全自動(dòng)氣柜換鋼瓶防泄漏系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及氣體供應(yīng)【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地說是一種全自動(dòng)氣柜換鋼瓶防泄漏系統(tǒng)，包括左氣體鋼瓶（GASL）、右氣體鋼瓶（GASR）和電氣系統(tǒng)，左氣體鋼瓶（GASL）、右氣體鋼瓶（GASR）的出口分別通過管路連接特殊氣管線、氮?dú)夤芫€和真空管線，氮?dú)夤芫€上安裝有壓力信號(hào)傳送器（PTN），真空管線上安裝有真空發(fā)生器（VG1L），左氣體鋼瓶（GASL）出口處的管線上安裝有左壓力信號(hào)傳送器一（PT1L），右氣體鋼瓶（GASR）出口處的管線上安裝有右壓力信號(hào)傳送器一（PT1R），壓力信號(hào)傳送器（PTN）、真空發(fā)生器（VG1L）、左壓力信號(hào)傳送器一（PT1L）、右壓力信號(hào)傳送器一（PT1R）分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)；本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，避免了換鋼瓶時(shí)氣體泄漏所帶來的危險(xiǎn)，操作簡(jiǎn)單、方便，自動(dòng)化程度高，安全可靠。
【專利說明】全自動(dòng)氣柜換鋼瓶防泄漏系統(tǒng)
[【技術(shù)領(lǐng)域】]
[0001]本實(shí)用新型涉及氣體供應(yīng)系統(tǒng)【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地說是一種全自動(dòng)氣柜換鋼瓶防泄漏系統(tǒng)。
[【背景技術(shù)】]
[0002]全自動(dòng)特殊氣體供應(yīng)柜(簡(jiǎn)稱GC)，其目的是為了安全可持續(xù)可控制地供應(yīng)特殊氣體，該系統(tǒng)為了持續(xù)不間斷的供氣，通常設(shè)計(jì)為連接兩個(gè)氣體鋼瓶(一用一備)。日常使用時(shí)，當(dāng)一側(cè)氣體用盡后，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)切換到備用一側(cè)，并提醒用戶更換用空的氣瓶。而在更換氣體鋼瓶時(shí)，系統(tǒng)則會(huì)自動(dòng)將鋼瓶出口處殘余特殊氣進(jìn)行稀釋及排空，以防止拆卸鋼瓶接頭時(shí)殘余氣體外泄。稀釋使用的是高純氮?dú)?，由單?dú)的氮?dú)饷姘逄峁庠矗呒兊獨(dú)馔ㄟ^氮?dú)饪偣苈贩峙涞阶笥覂蓚?cè)，并與特殊氣管路相連。平時(shí)通過左右兩側(cè)的氣動(dòng)止閥和單向閥遮蔽特殊氣與氮?dú)獾幕ネ?，而吹掃及稀釋特殊氣管路時(shí)則開啟氣動(dòng)閥，將氮?dú)庵萌搿Ｃ看卧诟鼡Q鋼瓶時(shí)會(huì)打開氣動(dòng)閥，使微量氮?dú)鈴匿撈拷涌谔幜鞒?，防止顆粒進(jìn)入管道。然而，隨著閥門使用年限的上升，一些閥門會(huì)出現(xiàn)微漏的情況(俗稱關(guān)不死)，如果在更換左側(cè)氣體鋼瓶時(shí)，右側(cè)氣體鋼瓶的氣動(dòng)閥有微漏，且右側(cè)正在供氣中，這時(shí)特殊氣會(huì)從右側(cè)漏氮?dú)鈴臍怏w鋼瓶接口處流出產(chǎn)生危險(xiǎn)，使用非常不安全。
[實(shí)用新型內(nèi)容]
[0003]本實(shí)用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種全自動(dòng)氣柜換鋼瓶防泄漏系統(tǒng)，避免了換鋼瓶時(shí)氣體泄漏所帶來的危險(xiǎn)，而且操作簡(jiǎn)單、方便，自動(dòng)化程度高，安全可
O
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的設(shè)計(jì)一種全自動(dòng)氣柜換鋼瓶防泄漏系統(tǒng)，包括左氣體鋼瓶GASL、右氣體鋼瓶GASR和電氣系統(tǒng)，所述左氣體鋼瓶GASL、右氣體鋼瓶GASR的出口分別通過管路連接特殊氣管線、氮?dú)夤芫€和真空管線，所述氮?dú)夤芫€上安裝有壓力信號(hào)傳送器PTN，所述真空管線上安裝有真空發(fā)生器VG1L，所述左氣體鋼瓶GASL出口處的管線上安裝有左壓力信號(hào)傳送器一 PT1L,所述右氣體鋼瓶GASR出口處的管線上安裝有右壓力信號(hào)傳送器一PT1R，所述壓力信號(hào)傳送器PTN、真空發(fā)生器VG1L、左壓力信號(hào)傳送器一 PT1L、右壓力信號(hào)傳送器一 PTlR分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)。
[0005]所述左壓力信號(hào)傳送器一 PTlL與氮?dú)夤芫€之間的管路上設(shè)有左氣動(dòng)隔膜閥AV7L和左單向閥CV1L，所述右壓力信號(hào)傳送器一 PTlR與氮?dú)夤芫€之間的管路上設(shè)有右氣動(dòng)隔膜閥AV7R和右單向閥CV1R，所述氮?dú)夤芫€的進(jìn)氣口處設(shè)有氣動(dòng)微漏閥AVlN和氣動(dòng)隔膜閥AV2N，所述左氣動(dòng)隔膜閥AV7L、左單向閥CV1L、右氣動(dòng)隔膜閥AV7R、右單向閥CV1R、氣動(dòng)微漏閥AV1N、氣動(dòng)隔膜閥AV2N分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)。
[0006]所述左壓力信號(hào)傳送器一 PTlL與特殊氣管線之間的管路上設(shè)有左氣動(dòng)隔膜閥一AV2L，所述左壓力信號(hào)傳送器一 PTlL與真空管線之間的管路上設(shè)有左氣動(dòng)隔膜閥二 AV4L，所述右壓力信號(hào)傳送器一 PTlR與特殊氣管線之間的管路上設(shè)有右氣動(dòng)隔膜閥一 AV2R，所述右壓力信號(hào)傳送器一 PTlR與真空管線之間的管路上設(shè)有右氣動(dòng)隔膜閥二 AV4R，所述左氣動(dòng)隔膜閥一 AV2L、左氣動(dòng)隔膜閥二 AV4L、右氣動(dòng)隔膜閥一 AV2R、右氣動(dòng)隔膜閥二 AV4R分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)。
[0007]所述左氣動(dòng)隔膜閥一 AV2L與特殊氣管線之間的管路上設(shè)有左壓力信號(hào)傳送器二 PT2L，所述右氣動(dòng)隔膜閥一 AV2R與特殊氣管線之間的管路上設(shè)有右壓力信號(hào)傳送器二PT2R，所述左壓力信號(hào)傳送器二 PT2L、右壓力信號(hào)傳送器二 PT2R分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)。
[0008]本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，結(jié)構(gòu)新穎、簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，通過在氮?dú)夤苈飞习惭b有壓力信號(hào)傳送器，并在系統(tǒng)PLC中添加新的邏輯程序，使其對(duì)潛在的危險(xiǎn)進(jìn)行判斷，當(dāng)每次更換氣體鋼瓶時(shí)先對(duì)特殊氣管路進(jìn)行排空及稀釋，然后抽空氮?dú)夤苈?，并?duì)氮?dú)夤苈愤M(jìn)行負(fù)壓保壓，直到用戶按下確認(rèn)換氣體鋼瓶后，通過對(duì)比記錄壓力初始值與保負(fù)壓后的最終值進(jìn)行對(duì)比，判斷遮蔽閥是否內(nèi)漏，如果內(nèi)漏則報(bào)警提示不能更換鋼瓶，如果沒有則允許，從而避免了泄漏所帶來的危險(xiǎn)；此外，本實(shí)用新型所述的全自動(dòng)氣柜換鋼瓶防泄漏系統(tǒng)操作方便，自動(dòng)化程度高，安全可靠，值得推廣應(yīng)用。
[【專利附圖】

【附圖說明】]
[0009]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖中:GASL為左氣體鋼瓶、GASR為右氣體鋼瓶、PTN為壓力信號(hào)傳送器、VGlL為真空發(fā)生器、PTlL為左壓力信號(hào)傳送器一、PTlR為右壓力信號(hào)傳送器一、AV7L為左氣動(dòng)隔膜閥、CVlL為左單向閥、AV7R為右氣動(dòng)隔膜閥、CVlR為右單向閥、AVlN為氣動(dòng)微漏閥、AV2N為氣動(dòng)隔膜閥、AV2L為左氣動(dòng)隔膜閥一、AV4L為左氣動(dòng)隔膜閥二、AV2R為右氣動(dòng)隔膜閥一、AV4R為右氣動(dòng)隔膜閥二、PT2L為左壓力信號(hào)傳送器二、PT2R為右壓力信號(hào)傳送器二。
[【具體實(shí)施方式】]
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作以下進(jìn)一步說明:
[0012]如附圖所示，本實(shí)用新型包括:左氣體鋼瓶GASL、右氣體鋼瓶GASR和電氣系統(tǒng)，左氣體鋼瓶GASL、右氣體鋼瓶GASR的出口分別通過管路連接特殊氣管線、氮?dú)夤芫€和真空管線，氮?dú)夤芫€上安裝有壓力信號(hào)傳送器PTN，真空管線上安裝有真空發(fā)生器VG1L，左氣體鋼瓶GASL出口處的管線上安裝有左壓力信號(hào)傳送器一 PT1L，右氣體鋼瓶GASR出口處的管線上安裝有右壓力信號(hào)傳送器一 PT1R,壓力信號(hào)傳送器PTN、真空發(fā)生器VG1L、左壓力信號(hào)傳送器一 PT1L、右壓力信號(hào)傳送器一 PTlR分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)。
[0013]本實(shí)用新型中，左壓力信號(hào)傳送器一 PTlL與氮?dú)夤芫€之間的管路上設(shè)有左氣動(dòng)隔膜閥AV7L和左單向閥CV1L，右壓力信號(hào)傳送器一 PTlR與氮?dú)夤芫€之間的管路上設(shè)有右氣動(dòng)隔膜閥AV7R和右單向閥CV1R，氮?dú)夤芫€的進(jìn)氣口處設(shè)有氣動(dòng)微漏閥AVlN和氣動(dòng)隔膜閥AV2N，左氣動(dòng)隔膜閥AV7L、左單向閥CV1L、右氣動(dòng)隔膜閥AV7R、右單向閥CV1R、氣動(dòng)微漏閥AV1N、氣動(dòng)隔膜閥AV2N分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)；左壓力信號(hào)傳送器一 PTlL與特殊氣管線之間的管路上設(shè)有左氣動(dòng)隔膜閥一 AV2L，左壓力信號(hào)傳送器一 PTlL與真空管線之間的管路上設(shè)有左氣動(dòng)隔膜閥二 AV4L，右壓力信號(hào)傳送器一 PTlR與特殊氣管線之間的管路上設(shè)有右氣動(dòng)隔膜閥一 AV2R，右壓力信號(hào)傳送器一 PTlR與真空管線之間的管路上設(shè)有右氣動(dòng)隔膜閥二 AV4R，左氣動(dòng)隔膜閥一 AV2L、左氣動(dòng)隔膜閥二 AV4L、右氣動(dòng)隔膜閥一 AV2R、右氣動(dòng)隔膜閥二 AV4R分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)；左氣動(dòng)隔膜閥一 AV2L與特殊氣管線之間的管路上設(shè)有左壓力信號(hào)傳送器二 PT2L，右氣動(dòng)隔膜閥一 AV2R與特殊氣管線之間的管路上設(shè)有右壓力信號(hào)傳送器二 PT2R，左壓力信號(hào)傳送器二 PT2L、右壓力信號(hào)傳送器二 PT2R分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)。
[0014]由于時(shí)間使用較長(zhǎng)的設(shè)備有些閥門會(huì)產(chǎn)生內(nèi)漏的現(xiàn)象(俗稱關(guān)不死)，而更換氣體鋼瓶操作人員往往會(huì)在管線吹掃完畢報(bào)警提示后較長(zhǎng)的一段時(shí)間后才去更換鋼瓶，所以當(dāng)左氣體鋼瓶吹掃完畢并打開氣動(dòng)隔膜閥AV2N和左氣動(dòng)隔膜閥AV7L等待換瓶，而正在使用的右氣體鋼瓶右氣動(dòng)隔膜閥AV7R有內(nèi)漏。在較長(zhǎng)的時(shí)間里右氣體鋼瓶的氣體很容易通過管線漏到左側(cè)(因?yàn)閱蜗蜷y的漏率較大，密封性相對(duì)差)，此時(shí)當(dāng)操作人員打開左氣體鋼瓶的鋼瓶接頭后很可能會(huì)產(chǎn)生泄漏的危險(xiǎn)。為了防止上述情況，本實(shí)用新型通過在氮?dú)夤苈飞习惭b壓力信號(hào)傳送器，每次更換鋼瓶時(shí)先對(duì)特殊氣管路進(jìn)行排空及稀釋，然后抽空氮?dú)夤苈?，并?duì)氮?dú)夤苈愤M(jìn)行負(fù)壓保壓，直到用戶按下確認(rèn)換鋼瓶后，通過對(duì)比記錄壓力初始值與保負(fù)壓后的最終值進(jìn)行對(duì)比，判斷遮蔽閥是否內(nèi)漏，如果內(nèi)漏則報(bào)警提示不能更換鋼瓶，如果沒有則允許。
[0015]下表一是對(duì)附圖1中的閥件作大致解釋:
[0016]
【權(quán)利要求】
1.一種全自動(dòng)氣柜換鋼瓶防泄漏系統(tǒng)，包括左氣體鋼瓶(GASL)、右氣體鋼瓶(GASR)和電氣系統(tǒng)，其特征在于:所述左氣體鋼瓶(GASL)、右氣體鋼瓶(GASR)的出口分別通過管路連接特殊氣管線、氮?dú)夤芫€和真空管線，所述氮?dú)夤芫€上安裝有壓力信號(hào)傳送器(PTN)，所述真空管線上安裝有真空發(fā)生器(VG1L)，所述左氣體鋼瓶(GASL)出口處的管線上安裝有左壓力信號(hào)傳送器一(PT1L)，所述右氣體鋼瓶(GASR)出口處的管線上安裝有右壓力信號(hào)傳送器一(PT1R)，所述壓力信號(hào)傳送器(PTN)、真空發(fā)生器(VG1L)、左壓力信號(hào)傳送器一(PT1L)、右壓力信號(hào)傳送器一(PTlR)分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)。
2.如權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)氣柜換鋼瓶防泄漏系統(tǒng)，其特征在于:所述左壓力信號(hào)傳送器一(PTlL)與氮?dú)夤芫€之間的管路上設(shè)有左氣動(dòng)隔膜閥(AV7L)和左單向閥(CV1L)，所述右壓力信號(hào)傳送器一(PTlR)與氮?dú)夤芫€之間的管路上設(shè)有右氣動(dòng)隔膜閥(AV7R)和右單向閥(CV1R)，所述氮?dú)夤芫€的進(jìn)氣口處設(shè)有氣動(dòng)微漏閥(AVlN)和氣動(dòng)隔膜閥(AV2N)，所述左氣動(dòng)隔膜閥(AV7L)、左單向閥(CV1L)、右氣動(dòng)隔膜閥(AV7R)、右單向閥(CV1R)、氣動(dòng)微漏閥(AV1N)、氣動(dòng)隔膜閥(AV2N)分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的全自動(dòng)氣柜換鋼瓶防泄漏系統(tǒng)，其特征在于:所述左壓力信號(hào)傳送器一(PTlL)與特殊氣管線之間的管路上設(shè)有左氣動(dòng)隔膜閥一(AV2L)，所述左壓力信號(hào)傳送器一(PTlL)與真空管線之間的管路上設(shè)有左氣動(dòng)隔膜閥二(AV4L)，所述右壓力信號(hào)傳送器一(PTlR)與特殊氣管線之間的管路上設(shè)有右氣動(dòng)隔膜閥一(AV2R)，所述右壓力信號(hào)傳送器一(PTlR)與真空管線之間的管路上設(shè)有右氣動(dòng)隔膜閥二(AV4R)，所述左氣動(dòng)隔膜閥一(AV2L)、左氣動(dòng)隔膜閥二(AV4L)、右氣動(dòng)隔膜閥一(AV2R)、右氣動(dòng)隔膜閥二(AV4R)分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)。
4.如權(quán)利要求3所述的全自動(dòng)氣柜換鋼瓶防泄漏系統(tǒng)，其特征在于:所述左氣動(dòng)隔膜閥一(AV2L)與特殊氣管線之間的管路上設(shè)有左壓力信號(hào)傳送器二(PT2L)，所述右氣動(dòng)隔膜閥一(AV2R)與特殊氣管線之間的管路上設(shè)有右壓力信號(hào)傳送器二(PT2R)，所述左壓力信號(hào)傳送器二(PT2L)、右壓力信號(hào)傳送器二(PT2R)分別通過PLC連接電氣系統(tǒng)。
【文檔編號(hào)】F17D5/02GK203703625SQ201320822845
【公開日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2013年12月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月12日
【發(fā)明者】簡(jiǎn)建至, 姚輝, 凌晨華 申請(qǐng)人:冠禮控制科技（上海）有限公司