專利名稱：網(wǎng)絡(luò)分析器以及基于它的測定方法和零部件選擇裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有4個以上測定用端口的網(wǎng)絡(luò)分析器(network analyzer)，基于這種網(wǎng)絡(luò)分析器的測定方法，以及包括這種網(wǎng)絡(luò)分析器的零部件選擇裝置。
背景技術(shù)：
以往，作為具有4個以上測定用端口的多端口網(wǎng)絡(luò)分析器，已知有用于對具有4個以上端口的器件等的測定對象進行特性測定的、例如圖7所示結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)分析器。
如圖所示，在用具有例如4個數(shù)據(jù)取樣器D1～D4的4端口網(wǎng)絡(luò)分析器對2端口器件X進行測定時，僅用4個數(shù)據(jù)取樣器D1～D4中的2個(圖7中的D1和D2)進行測定，剩下的2個數(shù)據(jù)取樣器D3、D4沒有使用。這相當于將4端口網(wǎng)絡(luò)分析器用作2端口網(wǎng)絡(luò)分析器。
然而，4端口網(wǎng)絡(luò)分析器比2端口網(wǎng)絡(luò)分析器價格高。因此，將原本用于4端口器件的測定僅用于2端口器件的測定，測定效率低。此外，即使在這種以往的4端口網(wǎng)絡(luò)分析器中將4個數(shù)據(jù)取樣器分成2組，在各組分別進行2端口器件的測定，并將這2個2端口器件同時連接到信號源上，也因信號源的阻抗與這2個器件的并聯(lián)連接電路的阻抗不匹配，所以不能正確地進行特性測定。
但是，對用戶來說，作為多端口網(wǎng)絡(luò)分析器有必要對于4端口器件進行其測定，僅簡單地準備圖8那樣的2端口網(wǎng)絡(luò)分析器，不能進行4端口器件的測定。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種對4個以上端口的器件也能進行測定同時能用多端口網(wǎng)絡(luò)分析器對例如2端口器件那樣的端口少的器件有效地進行測定的網(wǎng)絡(luò)分析器，基于這種網(wǎng)絡(luò)分析器的測定方法，以及包括這種網(wǎng)絡(luò)分析器的零部件選擇裝置。本申請的第1方面的網(wǎng)絡(luò)分析器，包括單一的信號源，信號分配裝置，多個分配并供給來自所述信號源的信號，輸出端口，能分別連接測定對象中的多個端口，信號路徑切換裝置，能切換兩種狀態(tài)，即輸入用所述信號分配裝置分配的信號并對于所述輸出端口中對應(yīng)的一個選擇并供給該輸入的信號的供給狀態(tài)和通過所述輸出端口將從所述測定對象得到的特性信號傳送到終端設(shè)備的傳送狀態(tài)，接收裝置，插裝在所述信號路徑切換裝置與所述輸出端口之間，接收由所述測定對象得到的特性信號。
采用本申請的第1方面的網(wǎng)絡(luò)分析器，則借助于在將1個或者多個測定對象的各端口分別連接到輸出端口的狀態(tài)，將用信號分配裝置分配來自單一信號源的信號的信號提供給其測定對象，測定其結(jié)果得到的特性，與以往一次僅測定一個少數(shù)端口的測定對象相比，改善了能增加同時測定個數(shù)的分測定效率。此外，因能通過信號分配裝置對每個測定對象供給特性測定用的信號，所以特性信號之間難于相互影響，能高精度地進行各測定對象的特性測定。
本申請的第2方面的網(wǎng)絡(luò)分析器，是在本申請的第1方面所述的網(wǎng)絡(luò)分析器中，包括切換裝置，自在地切換兩種狀態(tài)，即通過對于對應(yīng)于所述輸出端口連接的多個測定對象為一組的多個輸出端口中選擇的一個的所述信號路徑切換裝置分別供給用所述信號分配裝置分配的信號的供給狀態(tài)和不必用所述信號分配裝置分配來自所述信號源的信號來提供給所述各信號路徑切換裝置的供給狀態(tài)。
采用本申請的第2方面的網(wǎng)絡(luò)分析器，則利用切換裝置一設(shè)定成前者的狀態(tài)，就能同時多個測定端口為少數(shù)的測定對象，另一方面，一設(shè)定成后者的狀態(tài)，就能對端口為多數(shù)的測定對象用將各端口連接到輸出端口的狀態(tài)進行特性測定，所以能對應(yīng)于進行端口為少數(shù)的測定對象的特性測定的場合和進行端口為多數(shù)的測定對象的特性測定的場合，分開使用。
本申請的第3方面的網(wǎng)絡(luò)分析器，是在本申請的第1或第2方面所述的網(wǎng)絡(luò)分析器中，包括在所述信號分配裝置和所述信號路徑切換裝置之間，插裝抑制從該信號路徑切換裝置側(cè)到所述信號分配裝置的反射信號的傳輸?shù)慕^緣器。
采用本申請的第3方面的網(wǎng)絡(luò)分析器，則因利用絕緣器能抑制向信號分配裝置側(cè)的反射信號重疊在向重疊對象的供給信號上的壞影響，所以在多個測定對象的特性測定中，能進行更加高精度的特性測定。
本申請的第4方面的網(wǎng)絡(luò)分析器，是在本申請的第1至第3方面任一項所述的網(wǎng)絡(luò)分析器中，包括與所述輸出端口連接的測定對象是具有平衡端口的器件，在該器件對應(yīng)的端口和所述輸出端口之間，插裝將平衡端口轉(zhuǎn)換成不平衡端口的裝置。
采用本申請的第4方面的網(wǎng)絡(luò)分析器，則即使是具有多個平衡端口的器件，也能通過將平衡端口轉(zhuǎn)換成不平衡端口的裝置、例如180°混合連接和平衡-不平衡變換器等，連接到輸出端口，轉(zhuǎn)換成具有與平衡端口數(shù)相同的不平衡端口的測定對象，連接到輸出端口，能同時多個特性測定這種器件，使測定效率改善。
本申請的第5方面的零部件選擇裝置，包括本申請的第1至第4方面任一項所述的網(wǎng)絡(luò)分析器，選擇裝置，多個設(shè)置具有與所述輸出端口連接而且能與測定對象的端口接觸的探針的測定工作臺，同時構(gòu)成能切換兩種狀態(tài)、即同時測定由各測定工作臺運送的測定對象的狀態(tài)和僅測定特定的測定工作臺中的測定對象的狀態(tài)，根據(jù)所述測定的結(jié)果選擇成為測定對象的零部件。
采用本申請的第5方面的零部件選擇裝置，則在進行零部件選擇中，在成為這種選擇的零部件的測定對象具有少數(shù)端口的場合，用多個測定工作臺同時進行多個測定，在測定對象為端口數(shù)多的場合，能用特定的測定工作臺進行對其各端口的特性測定，在各種場合中，能進行精度高而且效率高的特性測定，并根據(jù)其結(jié)果良好地進行例如合格品和不合格品的選擇。
本申請的第6方面的基于網(wǎng)絡(luò)分析器的測定方法，包括借助于在多個分配并供給來自單一信號源的信號的信號分配裝置的各供給端口和能分別連接測定對象中的多個端口的輸出端口之間，插裝信號路徑切換裝置和接收裝置的狀態(tài)，所述信號路徑切換裝置選擇多個端口中的一個并同時對于選擇的端口供給來自所述供給端口的信號，所述接收裝置接收利用該供給的信號由所述測定對象得到的特性信號，將多個所述測定對象的各端口連接到對應(yīng)的所述輸出端口，同時測定多個所述測定對象的特性。
采用本申請的第6方面的基于網(wǎng)絡(luò)分析器的測定方法，則借助于在將多個測定對象的各端口分別連接到輸出端口的狀態(tài)，將用信號分配裝置分配來自單一信號源的信號的信號提供給其多個測定對象，同時測定其結(jié)果得到的特性，與以往一次僅測定一個少數(shù)端口的測定對象相比，改善了能增加同時測定個數(shù)的分測定效率。此外，因能通過信號分配裝置對每個測定對象供給特性測定用的信號，所以特性信號之間難于相互影響，能高精度地進行各測定對象的特性測定。


圖1表示進行2個2端口器件測定的4端口網(wǎng)絡(luò)分析器的關(guān)鍵部分的電路圖。
圖2表示進行1個4端口器件測定的4端口網(wǎng)絡(luò)分析器的關(guān)鍵部分的電路圖。
圖3表示進行3個2端口器件測定的6端口網(wǎng)絡(luò)分析器的關(guān)鍵部分的電路圖。
圖4表示通過180°混合將具有平衡端口的2個器件連接到4端口網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口的狀態(tài)的電路圖。
圖5表示零部件選擇裝置的部分剖視示意平面圖。
圖6表示圖5中的測定工作臺的縱剖面和多網(wǎng)絡(luò)分析器等的說明圖。
圖7表示以往的4端口網(wǎng)絡(luò)分析器的關(guān)鍵部分的電路圖。
圖8表示以往的2端口網(wǎng)絡(luò)分析器的關(guān)鍵部分的電路圖。
具體實施例方式
下面，參照附圖對本發(fā)明的實施形態(tài)進行說明。
圖1、圖2用于表示本發(fā)明的實施形態(tài)，圖1表示進行2個2端口器件測定的4端口網(wǎng)絡(luò)分析器的關(guān)鍵部分的電路圖，圖2表示進行1個4端口器件測定的4端口網(wǎng)絡(luò)分析器的關(guān)鍵部分的電路圖。
圖1示出了在測定例如SAW濾波器等的器件的特性的多端口網(wǎng)絡(luò)分析器中與本發(fā)明相關(guān)的關(guān)鍵部分。
如圖1所示，這種多端口網(wǎng)絡(luò)分析器包括具有除參考采樣R外作為接收裝置的4個數(shù)據(jù)取樣器D1～D4的4端口網(wǎng)絡(luò)分析器的各輸出端口(連接器單元)1～4。而且，對于這種網(wǎng)絡(luò)分析器的單一信號源0，連接作為信號分配裝置的功率分開器PS。因此，由作為功率分開器PS的2個供給端口的輸出端A、B，分別輸出來自信號源0的信號。在前述各輸出端口1～4中連接開關(guān)S1～S4，作為分別由繼電器或者多路器等器件構(gòu)成的信號路徑切換裝置，各開關(guān)S1～S4中的2個固定端中的一端連接到終端器(terminater)T1～T4，另一端連接到功率分開器PS的輸出端A或輸出端B。
在開關(guān)S1～S4的可動側(cè)接點和各輸出端口1、2、3、4之間，分別設(shè)置用于將由測定得到的反射信號和透過信號作為特性信號的方向性結(jié)合器H1～H4。將接收器R1～R4連接在各方向性結(jié)合器H1～H4上，并利用這種方向性結(jié)合器H1～H4和接收器R1～R4，分別構(gòu)成前述的數(shù)據(jù)取樣器D1～D4。此外，將用接收器R1～R4接收到的特性信號提供給未圖示的網(wǎng)絡(luò)分析器主體進行信號分析。
此外，在開關(guān)S1～S4和功率分開器PS的輸出端A、B之間，連接作為絕緣器一例的循環(huán)器C1、C2，并在該循環(huán)器C1、C2的第3端上連接無反射終端器。
設(shè)置切換裝置10，用于對連接功率分開器PS的輸出端B和輸出端口3、4的狀態(tài)與切斷開放的狀態(tài)進行切換。此外，設(shè)置切換裝置11，用于對連接開關(guān)S1、S2的固定接點端與開關(guān)S3、S4的固定接點端的狀態(tài)與切斷開放的狀態(tài)進行切換。這些切換裝置10、11也可以做成例如對于其斷接的地方，拔出和插入跳線進行斷線狀態(tài)和連接狀態(tài)的切換。也可以如前述的開關(guān)S1～S4那樣，設(shè)置進行開關(guān)的裝置。在圖中，用開關(guān)記號表示這些切換裝置10、11。
關(guān)于前述結(jié)構(gòu)的基于4端口網(wǎng)絡(luò)分析器的測定方法，下面分成進行具有2端口的測定對象的特性測定的場合和具有4端口的測定對象的特性測定的場合，分別進行說明。
首先，參照圖1，對具有2端口的測定對象的特性測定的場合進行說明。
將前述切換裝置10設(shè)置成開放狀態(tài)，將切換裝置11設(shè)置成連接狀態(tài)。并且，設(shè)置成進行完全(full)2端口補正等的校正的狀態(tài)，將具有2個端口的1個測定對象X1的各端口，連接到對應(yīng)的輸出端口1、2，將同一品種的測定對象X2的各端口，連接到對應(yīng)的輸出端口3、4。此外，這種場合，預(yù)先設(shè)定開關(guān)S1、S2，使輸出端口1與信號源0側(cè)連接，使輸出端口2與終端器T2連接，并預(yù)先設(shè)定開關(guān)S3、S4，使輸出端口3與信號源0側(cè)連接，使輸出端口4與終端器T4連接。
通過功率分開器PS分配來自信號源0的信號，并分別從其輸出端A、B輸出。這時，將來自輸出端A的信號提供給輸出端口1，通過輸出端口1和方向性結(jié)合器H1，接收器R1接收由這種信號供給而在測定對象X1反射的反射信號。另一方面，通過方向性結(jié)合器H2，由被接收器R2接收供給的信號透過測定對象X1并通過輸出端口2得到的透過信號。此外，對于在輸出端口3、4上分別連接各端口的測定對象X2也相同。也就是說，將來自輸出端B的信號提供給輸出端口3，并且通過輸出端口3和方向性結(jié)合器H3，接收器R3接收這種供給的信號在測定對象X2反射的反射信號。另一方面，通過方向性結(jié)合器H4，接收器R4接收供給的信號透過測定對象X2并通過輸出端口4得到的透過信號。
接著，在開關(guān)S1中，將輸出端口1與輸出端A的連接狀態(tài)切換成輸出端口1與終端器T1的連接狀態(tài)，在開關(guān)S2中，將輸出端口2與終端器T2的連接狀態(tài)切換成輸出端口2與輸出端A的連接狀態(tài)，在開關(guān)S3中，將輸出端口3與輸出端B的連接狀態(tài)切換成輸出端口3與終端器T3的連接狀態(tài)，在開關(guān)S4中，將輸出端口4與終端器T4的連接狀態(tài)切換成輸出端口4與輸出端B的連接狀態(tài)。在這種狀態(tài)下，通過功率分開器PS將來自信號源0的信號由其輸出端A、B分別提供給輸出端口2、4。通過輸出端口2和方向性結(jié)合器H2，接收器R2接收來自輸出端A的信號供給在測定對象反射的反射信號。另一方面，通過方向性結(jié)合器H1，接收器R1接收供給的信號透過測定對象并通過輸出端口1得到的透過信號。此外，對于在輸出端口3、4上分別連接各端口的測定對象也相同。也就是說，通過輸出端口4和方向性結(jié)合器H4，接收器R4接收來自輸出端B的信號供給在測定對象反射的反射信號。另一方面，通過方向性結(jié)合器H3，接收器R3接收由供給的信號透過測定對象并通過輸出端口3得到的透過信號。
利用前述2次測定，這些測定對象的測定工序結(jié)束，根據(jù)其接收結(jié)果在網(wǎng)絡(luò)分析器中測定各測定對象的例如振幅特性和相位特性。
此外，以輸出端口1、2為一組，以輸出端口3、4為另一組的組合是任意的，例如也可以組合成以輸出端口1、3為一組，以輸出端口2、4為另一組來進行測定。
采用前述結(jié)構(gòu)，則在用4端口的多端口網(wǎng)絡(luò)分析器測定2端口的器件時，因為能夠同時測定2個2端口器件，所以與一次僅測定1個器件的場合相比，能倍增地改善處理能力。
此外，這種場合，利用循環(huán)器C1、C2和與其連接的終端器，將由功率分開器PS輸出的信號傳送到測定對象，但因來自測定對象的反射波不會傳送到功率分開器PS側(cè)而由終端器能量變換成熱，所以即使在例如同時測定的測定對象的一方短路的場合，也不會影響測定其它的試料。
下面，參照圖2對由前述4端口網(wǎng)絡(luò)分析器進行4端口器件的特性測定的工序進行說明。
將切換裝置10從開放狀態(tài)切換成連接狀態(tài)，將切換裝置11從連接狀態(tài)切換成開放狀態(tài)。此外，在各開關(guān)S1～S4中，首先在開關(guān)S1中，設(shè)定成連接輸出端口1與信號輸入側(cè)固定端，在開關(guān)S2、S3、S4中，設(shè)定成分別將輸出端口2、3、4連接到終端器T2、T3、T4。并且，在輸出端口1、2、3、4中，分別連接對應(yīng)于包括4端口的測定對象X3的端口。
在這種狀態(tài)，從信號源一輸出信號，則不必用功率分開器PS分配，就從輸出端A將這種信號輸出到各開關(guān)S1～S4，并通過開關(guān)S1僅提供給輸出端口1。通過輸出端口1和方向性結(jié)合器H1，接收器R1接收由來自輸出端A的信號供給而在測定對象X3反射的反射信號。另一方面，分別通過方向性結(jié)合器H2、H3、H4，接收器R2、R3、R4分別接收由供給的信號透過測定對象X3并通過輸出端口2、3、4得到的透過信號。
接著，進行開關(guān)S1～S4的切換，用各接收器R1～R4對來自輸出端A的信號分別通過輸出端口2、3、4得到的各反射信號和透過信號進行接收并測定。
由此，得到向4端口器件的各端口分別輸入信號時的特性測定用的數(shù)據(jù)的工序結(jié)束，根據(jù)這種得到的數(shù)據(jù)在網(wǎng)絡(luò)分析器中進行特性的分析。
因此，在這種多端口網(wǎng)絡(luò)分析器中，也能進行4端口器件的特性測定，同時也能進行2端口的特性測定，在2端口器件的特性測定中，能同時測定2個測定對象。
下面，對其它的實施形態(tài)進行說明。
(1)如圖3所示，將對信號進行3分配的功率分開器PS，連接到具有6數(shù)據(jù)取樣的6端口的多端口網(wǎng)絡(luò)分析器的單一信號源0，分別將循環(huán)器C1～C3、開關(guān)S1～S6、終端器(衰減器)T1～T6分別連接到功率分開器PS的各輸出，同時測定2端口的3個試料。
由此，在用6端口的多端口網(wǎng)絡(luò)分析器測定2端口的器件時，因能同時測定3個器件，所以與僅測定單個器件的場合相比，處理能力提高3倍以上。因此，用來自作為功率分開器PS的各供給端口的輸出端A、B、C的各信號進行2次取樣，測定結(jié)束。也就是說，即使是6端口也不必進行6次取樣。
(2)雖然未圖示，將2分開的功率分開器PS，連接到具有6數(shù)據(jù)取樣的6端口時多端口網(wǎng)絡(luò)分析器的單一信號源0，分別將2個循環(huán)器C1、C2、6個開關(guān)S1～S6、6個終端器T1～T6分別連接到功率分開器PS的各輸出，同時測定不平衡3端口的試料。
由此，在用6端口的多端口網(wǎng)絡(luò)分析器測定3端口的器件時，因能同時測定2個器件，所以與僅測定單個器件的場合相比，處理能力提高2倍以上。因此，用將信號分別提供給各器件的3個端口的3次取樣，測定結(jié)束。也就是說，即使是6端口也不必進行6次取樣。
(3)即使在具有比6端口多的輸出端口的多端口網(wǎng)絡(luò)分析器中，例如假設(shè)是9端口的多端口的多端口網(wǎng)絡(luò)分析器，也能同時測定3個3端口的器件?；蛘吣芡瑫r測定4個2端口的器件。這種場合，輸出端口剩余1個。此外，能同時測定2個4端口的器件。
由此，與僅測定單個器件的場合相比，處理能力提高2倍、3倍、4倍。
(4)在使用具有6端口以上的輸出端口的多端口網(wǎng)絡(luò)分析器的場合中，測定不平衡1端口+平衡1端口的器件，代替不平衡3端口器件。因平衡1端口相當于不平衡2端口，所以測定平衡2端口器件，代替不平衡4端口器件。這種場合，測定結(jié)果的分析利用數(shù)學(xué)的平衡-不平衡變換法。
由此，具有用多端口網(wǎng)絡(luò)分析器作為能同時多個測定少數(shù)端口的測定對象的網(wǎng)絡(luò)分析器的優(yōu)點，而且利用數(shù)學(xué)的平衡-不平衡變換法，能實現(xiàn)平衡器件的測定。
(5)如圖4所示，在具有如前述實施形態(tài)所示的4個輸出端口的多端口網(wǎng)絡(luò)分析器中(在圖4中未示出)，成為能同時測定2個同一品種的測定對象DUT1、DUT2，借助于通過180°混合連接20，連接1個平衡4端口的測定對象DUT1的兩端的2個端口和輸出端口1、2，借助于通過180°混合連接21，連接另1個平衡4端口的測定對象DUT2的兩端的2個端口和輸出端口3、4，也可以將2個平衡4端口的測定對象DUT1、DUT2分別轉(zhuǎn)換成不平衡端口，同時用1臺多端口網(wǎng)絡(luò)分析器進行這種特性測定。
這種場合，信號的供給可以僅改變2個方向，用2次取樣結(jié)束，即使與不插裝180°混合連接20、21進行測定的場合比較，也能測定次數(shù)少，并能同時測定2個測定對象DUT1、DUT2，所以效率提高到4倍。
(6)在前述各實施形態(tài)中，雖然示出了以循環(huán)器作為絕緣器，但也可以用衰減器(attenuator)和隔離器代替循環(huán)器。
此外，在具有由將功率分開器連接到一方的輸出的測定對象的試料，另一方輸出中表示的信號不受影響的特性的場合，不要循環(huán)器能降低成本。雖然用衰減器代替循環(huán)器時也有提供給試料的信號衰減等的不適合，但一般地比循環(huán)器便宜，能降低成本，同時容易得到對應(yīng)于比循環(huán)器寬的帶域。隔離器與使用循環(huán)器的場合基本上相同，僅在將試料的反射波再次反射到試料側(cè)這一點上不同。
(7)圖5、圖6示出了用本發(fā)明的測定方法測定電子零部件的特性并判定其是否合格進行選擇的零部件選擇裝置的一例。
這種零部件選擇裝置包括轉(zhuǎn)盤31、多端口網(wǎng)絡(luò)分析器33和選擇機構(gòu)34。轉(zhuǎn)盤31在個別收裝保持的狀態(tài)裝載選擇對象的器件30(這種場合為芯片零部件)并能旋轉(zhuǎn)。多端口網(wǎng)絡(luò)分析器33對于該轉(zhuǎn)盤31上的器件30的端子，使測定用探針32接觸，進行特性測定。選擇機構(gòu)34根據(jù)測定結(jié)果將用該多端口網(wǎng)絡(luò)分析器33特性測定后的器件30選擇成合格品和不合格品。
設(shè)置圓盤狀的旋轉(zhuǎn)臺單元31a、固定臺31b、蓋31c、驅(qū)動裝置(未圖示)和控制裝置38，構(gòu)成轉(zhuǎn)盤31。圓盤狀的旋轉(zhuǎn)臺單元31a包括在外周部分圓周方向上以一定的間隔形成僅暫時收裝1個器件30的大小的切口部分35，固定臺31b用于載置位于裝載旋轉(zhuǎn)臺單元31a的下側(cè)收裝在切口部分35中的器件30，以便不落到下方，蓋31c覆蓋全部切口部分35上方，以便器件30不會從切口部分35跳出，驅(qū)動裝置使電動機動作，使旋轉(zhuǎn)臺單元31a旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動1個間隔或者規(guī)定的多個間隔微小角度后，重復(fù)暫時停止的動作，控制裝置用于控制這種動作。
在旋轉(zhuǎn)臺單元31a的規(guī)定旋轉(zhuǎn)相位的零部件接受位置，對于切口部分35從橫側(cè)的開口地方僅由1個加料器供給并收裝器件30。
在轉(zhuǎn)盤31中，在更靠近零部件接受位置的旋轉(zhuǎn)方向的下手側(cè)，設(shè)置進行器件30的特性測定的2個測定臺36、37。在各測定臺36、37上設(shè)置2根測定用探針32，通過穿設(shè)在固定臺31b上的上下穿通孔，在切口部分35內(nèi)上下進出自如。用控制裝置38控制各測定用探針，當旋轉(zhuǎn)臺單元31a旋轉(zhuǎn)動作時退避到下方，當旋轉(zhuǎn)臺單元31a停止時在上方突出，控制成與器件30對應(yīng)的端口接觸。并且，各測定用探針32分別連接到多端口網(wǎng)絡(luò)分析器33的對應(yīng)輸出端口1～4。
在轉(zhuǎn)盤31中，在更靠近測定臺36、37的旋轉(zhuǎn)方向的下手側(cè)，配置選擇機構(gòu)34，根據(jù)由多端口網(wǎng)絡(luò)分析器33的測定結(jié)果，將器件30選擇成合格品和不合格品。
控制裝置38包含多端口網(wǎng)絡(luò)分析器33并進行控制，以便使轉(zhuǎn)盤31每2個間隔地旋轉(zhuǎn)，對位于測定臺36、37的各器件30同時進行用前述的實施形態(tài)說明的特性測定。并且，控制裝置38根據(jù)多端口網(wǎng)絡(luò)分析器33的測定結(jié)果，用選擇機構(gòu)34選擇合格品和不合格品。這種場合，因能同時進行2個器件30的特性測定，所以這種測定的效率高，并能有效地進行其結(jié)果為合格品和不合格品的選擇。
利用這種零部件選擇裝置，則在對于4端口的器件進行特性測定，并進行例如合格品和不合格品選擇的場合，交換該單元，以便使測定臺36的測定用探針32供4根測定，或者使4根動作成僅使預(yù)先包括4根測定用探針32中的2根動作，切換成在1個測定臺36分別連接器件的4個端口和多端口網(wǎng)絡(luò)分析器33的輸出端口，切換成多端口網(wǎng)絡(luò)分析器33側(cè)也能進行4端口的器件的特性測定。這種測定，每1個間隔地進行轉(zhuǎn)盤31的送間隔。因此，這種場合，控制裝置38將轉(zhuǎn)盤31的送間隔從2個間隔切換成1個間隔。
在這種零部件選擇裝置中，因能用1臺多端口網(wǎng)絡(luò)分析器同時測定同一設(shè)計的多個器件，所以當然能成為廉價的測定能力高的零部件選擇裝置，即所謂的能對應(yīng)于僅變更測定工作臺，以便對于端口數(shù)多的器件同時測定1個器件，面向多品種小批量生產(chǎn)的設(shè)備。也就是說，因不必對每種商品準備新的設(shè)備，所以能抑制設(shè)備投資。
此外，本發(fā)明不僅能用于SAW濾波器和陶瓷電容器等的元件的特性測定，而且能用于各種電路網(wǎng)的特性測定。
采用本發(fā)明，則借助于在將1個或者多個測定對象的各端口分別連接到輸出端口的狀態(tài)，將用信號分配裝置分配來自單一信號源的信號的信號提供給其測定對象，測定其結(jié)果得到的特性，與以往一次僅測定一個少數(shù)端口的測定對象相比，改善了能增加同時測定個數(shù)的分測定效率。此外，因能通過信號分配裝置對每個測定對象供給特性測定用的信號，所以特性信號之間難于相互影響，能高精度地進行各測定對象的特性測定。
權(quán)利要求
1.一種網(wǎng)絡(luò)分析器，其特征在于，包括單一的信號源，信號分配裝置，多個分配并供給來自所述信號源的信號，輸出端口，能分別連接測定對象中的多個端口，信號路徑切換裝置，能切換兩種狀態(tài)，即輸入用所述信號分配裝置分配的信號并對于所述輸出端口中對應(yīng)的一個選擇并供給該輸入的信號的供給狀態(tài)和通過所述輸出端口將從所述測定對象得到的特性信號傳送到終端設(shè)備的傳送狀態(tài)，接收裝置，插裝在所述信號路徑切換裝置與所述輸出端口之間，接收由所述測定對象得到的特性信號。
2.如權(quán)利要求1所述的網(wǎng)絡(luò)分析器，其特征在于，包括切換裝置，自在地切換兩種狀態(tài)，即通過對于對應(yīng)于所述輸出端口連接的多個測定對象為一組的多個輸出端口中選擇的一個的所述信號路徑切換裝置分別供給用所述信號分配裝置分配的信號的供給狀態(tài)和不必用所述信號分配裝置分配來自所述信號源的信號來提供給所述各信號路徑切換裝置的狀態(tài)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的網(wǎng)絡(luò)分析器，其特征在于，在所述信號分配裝置和所述信號路徑切換裝置之間，插裝抑制從該信號路徑切換裝置側(cè)到所述信號分配裝置的反射信號的傳輸?shù)慕^緣器。
4.如權(quán)利要求1至3任一項所述的網(wǎng)絡(luò)分析器，其特征在于，與所述輸出端口連接的測定對象是具有平衡端口的器件，在該器件對應(yīng)的端口和所述輸出端口之間，插裝將平衡端口轉(zhuǎn)換成不平衡端口的裝置。
5.一種零部件選擇裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至4任一項所述的網(wǎng)絡(luò)分析器，選擇裝置，多個設(shè)置具有與所述輸出端口連接而且能與測定對象的端口接觸的探針的測定工作臺，同時構(gòu)成能切換兩種狀態(tài)、即同時測定由各測定工作臺運送的測定對象的狀態(tài)和僅測定特定的測定工作臺中的測定對象的狀態(tài)，根據(jù)所述測定的結(jié)果選擇成為測定對象的零部件。
6.一種基于網(wǎng)絡(luò)分析器的測定方法，其特征在于，包括借助于在多個分配并供給來自單一信號源的信號信號分配裝置的各供給端口和能分別連接測定對象中的多個端口的輸出端口之間，插裝信號路徑切換裝置和接收裝置的狀態(tài)，所述信號路徑切換裝置選擇多個端口中的一個并同時對于選擇的端口供給來自所述供給端口的信號，所述接收裝置接收利用該供給的信號由所述測定對象得到的特性信號，將多個所述測定對象的各端口連接到對應(yīng)的所述輸出端口，同時測定多個所述測定對象的特性。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種網(wǎng)絡(luò)分析器，包括單一的信號源O，多個分配并供給來自該信號源的信號的信號分配裝置PS，能分別連接多個測定對象X1、X2中的多個端口的輸出端口1～4，能切換輸入用所述信號分配裝置分配的信號并對于所述輸出端口中對應(yīng)的一個選擇并供給該輸入的信號的供給狀態(tài)和通過所述輸出端口將從所述測定對象得到的特性信號傳送到終端設(shè)備T1～T4的傳送狀態(tài)的信號路徑切換裝置S1～S4，以及插裝在所述信號路徑切換裝置與所述輸出端口之間，接收由所述測定對象得到的特性信號的接收裝置D1～D4。能用多端口網(wǎng)絡(luò)分析器有效地進行對于少數(shù)端口的器件的測定。
文檔編號G01R27/00GK1410777SQ0213203
公開日2003年4月16日 申請日期2002年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月7日
發(fā)明者神谷岳, 藤本力 申請人:株式會社村田制作所