專利名稱：生物機－電芯片及應用的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種生物芯片及其應用，具體是關于制作帶有懸臂梁的生物機—電芯片，在芯片上利用懸臂梁技術進行生化反應的結果檢測；更明確的說，是關于在生物芯片中利用懸臂梁技術，對生物化學中親和結合反應的結果進行快速的檢測。
生物芯片這個名詞出現已經有十幾年了，但是在早期，生物芯片多指用于研究生物計算機而開發(fā)的技術，作為目前研究很熱門的生物芯片技術，其研究最早始于80年代中期的歐洲，但其迅猛發(fā)展是在1991年美國硅谷的Affymax公司宣布開始生物芯片的研制以后。隨著1991年Affymax公司的研究人員報道了利用光刻技術與光化學合成技術相結合制作出的檢測多肽和寡聚核苷酸的微陣列(Microarray)芯片研究成果以及1992年從Affymax派生出來的世界上第一家專門生產生物芯片的公司Affymetrix宣告成立，近幾年來有上百家的生物芯片公司成立，不但有很多現成的技術被應用于生物芯片領域，同時也開發(fā)出很多新的技術。但是，不管是哪種生物芯片，都離不開檢測這一步驟。由于一般情況下在生物芯片上進行的生化反應所需的樣品都比較少，所以，對檢測設備的靈敏度相對要求就高。針對于不同的生物芯片以及分析對象的不同，各個公司和研究機構開發(fā)出了多種檢測技術，如熒光檢測、飛行時間質譜儀、光波導、二極管陣列檢測、直接電量變化檢測等。例如，美國Sequenom公司采用光敏聯接技術，將探針通過光敏基團聯接在芯片上。當雜交結束后，利用激光切割釋放寡聚核苷酸并用飛行時間質譜儀進行檢測。由于光學檢測方法在生物、化學等領域被廣泛采用，所以目前大多數的生物芯片系統(tǒng)都采用光學的方法來檢測，特別是目前應用的最廣泛的微陣列芯片基本上都是采用熒光來檢測。光學檢測有它的優(yōu)點如檢測靈敏度高，重復性好等，但是一般而言，光學系統(tǒng)都比較復雜，需要有相應的光源、驅動及一系列鏡頭與檢測設備，且對環(huán)境要求比較苛刻。隨著生物芯片技術的發(fā)展，生物芯片技術的用途也日漸廣泛，研究人員也開始研發(fā)便攜式的生物芯片系統(tǒng)，同時也希望生物芯片的檢測系統(tǒng)能盡量簡單。
本發(fā)明的目的在于提供一種能方便快速地檢測反應結果的生物芯片，由該種生物芯片組成的生物芯片系統(tǒng)可以對多種生物樣品進行檢測并具有高效、廉價、檢測結果可靠等特點。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種方便快速地對生物樣品進行檢測的方法，該檢測方法效率高，檢測結果可靠。
為實現上述目的，本發(fā)明的技術方案如下本發(fā)明提出了一種生物機—電芯片，該生物芯片上含有多個懸臂梁單元，懸臂梁上設置有能感應懸臂梁之形變的感應器件，該感應器件輸出反映懸臂梁形變大小的信號。當在每個懸臂梁上進行生化反應時，反應的結果表現為懸臂梁的形變大小，該形變大小通過感應懸臂梁形變的器件轉化為可測量的信號輸出，通過檢測這些信號可以得知在懸臂梁上發(fā)生生化反應的結果。
由于懸臂梁結構在微機電系統(tǒng)中已有應用，如制作微型加速度傳感器、原子力顯微鏡的探針等等，所以對懸臂梁微量形變的檢測技術是比較成熟的，該領域內的技術人員可以容易地設計并采用合適的檢測儀器來測量懸臂梁微量形變。在實施中，懸臂梁單元的尺寸可以從1平方微米至1平方厘米。
在本發(fā)明之生物芯片的懸臂梁表面上可設置有用于固定生物分子或生物顆粒的功能層。
在這里所述的生物分子或生物顆?？梢允?、但不僅僅限于分子(如cDNA、寡核苷酸、抗體、抗原、酶、肽、糖等等)、分子復合物(如核酸—蛋白質復合物、糖—蛋白質復合物、核酸—酯復合物等等)、病毒(如噬菌體、真核病毒等)、以及細胞、組織等等。
感應懸臂梁形變的器件可采用多種不同的器件，而根據該設置在懸臂梁上之感應器件的工作原理不同，所輸出的信號類型也不同。如果器件可以感應懸臂梁形變后電阻值的改變，則可以輸出電信號反映懸臂梁形變的大??；如果器件通過光學的方法反映懸臂梁的微小形變，則輸出的信號可以是光信號。
而對于這種由感應器件直接輸出的信號的檢測，檢測結果可靠，檢測速度快，檢測手段也比較簡單，不僅簡化了生物芯片在反應后的信號檢測部件，降低了其成本，而且大大簡化了整個生物芯片系統(tǒng)，提高了檢測的效率，并適于系統(tǒng)的縮微化。
本發(fā)明中所述的感應器件可設置在懸臂梁的根部。例如，在懸臂梁的根部加工有能感應懸臂梁形變的器件，如壓阻片等。當懸臂梁發(fā)生形變時，壓阻片的電阻值發(fā)生變化，產生相應的電信號以供檢測。
在本發(fā)明優(yōu)選的實施例中，在所述的懸臂梁的根部可設置有用于誤差補償的器件，例如將器件集成在懸臂梁的根部；在本發(fā)明之生物芯片上可集成有用于溫度補償的器件。
在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，所述的感應器件和用于誤差補償的器件均可采用壓阻片，壓阻片與一恒流源相連。
本發(fā)明又提出了一種利用上述之生物芯片對生物樣品進行檢測的方法，該檢測方法包括以下步驟(1)將不同種的生物分子或生物顆粒固定在該生物芯片上不同的懸臂梁表面上；(2)取待檢測生物樣品，使之與生物芯片上懸臂梁表面的生物分子或生物顆粒發(fā)生生化反應；(3)反應結束后，對生物芯片做嚴格度可以控制的清洗；
(4)讀取能感應懸臂梁形變的器件輸出之信號，以確定生化反應的發(fā)生與否及其程度，從而鑒定出待測生物樣品中所含有的組成成分及其數量。
本發(fā)明的這種檢測方法通過讀取能感應懸臂梁形變的器件輸出之信號以確定檢測結果，其檢測結果可靠性高，檢測速度快，檢測手段也比較簡單，提高了檢測的效率，并大大簡化了整個生物芯片系統(tǒng)及降低其成本。
以下結合附圖對本發(fā)明優(yōu)選實施例的詳細描述，以進一步說明本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點。


圖1為本發(fā)明所述的生物機—電芯片之實施例的結構示意圖；圖2為本發(fā)明所述的生物機—電芯片上單個懸臂梁之實施例的微觀結構示意圖；圖3為本發(fā)明所述的生物機—電芯片之實施例工作原理示意圖；圖4為本發(fā)明之實施例中用于測量懸臂梁之形變的電路圖。
圖1為本發(fā)明所述的生物機—電芯片的結構示意圖。這里展示的是通過微加工得到的一個硅基生物機—電芯片的微觀結構示意圖。圖1(A)是硅基生物機—電芯片上單個懸臂梁單元的微觀結構俯視圖。圖中1是懸臂梁，2是加工在懸臂梁根部的壓阻片，用于檢測懸臂梁的形變。圖1(B)是硅基生物機—電芯片上相臨兩個測試單元的微觀結構示意圖，顯示了懸臂梁上形變檢測器的連線方式，3為焊盤，用于芯片與外部電路之間的連接。圖1(C)是封裝好的硅基生物機—電芯片的結構示意圖。在這個特選實施例中，硅基生物機—電芯片上的懸臂梁厚度為20μm，前端平臺的大小為140μm×140μm，在硅基生物機—電芯片懸臂梁上修飾功能層，該功能層是用于探針分子的固定化。
在本發(fā)明的實施例中，在本發(fā)明之生物芯片上固定生物分子或生物顆粒之前，可根據需固定之生物分子或生物顆粒的類別，在懸臂梁表面設置用于固定該生物分子或生物顆粒之相應的功能層。功能層有多種，例如，功能層可以是如下薄層(但不限于此)單分子層、膜層、膠層、多孔或無孔的材料層。功能層也可以是生長在硅基生物機—電芯片懸臂梁上的一層附屬層(通過微加工方法得到)。另外，功能層也可以通過直接對硅基生物機—電芯片懸臂梁表面分子進行化學修飾而形成。理想狀態(tài)下，除了探針分子外，功能層不與其它分子發(fā)生非特異性結合，并且與探針分子的特異結合是高效的。具體地說，功能層可以為親水單分子層或疏水單分子層、親水或疏水薄膜、親水或疏水凝膠層、聚合物層、多孔或無孔材料和/或者這些材料的組合。還可以在這些功能層表面再修飾上可以和待固定的生物分子或是生物顆粒結合的功能團。單分子層膜是指單分子層(如Langmuir-Blodgett膜)。為固定核酸探針，可以使用在Southern blot和Northern blot所用的結合材料如硝化纖維或尼龍。蛋白和多肽可以通過各種物理或化學手段來結合(例如疏水)。例如，為了結合蛋白或多肽探針分子可以將特定的受體如抗體或外源凝集素加到功能層上。根據目標分子及在編碼器上所要進行的反應和分析，可以將不同的分子加到功能層上。這些為固定探針分子而加到功能層上的分子稱為功能團。功能團可以是(但不局限于)乙醛、二亞胺碳、琥珀酰亞胺酯、抗體、受體及外源凝集素等。這些功能團還包括通過對硅基生物機—電芯片懸臂梁表面進行化學修飾而形成的化學團或分子位點。探針是一種常用于生物芯片上的生物分子或生物顆粒，可固定在懸臂梁表面的功能層上。所作的化學修飾方法與所要固定探針相對應。
圖2是單個懸臂梁單元的微觀結構側視圖。在懸臂梁的根部，集成兩組壓阻片，每組有兩個，一組是用于測量懸臂梁的形變量的壓阻片4，另外一組是用于誤差補償的壓阻片5；這四個壓阻片均與一恒流源I相連；故在芯片使用前接通恒流源，測量壓阻片的兩端將有V0＝IR0的電壓信號輸出。當該硅基生物機—電芯片進行實驗后，再次測量壓阻片的兩端將有V＝IR的電壓信號輸出，比較實驗前和實驗后壓阻片兩端電壓信號V0和V之間的差別，如果ΔV＝V-V0為零，說明實驗前后懸臂梁的形變沒有發(fā)生變化，如果ΔV不為零，說明實驗前后懸臂梁發(fā)生形變，也就意味著固定在懸臂梁表面的探針發(fā)生了親和反應。這樣通過直接的電信號檢測可以定性地得到實驗結果，進一步對懸臂梁的形變與懸臂梁上的生物探針以及探針所結合的生物分子的量之間的關系做細致的分析，也可以做到定量的測定實驗結果。
使用本發(fā)明之生物機—電芯片時，將不同種的探針先固定在已加工好的的生物機—電芯片上的不同的懸臂梁表面上，一種探針固定在一個懸臂梁上。探針的種類可以是cDNA、寡核苷酸、抗體或抗原、受體、酶、多肽、寡糖、多糖以及細胞、組織等。這些探針可以與待檢測樣品中與之對應的生物分子進行親和結合反應，反應結束后，發(fā)生親和結合反應的懸臂梁由于其上所附著的生物分子增多，其形變將變大，這樣，通過外部的檢測系統(tǒng)可以檢測到這種形變的方法，也就確定了生化反應的發(fā)生，從而鑒定出待檢測樣品中所含有的未知成分。另外，按照本發(fā)明優(yōu)選實施例方案的生物機—電芯片上的懸臂梁單元，在其根部還加工有用于誤差補償和溫度補償的器件。
本發(fā)明所提供的實施例中所述的生物機—電芯片，其制作工藝可采用目前基本上已比較成熟的微加工技術。該領域內的技術人員可以容易地根據芯片的具體結構設計并采用合適的加工工藝來加工生物機—電芯片。
圖3為本發(fā)明所述的生物機—電芯片工作原理示意圖。生物機—電芯片可用于生化反應中親和結合反應(如抗體-抗原結合、核酸雜交等)的檢測。以免疫檢測為例，制備用于免疫檢測的生物機—電芯片應先在懸臂梁的平臺上固化特定的抗體6，此時，懸臂梁有一形變Δδ1(如圖3(A)所示)，對應壓阻片的電阻變化為ΔR1，在外加恒定電流I的情況下，可以檢測到壓阻片兩端有電壓信號V1＝I×(R0+ΔR1)＝V0+ΔV1；當進行免疫檢測時，若所加入的未知生物樣品中的含有與平臺上抗體可以特定結合的抗原7，則會產生抗體與抗原的特定結合，經過嚴格度清洗后，去除樣品中其他的物質，有發(fā)生抗體抗原親和結合反應的懸臂梁產生的形變?yōu)棣う模溅う?+Δδ2(如圖3(B)所示，Δδ2代表親合上的抗體所導致的形變量)，對應壓阻片的電阻變化為ΔR＝ΔR1+ΔR2，通以恒定電流I，檢測壓阻片兩端的電壓V＝I×(R0+ΔR)＝V0+ΔV1+ΔV2；與反應前做比較有ΔV＝ΔV2的差別，由此可以判定未知生物樣品中有與懸臂梁上固體的抗體相對應的特定的抗原存在。由于懸臂梁的尺寸很小，所在在一塊芯片上可以加工出多個懸臂梁，形成陣列，每個懸臂梁上放置不同的抗體，這樣在一次實驗中可以檢測樣品的多個指標，達到并行處理的目的。
對于檢測的靈敏度問題，可有多種方法提高其靈敏度。
方法一在制備待測生物樣品時，可將待測樣品與基本上不影響其和生物分子或生物顆粒親和結合反應程度的珠體結合，從而可通過珠體的重量增大懸臂梁的形變。
在實施例中，在制備樣品時，可以通過特定的結合方法(化學反應或非特異性親和結合)讓未知生物樣品中所含有的抗原與不影響抗體—抗原反應發(fā)生的小珠體8結合，這樣，在發(fā)生抗體抗原親和結合并經過清洗后，該小珠體仍然留在懸臂梁上，它將引入Δδ3的形變量，使得反應前后電壓信號的差別增大為ΔV＝ΔV2+ΔV3(見圖3(C))；進一步，對生物樣品檢測時，在該生物芯片的適當位置可放置一個可與珠體發(fā)生相互作用的珠體作用器件，以增大懸臂梁的形變程度。該珠體作用器件通過可以對珠體施加電場、磁場等類型的作用力以增大懸臂梁的形變程度。
例如，若小珠體為磁性珠體9，則在檢測時可以在芯片下方放置一磁鐵，這樣將珠體將受到磁鐵的吸引，使得懸臂梁的形變增大，即磁鐵的存在將引入Δδ4的形變量，反應前后電壓信號的差別增大為ΔV＝ΔV2+ΔV3+ΔV4；更加便于檢測(見圖3(D))。
方法二利用這種珠體和珠體作用器件，本發(fā)明可提出另一種生物樣品檢測方法以提高檢測靈敏度，該方法包括以下步驟(1)將該生物芯片豎起來，使芯片的懸臂梁豎置而無形變；(2)在制備待測生物樣品時，將待測生物樣品與基本上不影響其與生物分子或生物顆粒親和結合反應程度的珠體結合；(3)取待檢測生物樣品，使之與生物芯片上懸臂梁表面的生物分子或生物顆粒發(fā)生生化反應；(4)生化反應完成后，對生物芯片做嚴格度可以控制的清洗；(5)采用可與珠體發(fā)生相互作用的珠體作用器件從側面靠近該豎置的懸臂梁，讀取能感應懸臂梁形變的器件輸出之信號，以確定生化反應的的發(fā)生與否及其程度，從而鑒定出待測生物樣品中所含有的組成成分及其數量。
在實施例中，將生物機—電芯片豎起來，即相應的芯片上的懸臂梁豎著放(如圖3(E)所示)，此時懸臂梁無形變存在，同時，利用補償壓阻片可以使壓阻片的輸出電壓為0；未知生物樣品的制備如同方法一，讓抗體與磁性珠體9相連，反應完成后讓磁鐵從側面靠近芯片，若懸臂梁上有親和結合反應產生，則在磁力的作用下，懸臂梁將有形變產生，壓阻片有電壓輸出(如圖3(F)所示)，若無親和結合反應產生，懸臂梁將沒有任何形變產生，壓阻片的輸出電壓仍為0；采用這種方法將會避免在懸臂梁上存在其它非特異性吸附帶來的影響。
在上述兩種檢測方法的具體實施中，有以下方案1、所述珠體為磁性珠體，所述的珠體作用器件為磁鐵。對生物樣品檢測時，可以在該生物芯片的適當位置放置一磁鐵，利用磁鐵與磁珠之間的相互作用，進一步增大懸臂梁的形變程度。
2、所述珠體為對介電電泳信號具有響應的珠體，例如碳珠體(carbon bead)，所述的珠體作用器件為介電電泳器件。對生物樣品檢測時，可以在該生物芯片的適當位置放置一介電電泳器件，通入介電電泳信號，利用珠體對介電電泳信號的響應，進一步增大懸臂梁的形變程度。
3、所述珠體為帶有電荷的珠體，所述的珠體作用器件為帶有適當種類和數量的電荷的電子器件。對生物樣品檢測時，可以在該生物芯片的適當位置放置一帶有適當種類和數量的電荷的電子器件，利用它與珠體之間的相互作用，進一步增大懸臂梁的形變程度。
另外，在生物機—電芯片的懸臂梁上還可以集成上溫度補償電阻，這樣可以校正溫度所帶來的誤差，使檢測結果更加準確。
關于壓阻片的電阻值測量及誤差補償方法的說明如下壓阻片隨懸臂梁變形而發(fā)生電阻變化ΔR，ΔR反映了懸臂梁的變形，這個變化量可以用四臂電橋來(惠斯頓電橋)測量。如圖4所示，采用壓阻片作為感應懸臂梁形變的感應器件，圖中R1、R2為壓阻片，R3、R4為標準電阻。對角節(jié)點A、C上接電壓為E1的直流電源，另一對角節(jié)點B、D為電橋輸出端。
根據歐姆定律可以得到ΔUBD＝E1(ΔR1-ΔR2)/4R其中ΔUBD為B、D兩點之間的電壓差，E1為直流電源的電壓，ΔR1和ΔR2為壓阻片的電阻變化量，R為壓阻片的標稱電阻值。
根據壓阻片的性質，ΔR1、ΔR2正比于實際的應變ε1和ε2。
ΔR1/R＝kε1
ΔR2/R＝kε2其中k為壓阻片的靈敏系數，R為壓阻片的標稱電阻值，ΔR1和ΔR2為壓阻片的電阻變化量，ε1和ε2為測量點的應變。
于是得到ΔUBD＝kE1(ε1-ε2)/4R實際壓阻片R1和R2分別貼在懸臂梁的根部上面和下面，當懸臂梁產生形變時，這兩處的應變大小相等，但一個受拉一個受壓，因此符號相反。
所以得到ΔUBD＝kE1ε/2R關于溫度補償方法的說明如下實測時壓阻片粘貼在懸臂梁上，若溫度發(fā)生變化，因為壓阻片的線膨脹系數與懸臂梁的并不相同，且壓阻片的電阻也隨溫度變化而改變，所以測得的應變將包含溫度變化的影響，不能真實反映懸臂梁因受生化反應導致的形變。消除溫度變化的影響可以采用了下面兩種溫度補償方法。
1、雙懸臂梁方法采用兩個懸臂梁，一個為測量懸臂梁，一個為溫度補償懸臂梁。在測量懸臂梁上固定有探針分子，而溫度補償懸臂梁上不固定探針分子。
壓阻片R1和R2分別貼在兩個懸臂梁上，可以消除溫度變化產生的誤差。
2、單懸臂梁方法采用一個懸臂梁，并且固定有探針分子。壓阻片R1和R2都貼在懸臂梁的根部附近上，但是方向相互垂直。兩個電阻應變片產生的應變分別為
ε1＝ε1P+εTε2＝ε2P+εT＝-με1P+εT其中ε1P是因載荷引起的應變，εT是因溫度引起的應變。
根據前面的公式可以得到ΔUBD＝kE1(1+μ)ε/4R這樣也同樣消除了溫度的影響。
本發(fā)明中所述的生物機—電芯片的材料可以是各種適于加工出懸臂梁結構的剛性或彈性材料如硅，塑料等。所用的微加工工藝可以是光刻、激光刻蝕、鑄模、硅橡膠鑄造、模壓、鑄造等。
本發(fā)明中所述的生物機—電芯片避開了使用光學等其它復雜的檢測手段，可以直接采用電檢測，大大簡化了整個生物芯片系統(tǒng)，適于系統(tǒng)的縮微化。
以上結合優(yōu)選實施例對根據本發(fā)明的生物機—電芯片及其應用進行了描述。本領域內的技術人員可以理解，上文中所提到的參數如數量、尺寸等均是示例性的而不應視為對本發(fā)明的限制。本發(fā)明的范圍有后附的權利要求書限定。
權利要求
1.一種生物芯片，其特征在于該生物芯片上含有多個懸臂梁單元，懸臂梁上設置有能感應懸臂梁之形變的感應器件，該感應器件輸出反映懸臂梁形變大小的信號。
2.根據權利要求1所述的生物芯片，其特征在于在懸臂梁表面上設置有用于固定生物分子或生物顆粒的功能層。
3.根據權利要求1所述的生物芯片，其特征在于所述的感應器件設置在懸臂梁的根部。
4.根據權利要求1所述的生物芯片，其特征在于在懸臂梁的根部集成有用于誤差補償的器件。
5.根據權利要求4所述的生物芯片，其特征在于在該芯片上集成有用于溫度補償的器件。
6.根據權利要求1或4所述的生物芯片，其特征在于所述的感應器件和用于誤差補償的器件均采用壓阻片，壓阻片與一恒流源相連。
7.一種利用權利要求1所述之生物芯片對生物樣品進行檢測的方法，其特征在于包括以下步驟(1)將不同種的生物分子或生物顆粒固定在該生物芯片上不同的懸臂梁表面上；(2)取待檢測生物樣品，使之與生物芯片上懸臂梁表面的生物分子或生物顆粒發(fā)生生化反應；(3)反應結束后，對生物芯片做嚴格度可以控制的清洗；(4)讀取能感應懸臂梁形變的器件輸出之信號，以確定生化反應的發(fā)生與否及其程度，從而鑒定出待測生物樣品中所含有的組成成分及其數量。
8.根據權利要求7所述的生物樣品檢測方法，其特征在于在該生物芯片上固定生物分子或生物顆粒之前，根據需固定之生物分子或生物顆粒的類別，在懸臂梁表面用于固定該生物分子或生物顆粒之相應的功能層。
9.根據權利要求7所述的生物樣品檢測方法，其特征在于在制備待測生物樣品時，將待測樣品與基本上不影響其和生物分子或生物顆粒親和結合反應程度的珠體結合。
10.根據權利要求9所述的檢測方法，其特征在于對生物樣品檢測時，在該生物芯片的適當位置放置一個可與珠體發(fā)生相互作用的珠體作用器件，以增大懸臂梁的形變程度。
11.根據權利要求7所述的生物樣品檢測方法，其特征在于包括以下步驟(1)將該生物芯片豎起來，使芯片的懸臂梁豎置而無形變；(2)在制備待測生物樣品時，將待測生物樣品與基本上不影響其與生物分子或生物顆粒親和結合反應程度的珠體結合；(3)取待檢測生物樣品，使之與生物芯片上懸臂梁表面的生物分子或生物顆粒發(fā)生生化反應；(4)生化反應完成后，對生物芯片做嚴格度可以控制的清洗；(5)采用可與珠體發(fā)生相互作用的珠體作用器件從側面靠近該豎置的懸臂梁，讀取能感應懸臂梁形變的器件輸出之信號，以確定生化反應的的發(fā)生與否及其程度，從而鑒定出待測生物樣品中所含有的組成成分及其數量。
12.根據權利要求10或11所述的檢測方法，其特征在于所述珠體為磁性珠體，所述的珠體作用器件為磁鐵。
13.根據權利要求10或11所述的檢測方法，其特征在于所述珠體為對介電電泳信號具有響應的珠體，所述的珠體作用器件為介電電泳器件。
14.根據權利要求10或11所述的檢測方法，其特征在于所述珠體為帶有電荷的珠體，所述的珠體作用器件為帶有適當種類和數量的電荷的電子器件。
全文摘要
一種生物芯片及其應用,該生物芯片上含有多個懸臂梁單元,懸臂梁上設置有能感應懸臂梁之形變的感應器件,該感應器件輸出反映懸臂梁形變大小的信號。本發(fā)明還提供一種對生物樣品進行檢測的方法,在該方法中,使待測生物樣品與固定在懸臂梁表面的生物分子或生物顆粒發(fā)生生化反應,反應及清洗后,讀取能感應懸臂梁形變的器件輸出之信號,以鑒定出生物樣品中所含有組分及數量。本發(fā)明可對生物樣品進行高效率檢測,成本低,檢測結果可靠。
文檔編號G01N27/04GK1372135SQ0111111
公開日2002年10月2日 申請日期2001年2月28日 優(yōu)先權日2001年2月28日
發(fā)明者許俊泉, 賴亞明, 朱小山, 劉理天 申請人:清華大學