專利名稱：基于事件的測試系統(tǒng)的延遲時(shí)間插入的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于測試半導(dǎo)體器件的基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，更具體地說，涉及一種基于事件數(shù)據(jù)而生成測試圖形和選通信號(hào)的方法和裝置，在這種方法和裝置中，一個(gè)延遲時(shí)間可以容易地被插入到一個(gè)特殊事件的事件數(shù)據(jù)中，而不影響其它事件。
在由一個(gè)半導(dǎo)體測試系統(tǒng)(如一個(gè)IC測試儀)測試半導(dǎo)體器件(如IC和LSI)時(shí)，由IC(集成電路)測試儀在預(yù)定測試時(shí)間點(diǎn)，在其適當(dāng)?shù)牟遽樕舷蛞粋€(gè)被測半導(dǎo)體IC器件提供測試信號(hào)或測試圖形。IC測試儀響應(yīng)測試信號(hào)，從被測IC器件接收輸出信號(hào)。以預(yù)定的定時(shí)，輸出信號(hào)通過選通信號(hào)被選通或者采樣，并且與預(yù)期數(shù)據(jù)比較，以確定IC器件功能是否完好。
傳統(tǒng)地，相對(duì)于半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的一個(gè)測試率或者測試周期，來確定測試信號(hào)和選通信號(hào)的定時(shí)。這樣的一個(gè)測試系統(tǒng)有時(shí)被稱為基于周期的測試系統(tǒng)。另一種測試系統(tǒng)被稱為基于事件的測試系統(tǒng)，其中，對(duì)于每一個(gè)插針，預(yù)期的測試信號(hào)和選通信號(hào)由來自事件存儲(chǔ)器的事件數(shù)據(jù)直接產(chǎn)生。本發(fā)明就涉及這樣一種基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)。
在一個(gè)基于事件的測試系統(tǒng)中，使用了事件的概念，就是用于測試被測半導(dǎo)體器件的信號(hào)的邏輯狀態(tài)的任何改變。例如，這樣的改變是測試信號(hào)的上升和下降邊緣，或者是選通信號(hào)的定時(shí)邊緣。事件的定時(shí)是相對(duì)于從基準(zhǔn)時(shí)間點(diǎn)開始的一個(gè)時(shí)間長度來定義的。典型地，這樣的一個(gè)基準(zhǔn)時(shí)間點(diǎn)是先前事件的定時(shí)。也可以這樣說，這樣的一個(gè)基準(zhǔn)時(shí)間點(diǎn)是一個(gè)通用于全部事件的起始時(shí)間。
在一個(gè)基于事件的測試系統(tǒng)中，因?yàn)槎〞r(shí)存儲(chǔ)器(事件存儲(chǔ)器)中的定時(shí)數(shù)據(jù)不需要在每個(gè)測試周期中都包括關(guān)于波形、向量、延遲等等的復(fù)雜信息，所以定時(shí)數(shù)據(jù)的描述可以極大地簡化。正如上面所提到的，在基于事件的測試系統(tǒng)中，典型地，儲(chǔ)存在事件存儲(chǔ)器中用于每一個(gè)事件的定時(shí)(事件)數(shù)據(jù)，是由在當(dāng)前事件和最后一個(gè)事件之間的時(shí)差來表示的。
因?yàn)檫@樣在鄰近事件(增量時(shí)間)之間的時(shí)差是很小的，不同于從固定出發(fā)點(diǎn)(絕對(duì)時(shí)間)的時(shí)差，存儲(chǔ)器中數(shù)據(jù)的大小也可以是小的，從而減少存儲(chǔ)量。
為了產(chǎn)生高分辨率的定時(shí)，在事件之間的時(shí)間長度(延遲值)是由一個(gè)基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的整數(shù)倍數(shù)和該基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的一個(gè)分?jǐn)?shù)(分?jǐn)?shù)或者事件游標(biāo)(event vernier))的組合來定義的。在事件計(jì)數(shù)和事件游標(biāo)之間的定時(shí)關(guān)系如圖3A-3E的定時(shí)圖所示。在該實(shí)例中，圖3A的基準(zhǔn)時(shí)鐘(主時(shí)鐘或者系統(tǒng)時(shí)鐘)具有一個(gè)時(shí)鐘周期(以下也稱之為“時(shí)段”或者“時(shí)間間隔”)T。事件0，事件1和事件2如圖3C所示，有定時(shí)關(guān)系。
為了參考事件0描述事件1，事件存儲(chǔ)器中定義了一個(gè)在兩個(gè)事件之間的時(shí)差(延遲)ΔV1。事件2的定時(shí)由一個(gè)離開事件1的時(shí)差(延遲)ΔV2來定義。類似的，圖3E中事件3的定時(shí)是由一個(gè)離開事件2的時(shí)差(延遲)ΔV3來定義的。在事件測試系統(tǒng)中，事件存儲(chǔ)器中的定時(shí)數(shù)據(jù)被讀出，并且合計(jì)到(summed up to)全部的先前事件上，以產(chǎn)生當(dāng)前事件的一個(gè)最終的定時(shí)。
因此，在圖3C的例子中，為了產(chǎn)生事件1，圖3B的定時(shí)關(guān)系被使用了，其中，N1T表示事件計(jì)數(shù)，它是基準(zhǔn)時(shí)鐘周期T的N1倍，Δ1T表示事件游標(biāo)，它是基準(zhǔn)時(shí)鐘周期T的一部分。類似地，在圖3E中參照事件0產(chǎn)生事件3，全部先前事件的定時(shí)數(shù)據(jù)被合計(jì)起來，以產(chǎn)生一個(gè)總的時(shí)差，用N3T+Δ3T來表示，其中，N3T是事件計(jì)數(shù)，它是基準(zhǔn)時(shí)鐘周期T的N3倍，Δ3T表示事件游標(biāo)，它是基準(zhǔn)時(shí)鐘周期T的一部分。
在實(shí)際器件測試中，對(duì)于被測器件的一個(gè)特定插針的測試信號(hào)，可能在一個(gè)較長的時(shí)間段中，比如幾百毫秒，不會(huì)變化，而大多數(shù)其它插針的測試信號(hào)卻以較高的速率，比如幾十或者幾百毫微秒，進(jìn)行變化。這意味著在兩個(gè)鄰近事件之間的時(shí)間長度是在一個(gè)很寬的范圍中，需要大量的數(shù)據(jù)位來描述最大可能的時(shí)間長度。因?yàn)榘雽?dǎo)體測試系統(tǒng)是一個(gè)有幾百個(gè)測試通道(插針)的大系統(tǒng)，每一測試通道包括一個(gè)事件存儲(chǔ)器，使事件存儲(chǔ)器的容量最小化，以減少測試系統(tǒng)的總費(fèi)用是所期盼的。
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)和事件產(chǎn)生方法，其中，在特定事件的定時(shí)數(shù)據(jù)中插入一個(gè)延遲時(shí)間，以擴(kuò)大在兩個(gè)事件之間的時(shí)差，而不影響測試系統(tǒng)的操作。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)和產(chǎn)生一系列各種定時(shí)事件的事件產(chǎn)生方法，其中，事件存儲(chǔ)器使用相對(duì)小的數(shù)據(jù)位來存儲(chǔ)定時(shí)數(shù)據(jù)，以表示事件之間的長短時(shí)差。
本發(fā)明又一個(gè)目的是提供一種基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)和事件產(chǎn)生方法，基于增量時(shí)間(時(shí)差)，通過存儲(chǔ)和修改一個(gè)小存儲(chǔ)容量的事件存儲(chǔ)器中的定時(shí)數(shù)據(jù)，從先前的事件產(chǎn)生另一個(gè)事件。
本發(fā)明是一種基于事件的測試系統(tǒng)，該測試系統(tǒng)產(chǎn)生各種定時(shí)事件，用于提供一個(gè)測試信號(hào)給被測電子器件(DUT)，并且以選通信號(hào)的定時(shí)對(duì)DUT輸出進(jìn)行評(píng)估，由此對(duì)DUT進(jìn)行測試。通過改變事件存儲(chǔ)器中的定時(shí)數(shù)據(jù)，可以自由地改變事件的定時(shí)。這樣，事件存儲(chǔ)器的容量比較小，并且用于存儲(chǔ)兩個(gè)事件之間大時(shí)差的定時(shí)數(shù)據(jù)的字長較短。
在本發(fā)明中，用于生成基于事件數(shù)據(jù)的測試圖形和選通信號(hào)的裝置，包含一個(gè)用于存儲(chǔ)每一個(gè)事件定時(shí)數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)的事件存儲(chǔ)器，其中，當(dāng)前事件的定時(shí)數(shù)據(jù)由一個(gè)延遲時(shí)間來表示，該延遲時(shí)間是從上一個(gè)事件開始的，使用特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位；還包含一個(gè)插入裝置，用于在特定事件的定時(shí)數(shù)據(jù)中插入一個(gè)延遲時(shí)間，以這樣的一種方式建立當(dāng)前事件的總延遲時(shí)間，即，該延遲時(shí)間比由事件存儲(chǔ)器中特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位所能表示的時(shí)間要長，其中，插入延遲時(shí)間的裝置包括重復(fù)裝置，用于重復(fù)恰好在特定事件之前的事件的定時(shí)數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)。
按照本發(fā)明的另一個(gè)方面，用于插入延遲時(shí)間的裝置包括插入裝置，用于插入NOP(NO-Operation)事件，NOP事件表示將被加給特定事件的附加延遲時(shí)間，以及作為事件類型數(shù)據(jù)的NOP(NO-操作)，由此，在測試系統(tǒng)沒有執(zhí)行任何操作的情況下，插入附加的延遲時(shí)間。本發(fā)明也包含一種方法，該方法是在定時(shí)數(shù)據(jù)中插入延遲時(shí)間來產(chǎn)生事件序列。
在上面提到的本發(fā)明的第一和第二方面，事件存儲(chǔ)器中的定時(shí)數(shù)據(jù)包含延遲計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)和延遲游標(biāo)數(shù)據(jù)，延遲計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)是由基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的整數(shù)倍數(shù)(整數(shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的，而延遲游標(biāo)數(shù)據(jù)是由基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的分?jǐn)?shù)部分(分?jǐn)?shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的。更進(jìn)一步地，在本發(fā)明第一和第二方面，這樣的延遲時(shí)間的插入被重復(fù)多次，以達(dá)到當(dāng)前事件的想要的總延遲時(shí)間。
本發(fā)明另一方面是一種插入延遲時(shí)間的方法，在用于測試半導(dǎo)體器件的事件定時(shí)數(shù)據(jù)中插入延遲時(shí)間。該方法包含以下步驟把每個(gè)事件的定時(shí)數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到事件存儲(chǔ)器中，其中，當(dāng)前事件的定時(shí)數(shù)據(jù)由延遲時(shí)間來表示，延遲時(shí)間恰好是從上一個(gè)事件開始的，使用特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位；并且以這樣的一種方式在特定事件的定時(shí)數(shù)據(jù)中插入一個(gè)延遲時(shí)間，以建立當(dāng)前事件的總延遲時(shí)間，該時(shí)間比由事件存儲(chǔ)器中特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位能表示的時(shí)間要長。延遲時(shí)間插入步驟是通過以下步驟進(jìn)行的，即，重復(fù)恰好在特定事件之前的事件的定時(shí)數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)，或插入一個(gè)NOP(NO-操作)事件，NOP事件表示要被添加給特定事件的附加延遲時(shí)間，以及作為事件類型數(shù)據(jù)的NOP(NO-操作)，由此在測試系統(tǒng)沒有執(zhí)行任何操作的情況下，插入了附加的延遲時(shí)間。
依據(jù)本發(fā)明，基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)能夠基于儲(chǔ)存在事件存儲(chǔ)器中的事件數(shù)據(jù)，產(chǎn)生各種定時(shí)的事件，從而對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行評(píng)估。每一個(gè)事件的定時(shí)是由從最后一個(gè)事件時(shí)間長度的差異(增量時(shí)間)來定義的。以延遲時(shí)間插入后總的增量時(shí)間大于事件存儲(chǔ)器最大的字長的方式，插入一個(gè)延遲時(shí)間，由此事件之間的增量時(shí)間可以容易地?cái)U(kuò)大。在一方面，本發(fā)明的事件測試系統(tǒng)中插入延遲時(shí)間的操作，是通過不斷重復(fù)恰好在當(dāng)前事件前面的事件而進(jìn)行的，直到達(dá)到想要的時(shí)間長度。在另一方面，事件測試系統(tǒng)中的延遲時(shí)間插入操作，是通過不斷調(diào)用一個(gè)當(dāng)前事件的NOP(NO-操作)而進(jìn)行的，直到達(dá)到想要時(shí)間長度。


圖1是示意性方框圖，表示本發(fā)明的基于事件的測試系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)。
圖2是方框圖，表示與圖1的插針電子裝置(pin electronics)有關(guān)的詳細(xì)結(jié)構(gòu)，其中涉及驅(qū)動(dòng)事件(測試信號(hào))以及來自來事件發(fā)生器的取樣事件(選通信號(hào))。
圖3是定時(shí)圖，表示各驅(qū)動(dòng)事件和取樣事件的事件之間的相對(duì)于基準(zhǔn)時(shí)鐘的定時(shí)關(guān)系，用于表示基于事件測試操作的基本概念。
圖4是定時(shí)圖，表示基于兩個(gè)鄰近事件之間的時(shí)差(增量時(shí)間)的，各種事件之間的定時(shí)關(guān)系。
圖5是一個(gè)圖表，表示在基于事件的測試系統(tǒng)中的事件存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)的一個(gè)例子，這些存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)于圖4所示的一系列延遲，不包含延遲時(shí)間插入。
圖6是定時(shí)圖，表示基于儲(chǔ)存在圖5的事件存儲(chǔ)器中的不包括延遲時(shí)間插入的定時(shí)數(shù)據(jù)，而生成的一系列事件的波形。
圖7是定時(shí)圖，表示在附加的事件被插入事件序列而在事件之間獲得一個(gè)足夠長的延遲的情況下，一個(gè)定時(shí)關(guān)系的例子。
圖8是一個(gè)圖表，表示按照本發(fā)明的第一方面，在基于事件的測試系統(tǒng)中的事件存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)的例子，其中在事件存儲(chǔ)器中的定時(shí)數(shù)據(jù)中插入了一個(gè)延遲。
圖9是定時(shí)圖，表示按照本發(fā)明的第一方面，基于儲(chǔ)存在圖8的事件存儲(chǔ)器中的定時(shí)數(shù)據(jù)，而生成的一系列事件的波形。
圖10是一個(gè)圖表，表示按照本發(fā)明的第二方面，在基于事件的測試系統(tǒng)中的事件存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)的例子，其中在事件存儲(chǔ)器中的定時(shí)數(shù)據(jù)中插入了一個(gè)延遲。
圖11是定時(shí)圖，表示按照本發(fā)明的第二方面，基于儲(chǔ)存在圖9的事件存儲(chǔ)器中的定時(shí)數(shù)據(jù)，而生成的一系列事件的波形。
圖1是示意性方框圖，表示本發(fā)明的基于事件的測試系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)的例子?；谑录臏y試系統(tǒng)包括一個(gè)主機(jī)12和一個(gè)總線接口13，它們都連接到系統(tǒng)總線14，還有內(nèi)部總線15、地址控制邏輯電路18、故障存儲(chǔ)器17，事件存儲(chǔ)器包括事件計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器20和事件游標(biāo)存儲(chǔ)器21、事件求和與比例邏輯電路22、事件發(fā)生器24、和插針電子裝置26。基于事件的測試系統(tǒng)是用來對(duì)被測半導(dǎo)體器件28進(jìn)行評(píng)估的，它是一個(gè)典型的存儲(chǔ)器IC，比如隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)和閃爍存儲(chǔ)器，或者是邏輯IC，比如微處理器和信號(hào)處理機(jī)，被測半導(dǎo)體器件28是和插針電子裝置26相連的。
主機(jī)12的一個(gè)實(shí)例是具有UNIX操作系統(tǒng)的工作站。主機(jī)12的功能是作為一個(gè)用戶接口，使用戶可以發(fā)出測試開始和停止操作的指令，可以裝載測試程序和其它測試條件，或者可以進(jìn)行試驗(yàn)結(jié)果分析。主機(jī)12通過系統(tǒng)總線14和總線接口13，與硬件測試系統(tǒng)相連。雖然未示出，但是主機(jī)12是可以連接到通信網(wǎng)絡(luò)，向其它測試系統(tǒng)或者計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)發(fā)送測試信息，或者從其它測試系統(tǒng)或者計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)上接收測試信息。
內(nèi)部總線15是硬件測試系統(tǒng)內(nèi)部的一個(gè)總線，通常連接到大多數(shù)功能塊上，比如地址控制邏輯電路18、故障存儲(chǔ)器17、事件求和與比例邏輯電路22、事件發(fā)生器24。地址控制邏輯電路18的實(shí)例是一臺(tái)測試器處理器，它是專用于硬件測試系統(tǒng)的，并且用戶不可以訪問。地址控制邏輯電路18根據(jù)主機(jī)12的測試程序和條件，對(duì)測試系統(tǒng)中的其它功能塊下達(dá)指令。故障存儲(chǔ)器17把試驗(yàn)結(jié)果，比如DUT 28的故障信息，儲(chǔ)存到地址控制邏輯電路18定義的地址。儲(chǔ)存在故障存儲(chǔ)器17中的信息，是用于被測器件的故障分析階段的。
地址控制邏輯電路18提供地址數(shù)據(jù)給圖1所示的事件計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器20和事件游標(biāo)存儲(chǔ)器21。在實(shí)際的測試系統(tǒng)中，將提供多個(gè)集合(set)的事件計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器和事件游標(biāo)存儲(chǔ)器，每個(gè)集合可能對(duì)應(yīng)測試系統(tǒng)的一個(gè)測試插針。事件計(jì)數(shù)和游標(biāo)存儲(chǔ)器為每個(gè)測試信號(hào)和選通信號(hào)的事件儲(chǔ)存定時(shí)數(shù)據(jù)。事件計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器20儲(chǔ)存的定時(shí)數(shù)據(jù)是整數(shù)倍基準(zhǔn)時(shí)鐘(整數(shù)部分)，事件游標(biāo)存儲(chǔ)器21儲(chǔ)存的定時(shí)數(shù)據(jù)是一部分基準(zhǔn)時(shí)鐘(分?jǐn)?shù))。在本發(fā)明的內(nèi)容中，用于每個(gè)事件的定時(shí)數(shù)據(jù)是用距先前事件的時(shí)差(延遲時(shí)間或者增量時(shí)間)來表示的。
事件求和與比例邏輯電路22根據(jù)事件計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器20和事件游標(biāo)存儲(chǔ)器21的定時(shí)數(shù)據(jù)，產(chǎn)生表示每個(gè)事件總定時(shí)的數(shù)據(jù)?；旧希@樣的總定時(shí)數(shù)據(jù)是通過對(duì)整數(shù)倍數(shù)據(jù)和小數(shù)部分?jǐn)?shù)據(jù)求和產(chǎn)生的。在對(duì)定時(shí)數(shù)據(jù)求和的過程中，定時(shí)計(jì)數(shù)和偏差邏輯電路22中，也對(duì)小數(shù)部分?jǐn)?shù)據(jù)(與整數(shù)數(shù)據(jù)的偏差)的運(yùn)算進(jìn)行進(jìn)位。更進(jìn)一步地，在產(chǎn)生總定時(shí)的過程中，定時(shí)數(shù)據(jù)可以乘以一個(gè)比例因數(shù)，從而相應(yīng)地修改總定時(shí)。
事件發(fā)生器24根據(jù)事件求和與比例邏輯電路22的總定時(shí)數(shù)據(jù)，產(chǎn)生事件。因此產(chǎn)生的事件(測試信號(hào)和選通信號(hào))，通過插針電子裝置26，被提供給DUT 28?；旧?，插針電子裝置26由大量的零部件組成，每個(gè)零部件包括驅(qū)動(dòng)器和比較器，并建立相對(duì)于DUT 28的輸入和輸出關(guān)系。
圖2是一個(gè)方框圖，表示帶有驅(qū)動(dòng)器35和模擬比較器36的插針電子裝置26的更詳細(xì)的配置。事件發(fā)生器24產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)事件，它作為一個(gè)測試信號(hào)通過驅(qū)動(dòng)器35被提供給DUT 28的一個(gè)輸入引腳。事件發(fā)生器24更進(jìn)一步產(chǎn)生一個(gè)取樣事件，它作為一個(gè)用于對(duì)DUT 28的輸出信號(hào)進(jìn)行取樣的選通信號(hào)，被提供給模擬比較器36。模式比較器38將模擬比較器36的輸出信號(hào)與事件發(fā)生器24的預(yù)期數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。如果兩者之間不匹配的話，就給圖1中的故障存儲(chǔ)器17發(fā)送一個(gè)故障信號(hào)。
驅(qū)動(dòng)事件的波形(測試圖形)、從DUT輸出的信號(hào)、取樣事件(選通信號(hào))的例子分別表示在圖3C、3D和3E中。當(dāng)通過驅(qū)動(dòng)器35把圖3C的驅(qū)動(dòng)事件提供給DUT 28時(shí)，作為響應(yīng)，DUT 28產(chǎn)生圖3D所示的輸出信號(hào)，該信號(hào)由圖3E的取樣事件決定的定時(shí)來進(jìn)行選通。如圖3C所示，驅(qū)動(dòng)事件確定測試圖形上升和下降邊緣的定時(shí)。對(duì)比而言，如圖3E所示，取樣事件確定選通點(diǎn)的定時(shí)，即當(dāng)單一事件作為取樣事件時(shí)，選通信號(hào)僅僅可以由單一事件產(chǎn)生。這是因?yàn)檫x通信號(hào)具有非常窄的脈沖寬度，因此，實(shí)際上不可能通過定義它的兩個(gè)上升和下降邊緣來產(chǎn)生選通信號(hào)。
圖4是根據(jù)兩個(gè)相鄰事件之間時(shí)間差異(增量時(shí)間)，表示不同事件之間定時(shí)關(guān)系的定時(shí)圖。正如上面參照?qǐng)D3A-3E所提到的，事件之間的時(shí)間長度(延遲數(shù)值)是通過基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的整數(shù)倍數(shù)(整數(shù)部分或者延遲計(jì)數(shù))，和基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的分?jǐn)?shù)部分(分?jǐn)?shù)部分或者延遲游標(biāo))的組合來定義的。
在圖4的例子中，事件0-7是參照具有一個(gè)時(shí)間間隔T=1的基準(zhǔn)時(shí)鐘來表示的。例如，事件0的增量(延遲)時(shí)間ΔV0可以是0.75(延遲計(jì)數(shù)“0”，延遲游標(biāo)“0.75”)，事件1的增量時(shí)間ΔV1可以是1.50(延遲計(jì)數(shù)“1”，延遲游標(biāo)“0.50”)。在這種情形下，事件1的總延遲是2.25，測試系統(tǒng)中的邏輯電路計(jì)數(shù)兩個(gè)事件時(shí)鐘“2.0”，并且計(jì)算延遲游標(biāo)之和“0.25”作為余下的分?jǐn)?shù)延遲。
圖5是一個(gè)圖表，表示儲(chǔ)存在基于事件的測試系統(tǒng)中的事件存儲(chǔ)器中數(shù)據(jù)的例子，其中，這些數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)于圖4所示的一系列延遲。延遲時(shí)間ΔVn(ΔV0、ΔV1、ΔV2…)是由圖5所示的延遲計(jì)數(shù)Cn(C1、C2、C3、…)和延遲游標(biāo)Vn(V1、V2、V3、…)的組合來表示的。圖6是定時(shí)圖，表示事件的一系列波形的實(shí)例，這些事件是根據(jù)圖5的事件存儲(chǔ)器存儲(chǔ)的定時(shí)數(shù)據(jù)產(chǎn)生的。圖5和圖6的實(shí)例不包括延遲時(shí)間插入。
因?yàn)檠舆t游標(biāo)總是沒有基準(zhǔn)時(shí)鐘周期T長，所以，幾個(gè)位(bits)的字長就足夠完全描述這個(gè)事件的任意分?jǐn)?shù)延遲。然而，事件計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)(延遲計(jì)數(shù))不得不支持一個(gè)寬范圍的整數(shù)數(shù)值，比如從1到134,217,728的基準(zhǔn)時(shí)鐘周期。這是因?yàn)閷?shí)際測試操作中兩個(gè)事件間的時(shí)間長度可以小到幾十毫微秒，大到幾百毫秒。這樣大量的時(shí)鐘周期要求總數(shù)為27的數(shù)據(jù)位，用于每個(gè)事件存儲(chǔ)器中的延遲計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)。
在實(shí)際器件測試中，使用這樣大量的時(shí)鐘周期是罕見的，在大多數(shù)場合，較小數(shù)量的時(shí)鐘周期基本上足夠了。因此，把很小位長(如九位)，用于事件存儲(chǔ)器中的延遲計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)，是非常理想的。因此，本發(fā)明用來提供一種方法，即在事件中插入一個(gè)延遲時(shí)間，以使用相對(duì)少的數(shù)據(jù)位獲得包括大量時(shí)鐘周期的延遲數(shù)據(jù)。換言之，本發(fā)明是為了實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生一個(gè)事件的方法，這個(gè)事件和先前事件的時(shí)間差比事件存儲(chǔ)器中特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位能夠描述的時(shí)間差要長很多。
假設(shè)在圖4和圖5中，用于產(chǎn)生事件2的延遲數(shù)值ΔV2不具有足夠長的延遲，不得不在現(xiàn)有延遲數(shù)據(jù)中插入一個(gè)附加延遲時(shí)間，以達(dá)到預(yù)定的延遲時(shí)間。圖7的定時(shí)圖示出了這樣一種情況一個(gè)附加事件被插入事件序列，以在事件1和事件2之間產(chǎn)生一個(gè)足夠長的延遲。在圖7的例子中，事件2被分為兩個(gè)事件，即具有一個(gè)延遲時(shí)間ΔV2a的事件2a和具有一個(gè)延遲時(shí)間ΔV2b的事件2b。換言之，具有最大延遲時(shí)間的事件2a被插入事件2。
按照本發(fā)明的第一方面，這種延遲插入的操作是通過重復(fù)一個(gè)先前事件，即事件1，來執(zhí)行的。圖8示出了儲(chǔ)存在事件存儲(chǔ)器中的數(shù)據(jù)的例子，具有最大延遲計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)和零游標(biāo)數(shù)據(jù)的事件2a被插在其中。事件2a的事件類型與圖8中最右邊的那一列表示的事件1相同。圖8的事件數(shù)據(jù)將被轉(zhuǎn)化為圖9的波形。事件2是由具有延遲時(shí)間ΔV2a(最大延遲計(jì)數(shù)和0延遲游標(biāo))的事件2a和具有延遲時(shí)間ΔV2b(延遲計(jì)數(shù)C2和延遲游標(biāo)V2)的事件2b組合產(chǎn)生的。雖然上面例子中事件2a的延遲計(jì)數(shù)是最大的，但是延遲計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)可以根據(jù)要被插入的延遲時(shí)間進(jìn)行變化，因此可以比最大值小?；蛘?，當(dāng)想要的時(shí)間長度需要增加兩個(gè)以上的最大延遲計(jì)數(shù)時(shí)，具有最大的延遲計(jì)數(shù)的事件1將被重復(fù)好幾次。
本發(fā)明的第一方面的解決方案，在用于產(chǎn)生圖3C所示的測試圖形的一系列驅(qū)動(dòng)事件中是很有效的。然而，這種解決方案在產(chǎn)生取樣事件(選通信號(hào))中，出現(xiàn)了一個(gè)問題。正如前面簡要描述的，選通信號(hào)是一個(gè)非常窄的脈沖，是由單一邊緣或者單一事件定義的，比如由設(shè)定(上升)邊緣和復(fù)位(下降)邊緣定義，而不是由兩個(gè)邊緣定義的。因此，在事件1是一個(gè)取樣事件(選通)的情況下，在圖9的例子中，將在事件的中點(diǎn)產(chǎn)生一個(gè)選通信號(hào)，比如事件2a的定時(shí)。這樣的一個(gè)選通信號(hào)被提供給圖2所示的模擬比較器，以便對(duì)DUT的輸出信號(hào)進(jìn)行取樣。取樣后的輸出與預(yù)期數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯對(duì)比，結(jié)果可能是一個(gè)沒有預(yù)期取樣的故障，盡管在DUT的操作中沒有故障。
因此，本發(fā)明的第二方面相對(duì)于上面介紹的第一方面來說，是另一種解決方案，其中一個(gè)稱為NOP(NO-操作)的新的事件被插入事件存儲(chǔ)器。圖10示出了按照本發(fā)明第二個(gè)方面，存儲(chǔ)在事件存儲(chǔ)器中的數(shù)據(jù)。在事件2之后，一個(gè)標(biāo)明為事件2a的NOP事件被插入事件數(shù)據(jù)。事件2a具有延遲時(shí)間ΔV2a(最大延遲計(jì)數(shù)和0延遲游標(biāo))。在圖10的最右端的那一列中，新事件的事件類型標(biāo)明為NOP。圖10的事件數(shù)據(jù)將被轉(zhuǎn)換為圖11的波形。
當(dāng)NOP事件被喚醒時(shí)，測試系統(tǒng)除了產(chǎn)生一個(gè)標(biāo)明的延遲時(shí)間外，什么也不做。因此，對(duì)于驅(qū)動(dòng)事件，NOP插入不會(huì)改變測試插針的狀態(tài)。對(duì)于取樣事件序列，NOP插入將產(chǎn)生無取樣事件，相應(yīng)地，沒有不正確的測試結(jié)果。雖然上面例子中事件2a的延遲計(jì)數(shù)是最大的，但是延遲計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)可以根據(jù)要被插入的延遲時(shí)間進(jìn)行變化，因此可以比最大值小。更進(jìn)一步地，當(dāng)需要的時(shí)間長度要求兩個(gè)NOP事件以上時(shí)，多個(gè)具有最大延遲計(jì)數(shù)的NOP事件可能被插入。
根據(jù)本發(fā)明，基于事件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，根據(jù)存儲(chǔ)在事件存儲(chǔ)器中的事件數(shù)據(jù)，能夠產(chǎn)生不同定時(shí)的事件，來評(píng)估這個(gè)半導(dǎo)體器件。每一事件的定時(shí)是由距最后一個(gè)事件開始的時(shí)間長度(增量時(shí)間)來定義的。事件之間的增量時(shí)間通過在其中插入一個(gè)延遲時(shí)間可以容易地?cái)U(kuò)大，在某種意義上，延遲時(shí)間插入之后的總增量時(shí)間，大于事件存儲(chǔ)器的最大字長。在一個(gè)方面，本發(fā)明的事件測試系統(tǒng)中的延遲時(shí)間插入操作，是通過重復(fù)一個(gè)恰好在當(dāng)前事件前的事件而進(jìn)行的，直到達(dá)到想要的時(shí)間長度。在另外一個(gè)方面，事件測試系統(tǒng)中的延遲時(shí)間插入操作，是通過不斷調(diào)用當(dāng)前事件的NOP(NO-操作)而進(jìn)行的，直到達(dá)到想要的時(shí)間長度。
雖然在此只明確地說明和描述了一個(gè)最佳實(shí)施例，但應(yīng)理解，按照上述教導(dǎo)，在后面所附的權(quán)利要求的范圍內(nèi)，可以對(duì)本發(fā)明做出許多修改和改進(jìn)，而不會(huì)背離本發(fā)明的精神和范圍。
權(quán)利要求
1．一種在半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中基于事件數(shù)據(jù)來產(chǎn)生測試圖形和選通信號(hào)的裝置，包括一個(gè)用于存儲(chǔ)每個(gè)事件的定時(shí)數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)的事件存儲(chǔ)器，其中，當(dāng)前事件的定時(shí)數(shù)據(jù)是用延遲時(shí)間來表示的，該延遲時(shí)間是從前一個(gè)事件開始的，使用特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位；以及插入裝置，用于在特定事件的定時(shí)數(shù)據(jù)中插入延遲時(shí)間，以這樣一種方式建立當(dāng)前事件的總延遲時(shí)間，即，總延遲時(shí)間比由事件存儲(chǔ)器中的特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位可以表示的要長；其中用于插入延遲時(shí)間的插入裝置，包括重復(fù)裝置，用于重復(fù)恰好在特定事件前的事件的定時(shí)數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于產(chǎn)生測試圖形和選通信號(hào)的裝置，其中，事件存儲(chǔ)器中的定時(shí)數(shù)據(jù)包含由基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的整數(shù)倍數(shù)(整數(shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的延遲計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)，和由基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的分?jǐn)?shù)(分?jǐn)?shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的延遲游標(biāo)數(shù)據(jù)。
3．根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于產(chǎn)生測試圖形和選通信號(hào)的裝置，其中，恰好在特定事件前的事件的定時(shí)數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)被重復(fù)很多次，以獲得當(dāng)前事件的總延遲時(shí)間。
4．一種用于在半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中基于事件的數(shù)據(jù)來產(chǎn)生測試圖形和選通信號(hào)的裝置，包括一個(gè)用于存儲(chǔ)每個(gè)事件的定時(shí)數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)的事件存儲(chǔ)器，其中當(dāng)前事件的定時(shí)數(shù)據(jù)是用延遲時(shí)間來表示的，該延遲時(shí)間是從前一個(gè)事件開始的，使用特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位；以及插入裝置，用于在特定事件的定時(shí)數(shù)據(jù)中插入延遲時(shí)間，以這樣一種方式形成當(dāng)前事件的總延遲時(shí)間，即，總延遲時(shí)間比由事件存儲(chǔ)器中的特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位可以表示的要長；其中，用于插入延遲時(shí)間的插入裝置包括NOP(NO-操作)事件插入裝置，NOP事件表示要被添加給特定事件的附加延遲時(shí)間，以及作為事件類型數(shù)據(jù)的NOP(NO-操作)，由此在測試系統(tǒng)沒有執(zhí)行任何操作的情況下，插入了附加的延遲時(shí)間。
5．根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于產(chǎn)生測試圖形和選通信號(hào)的裝置，其中事件存儲(chǔ)器中的定時(shí)數(shù)據(jù)包含由基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的整數(shù)倍數(shù)(整數(shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的延遲計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)，和由基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的分?jǐn)?shù)(分?jǐn)?shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的延遲游標(biāo)數(shù)據(jù)。
6．根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于產(chǎn)生測試圖形和選通信號(hào)的裝置，其中，NOP事件的插入被重復(fù)很多次，以達(dá)到當(dāng)前事件的預(yù)定總延遲時(shí)間。
7．一種在用于測試半導(dǎo)體器件的事件的定時(shí)數(shù)據(jù)中插入延遲時(shí)間的方法，包括以下步驟在事件存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)每個(gè)事件的定時(shí)數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)，其中，當(dāng)前事件的定時(shí)數(shù)據(jù)是用延遲時(shí)間來表示的，該延遲時(shí)間是從前一個(gè)事件開始的，使用特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位；以及在特定事件的定時(shí)數(shù)據(jù)中插入一個(gè)延遲時(shí)間，以這樣一種方式形成當(dāng)前事件的總延遲時(shí)間，即，總延遲時(shí)間比由事件存儲(chǔ)器中的特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位可以表示的要長；其中，延遲時(shí)間插入步驟是通過以下步驟進(jìn)行的，即，重復(fù)恰好在特定事件之前的事件的定時(shí)數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)，或插入一個(gè)NOP(NO-操作)事件，NOP事件表示要被添加給特定事件的附加延遲時(shí)間，以及作為事件類型數(shù)據(jù)的NOP(NO-操作)，由此在測試系統(tǒng)沒有執(zhí)行任何操作的情況下，插入了附加的延遲時(shí)間。
8．根據(jù)權(quán)利要求7所述的在定時(shí)數(shù)據(jù)中插入延遲時(shí)間的方法，其中事件存儲(chǔ)器中的定時(shí)數(shù)據(jù)包含延遲計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)和延遲游標(biāo)數(shù)據(jù)，延遲計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)是由基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的整數(shù)倍數(shù)(整數(shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的，而延遲游標(biāo)數(shù)據(jù)是由基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的分?jǐn)?shù)部分(分?jǐn)?shù)部分?jǐn)?shù)據(jù))形成的。
全文摘要
在基于事件的測試系統(tǒng)中通過產(chǎn)生不同定時(shí)的事件對(duì)被測電子器件進(jìn)行測試的裝置和方法，該裝置包括一個(gè)用于儲(chǔ)存每個(gè)事件的定時(shí)數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)的事件存儲(chǔ)器，其中，當(dāng)前事件的定時(shí)數(shù)據(jù)是用延遲時(shí)間來表示的，在特定事件的定時(shí)數(shù)據(jù)中插入一個(gè)延遲時(shí)間，當(dāng)前事件的總延遲時(shí)間比由事件存儲(chǔ)器中的特定數(shù)目的數(shù)據(jù)位可以表示的要長；附加延遲時(shí)間是通過重復(fù)恰好在特定事件之前的事件的定時(shí)數(shù)據(jù)和事件類型數(shù)據(jù)而插入的，或者是通過在事件存儲(chǔ)器中加入NOP事件而插入的。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1316772SQ0110972
公開日2001年10月10日 申請(qǐng)日期2001年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2000年3月24日
發(fā)明者格倫·A·戈梅斯, 安東尼·勒, 詹姆斯·艾倫·特恩奎斯特, 羅基特·拉尤斯曼, 菅森茂 申請(qǐng)人:株式會(huì)社鼎新