃動，而如果雙流體管非動平衡，則允許水平晃動。把流體管安裝在彼此垂直的平面內(nèi)，可以限制任何不希望的垂直振動。
一個(gè)可以和任何的管結(jié)構(gòu)相關(guān)的附加的實(shí)施例是實(shí)施一種溫度測量裝置。一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例使用和流體管相連的電阻溫度裝置(RTD)。按照另一個(gè)實(shí)施例，可以使用紅外溫度測量裝置測量溫度。這種裝置的優(yōu)點(diǎn)是，其是非接觸式的，并且可以不安裝在流體管上，借以減少流體管的質(zhì)量。
概括地說，實(shí)施本發(fā)明的流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)在于，其在要求提供無污染的材料的應(yīng)用中提供超純度處理材料的測量和輸送。這樣的純度等級借助于利用PFA塑料流體管來提供，所述PFA在化學(xué)上是惰性的，并且優(yōu)于允許離子從流體管材料轉(zhuǎn)移到處理材料的金屬和玻璃。被處理的材料一般可包括在半導(dǎo)體工業(yè)的晶片制造中用作拋光劑的有機(jī)化合物的漿料。所述拋光操作用于提供晶片的平的表面。拋光操作可以進(jìn)行60到90秒，并且在這個(gè)時(shí)間期間，漿料必須沒有任何污染，包括從流體管材料轉(zhuǎn)移到漿料中的離子。甚至一個(gè)有害的離子沉積到半導(dǎo)體晶片上都能短路晶片的全部或部分，使其報(bào)廢。
可以看出，本發(fā)明的一個(gè)方面是一種用于制造流量計(jì)的方法，所述流量計(jì)適用于通過接收的處理材料流，其具有超高的純度，沒有由于從所述科里奧利流量計(jì)轉(zhuǎn)移到所述處理材料的離子而造成的污染，所述方法包括以下步驟把驅(qū)動器固定到流體管裝置上；以及把傳感器裝置連接到所述流體管裝置上；所述方法的特征在于還包括以下步驟把所述流體管裝置連接到底座上，所述流體管裝置由能夠保持處理材料不受由于從所述流體管裝置的材料向所述處理材料的離子轉(zhuǎn)移而造成的污染的材料制成；以及把所述流體管裝置的入口端和出口端固定到至少一個(gè)處理連接部上，使得形成通過所述流量計(jì)的超純度流動通路。
優(yōu)選地，所述連接流體管裝置到所述底座上的步驟還包括使用所述由PFA制成的流體管裝置的步驟，從而保持所述處理材料流不受由于從所述流體管裝置的材料向所述處理材料的離子轉(zhuǎn)移而造成的污染。
優(yōu)選地，所述連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟借助于蝕刻所述流體管裝置從而產(chǎn)生適合于連接和固定流量計(jì)元件的表面的步驟進(jìn)行。
優(yōu)選地，所述蝕刻步驟包括使用含有乙二醇二醚的蝕刻溶液的步驟。
優(yōu)選地，所述蝕刻步驟包括加熱蝕刻溶液到一升高的溫度的步驟。
優(yōu)選地，所述蝕刻步驟包括在蝕刻溶液中攪動所述流體管裝置的步驟。
優(yōu)選地，所述連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟借助于拉直所述流體管裝置從而消除任何固有的彎曲或不希望的殘余彎曲的步驟進(jìn)行。
優(yōu)選地，所述拉直步驟包括以下步驟把所述流體管裝置置于一個(gè)拉直固定件中；
加熱所述流體管裝置和所述拉直固定件；冷卻所述流體管裝置和所述拉直固定件；從所述拉直固定件中除去所述流體管裝置。
優(yōu)選地，所述連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟包括利用粘合劑連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟。
優(yōu)選地，所述利用所述粘合劑連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟包括利用氰基丙稀酸酯粘合劑的步驟。
優(yōu)選地，所述連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟包括使用O形環(huán)連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟。
優(yōu)選地，所述固定所述驅(qū)動器裝置到所述流體管裝置上的步驟還包括使用粘合劑連接所述驅(qū)動器裝置到所述流體管裝置上的步驟。
優(yōu)選地，所述固定所述驅(qū)動器裝置到所述流體管裝置上的步驟還包括使用氰基丙稀酸酯粘合劑的步驟。
優(yōu)選地，所述連接所述傳感器裝置到所述流體管裝置上的步驟還包括使用粘合劑連接所述傳感器裝置到所述流體管裝置上的步驟。
優(yōu)選地，所述連接所述傳感器裝置到所述流體管裝置上的步驟還包括使用氰基丙稀酸酯粘合劑的步驟。
優(yōu)選地，所述用于制造科里奧利流量計(jì)的方法還包括連接所述至少一個(gè)處理連接部到所述底座上。
優(yōu)選地，所述連接所述處理連接部到所述底座上的步驟包括以下步驟在所述底座中形成接收孔；把所述處理連接部的固定部分固定到所述接收孔中。
優(yōu)選地，所述固定所述處理連接部的固定部分到所述接收孔中的步驟包括粘結(jié)所述處理連接部的所述固定部分到所述接收孔中的所述步驟。
優(yōu)選地，固定所述處理連接部的所述固定部分到所述接收孔中的所述步驟還包括使用氰基丙稀酸酯粘合劑的步驟。
優(yōu)選地，固定所述處理連接部的所述固定部分到所述接收孔中的所述步驟包括利用螺紋連接所述處理連接部的固定部分到所述接收孔中的步驟。
優(yōu)選地，固定所述處理連接部的所述固定部分到所述接收孔中的所述步驟包括以下步驟形成鎖定孔，所述鎖定孔的中心線和所述接收孔的中心線相交；以及插入一個(gè)鎖定機(jī)構(gòu)到所述鎖定孔中，從而阻止所述處理連接部的所述固定部分運(yùn)動。
優(yōu)選地，所述插入一個(gè)鎖定機(jī)構(gòu)到所述鎖定孔中的步驟包括插入一個(gè)壓緊所述處理連接部的所述固定部分的固定螺釘?shù)牟襟E。
優(yōu)選地，所述連接所述處理連接部到所述底座上的步驟包括粘結(jié)所述處理連接部的固定部分到所述底座上的步驟。
優(yōu)選地，所述粘結(jié)所述處理連接部的固定部分到所述底座上的步驟還包括使用氰基丙稀酸酯粘合劑的步驟。
優(yōu)選地，所述固定所述流體管裝置的端部到所述至少一個(gè)處理連接部上的步驟包括以下步驟使所述流體管裝置的所述端部張開；以及插入所述流體管裝置的張開的端部到所述至少一個(gè)處理連接部的錐形短管上。
優(yōu)選地，所述固定所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部上的步驟包括以下步驟通過所述至少一個(gè)處理連接部插入所述流體管裝置的所述端部，直到所述流體管裝置的所述端部和所述至少一個(gè)處理連接部的端面齊平；以及密封所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上。
優(yōu)選地，所述密封所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的端面上的步驟包括粘結(jié)所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的端面上的步驟。
優(yōu)選地，所述密封所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上的步驟包括利用超聲波焊接所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上的步驟。
優(yōu)選地，所述密封所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上的步驟包括熱切口堆焊所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上的步驟。
優(yōu)選地，所述密封所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上的步驟包括激光焊接所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上的步驟。
優(yōu)選地，所述連接所述傳感器裝置的步驟包括將所述流體管裝置的部分制成不透明的以便有助于使用光學(xué)傳感器的步驟。
優(yōu)選地，所述科里奧利流量計(jì)的特征在于連接一個(gè)溫度檢測裝置到所述科里奧利流量計(jì)上。
優(yōu)選地，所述固定溫度檢測裝置的步驟包括固定一個(gè)電阻溫度測量裝置到所述科里奧利流量計(jì)上的步驟。
優(yōu)選地，所述固定溫度檢測裝置的步驟包括固定一個(gè)紅外溫度測量裝置到所述科里奧利流量計(jì)上的步驟。
本發(fā)明的一個(gè)附加的方面包括一種質(zhì)量流量計(jì)，用于測量處理材料的流量，所述處理材料具有不受由于從所述流量計(jì)向所述處理材料進(jìn)行的離子轉(zhuǎn)移而造成的污染的超純度；所述質(zhì)量流量計(jì)包括底座；和所述底座相連的流體管裝置；被固定到所述流體管裝置上的用于使所述流體管裝置在具有處理材料流的所述流體管裝置的諧振頻率下振動的驅(qū)動器；以及和所述流體管裝置相連的傳感器裝置，用于產(chǎn)生代表所述傳感器裝置附近的所述充有材料的振動流體管裝置的部分的感應(yīng)的科里奧利偏轉(zhuǎn)的信號；和所述流體管裝置相連的至少一個(gè)處理連接裝置；以及其特征在于，所述流體管裝置和所述至少一個(gè)處理連接裝置由不從所述流體管裝置向所述處理材料轉(zhuǎn)移離子的材料制成，從而形成通過所述流量計(jì)的超高純度的流動通路。
優(yōu)選地，所述科里奧利流量計(jì)由PFA制成，以便保持所述處理材料流不受由于從所述流體管裝置向所述處理材料的離子轉(zhuǎn)移而造成的污染。
優(yōu)選地，所述科里奧利流量計(jì)包括一個(gè)O形環(huán)，用于連接所述流體管裝置到所述底座上。
優(yōu)選地，所述科里奧利流量計(jì)的特征在于，所述處理連接裝置被連接到所述底座上。
優(yōu)選地，所述底座包括至少一個(gè)接收孔，用于固定所述處理連接裝置的固定部分。
優(yōu)選地，用于固定所述處理連接裝置的固定部分的所述接收孔是有螺紋的。
優(yōu)選地，所述底座包括至少一個(gè)鎖定孔，用于固定所述處理連接裝置到所述接收孔內(nèi)。
優(yōu)選地，所述用于固定所述處理連接裝置到所述接收孔內(nèi)的鎖定孔是有螺紋的。
優(yōu)選地，所述用于固定所述處理連接裝置到所述接收孔內(nèi)的鎖定孔包括一個(gè)鎖定機(jī)構(gòu)。
優(yōu)選地，所述用于固定所述處理連接裝置到所述接收孔內(nèi)的鎖定機(jī)構(gòu)是固定螺釘。
優(yōu)選地，所述處理連接裝置是張開的連接型式的。
優(yōu)選地，所述流體管裝置包括不透明的部分，用于阻止光通過所述流體管裝置。
優(yōu)選地，所述科里奧利流量計(jì)還包括溫度檢測裝置。
優(yōu)選地，所述溫度檢測裝置是電阻型的。
優(yōu)選地，所述溫度檢測裝置是紅外型的。


通過結(jié)合附圖閱讀下面的詳細(xì)說明將會更好地理解本發(fā)明的這些和其它的優(yōu)點(diǎn)與特征，其中圖1是本發(fā)明的第一示例的實(shí)施例的透視圖；圖2是圖1的實(shí)施例的頂視圖；圖3是圖1的實(shí)施例的正視圖；圖4是沿圖2的線4-4取的截面圖；圖5是具有一對底座元件的另一個(gè)實(shí)施例的透視圖；圖6表示具有U形底座的動平衡的流量計(jì)；圖7和圖8表示具有光學(xué)傳感器的流量計(jì)；圖9和圖10表示具有動態(tài)平衡器的流量計(jì)；圖11表示具有一對基本上U形的流體管的流量計(jì)；圖12和圖13表示具有一對動態(tài)平衡的直的流體管的流量計(jì)的另一個(gè)實(shí)施例；
圖14表示具有一個(gè)流體管而沒有返回管的另一個(gè)實(shí)施例；圖15表示具有兩個(gè)反相振動的流體管的另一個(gè)實(shí)施例；以及圖16表示具有一個(gè)流體管的另一個(gè)實(shí)施例。
具體實(shí)施例方式
圖1的說明圖1是本發(fā)明的第一個(gè)可能的示例的實(shí)施例的透視圖，其披露了一種流量計(jì)100，其包括通過底座101的柱117、118插入的流體管102。傳感器LPO和RPO以及驅(qū)動器D和流體管102相連。流量計(jì)100接收來自源管104的處理材料流，并通過處理連接部108把所述的流延伸到流體管102。流體管102借助于驅(qū)動器D在具有材料流的情況下在其諧振頻率下振動。產(chǎn)生的科里奧利偏轉(zhuǎn)由傳感器LPO和RPO檢測，所述傳感器通過導(dǎo)體112和114向儀表電子電路121提供信號。儀表電子電路121接收傳感器信號，確定之間的相位差，并確定振蕩頻率，并通過輸出通路122向未示出的應(yīng)用電路提供關(guān)于材料流的輸出信息。
材料流從流體管102通過，并通過管106，管106再次引導(dǎo)材料流通過返回管103，經(jīng)過處理連接部107到出口管105，出口管105把材料流提供給用戶應(yīng)用。所述用戶應(yīng)用可以是半導(dǎo)體處理設(shè)備。處理材料可以是半導(dǎo)體漿，其被供給半導(dǎo)體晶片的表面而形成平的表面。在圖1所示的流體管中使用的PFA材料確保處理材料無雜質(zhì)，例如所述雜質(zhì)可以是從金屬流體管或玻璃流體管的壁轉(zhuǎn)移的離子。
在使用時(shí)，流體管102具有窄的直徑，其近似蘇打水蠟管的直徑，并具有可以忽略的重量，例如0.8克加上0.5克的處理材料。這不包括磁體的重量。和傳感器以及驅(qū)動器相連的磁體共具有大約0.6克的質(zhì)量，因此，流體管102、連附的磁體以及處理材料的組合質(zhì)量大約為2克。振動的流體管102具有動態(tài)非平衡結(jié)構(gòu)。底座102是大而重的，其重量大約為12磅。這提供大約等于3000比1的底座的質(zhì)量對充有材料的流體管的質(zhì)量的比。這樣大的質(zhì)量的底座足以吸收由具有材料流的非動平衡的流體管102產(chǎn)生的振動。
處理連接部107，108，109和110連接管子104，105和106到流體管102和返回管103的末端。這些處理連接部的細(xì)節(jié)如圖4所示。它們具有包括螺紋124的被固定部分111。鎖定孔130接收一固定螺釘411，用于牢固地把元件111連接到底座101上，如圖4所示。處理連接部107到110的可動部分被擰在陽螺紋124上，從而把它們各自的管子連接到處理連接部的被固定的本體上，六角螺母部分111是其中的一個(gè)零件。這些處理連接部以類似于熟知的銅管擴(kuò)口處理連接部的方式把管子104，105和106連接到流體管102和返回管103的末端。圖4進(jìn)一步示出了處理連接部的細(xì)節(jié)。RTD是一個(gè)溫度檢測器，用于檢測返回管103的溫度，并通過通路125把代表檢測的溫度的信號傳遞給儀表電子電路。
圖2的說明圖2是圖1的流量計(jì)100的頂視圖。傳感器LPO和RPO以及驅(qū)動器D的每一個(gè)都包括線圈C。這些元件的每一個(gè)還包括被連附到流體管102的底部的磁體，如圖3所示。這些元件的每一個(gè)還包括底座例如用于驅(qū)動器D的143，以及薄的材料的帶，例如用于驅(qū)動器D的133。材料的薄帶可以包括印刷線路板，線圈C及其繞組端子被連附于所述線路板上。傳感器LPO和RPO也具有相應(yīng)的底座元件以及被固定到底座元件的頂部的薄帶。這種結(jié)構(gòu)有助于驅(qū)動器或傳感器的安裝，所述安裝由以下步驟進(jìn)行把磁體M膠粘到PFA流體管的下側(cè)，把線圈C膠粘到印刷線路板133上(用于驅(qū)動器D)，圍繞磁體M定位線圈C中的開口，向上移動線圈C，使得磁體M完全進(jìn)入線圈C的開口，然后把底座元件143設(shè)置在印刷線路板133的下方，并把這些元件膠粘在一起，使得底座143的底部用膠粘劑連附到重的底座116的表面上。
圖2示出了處理連接部107-110的陽螺紋124。這些元件的每個(gè)的內(nèi)部細(xì)節(jié)如圖4所示。開口132接收導(dǎo)體112，113和114。圖1的儀表電子電路在圖2中未示出，以便使該圖簡明。不過應(yīng)當(dāng)理解，導(dǎo)體112，113，114通過開口132延伸，并進(jìn)而經(jīng)過圖1的路徑123延伸，直到圖1的儀表電子電路121。
圖3的說明圖3表示傳感器LPO，RPO，和驅(qū)動器D，它們包括連附到流體管102的底部的磁體M以及連附到每個(gè)元件LPO，RPO和驅(qū)動器D的底部的線圈C。
圖4的說明圖4是沿圖2的線4-4取的截面圖。圖4披露了圖3的所有的元件和處理連接部108、109以及O形環(huán)430的進(jìn)一步細(xì)節(jié)。O形環(huán)430把流體管102連接到底座401上。圖4還披露了在底座101中的開口402，403和404。這些開口的每個(gè)的頂部延伸到傳感器LPO，RPO和驅(qū)動器D的底部的下表面。圖4中還示出了與這些元件的每一個(gè)相關(guān)的線圈C和磁體M。圖3和圖4中未示出圖1的儀表電子電路121，以便簡明。在處理連接部108中的元件405是流體管102的入口；處理連接部109中的元件406是流體管102的出口。
處理連接部108的固定部分111包括陽螺紋409，其旋入位于底座401中的接收孔420內(nèi)的配合螺紋中，用于把固定部分111連接到底座101的部分401。在右方的處理連接部109的固定部分被類似地配備，并通過螺紋409連接到位于底座101的元件401中的接收孔420內(nèi)。
處理連接部108的固定元件111還包括有螺紋的部分124，其螺紋接收處理連接部108的可動部分415。處理連接部109被類似地配備。處理連接部108的固定部分111還包括在其左側(cè)上的錐形短管413，其和可動元件415一道作為張開的配合，迫使輸入管104的右端在固定部分111的錐形短管413上。這形成壓緊配合，其密封地把供給管104的張開的開口固定到處理連接部的固定部分111的錐形短管部分413上。流體管102的入口被定位在處理連接部固定部分111內(nèi)，并和短管413的面425齊平。利用這種方式，由供給管104提供的處理材料被流體管102的入口405接收。處理材料通過流體管102向右流到處理連接部109的固定部分111，此處流體管102的出口和短管413的面425齊平。這密封地把流體管102的出口固定到連接器109上。圖1的其它的處理連接部107和110和圖4的處理連接部108、109的細(xì)節(jié)相同。
圖5的說明圖5披露了流量計(jì)500作為和圖1所示的實(shí)施例類似的本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，不同之處是，流量計(jì)500的底座不是一個(gè)單一的元件，并且包括單獨(dú)的結(jié)構(gòu)517和518。流體管502和返回管503通過元件517、518延伸到處理連接部507到510，它們在每個(gè)方面都可以和圖1的處理連接部107到110相比。流量計(jì)底座元件517、518是單獨(dú)的，并且其每個(gè)具有足夠的質(zhì)量，以便把驅(qū)動器D給予包括流體管502的非動平衡的結(jié)構(gòu)的振動減到最小。底座元件517和518位于元件516的表面上，元件516支撐著底座元件517和518。
圖5所示的所有元件用和圖1所示的相應(yīng)的元件相同的方式操作。這種相應(yīng)性由每個(gè)元件的標(biāo)號表示，它們的標(biāo)號只是第一個(gè)數(shù)字不同。因而，圖1的供給管104相應(yīng)于圖5的供給管504。
圖6的說明圖6披露了構(gòu)成流量計(jì)600的本發(fā)明的另一個(gè)可選擇的實(shí)施例，其和圖1的實(shí)施例的不同之處在于，流量計(jì)600具有兩個(gè)有源流體管602，603，它們構(gòu)成動態(tài)平衡的結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)不需要重的底座，例如圖1的底座101。底座601和圖1相比可以具有小得多的質(zhì)量。流量計(jì)600具有可以和圖1的處理連接部107-110相比的處理連接部607-610。此外，其具有處理連接部611、612。處理材料由流量計(jì)600從供給管604接收。材料通過處理連接部608向流體管602的左端延伸。流體管602通過底座601的柱618以及處理連接部609延伸，借助于處理連接部609，其和管子615相連，管子615通過處理連接部607返回流體管603。流體管603借助于驅(qū)動器D和流體管602反相地振動。由傳感器LPO和RPO檢測振動的流體管602、603的科里奧利響應(yīng)，并通過未示出的導(dǎo)體傳遞到為了簡明也未示出的儀表電子電路。
材料流通過管603向右行進(jìn)，并通過處理連接部610延伸到管606，管606通過處理連接部611和管616、處理連接部612返回到流體管605，在那里把材料流提供給終端用戶的應(yīng)用處理。
流體管600的優(yōu)點(diǎn)在于，其包括由PFA材料制成的流體管602、603組成的動平衡結(jié)構(gòu)。動平衡結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)在于，不再需要圖1的重的底座101。底座601可以具有常規(guī)的質(zhì)量，振動的PFA管602和603提供關(guān)于材料流的輸出信息。PFA流體管保證材料流具有超高程度的純度。
圖7和圖8的說明圖7是可以和圖1的流量計(jì)100相比的流量計(jì)700的頂視圖。兩個(gè)實(shí)施例之間的差別在于，流量計(jì)700使用光學(xué)檢測器作為傳感器LPO和RPO。圖8示出了光學(xué)檢測器的細(xì)節(jié)，其包括LED光源和光二極管以及流體管702，部分720被制成不透明的，以便幫助使用，其被插在LED和光二極管之間。在流體管的其余部分，來自LED的標(biāo)稱數(shù)量的光通過，到達(dá)光二極管，從而產(chǎn)生標(biāo)稱的輸出信號。流體管的向下的運(yùn)動增加由光二極管接收的光的數(shù)量，流體管的向上的運(yùn)動減少由光二極管接收的光的數(shù)量。由光二極管接收的光的數(shù)量轉(zhuǎn)換成輸出電流，該輸出電流表示和LED以及光源相關(guān)的流體管702的部分的科里奧利振動的幅值。光二極管的輸出通過導(dǎo)體730和732延伸到儀表電子電路，為了簡明，電子電路在圖7中未示出。圖7的實(shí)施例在其它各個(gè)方面和圖1的實(shí)施例相同，并且包括供給管704，輸出管705，以及處理連接部707到710，流體管702和輸出管703。流量計(jì)700的元件及其與圖1對應(yīng)的元件的標(biāo)號只是第一個(gè)數(shù)字不同以有助于理解對應(yīng)性。
圖9的說明圖9披露了流量計(jì)900，除去流量計(jì)900配備有動平衡器932和933之外，其相應(yīng)于圖1的流量計(jì)100。底座901較小，并具有比圖1的底座101較小的質(zhì)量。動平衡器用于克服由包括充有材料的振動流體管的非動平衡結(jié)構(gòu)給予底座901的柱917和918的振動。在圖1的實(shí)施例中，這些振動由大質(zhì)量的底座101吸收。在這個(gè)實(shí)施例中，充有材料的流體管具有重量大約為2克的連附的磁體，而底座大約為12磅。這限制了圖1的流體管的商業(yè)應(yīng)用范圍，因?yàn)槌溆胁牧系恼駝恿黧w管102的尺寸和質(zhì)量的上限受到底座的質(zhì)量的限制，所述底座必須被提供用于吸收不平衡的振動。使用在底座的質(zhì)量和充有材料的振動流體管的質(zhì)量之間的3000比1的比值，充有材料的振動流體管的質(zhì)量增加1磅，需要底座的質(zhì)量增加3000磅，這顯然限制了圖1的流體管100的商業(yè)應(yīng)用的范圍。
圖9的流量計(jì)900具有寬的商業(yè)應(yīng)用范圍，因?yàn)閯悠胶馄?32和933被連附于柱917和918上，用于吸收大量的由非動平衡的振動流體管902給予柱的振動。實(shí)際上，動平衡器(DB)可以是任何類型的，其包括在動平衡領(lǐng)域內(nèi)熟知的常規(guī)的質(zhì)量和彈簧結(jié)構(gòu)。
圖10的說明圖10披露了流量計(jì)1000，除去圖10的動平衡器是有源型(ADB)的并由標(biāo)號1032和1033表示之外，其余和流量計(jì)900相同。這些有源動平衡器借助于通過通路1023，1024，1025和1026和儀表電子電路1021進(jìn)行信號交換來控制。儀表電子電路1021通過通路1023從有源動平衡器接收表示由非動平衡的振動流體管1002對柱1017施加的振動的信號。儀表電子電路接收這些信號，并產(chǎn)生通過通路1024施加給有源動平衡器1032的控制信號，以便抵消流體管的振動。用這種方式進(jìn)行操作，有源動平衡器1032可被控制，使得把柱1017的振動減少到一個(gè)所需的值，使得底座1001的得到的質(zhì)量可以是一個(gè)對于流量計(jì)1000的商業(yè)應(yīng)用可接受的值。被安裝在底座1001的柱1018的頂上的有源動平衡器1033以和被安裝在柱1017上的有源動平衡器相同的方式操作。
圖11的說明圖11披露了另一種可選擇的包括流量計(jì)1100的實(shí)施例，其具有雙流體管1101，1102，它們基本上呈U形，并具有右側(cè)柱1103，1104和左側(cè)柱1105，1106。側(cè)柱的底部相連，從而形成Y部分1107，1108，它們被連接到一個(gè)合適的底座上，為了簡明，所述底座圖中未示出。流量計(jì)1100的雙流體管作為動平衡元件圍繞撐桿1109和1110的軸線W-W和W’-W’振動。流體管1101，1102由固定到U形流體管的頂部的驅(qū)動器D反相地驅(qū)動。由右傳感器RPO和左傳感器LPO檢測借助于振動的充有材料的流體管而產(chǎn)生的科里奧利偏轉(zhuǎn)。儀表電子電路1121用于通過通路1123施加信號，從而使驅(qū)動器D反相地振動流體管1101，1102。由傳感器LPO和RPO檢測的科里奧利響應(yīng)通過通路1122、1124傳遞給儀表電子電路1121，其處理這些信號，并導(dǎo)出材料流量信息，并把所述信息通過輸出通路1124傳遞給未示出的利用電路。
圖12和圖13的說明圖12和圖3披露了一種動平衡流量計(jì)1200，其具有一對流體管1201和1202，它們被驅(qū)動器D反相地振動。流體管接收材料流，驅(qū)動器D響應(yīng)通過通路1223從儀表電子電路1221接收的驅(qū)動信號，反相地振動流體管。由傳感器LPO和RPO檢測充有材料的振動流體管的科里奧利響應(yīng)，并把傳感器的輸出通過導(dǎo)體1221、1224提供給儀表電子電路，其對接收的信號進(jìn)行處理，從而產(chǎn)生材料流量信息，所述信息通過輸出通路1225提供給未示出的利用電路。
圖14的說明圖14披露了本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例1400，其包括大質(zhì)量的底座1401，底座具有一對外部的向上延伸的側(cè)壁1443和1444和一對內(nèi)部的向上延伸的側(cè)壁1417和1418。一個(gè)流體管1402從在左方的輸入處理連接部通過4個(gè)向上延伸的側(cè)壁延伸到右邊的輸出處理連接部1409。流體管1402由驅(qū)動器D振動，所得的具有材料流的振動的流體管的科里奧利偏轉(zhuǎn)被傳感器LPO和RPO檢測，所述傳感器通過所示的路徑把信號傳遞給儀表電子電路1421，所述電子電路以和前述的或者圖1所示的方式相同的方式操作。溫度檢測器RTD檢測充有材料的流體管的溫度，并把這個(gè)信息通過路徑1425傳遞到儀表電子電路1421。
圖14的流量計(jì)和圖1的流量計(jì)在兩個(gè)主要方面不同。第一個(gè)方面是，圖14的實(shí)施例只有一個(gè)流體管1402。材料流通過這個(gè)流體管從輸入處理連接部1408延伸，流體管的輸出通過輸出處理連接部1409提供給輸出管1406，以便提供給用戶。圖14的實(shí)施例沒有相當(dāng)于圖1的元件103的返回流體管。
此外，大質(zhì)量底座1401具有兩對向上延伸的壁，而在圖1的實(shí)施例中，大質(zhì)量底座101只具有一對向上延伸的壁117和118。圖1中的一對壁實(shí)現(xiàn)作為零運(yùn)動的振動節(jié)點(diǎn)的功能，并用于安裝處理連接部107到110。在圖14上，內(nèi)部的一對壁1417和1418對于流體管的有源部分的端部作為零運(yùn)動振動節(jié)點(diǎn)。外部的一對向上延伸的壁1443和1444用于分別把處理連接部1408和1409固定到左端和右端上。
當(dāng)使用時(shí)，從和處理連接部1408相連的管子1404接收處理材料。流體管1402的入口還和處理連接部1408相連。流體管1402使處理材料流向右延伸，通過兩對側(cè)壁延伸到和輸出管1406相連的輸出處理連接部1409。
上面沒有專門說明的圖14的元件標(biāo)號和前面的包括圖1在內(nèi)的附圖的相應(yīng)的元件的標(biāo)號相似并具有相同的功能。
圖15的說明圖15披露了另一個(gè)實(shí)施例1500，其大部分和圖1的實(shí)施例類似。主要的區(qū)別是，在實(shí)施例1500中，后流體管1503不像圖1的實(shí)施例的返回管103那樣是靜止的。而是，在圖15中，后管1503由其驅(qū)動器DA振動，具有材料流的這個(gè)振動管產(chǎn)生的科里奧利偏轉(zhuǎn)由其傳感器LPOA和RPOA檢測。它們的輸出信號經(jīng)過路徑1542、1544傳遞給儀表電子電路1521，其接收這些信號和來自流體管1502的傳感器LPO、RPO的信號，從而產(chǎn)生材料流量信息。
處理材料通過流體管1502流向圖15的右方，通過管1500并通過管1503流向左方。這種匹配的傳感器的相位相反可以通過使到傳感器LPOA、RPOA的連接顛倒來補(bǔ)償，使得由儀表電子電路1521接收的來自所有傳感器的科里奧利信號是相加的，從而增強(qiáng)儀表的靈敏度。
上面沒有專門提及的圖15的元件的功能和圖15的相應(yīng)的元件相同。
圖16的說明圖16表示和圖14的實(shí)施例類似的另一個(gè)實(shí)施例1600。其區(qū)別在于向上延伸的內(nèi)部安裝柱1617、1618代替了圖14的壁1417、1418。此外，向上延伸的外部安裝柱1643、1645代替了圖14的1443、1445。外部柱1643、1645阻止流體管1602以柱1617、1618為軸轉(zhuǎn)動。連接器1608、1609是任選的，并且如果需要，流體管1602可以通過柱1643、1645向外延伸，并代替入口管1604和出口管1402。延伸的流體管可由用戶在下游和上游連接到用戶的設(shè)備上。當(dāng)被連接到用戶的設(shè)備上時(shí)，流體管1602可以用和圖14所示的類似的方式被連接到處理連接部1608、1609上。此外，流體管1602可被連接到類似于圖4所示的設(shè)計(jì)的處理連接部上，把處理連接部的管嘴和可動部分設(shè)置在每一端上。這使得從流體管1602到處理連接部能夠?qū)崿F(xiàn)壓緊配合，還使得從用戶的設(shè)備到相同的處理連接部能夠?qū)崿F(xiàn)壓緊配合。當(dāng)提供有柱1443和1445時(shí)，其作為連接器1608和1609的安裝裝置。
應(yīng)當(dāng)清楚地理解，要求保護(hù)的發(fā)明不限于優(yōu)選實(shí)施例的說明，還包括在本發(fā)明的構(gòu)思的精神和范圍內(nèi)的其它的改變和改型。例如，這里示出的流量計(jì)的實(shí)施例可以沿倒置的方位操作，需要使驅(qū)動器D位于振動的流體管的頂部，以便使驅(qū)動器的熱量能夠從流體管向上散去。這可以更好地使流體管和熱應(yīng)力隔離，所述熱應(yīng)力可以使流量計(jì)的精度或輸出數(shù)據(jù)變差。此外，這里披露的科里奧利流量計(jì)還具有除這里說明的應(yīng)用的其它應(yīng)用。例如所披露的科里奧利流量計(jì)可用于其中流動的處理材料是腐蝕性材料，例如硝酸，以及和使用具有金屬潤濕的流動通路的流量計(jì)不相容的應(yīng)用中。
權(quán)利要求
1.一種用于制造流量計(jì)的方法，所述流量計(jì)適用于通過接收的處理材料流，該材料流具有超高的純度，沒有由于從所述科里奧利流量計(jì)轉(zhuǎn)移到所述處理材料的離子而造成的污染，所述方法包括以下步驟把一個(gè)驅(qū)動器固定到流體管裝置上；以及把傳感器裝置連接到所述流體管裝置上；所述方法的特征在于還包括以下步驟把所述流體管裝置連接到底座上，所述流體管裝置由能夠保持處理材料不受由于從所述流體管裝置的材料向所述處理材料的離子轉(zhuǎn)移而造成的污染的材料制成；以及把所述流體管裝置的入口端和出口端固定到至少一個(gè)處理連接部上，使得形成通過所述流量計(jì)的超純度流動通路。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，連接所述流體管裝置到所述底座上的所述步驟還包括使用所述由PFA制成的流體管裝置的步驟，從而保持所述處理材料流不受由于從所述流體管裝置的材料向所述處理材料的離子轉(zhuǎn)移而造成的污染。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟借助于蝕刻所述流體管裝置從而產(chǎn)生適合于連接和固定流量計(jì)元件的表面的步驟進(jìn)行。
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述蝕刻步驟包括使用含有乙二醇二醚的蝕刻溶液的步驟。
5.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述蝕刻步驟包括加熱蝕刻溶液到一升高的溫度的步驟。
6.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述蝕刻步驟包括在蝕刻溶液中攪動所述流體管裝置的步驟。
7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟借助于拉直所述流體管裝置從而消除任何固有的彎曲或不希望的殘余彎曲的步驟進(jìn)行。
8.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述拉直步驟包括以下步驟把所述流體管裝置置于一個(gè)拉直固定件中；加熱所述流體管裝置和所述拉直固定件；冷卻所述流體管裝置和所述拉直固定件；以及從所述拉直固定件中除去所述流體管裝置。
9.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟包括利用粘合劑連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，利用所述粘合劑連接所述流體管裝置到所述底座上的所述步驟包括利用氰基丙稀酸酯粘合劑的步驟。
11.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟包括使用O形環(huán)連接所述流體管裝置到所述底座上的步驟。
12.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述固定所述驅(qū)動器裝置到所述流體管裝置上的步驟還包括使用粘合劑連接所述驅(qū)動器裝置到所述流體管裝置上的步驟。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述固定所述驅(qū)動器裝置到所述流體管裝置上的步驟還包括使用氰基丙稀酸酯粘合劑的步驟。
14.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述連接所述傳感器裝置到所述流體管裝置上的步驟還包括使用粘合劑連接所述傳感器裝置到所述流體管裝置上的步驟。
15.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述連接所述傳感器裝置到所述流體管裝置上的步驟還包括使用氰基丙稀酸酯粘合劑的步驟。
16.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括連接所述至少一個(gè)處理連接部到所述底座上。
17.如權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于，所述連接所述處理連接部到所述底座上的步驟包括以下步驟在所述底座中形成接收孔；以及把所述處理連接部的固定部分固定到所述接收孔中。
18.如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，所述固定所述處理連接部的固定部分到所述接收孔中的步驟包括粘結(jié)所述處理連接部的所述固定部分到所述接收孔中的所述步驟。
19.如權(quán)利要求18所述的方法，其特征在于，粘結(jié)所述處理連接部的所述固定部分到所述接收孔中的所述步驟還包括使用氰基丙稀酸酯粘合劑的步驟。
20.如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，固定所述處理連接部的所述固定部分到所述接收孔中的所述步驟包括利用螺紋連接所述處理連接部的固定部分到所述接收孔中的步驟。
21.如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，固定所述處理連接部的所述固定部分到所述接收孔中的所述步驟包括以下步驟形成鎖定孔，所述鎖定孔的中心線和所述接收孔的中心線相交；以及插入一個(gè)鎖定機(jī)構(gòu)到所述鎖定孔中，從而阻止所述處理連接部的所述固定部分運(yùn)動。
22.如權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于，所述插入一個(gè)鎖定機(jī)構(gòu)到所述鎖定孔中的步驟包括插入一個(gè)壓緊所述處理連接部的所述固定部分的固定螺釘?shù)牟襟E。
23.如權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于，所述連接所述處理連接部到所述底座上的步驟包括粘結(jié)所述處理連接部的固定部分到所述底座上的步驟。
24.如權(quán)利要求23所述的方法，其特征在于，所述粘結(jié)所述處理連接部到所述底座上的步驟還包括使用氰基丙稀酸酯粘合劑的步驟。
25.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述固定所述流體管裝置的端部到所述至少一個(gè)處理連接部上的步驟包括以下步驟使所述流體管裝置的所述端部張開；以及插入所述流體管裝置的張開的端部到所述至少一個(gè)處理連接部的錐形短管上。
26.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述固定所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部上的步驟包括以下步驟通過所述至少一個(gè)處理連接部插入所述流體管裝置的所述端部，直到所述流體管裝置的所述端部和所述至少一個(gè)處理連接部的端面齊平；以及密封所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上。
27.如權(quán)利要求26所述的方法，其特征在于，所述密封所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的端面上的步驟包括粘結(jié)所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的端面上的步驟。
28.如權(quán)利要求26所述的方法，其特征在于，所述密封所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上的步驟包括利用超聲波焊接所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上的步驟。
29.如權(quán)利要求26所述的方法，其特征在于，所述密封所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上的步驟包括熱切口堆焊所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上的步驟。
30.如權(quán)利要求26所述的方法，其特征在于，所述密封所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上的步驟包括激光焊接所述流體管裝置的所述端部到所述至少一個(gè)處理連接部的所述端面上的步驟。
31.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述連接所述傳感器裝置到所述流體管裝置上的步驟包括將所述流體管裝置的部分制成不透明的以便有助于使用光學(xué)傳感器的步驟。
32.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括固定一溫度檢測裝置到所述科里奧利流量計(jì)上。
33.如權(quán)利要求32所述的方法，其特征在于，所述固定溫度檢測裝置的步驟包括固定一個(gè)電阻溫度測量裝置到所述科里奧利流量計(jì)上的步驟。
34.如權(quán)利要求32所述的方法，其特征在于，所述固定溫度檢測裝置的步驟包括固定一個(gè)紅外溫度測量裝置到所述科里奧利流量計(jì)上的步驟。
35.一種質(zhì)量流量計(jì)(100)，用于測量處理材料的流量，所述處理材料具有不受由于從所述流量計(jì)向所述處理材料進(jìn)行的離子轉(zhuǎn)移而造成的污染的超高純度；所述質(zhì)量流量計(jì)包括底座(101)；和所述底座相連的流體管裝置(102，103)；被固定到所述流體管裝置上的用于使所述流體管裝置在具有處理材料流的所述流體管裝置的諧振頻率下振動的驅(qū)動器(D)；以及和所述流體管裝置相連的傳感器裝置(LPO，RPO)，用于產(chǎn)生代表所述傳感器裝置附近的所述充有材料的振動流體管裝置的部分的感應(yīng)的科里奧利偏轉(zhuǎn)的信號；和所述流體管裝置相連的至少一個(gè)處理連接裝置(107-110)；以及其特征在于，所述流體管裝置和所述至少一個(gè)處理連接裝置由不從所述流體管裝置向所述處理材料轉(zhuǎn)移離子的材料制成，從而形成通過所述流量計(jì)的超高純度的流動通路。
36.如權(quán)利要求35所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述流體管裝置由PFA制成，以便保持所述處理材料流不受由于從所述流體管裝置向所述處理材料的離子轉(zhuǎn)移而造成的污染。
37.如權(quán)利要求35所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述科里奧利流量計(jì)包括一O形環(huán)(430)，用于連接所述流體管裝置到所述底座上。
38.如權(quán)利要求35所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述處理連接裝置被連接到所述底座上。
39.如權(quán)利要求38所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述底座包括至少一個(gè)接收孔(420)，用于固定所述處理連接裝置的固定元件(111)。
40.如權(quán)利要求39所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述接收孔是有螺紋的。
41.如權(quán)利要求35所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述底座包括至少一個(gè)鎖定孔(130)，用于固定所述處理連接裝置到所述接收孔內(nèi)。
42.如權(quán)利要求41所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述鎖定孔是有螺紋的。
43.如權(quán)利要求41所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述鎖定孔包括一個(gè)鎖定機(jī)構(gòu)(411)。
44.如權(quán)利要求43所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述鎖定機(jī)構(gòu)是固定螺釘。
45.如權(quán)利要求35所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述處理連接裝置是張開的連接型式的。
46.如權(quán)利要求35所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述流體管裝置包括不透明的部分(720)，用于阻止光通過所述流體管裝置。
47.如權(quán)利要求35所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述科里奧利流量計(jì)還包括溫度檢測裝置(RTD)。
48.如權(quán)利要求47所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述溫度檢測裝置是電阻型的。
49.如權(quán)利要求47所述的科里奧利流量計(jì)，其特征在于，所述溫度檢測裝置是紅外型的。
全文摘要
一種用于制造科里奧利流量計(jì)的方法，所述流量計(jì)用于測量要求超高純度的處理材料。這是通過由PFA塑料材料構(gòu)成科里奧利流量計(jì)的整個(gè)流動通路來實(shí)現(xiàn)的，所述材料不會從科里奧利流量計(jì)向通過所述流量計(jì)流動的處理材料轉(zhuǎn)移離子。
文檔編號G01F1/84GK1596366SQ02823516
公開日2005年3月16日 申請日期2002年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月26日
發(fā)明者M·A·施羅澤爾, M·J·貝爾, M·G·惠勒, D·P·麥克努爾蒂, L·C·勒伯 申請人:美國艾默生電氣公司