專利名稱：在半導體測試系統(tǒng)中利用通用操作系統(tǒng)生成具有高時間精度的序列的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于測試半導體裝置，例如IC和LSI，的半導體測試系統(tǒng)，更具體的說，涉及一種可以使用通用操作系統(tǒng)生成時間臨界順序的半導體測試系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在利用半導體測試系統(tǒng)，例如IC測試儀，測試半導體裝置，例如IC和LSI，時，要為待測試的半導體IC裝置提供由IC測試儀按照預(yù)先確定的定時時間在它的測試儀電極上產(chǎn)生的測試信號(測試圖形)。IC測試儀響應(yīng)該測試信號接收從處在測試狀態(tài)下的IC裝置輸出的輸出信號。輸出信號按照預(yù)先確定的定時時間被選通信號選通，與預(yù)期的輸出數(shù)據(jù)比較，以確定IC裝置的功能是否正常。
在這樣的一種半導體測試環(huán)境下，作為試驗的一部分，該系統(tǒng)必須控制該測試儀上的操作順序、被測器件(DUT)和相關(guān)的設(shè)備。例如，作為一個邏輯被測器件(DUT)的功能測試的一部分而出現(xiàn)的一個操作順序以圖1A-1D的定時圖的形式被示出。
在這個例子中，測試系統(tǒng)為DUT提供了一個或多個電源。例如，雙電源啟動事件要求在圖1A-1D中所示的時刻S1和S2。該DUT的信號線必須在圖1C中的時刻S1初始化。將數(shù)字測試圖加到DUT上，測試圖的起點在圖1D上表示為時刻St。實際上，數(shù)字測試圖可以是長達幾百千比特或幾百萬比特的矢量。
一項預(yù)期的測試計劃的數(shù)字測試圖或者是通過檢測DUT輸出中的錯誤完成，或者是通過用盡該測試圖完成。圖1D中的時刻Et示出該測試圖(pattern)的末尾。在測試圖結(jié)束后，從DUT上去掉電源(去激活)。這些結(jié)束事件的理想的時刻在圖1A和1B中的E1和E2示出。為了進行不同種類的邏輯測試，對于DUT可以重復(fù)以上所提到的順序。
實際上，測試工程師將規(guī)定相對于時刻St的測試圖的起點的事件時刻S1，S2，Si作為該測試應(yīng)用程序的一部分。按照類似的方式，相對于測試圖結(jié)束時刻Et規(guī)定關(guān)閉DUT電源的結(jié)束事件E1和E2。
對于有效的邏輯測試的那些結(jié)果，測試系統(tǒng)必須按照精確的和可重復(fù)的方式控制測試儀、DUT和相關(guān)設(shè)備的定時。順序定時中的重大的錯誤和偏差可能導致測試無效，測試給出不一致的結(jié)果，或者引起DUT損壞。規(guī)定事件，例如S1，S2，Si等的所要求的定時分辨度通常為1毫秒，可變化率±0.01微秒。
當今的測試儀系統(tǒng)通常使用通用的操作系統(tǒng)，例如UNIX或MicosoftWindows，結(jié)果使得使用者可以運行各種各樣的測試應(yīng)用和工程軟件。這些軟件可以由測試儀銷售商、用戶或第三方當事人提供。然而，這些通用操作系統(tǒng)平臺一般并不提供軟件藉以按照可重復(fù)的方式完成時間臨界(critical)功能的作用原理。僅僅使用通用操作系統(tǒng)通常導致使用者不能控制的0至10毫秒的定時可變化率。
換句話說，測試時間的定時將不會出現(xiàn)在理想的時刻。在圖2A和2B中的定時圖中，定時時間S1和S2的出現(xiàn)早于圖1A和1B中的預(yù)期時刻，而定時時間E1和E2的出現(xiàn)晚于預(yù)期時刻。這導致了測試中的誤差并且使測試結(jié)果不可靠。
為了解決這個問題，一個慣例是增加使用一種專門的“實時”操作系統(tǒng)，以便使測試系統(tǒng)軟件支持半導體測試系統(tǒng)(IC測試儀)和DUT的精確的順序控制(“Advantest T6682 Viewpoint architecture”，Advantest，1998)。這通常在一個(多個)附加處理器上運行。在某些情況下，這樣的一種實時操作系統(tǒng)也可以在與通用操作系統(tǒng)相同的處理器上運行。使用實時操作系統(tǒng)通常允許定時分辨度和可重復(fù)性在100至1000微秒。
然而，使用這種附加操作系統(tǒng)導致一種具有在多各處理器上運行的非均勻操作系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。這增加了在例如研發(fā)測試軟件中的總的復(fù)雜性，并降低了在例如使用應(yīng)用軟件中的靈活性。因此，這種處理方式提高了總的測試成本。
另一種已有技術(shù)使用一種支持該應(yīng)用程序并使測試儀系統(tǒng)軟件滿足該程序化要求的單一的實時操作系統(tǒng)(“Advantest T6682 Viewpointarchitecture”，Advantest，1998)。這提供了一種均勻環(huán)境的簡單性和工作性能，并提供了高分辨率和重復(fù)性。不幸的是，由于實時操作系統(tǒng)通常所提供的服務(wù)和支持程序庫少于通用操作系統(tǒng)，這種解決辦法傾向于束縛應(yīng)用程序的設(shè)計和實施。
因此，在改進的半導體測試系統(tǒng)的生產(chǎn)中存在一種克服以上所討論的缺點的需求。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一個任務(wù)是提供一種可以使用通用操作系統(tǒng)建立時間臨界順序的用于測試半導體裝置的半導體測試系統(tǒng)。
本發(fā)明的另一個任務(wù)是提供一種由用戶硬件和軟件組成部分構(gòu)成的半導體測試系統(tǒng)，以獲得在每一次測試激活和去激活各種參數(shù)時的時間臨界順序。
本發(fā)明的又一個任務(wù)是提供一種用于測試半導體裝置的、可以建立電源、參考電壓和產(chǎn)生具有高定時分辨率和精度的測試圖之間的定時關(guān)系的半導體測試系統(tǒng)。
在本發(fā)明中，半導體測試系統(tǒng)包括一個用于將電源提供給一個半導體被測器件(DUT)的電源引線和將一個測試圖應(yīng)用于該DUT的輸入引線并評估該DUT的輸出信號的測試儀硬件，以及一個由一臺用于根據(jù)測試程序控制該半導體測試系統(tǒng)的全部操作的通用操作系統(tǒng)操縱的主機計算機。該測試系統(tǒng)還包括一個用于計算指示DUT的電源和該測試圖的參考電壓的配置的配置數(shù)據(jù)，和指示電源、參考電壓和測試圖的激活和去激活的定時的定時數(shù)據(jù)的配置軟件。該配置軟件在測試該DUT之前根據(jù)測試程序計算配置數(shù)據(jù)和定時數(shù)據(jù)。該測試系統(tǒng)還包括一個用于向測試儀硬件提供一個功率觸發(fā)器和一個信號觸發(fā)器一以便觸發(fā)激活和去激活硬件測試儀中的電源和參考電壓的定時的裝置驅(qū)動器，以及一個用于在由該裝置驅(qū)動器確定的預(yù)定的時間之后產(chǎn)生一個中斷信號并該中斷信號通過主機計算機發(fā)送給該裝置驅(qū)動器的硬件定時器。該裝置驅(qū)動器在從硬件定時器接收到中斷信號后啟動測試圖，并且在從硬件定時器接收到中斷信號后去激活給DUT的電源。
在本發(fā)明中，該裝置驅(qū)動器通過主機計算機在接收到由測試儀硬件產(chǎn)生的測試信號的終點時使測試圖終止，并觸發(fā)硬件定時器以在規(guī)定的時間間隔之后產(chǎn)生一個中斷信號和在從硬件定時器接收到中斷信號時去激活供給DUT的電源。
該裝置驅(qū)動器是一個為按照一種具有最小時間延遲和高優(yōu)先的適時的方式響應(yīng)通過主機計算機的中斷信號而設(shè)置的軟件。該裝置驅(qū)動器被指定響應(yīng)由硬件定時器產(chǎn)生的中斷信號和由測試儀硬件產(chǎn)生的中斷信號。
測試儀硬件包括一個用于根據(jù)由從配置軟件提供的配置數(shù)據(jù)確定的參考電壓將測試圖格式化和構(gòu)成由從配置軟件提供的配置數(shù)據(jù)確定的DUT電源的硬件控制電路。測試儀硬件還包括一個用于將DUT的輸出信號和預(yù)期信號作比較并在檢測到輸出信號和預(yù)期信號之間的不匹配時產(chǎn)生一個故障信號的比較器，和在從比較器接收到故障信號時產(chǎn)生一個測試信號終點的測試邏輯終端。
根據(jù)本發(fā)明，該半導體測試系統(tǒng)可以不使用專門的實時操作系統(tǒng)產(chǎn)生定時極限測試順序。由于該半導體測試系統(tǒng)使用了通用操作系統(tǒng)，所以可以獲得應(yīng)用軟件的靈活性、適用性和豐富。該半導體測試系統(tǒng)通過采用用戶硬件和軟件的組合獲得了在激活和去激活每一個測試的各種參數(shù)時的定時極限順序。


圖1A-1D是顯示在將電源和一個測試圖提供給一個半導體被測器件時的期望的定時關(guān)系。
圖2A-2D是顯示在將電源和一個測試圖提供給一個半導體被測器件時的錯誤的定時關(guān)系。
圖3是顯示可以使用通用操作系統(tǒng)產(chǎn)生時間臨界順序的本發(fā)明的半導體測試系統(tǒng)的總體配置的方框圖。
圖4是顯示在圖3的半導體測試系統(tǒng)所采用的硬件定時器中的配置的例子的圖解示意方框圖。
圖5是顯示在包括在圖3中的半導體測試系統(tǒng)中采用的硬件控制電路的測試儀硬件中配置的例子的圖解示意方框圖。
圖6是顯示在圖3的半導體測試系統(tǒng)中采用的裝置驅(qū)動器中的配置的例子的圖解示意方框圖。
圖7是顯示在本發(fā)明的半導體測試系統(tǒng)中測試順序發(fā)生的操作的例子的程序框圖。
優(yōu)選實施例以下將參照圖3-7說明本發(fā)明的半導體測試系統(tǒng)。盡管本發(fā)明是結(jié)合那些優(yōu)選的實施例說明的，當然本發(fā)明并不限于這些實施例。反之，本發(fā)明旨在覆蓋那些替代、改進和等價方案，這些方案可以被包括在由所附權(quán)利要求書所確定的本發(fā)明的構(gòu)思和范圍之內(nèi)。
本發(fā)明使用定制硬件和軟件組件的組合以獲得所需要的性能。硬件和軟件設(shè)計的組合包括在主機系統(tǒng)上產(chǎn)生中斷的硬件可編程定時器、測試儀硬件控制電路、預(yù)先計算出的硬件配置和開關(guān)操作的非時間臨界的配置軟件和時間臨界的軟“裝置驅(qū)動器”，該裝置驅(qū)動器響應(yīng)硬件可編程定時器和測試儀中斷并控制上述硬件以間接配置測試設(shè)備。
半導體測試系統(tǒng)的總的配置的一個例子被示于圖3的方框圖中，包括上述硬件和軟件。在圖3的例子中，半導體測試系統(tǒng)是由測試儀硬件28、電源和測試儀附加設(shè)備36配置而成。測試儀硬件28包括允許高速直接或間接變化到測試儀信號和電源線路的硬件控制電路(引線電子設(shè)備)34。
電源和測試儀附加設(shè)備36，例如，供給硬件控制電路34的電源被提供給半導體被測器件(DUT)40。電源和測試儀附加設(shè)備36還提供參考電壓給硬件控制電路34，以形成準備提供給DUT40的測試信號(測試圖)的規(guī)定的振幅。半導體測試系統(tǒng)的全部操作由具有一個通用操作系統(tǒng)的主機計算機22控制。DUT40通過硬件控制電路34與測試儀硬件28相連接。
半導體測試系統(tǒng)還配備有一個在主機計算機22(通用操作系統(tǒng))上產(chǎn)生中斷的硬件可編程定時器24、接收一個測試程序并預(yù)先計算出硬件配置和將獲得啟動和終止一個或多個測試的理想順序的開關(guān)操作的配置軟件32，以及一個裝置驅(qū)動器26，該裝置驅(qū)動器26是響應(yīng)硬件可編程定時器24和測試儀中斷的時間臨界軟件，控制以上硬件(測試儀硬件28、硬件控制電路34和硬件定時器24)以間接地配置測試設(shè)備。主機計算機22由通用操作系統(tǒng)，例如UNIX、Windows、Windows NT、Linux，以及類似設(shè)備操縱。主機計算機22根據(jù)測試程序控制半導體測試系統(tǒng)的全部操作。
作為一個實際的問題，由于計算的、定時的和其他的資源約束，主機計算機22(通用操作系統(tǒng))禁止在裝置驅(qū)動器26上所做出的復(fù)雜的和耗時的決策。因此，這些決策隨時可以由配置軟件32預(yù)先計算出或預(yù)先配置，和/或經(jīng)由測試儀硬件28處理。即，根據(jù)來自主機的測試程序，配置軟件32預(yù)先計算出硬件配置和將要完成電源和引線信號啟動的開關(guān)操作程序。預(yù)先計算出的數(shù)據(jù)被傳送給裝置驅(qū)動器26和硬件控制電路34，以便執(zhí)行。
圖4示出一個硬件定時器24的詳細的框圖的例子。在這種具體的情況下，硬件定時器24由一個總線接口42，例如PCI總線接口，寄存器46，和停機計數(shù)器(down counter)44構(gòu)成。硬件定時器的一個例子具有0.5MHz的分辨率的32-比特長度。寄存器46加載有由裝置驅(qū)動器26提供的、例如通過寫操作由32-比特數(shù)據(jù)形成的預(yù)先計算出的數(shù)據(jù)。在適合的時刻，硬件定時器24通過一個附加的寫操作被來自裝置驅(qū)動器的觸發(fā)信號觸發(fā)。這使得硬件定時器24自由運行，即由停機計數(shù)器44對時鐘信號進行停機計時。停機計數(shù)器44在達到由寄存器46預(yù)先計算出的值時產(chǎn)生一個中斷信號，這在編程間隔之后使用PCI總線中斷測試系統(tǒng)。
圖5示出一個包括硬件控制電路34、測試儀總線52、比較器51和測試邏輯終端55的測試儀硬件28中的硬件電路的例子。硬件控制電路34是由引線配置寄存器54、引線驅(qū)動器電子線路56，以及電源開關(guān)58構(gòu)成。取決于待測試的半導體裝置的引線的預(yù)期數(shù)量，一個實際的測試系統(tǒng)包括大量的這種組成部分。測試儀硬件28通過測試儀總線52接收來自配置軟件32的引線配置數(shù)據(jù)和來自裝置驅(qū)動器26的信號觸發(fā)器和功率觸發(fā)器。
引線驅(qū)動器電子線路56產(chǎn)生一個被提供給DUT40的輸出引線的引線信號(測試信號或時鐘信號)。電源開關(guān)58產(chǎn)生被提供給DUT40的電源引線的預(yù)定電壓水平的電源。DUT40的響應(yīng)輸出被將響應(yīng)輸出同預(yù)期值比較的比較器57接收。如果該裝置輸出信號與預(yù)期值不匹配，比較器57就產(chǎn)生一個故障信號。在接收到該故障信號時，測試邏輯終端55產(chǎn)生一個通過測試儀總線52提供給主機計算機22作為中斷信號的測試信號的終點。測試邏輯終端55是申請日為2000年4月24日、申請?zhí)枮?9/559365的由本發(fā)明的同一受讓人所擁有的另一份美國專利申請的主題。
對于引線信號，根據(jù)來自配置軟件32的引線配置數(shù)據(jù)，引線配置寄存器54允許引線驅(qū)動器電子線路56配置成高或低信號水平(參考電壓)或高阻抗。對于DUT電源，根據(jù)來自配置軟件32的電源配置數(shù)據(jù)，電源36提供預(yù)先設(shè)計的電壓和電流水平給電源開關(guān)58。對于信號和電源這兩者，觸發(fā)線路常被用于在軟件的控制下施加理想的配置。在圖5的這個例子中，大多數(shù)操作是通過測試儀總線52被應(yīng)用的，盡管并不要求這樣。
圖6示出本發(fā)明的半導體測試系統(tǒng)中的裝置驅(qū)動器26中的功能塊框圖的一個例子。因此，本發(fā)明的定制驅(qū)動器和硬件按照這樣的一種方式設(shè)計，使得裝置驅(qū)動器26可以做出直接和間接地控制測試儀28的簡單和迅速的決策。按照這種方式，裝置驅(qū)動器26可以控制測試儀28的編程，而不破壞操作系統(tǒng)對裝置驅(qū)動器26所做的限制。裝置驅(qū)動器26是一種可被加入到主機計算機22中的通用操作系統(tǒng)中的特許的和可重構(gòu)的軟件組成部分。設(shè)置裝置驅(qū)動器26是為了以定時方式響應(yīng)相關(guān)的硬件而提供的。特別是，通用操作系統(tǒng)(主機計算機22)使得裝置驅(qū)動器26可以通過使其以最短時間延遲和高優(yōu)先運行服務(wù)于硬件中斷。
在本發(fā)明中，裝置驅(qū)動器26特別被設(shè)計成為響應(yīng)由硬件定時器24或由測試儀硬件28產(chǎn)生的中斷。主機計算機22能夠響應(yīng)由硬件定時器24或測試儀硬件28產(chǎn)生的中斷，并將中斷信息發(fā)送給裝置驅(qū)動器26。在接受到中斷信息時，裝置驅(qū)動器立即在硬件控制電路34中產(chǎn)生一個用于激活電源配置或信號配置的觸發(fā)信號。
在圖6的例子中，裝置驅(qū)動器26包括一個電源啟動單元62、一個DUT引線信號啟動單元64、和一個電源去激活單元68。根據(jù)配置和定時數(shù)據(jù)，電源啟動單元62發(fā)送功率觸發(fā)器給硬件控制電路34，以便為DUT設(shè)置預(yù)定的電源。同樣，根據(jù)硬件控制電路34，DUT引線信號啟動單元64發(fā)送引線信號觸發(fā)器給硬件控制電路34，以便設(shè)置引線信號(高和低的電壓水平和高阻抗)。響應(yīng)該中斷，測試圖執(zhí)行單元66發(fā)送一個測試圖觸發(fā)器，以便由測試儀產(chǎn)生被提供給DUT的測試圖。在測試的終點，電源去激活單元66產(chǎn)生一個功率觸發(fā)器以便去激活DUT的電源。
在測試的起點和終點順序中，半導體測試系統(tǒng)中的一個操作例子被示于圖7的程序框圖中。如上所看到的那樣，測試程序從主機計算機22提供給配置軟件32。在測試開始之前，在步驟101，配置軟件32計算出啟動定時、電源和信號配置、去激活定時，等等。根據(jù)該計算，配置軟件32創(chuàng)建統(tǒng)一的測試程序，并將該測試程序發(fā)送給裝置驅(qū)動器26。
在步驟102，裝置驅(qū)動器26執(zhí)行每一個啟動順序項(例如，電源配置和定時、測試信號配置和定時和測試圖起點定時)。裝置驅(qū)動器26在步驟103經(jīng)由硬件控制電路34設(shè)定啟動項目之中的一項，例如，DUT引線信號觸發(fā)器或功率觸發(fā)器。例如，在接收到功率觸發(fā)器時，硬件控制電路34操縱開關(guān)以供給根據(jù)由配置軟件32來的電源配置數(shù)據(jù)配置的電源。同樣，在接收到功率觸發(fā)器時，硬件控制電路34操縱開關(guān)以設(shè)定測試圖的參考電壓(例如，高的、低的和高阻抗的)。因此，DUT40的電源的定時和測試圖的參考電壓水平受裝置驅(qū)動器26的控制。
裝置驅(qū)動器26在步驟104還發(fā)送定時器觸發(fā)器和定時器配置數(shù)據(jù)給硬件定時器24。這樣，硬件定時器24測量出由來自裝置驅(qū)動器26的配置數(shù)據(jù)規(guī)定的時間長度，并在規(guī)定的時刻產(chǎn)生一次中斷。該中斷被發(fā)送給主機計算機22，主機計算機22立即將該中斷傳送給裝置驅(qū)動器26。這樣，在步驟105，響應(yīng)該中斷，裝置驅(qū)動器26執(zhí)行被應(yīng)用于DUT40的測試圖。因此，啟動定時由時間臨界裝置驅(qū)動器26精確地調(diào)整。此外，在半導體測試系統(tǒng)中，相對于其它的啟動項，要精確地控制對于DUT的測試圖的起點定時。
為了將測試圖按照各種不同的參數(shù)，例如不同的電源電壓、不同的測試信號參考電壓等等，應(yīng)用于DUT，可以重復(fù)包括步驟102-105的前述過程。這樣，在步驟106期間，半導體測試系統(tǒng)在等待由硬件測試儀28產(chǎn)生測試信號終點的同時繼續(xù)對DUT的測試。
在步驟107中，確定是否由測試儀28發(fā)出中斷信號。這樣的一個中斷信號是在圖5中的測試邏輯終端55產(chǎn)生測試信號終點時產(chǎn)生的。通常，測試信號的終點是在DUT40的響應(yīng)輸出與比較器57上的預(yù)期數(shù)據(jù)不一致時產(chǎn)生的。在步驟108中接收到基于測試信號終點的中斷信號時，裝置驅(qū)動器26執(zhí)行去激活順序項，以控制包括測試終點的定時。裝置驅(qū)動器26終止執(zhí)行測試圖，以便測試圖在規(guī)定的時間終止。
在步驟109，裝置驅(qū)動器26發(fā)送定時器觸發(fā)器和定時器配置數(shù)據(jù)給硬件定時器24，以便產(chǎn)生一個確定DUT40電源去激活時間的中斷信號。裝置驅(qū)動器26等待硬件定時器24完成對規(guī)定時間長度的計數(shù)。硬件定時器24在由來自裝置驅(qū)動器26的定時器配置數(shù)據(jù)規(guī)定的時間產(chǎn)生一個中斷信號。該中斷信號通過主機計算機22返回裝置驅(qū)動器26。這樣，在步驟110，裝置驅(qū)動器26發(fā)送一個功率觸發(fā)器給硬件控制電路34，以便將電源與DUT40的連接去激活。如果還存在其他的去激活項目，可以重復(fù)包括步驟108-110的去激活過程。因此，如果在步驟111確認不再存在其他的去激活項目，那么該過程終止。按照這種方式，使用通用操作系統(tǒng)完成時間臨界測試程序。
如上所說明的那樣，根據(jù)本發(fā)明，該半導體測試系統(tǒng)不利用實時操作系統(tǒng)也能夠產(chǎn)生時間臨界測試程序。由于該半導體測試系統(tǒng)使用通用操作系統(tǒng)，所以可以獲得應(yīng)用軟件的靈活性、實用性和豐富。該半導體測試系統(tǒng)通過采用用戶硬件和軟件的組合獲得了在每一個測試激活和去激活各種參數(shù)時的時間臨界程序。
盡管在其中僅僅具體說明和描述了一個優(yōu)選實施例，但是應(yīng)指出，根據(jù)上述教導并在所附的權(quán)利要求書的范圍內(nèi)，在不脫離本發(fā)明的精髓和預(yù)定的范圍的前提下，本發(fā)明還可以有許多改進和變化。
權(quán)利要求
1.一種用于測試半導體裝置的半導體測試系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一個用于將電源提供給一個半導體被測器件(DUT)的電源引線和將一個測試圖提供給該DUT的輸入引線并評估該DUT的輸出信號的測試儀硬件；一臺由通用操作系統(tǒng)操縱的用于根據(jù)測試程序控制該半導體測試系統(tǒng)的全部操作的主機計算機；一個配置軟件，用于計算指示該測試圖的參考電壓和電源的配置的配置數(shù)據(jù)以及指示電源、參考電壓和測試圖的激活和去激活的定時的定時數(shù)據(jù)，其中該配置軟件在測試該DUT之前根據(jù)測試程序計算配置數(shù)據(jù)和定時數(shù)據(jù)；裝置驅(qū)動器，用于向測試儀硬件提供一個功率觸發(fā)器和一個信號觸發(fā)器以便觸發(fā)激活和去激活硬件測試儀中的電源和參考電壓的定時；以及一個硬件定時器，用于在由該裝置驅(qū)動器確定的預(yù)定的時間之后產(chǎn)生一個中斷信號并將該中斷信號通過主機計算機發(fā)送給該裝置驅(qū)動器，其中，該裝置驅(qū)動器在從硬件定時器接收到中斷信號后啟動測試圖，并且在從硬件定時器接收到中斷信號后去激活供給DUT的電源。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體測試系統(tǒng)，其特征在于該裝置驅(qū)動器通過主機計算機在接收到由測試儀硬件產(chǎn)生的測試信號的終點時使測試圖終止，并觸發(fā)硬件定時器以在規(guī)定的時間間隔之后產(chǎn)生一個中斷信號以及當從硬件定時器接收到該中斷信號時去激活供給DUT的電源。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體測試系統(tǒng)，其特征在于該裝置驅(qū)動器是一個軟件，配置成按照一種具有最小時間延遲和高優(yōu)先級的及時方式通過主機計算機響應(yīng)所述中斷信號。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體測試系統(tǒng)，其特征在于該裝置驅(qū)動器被設(shè)計成響應(yīng)由硬件定時器產(chǎn)生的中斷信號或由測試儀硬件產(chǎn)生的中斷信號。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體測試系統(tǒng)，其特征在于測試儀硬件包括一個用于根據(jù)配置軟件的配置數(shù)據(jù)所確定的參考電壓將測試圖格式化和為由配置軟件提供的配置數(shù)據(jù)所確定的DUT形成電源的硬件控制電路。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導體測試系統(tǒng)，其特征在于測試儀硬件還包括一個用于將DUT的輸出信號和預(yù)期信號作比較并在檢測到輸出信號和預(yù)期信號之間的不匹配時產(chǎn)生一個故障信號的比較器，和在從比較器接收到故障信號時產(chǎn)生一個測試信號的終點的測試邏輯終端。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導體測試系統(tǒng)，其特征在于主機計算機在接收到來自測試儀硬件發(fā)出的測試信號的終點時產(chǎn)生一個中斷信號并將該中斷信號提提供裝置驅(qū)動器。
8.一種用于測試半導體裝置的半導體測試系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一個用于將電源提供給一個半導體被測器件(DUT)的電源引線和將一個測試圖提供給該DUT的輸入引線并評估該DUT的輸出信號的測試儀硬件；一臺由通用操作系統(tǒng)操縱的、用于根據(jù)測試程序控制該半導體測試系統(tǒng)的全部操作的主機計算機；計算裝置，用于計算指示該測試圖的參考電壓和電源的配置的配置數(shù)據(jù)以及指示電源、參考電壓和測試圖的激活和去激活的定時的定時數(shù)據(jù)，其中該配置數(shù)據(jù)和定時數(shù)據(jù)是測試DUT之前根據(jù)該測試程序確定的；用于向測試儀硬件提供一個功率觸發(fā)器和一個信號觸發(fā)器以便觸發(fā)激活和去激活硬件測試儀中的電源和參考電壓的定時的裝置；以及用于在由提供裝置預(yù)先確定的時間之后產(chǎn)生一個中斷信號并通過主機計算機將該中斷信號發(fā)送給該提供裝置的硬件定時器，其中，測試圖在接收到來自硬件定時器的中斷信號時被啟動，而DUT的電源在接收到來自硬件定時器的中斷信號時被去激活。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導體測試系統(tǒng)，其特征在于測試圖在接收到由測試硬件產(chǎn)生的測試信號終點時終止，并且硬件定時器在測試信號終止后的規(guī)定時間產(chǎn)生一個中斷信號而DUT電源在來自硬件定時器的中斷信號之后立即被去激活。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導體測試系統(tǒng)，其特征在于測試儀硬件包括一個用于根據(jù)由計算裝置確定的配置數(shù)據(jù)確定的參考電壓將測試圖格式化并為由計算裝置確定的配置數(shù)據(jù)所確定的DUT形成電源的硬件控制電路。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導體測試系統(tǒng)，其特征在于測試儀硬件還包括一個用于將DUT的輸出信號和預(yù)期信號作比較并在檢測到輸出信號和預(yù)期信號之間的不匹配時產(chǎn)生一個故障信號的比較器，和在從比較器接收到故障信號時產(chǎn)生一個測試信號終點的測試邏輯終端。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導體測試系統(tǒng)，其特征在于主機計算機在接收到來自測試儀硬件發(fā)出的測試信號終止時產(chǎn)生一個中斷信號
全文摘要
一種半導體測試系統(tǒng)，可以使用通用操作系統(tǒng)產(chǎn)生時間臨界順序，包括一個用于將電源和測試圖提供給被測器件的測試儀硬件，一個由通用操作系統(tǒng)操縱的主機計算機，一個用于根據(jù)一個測試程序計算配置數(shù)據(jù)和定時數(shù)據(jù)的配置軟件，一個用于給測試硬件提供電源觸發(fā)器和信號觸發(fā)器的的裝置驅(qū)動器，以及一個用于產(chǎn)生中斷信號的硬件定時器。裝置驅(qū)動器啟動測試圖并在接收到中斷信號時去激活電源。
文檔編號G01R31/28GK1462370SQ02801357
公開日2003年12月17日 申請日期2002年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月21日
發(fā)明者利昂·李·申, 詹姆斯·艾倫·特恩奎斯特 申請人:株式會社鼎新