專利名稱：斜板流量傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種流量傳感器，尤其涉及一種寬量程的斜板流量傳感器，適用于流體，特別是液體的流量檢測(cè)。
背景技術(shù)：
目前利用磁敏器件，特別是霍爾集成電路作流量檢測(cè)器的，如中國(guó)專利87213580U《霍爾旋渦流量檢測(cè)器》；93225150.1《霍爾渦輪流量檢測(cè)器》。前者是產(chǎn)生頻率與“卡門”渦街旋渦頻率相同的脈動(dòng)信號(hào)，后者是輸出頻率與渦輪轉(zhuǎn)速成正比的脈沖信號(hào)。在需要模擬信號(hào)的場(chǎng)合，它們必須進(jìn)行相應(yīng)的信號(hào)轉(zhuǎn)換。
美國(guó)貝爾醫(yī)療系統(tǒng)公司的《可變孔流量檢測(cè)器》，其專利申請(qǐng)?zhí)枮?8813682.1。該檢測(cè)器雖然采用了可偏轉(zhuǎn)的“舌門”來改變流道有效橫截面積，以提高流體在低流率下的靈敏度和分辨力，降低高流率下的測(cè)量阻力。但它不是直接把響應(yīng)流體流率的“舌門”偏轉(zhuǎn)量轉(zhuǎn)換成流量信號(hào)，而是把“舌門”上下游的流體壓力用導(dǎo)壓管引出，再用壓差檢測(cè)器轉(zhuǎn)換成與流量相關(guān)的壓差模擬信號(hào)，這模擬信號(hào)經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換后還要輸入微處理器，最后經(jīng)編程計(jì)算后才能輸出流量值。該檢測(cè)器之“舌門”垂直安裝在流道中，在流率大于預(yù)定值時(shí)，“舌門”需保護(hù)，否則易損壞。該具有“舌門”和“可變孔”的流量檢測(cè)器，轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)多，結(jié)構(gòu)很復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)更簡(jiǎn)單、檢測(cè)量程較寬、精度較高、線性較好、檢測(cè)阻力小、直接輸出模擬信號(hào)的斜板流量傳感器。
為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，其技術(shù)方案是
本斜板流量傳感器有一外殼；在外殼內(nèi)裝有固定的測(cè)量管，測(cè)量管中空為測(cè)量流道；測(cè)量流道內(nèi)配有測(cè)量板，測(cè)量板的上游端與傳感器上游端內(nèi)的底部活動(dòng)連接；在測(cè)量板與測(cè)量管或外殼之間裝有復(fù)位彈簧；測(cè)量板在復(fù)位彈簧和流體作用下，可繞活動(dòng)連接處偏轉(zhuǎn)，斜向關(guān)閉或開啟測(cè)量流道；測(cè)量板上裝有磁鐵，在磁鐵對(duì)應(yīng)的測(cè)量管或外殼上，固定有磁敏器件，磁敏器件處在磁鐵的有效磁場(chǎng)中。
當(dāng)流體流量為零時(shí)，流體對(duì)測(cè)量板無推力。此時(shí)測(cè)量板在復(fù)位彈簧作用下，測(cè)量板的自由端由測(cè)量流道的活動(dòng)連接這邊，即底壁處，向測(cè)量流道的對(duì)邊靠近，即向頂壁靠近，輕觸頂壁表面。這時(shí)測(cè)量板在測(cè)量管的測(cè)量流道內(nèi)的姿態(tài)形似對(duì)角線，從而斜向關(guān)閉測(cè)量流道，或促使測(cè)量流道有效橫截面最小化。此時(shí)測(cè)量板處在初始位置，偏轉(zhuǎn)量為零。
當(dāng)流體流量不為零時(shí)，流體推動(dòng)測(cè)量板克服復(fù)位彈簧力，產(chǎn)生繞活動(dòng)連接處的偏轉(zhuǎn)，開啟測(cè)量流道。流量越大，開度越大。由于測(cè)量流道有效橫截面增大，阻力隨之減小。測(cè)量板在流體推力和復(fù)位彈簧力共同作用下達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡，即測(cè)量板在某流量值下，有其確定的，也是唯一的偏轉(zhuǎn)量。
當(dāng)測(cè)量板偏轉(zhuǎn)時(shí)，帶動(dòng)其上的磁鐵隨之運(yùn)動(dòng)，以改變磁鐵與磁敏器件之間的距離，使磁敏器件所處的磁場(chǎng)發(fā)生變化，從而輸出與流體流量相關(guān)的模擬信號(hào)。
由于復(fù)位彈簧可使測(cè)量板的自由端靠近測(cè)量流道的頂壁表面，使測(cè)量流道有效截面最小，而此時(shí)的復(fù)位彈簧作用力亦最小，故很小的流體流量就可推動(dòng)測(cè)量板偏轉(zhuǎn)，使檢測(cè)低端的死區(qū)得到有效壓縮，從而使量程的下限大幅擴(kuò)展。
另一方面，由于大流量時(shí)，測(cè)量板產(chǎn)生較大偏轉(zhuǎn)，測(cè)量流道開度增大，阻力變小，測(cè)量板偏轉(zhuǎn)量對(duì)流體的響應(yīng)靈敏度逐漸下降，再加上復(fù)位彈簧作用力的逐漸增大，故測(cè)量板不易偏轉(zhuǎn)到機(jī)械止點(diǎn)，即受測(cè)量管的底壁限制。這就使檢測(cè)量程高端的飽和點(diǎn)上移，從而使檢測(cè)范圍的上限得到有效擴(kuò)展。
在斜板流量傳感器中，測(cè)量板偏轉(zhuǎn)量與流體流量的響應(yīng)曲線呈對(duì)數(shù)關(guān)系；而磁敏器件的輸出信號(hào)與測(cè)量板偏轉(zhuǎn)量之間呈指數(shù)關(guān)系。故上述兩種非線性關(guān)系可在很大程度上互相抵消，從而擬合成直線，使斜板流量傳感器的總體線性較好。
本發(fā)明具有以下技術(shù)效果1、斜板流量傳感器直接把響應(yīng)流體流量變化的測(cè)量板偏轉(zhuǎn)量，通過磁場(chǎng)耦合轉(zhuǎn)換為流量模擬信號(hào)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，環(huán)節(jié)少。
2、斜板流量傳感器的測(cè)量板在流體流量變化時(shí)，自動(dòng)改變測(cè)量流道截面，這不僅擴(kuò)大了檢測(cè)量程，還提高了小流量檢測(cè)靈敏度和分辨力，降低了大流量檢測(cè)阻力。
3、斜板流量傳感器的測(cè)量管和測(cè)量板加工容易，成本低廉，工作時(shí)幾乎無磨損，使用壽命長(zhǎng)。
4、當(dāng)流量超過斜板流量傳感器的額定值數(shù)倍時(shí)，測(cè)量板順流貼靠在測(cè)量流道底壁上，不會(huì)受力損壞。


圖1是本發(fā)明的一種基本結(jié)構(gòu)剖視圖。
圖2是本發(fā)明的一種倒置結(jié)構(gòu)剖視圖。
圖3是未畫出外殼的測(cè)量管上有泄流減壓缺口的一種結(jié)構(gòu)圖。
圖4是未畫出外殼的測(cè)量管下游端裝有阻流增壓板的一種結(jié)構(gòu)圖。
圖5是本發(fā)明測(cè)量管與外殼連為一整體的一種結(jié)構(gòu)圖。
圖6是圖1中測(cè)量管的主視圖。
圖7是圖6的A-A剖視圖。
圖8是圖1中的一種長(zhǎng)方形測(cè)量板主視圖。
圖9是圖1中的一種等腰梯形測(cè)量板主視圖。
圖10是圖3中的一種長(zhǎng)方形測(cè)量板主視圖。
圖11是一種圓頭測(cè)量板主視圖。
圖12是具有正方形測(cè)量流道的一種測(cè)量管端面圖。
圖13是具有等腰梯形測(cè)量流道的一種測(cè)量管端面圖。
圖14是圖3中局部具有圓弧頂壁的測(cè)量管左視圖。
圖15是使輸出特性曲線后半部上拉的一種阻流增壓板主視圖。
圖16是使輸出特性曲線前半部上拉的一種阻流增壓板主視圖。
圖17是使輸出特性曲線兩端都上拉的一種阻流增壓板主視圖。
圖18是使整個(gè)輸出特性曲線變陡的一種阻流增壓板主視圖。
圖19是本發(fā)明的一種電路圖。
在圖1至圖18中，各部名稱如下1-外殼2-測(cè)量管3-測(cè)量流道4-測(cè)量板 5-鉸鏈軸6-彈簧座7-復(fù)位彈簧8-磁鐵 9-磁敏器件10-磁鐵通道 11-彈簧通孔 12-彈簧調(diào)節(jié)螺絲13-阻流增壓板 14-元件槽 15-電路板16-熱敏元件 17-泄流減壓缺口 18-圓弧形頂壁19-擋渣條 20-彈簧座 21-節(jié)流孔22-定位槽 23-密閉空腔 24-外殼與測(cè)量管連體結(jié)構(gòu)
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖給出的實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
實(shí)施例1參見圖1～圖14。
本斜板流量傳感器包括外殼1。在外殼1內(nèi)裝有固定的測(cè)量管2，測(cè)量管2中空為測(cè)量流道3。測(cè)量流道3內(nèi)配有測(cè)量板4，測(cè)量板4的上游端在斜板流量傳感器內(nèi)的上游端底部處，用鉸鏈軸5在測(cè)量管2的底壁上或側(cè)壁上或外殼1上活動(dòng)連接。在測(cè)量板4與測(cè)量管2或外殼1之間裝有復(fù)位彈簧7。復(fù)位彈簧7可以是測(cè)量板4腹側(cè)的壓簧或背側(cè)的拉簧，也可以是測(cè)量板4活動(dòng)連接處的扭簧等結(jié)構(gòu)形式，其中以壓簧形式最好，故以下實(shí)例均以壓簧形式加以描述。測(cè)量板4在復(fù)位彈簧7和流體作用下，可繞鉸鏈軸5偏轉(zhuǎn)，斜向關(guān)閉或開啟測(cè)量流道3。測(cè)量板4上裝有磁鐵8，磁鐵8可選用合金材料鋁鐵鈷制成，但選用稀土永磁材料，如釤鈷、釹鐵硼、稀土鈷等，則性能更好。在磁鐵8對(duì)應(yīng)的測(cè)量管2或外殼1上，固定有磁敏器件9，磁敏器件9處在磁鐵8的有效磁場(chǎng)中。磁敏器件9雖有多種選擇，但選用霍爾線性集成電路或霍爾元件較好，這可很方便地直接輸出模擬信號(hào)。在需要數(shù)字信號(hào)的場(chǎng)合，增加一級(jí)A/D轉(zhuǎn)換即可。
測(cè)量管2內(nèi)的測(cè)量流道3的橫截面，根據(jù)需要可為正方形或長(zhǎng)方形或等腰梯形或局部呈圓弧形或其組合形結(jié)構(gòu)。測(cè)量流道3沿流向?yàn)榈冉孛婊蜃兘孛娼Y(jié)構(gòu)。在測(cè)量管2的底壁上，除了上述鉸鏈軸5外，可有與鉸鏈軸5靠近且平行的擋渣條19；和\或有讓測(cè)量板4上的磁鐵8靠近磁敏器件9的磁鐵通道10；和\或有與復(fù)位彈簧7對(duì)應(yīng)的彈簧通孔11，或彈簧座20，或彈簧調(diào)節(jié)螺絲12(見圖3)，或在復(fù)位彈簧7對(duì)應(yīng)的外殼1上，有彈簧座或彈簧調(diào)節(jié)螺絲12(見圖2)。
測(cè)量板4在測(cè)量流道3內(nèi)，是感受流體流量變化的直接受體，同時(shí)也是將位移信號(hào)進(jìn)行非接觸傳遞的磁鐵8的運(yùn)動(dòng)截體。測(cè)量板4的形狀和尺寸須與測(cè)量流道3配合，其基本形狀為長(zhǎng)方形，或等腰梯形，或圓頭形，或其組合形的板狀結(jié)構(gòu)。在測(cè)量板4上，除了鉸鏈軸5和磁鐵8外，還有安裝復(fù)位彈簧7的彈簧座6或彈簧調(diào)節(jié)螺絲。
磁鐵8在測(cè)量板4上的位置，可根據(jù)與磁敏器件9之間的合理距離來確定。一般地，在小口徑測(cè)量流道中，磁鐵8與磁敏器件9的距離不會(huì)太大，且行程較小，故磁鐵8應(yīng)靠近測(cè)量板4的自由端安裝。在大口徑測(cè)量流道中，為避免磁鐵8距磁敏器件9太遠(yuǎn)，故磁鐵8應(yīng)靠近測(cè)量板4的鉸鏈軸5安裝。
當(dāng)流體在測(cè)量流道3中推動(dòng)測(cè)量板4發(fā)生偏轉(zhuǎn)時(shí)，磁敏器件9即檢測(cè)磁場(chǎng)變化，輸出與流體流量相關(guān)的電信號(hào)。對(duì)模擬電壓信號(hào)而言，利用圖19的基本電路，即可完成對(duì)信號(hào)電壓的放大，以及零位和量程的調(diào)整。在圖19中，HL是霍爾線性集成電路，IC是運(yùn)算放大器，W1和W2分別調(diào)節(jié)斜板流量傳感器的零位和量程。
實(shí)施例2參見圖2～圖4，圖15～圖18。
以上對(duì)本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)和應(yīng)用實(shí)例進(jìn)行了描述。但要求是多樣化的。更進(jìn)一步，為了得到特定的輸出特性曲線，或在大范圍內(nèi)得到非常好的線性特性，人們?nèi)栽诓粩嗟靥剿?。盡管已對(duì)多臺(tái)未進(jìn)行輸出特性修正或補(bǔ)償?shù)谋拘卑辶髁總鞲衅鳂悠愤M(jìn)行了實(shí)測(cè)，其精度和線性度均已達(dá)到實(shí)用水平，可滿足大多數(shù)應(yīng)用場(chǎng)合的要求。但我們?nèi)钥稍诖嘶A(chǔ)上增加專門的特性修正或補(bǔ)償措施，來滿足一些領(lǐng)域?qū)敵鎏匦郧€的更高的特殊要求。
若在某流量值下，測(cè)量板4有一原始的偏轉(zhuǎn)量，則傳感器有一原始的輸出電壓值。此處的“原始”意指未修正前的數(shù)值。若此時(shí)輸出電壓偏高，則可根據(jù)測(cè)量板4自由端在測(cè)量流道3中停留的位置，在測(cè)量管2下游處的兩側(cè)壁上，加工出泄流減壓通道或缺口17(見圖3)，即可增大泄流截面，減小流體對(duì)測(cè)量板4的作用力，從而減小偏轉(zhuǎn)量，降低輸出電壓值。在不同的位置上泄流減壓，即可對(duì)原始的輸出特性曲線上的不同部位進(jìn)行下拉，以達(dá)修正或補(bǔ)償之目的。
相反地，若此時(shí)輸出電壓偏低，則在測(cè)量管2下游端面處，靠近測(cè)量板4的自由端，安裝一阻流增壓板13，則增大流體對(duì)測(cè)量板4的作用力，增加偏轉(zhuǎn)量，提高輸出電壓值。在不同的位置上阻流增壓，即可對(duì)原始的輸出特性曲線上的不同部位進(jìn)行上拉，以達(dá)修正或補(bǔ)償之目的。
這樣，從零流量開始到最大流量逐點(diǎn)調(diào)校，便可得到特定的特性曲線或線性度非常好的直線。在實(shí)際操作中，一般不必同時(shí)采用泄流減壓和阻流增壓兩種措施，如配合電路增益的調(diào)整，選擇其中一種便可得到滿意的效果。
一般地，這種特性曲線的微調(diào)可經(jīng)實(shí)驗(yàn)統(tǒng)計(jì)和分析后預(yù)制成型，如制成圖15～圖18所示的各種阻流增壓板13。阻流增壓板13的中間有節(jié)流孔21，節(jié)流孔21的有效流通截面小于測(cè)量流道3的有效流通截面，如圖中涂黑部分。小得越多，阻流增壓作用越明顯。阻流增壓板13緊靠測(cè)量管2的下游端面安裝。阻流增壓板13的上游端面與測(cè)量管2的下游端面配合，局部或全部作成圓弧曲面，使其靠近測(cè)量板4的自由端，以提高對(duì)輸出特性曲線局部修正的針對(duì)性。
阻流增壓板13上有定位槽口22，以防該板錯(cuò)位。在圖15～圖18中。正方形為測(cè)量管2的測(cè)量流道3的形狀，多邊形或曲面形是阻流增壓板13的節(jié)流孔21的形狀。以上4圖對(duì)輸出特性曲線的示意效果分別是圖15使曲線后半部上拉；圖16使曲線前半部上拉；圖17使曲線首尾均上拉；圖18使整個(gè)特性曲線變陡，即提高整體靈敏度。
實(shí)施例3當(dāng)本斜板流量傳感器倒置安裝時(shí)，如圖2所示，即測(cè)量板4的活動(dòng)連接處在測(cè)量流道3的上方。由于測(cè)量板4、復(fù)位彈簧7和磁鐵8的重力，將造成檢測(cè)低端的死區(qū)。為解決死區(qū)問題，可在測(cè)量板4內(nèi)作成若干密閉空腔23，或在測(cè)量板4與測(cè)量管2或外殼1之間裝設(shè)平衡彈簧，使測(cè)量板4在流體介質(zhì)中呈懸浮或準(zhǔn)懸浮狀態(tài)，達(dá)到消除低端死區(qū)的目的。鑒于上述，此測(cè)量板4應(yīng)選用密度較小的塑料，如密度為1.04～1.05的ABS塑料制作。另外，測(cè)量板4依靠密封空腔23懸浮的倒置式斜板流量傳感器不適宜作氣體流量檢測(cè)。
實(shí)施例4本斜板流量傳感器由機(jī)械結(jié)構(gòu)和電子元件構(gòu)成。電子元件和電路板15位于元件槽14或元件盒內(nèi)(見圖2)。
本斜板流量傳感器由于機(jī)械結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單，部件很少，受力很小，工作時(shí)幾乎無磨損，故突發(fā)故障的機(jī)率較小。但電子元件偶發(fā)故障不易預(yù)測(cè)和防范。為提高本發(fā)明的可靠性，減少停機(jī)檢修次數(shù)，本發(fā)明在同一臺(tái)斜板流量傳感器中，除安裝一套磁鐵8和磁敏器件9以及相關(guān)電路的基本配置外，還可增裝數(shù)套磁鐵8和磁敏器件9以及相關(guān)電路，以提供多套備份來大幅提高可靠性。在電子元件發(fā)生故障時(shí)，只需換接一個(gè)插頭或接線板，投入備份電路即可。由于霍爾線性集成電路等磁敏器件9和相關(guān)電路的體積均很小，且廉價(jià)，磁鐵8又可共用，故增加備份很方便。在圖4和圖5的結(jié)構(gòu)中，就安裝了兩套或四套霍爾元件9。
實(shí)施例5參見圖2。在外殼1內(nèi)或外殼1上安裝熱敏元件16，以檢測(cè)流體溫度。
實(shí)施例6參見圖2。在外殼1上有與外殼1連為一體的元件槽14或裝在外殼1上的元件盒或元件蓋，其內(nèi)裝有電子元件和電路板15。從電路板15上引出可與外部電路連接的導(dǎo)線和接插件。
實(shí)施例7參見圖5。本斜板流量傳感器可把斜板流量傳感器的外殼1與外殼1內(nèi)的測(cè)量管2作成連體結(jié)構(gòu)24。
實(shí)施例8本斜板流量傳感器的測(cè)量管2和測(cè)量板4用塑料制成；外殼1全部或僅在磁場(chǎng)通道的局部用非鐵磁材料，如塑料、黃銅、鋁合金或無磁性的不銹鋼制成。外殼1局部采用非鐵磁材料的示例見圖5。
權(quán)利要求
1.一種斜板流量傳感器，包括外殼；其特征在于外殼內(nèi)裝有固定的測(cè)量管，測(cè)量管中空為測(cè)量流道；測(cè)量流道內(nèi)配有測(cè)量板，測(cè)量板的上游端與傳感器內(nèi)的上游端底部活動(dòng)連接；在測(cè)量板與測(cè)量管或外殼之間裝有復(fù)位彈簧；測(cè)量板在復(fù)位彈簧和流體作用下，可繞活動(dòng)連接處偏轉(zhuǎn)，斜向關(guān)閉或開啟測(cè)量流道；測(cè)量板上裝有磁鐵，在磁鐵對(duì)應(yīng)的測(cè)量管或外殼上，固定有磁敏器件，磁敏器件處在磁鐵的有效磁場(chǎng)中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜板流量傳感器，其特征在于測(cè)量管的測(cè)量流道的橫截面為正方形或長(zhǎng)方形或等腰梯形或局部呈圓弧形或其組合形結(jié)構(gòu)；測(cè)量流道沿流向?yàn)榈冉孛婊蜃兘孛娼Y(jié)構(gòu)；在測(cè)量管的底壁上，可有與鉸鏈軸靠近且平行的擋渣條；和\或有讓測(cè)量板上的磁鐵靠近磁敏器件的磁鐵通道；和\或有與復(fù)位彈簧對(duì)應(yīng)的彈簧通孔，或彈簧座，或彈簧調(diào)節(jié)螺絲。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜板流量傳感器，其特征在于測(cè)量管下游處的兩側(cè)壁上，有泄流減壓通道或缺口；和/或在測(cè)量管下游端面處，靠近測(cè)量板的自由端，安裝阻流增壓板；該板中間有節(jié)流孔，節(jié)流孔的有效流通截面小于測(cè)量流道的有效流通截面；阻流增壓板的上游端面與測(cè)量管的下游端面配合，局部或全部為圓弧曲面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜板流量傳感器，其特征在于測(cè)量板為長(zhǎng)方形或等腰梯形或圓頭形或其組合形的板狀結(jié)構(gòu)；測(cè)量板上有復(fù)位彈簧的彈簧座或彈簧調(diào)節(jié)螺絲；測(cè)量板的上游端在傳感器內(nèi)的上游端底部處，用鉸鏈軸在測(cè)量管的底壁上或側(cè)壁上或外殼上活動(dòng)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜板流量傳感器，其特征在于測(cè)量板內(nèi)有密閉空腔；或在測(cè)量板與測(cè)量管或外殼之間裝有平衡彈簧。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜板流量傳感器，其特征在于在復(fù)位彈簧對(duì)應(yīng)的外殼上，有彈簧座或彈簧調(diào)節(jié)螺絲；和/或在外殼內(nèi)或外殼上裝有熱敏元件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜板流量傳感器，其特征在于外殼上有與外殼連為一體的元件槽或安裝在外殼上的元件盒或元件蓋，其內(nèi)裝有電子元件和電路板。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜板流量傳感器，其特征在于磁敏器件為霍爾線性集成電路或霍爾元件；在同一臺(tái)斜板流量傳感器中，裝有一套或數(shù)套磁鐵和磁敏器件，其中磁鐵可共用。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜板流量傳感器，其特征在于斜板流量傳感器的外殼與外殼內(nèi)的測(cè)量管連為一體。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜板流量傳感器，其特征在于測(cè)量管和測(cè)量板用塑料制成；外殼全部或僅在磁場(chǎng)通道的局部用非鐵磁材料制成。
全文摘要
本斜板流量傳感器適于流體流量檢測(cè)。該傳感器在外殼內(nèi)固定測(cè)量管,測(cè)量管中空為測(cè)量流道;測(cè)量流道內(nèi)配有測(cè)量板,測(cè)量板與測(cè)量管在上游端底部活動(dòng)連接;測(cè)量板與測(cè)量管之間有復(fù)位彈簧;測(cè)量板在復(fù)位彈簧和流體作用下,斜向關(guān)閉或開啟測(cè)量流道;測(cè)量板上有磁鐵,在磁鐵對(duì)應(yīng)的外殼上,固定磁敏器件。當(dāng)流體推動(dòng)測(cè)量板偏轉(zhuǎn)時(shí),磁敏器件即檢測(cè)磁場(chǎng)變化,輸出流量信號(hào)。本傳感器小流量檢測(cè)精度高,大流量檢測(cè)阻力低,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,壽命長(zhǎng)。
文檔編號(hào)G01F1/22GK1338618SQ0112891
公開日2002年3月6日 申請(qǐng)日期2001年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月26日
發(fā)明者談良知 申請(qǐng)人:談良知