專利名稱：撬裝式超純氨現(xiàn)場(chǎng)供氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
撬裝式超純氨現(xiàn)場(chǎng)供氣裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種汽化恒壓供氣一體化裝置，特別涉及一種撬裝式超純氨現(xiàn)場(chǎng)供氣裝置。
背景技術(shù)：
[0002]近年來，在全球關(guān)注低碳經(jīng)濟(jì)模式的背景下，世界各國(guó)大力發(fā)展清潔能源以及節(jié)能技術(shù)，重點(diǎn)關(guān)注低碳經(jīng)濟(jì)。在此背景下，我國(guó)的LED技術(shù)及相關(guān)產(chǎn)業(yè)得到了迅猛發(fā)展。尤其以高亮度GaN基藍(lán)光LED為核心的半導(dǎo)體照明技術(shù)對(duì)照明領(lǐng)域帶來了很大的沖擊，并成為目前全球半導(dǎo)體領(lǐng)域研究和投資的熱點(diǎn)。隨著半導(dǎo)體發(fā)光器件(LED)等光電子產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，行業(yè)中的單體設(shè)計(jì)產(chǎn)能有了爆發(fā)式的增長(zhǎng)，對(duì)上游原材料的需求量有了更為龐大的需求。[0003]7N電子級(jí)超純氨是LED行業(yè)中的一種重要原材料，是MOCVD技術(shù)制備GaN的重要基礎(chǔ)材料。其基本原理在于超高純氨氣用于金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相淀積(MOCVD)外延生長(zhǎng)過程中，它與金屬有機(jī)物的前驅(qū)物三甲基鎵(Ga(CH3))在高溫高壓下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成氮化鎵:[0004]Ga (CH3) 3 (g) +NH3 (g) — GaN (s) +3CH4 (g)。[0005]氮化鎵是LED技術(shù)的核心，決定著LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此，產(chǎn)業(yè)的發(fā)展對(duì)超純氨的供應(yīng)提出了更高的要求。目前，全球LED行業(yè)中的單體工廠對(duì)超純氨的用量規(guī)模，其供應(yīng)最大的流量不超過100Nm3/h，而實(shí)際需求上，對(duì)超純氨的流量超過400Nm3/h的LED工廠其數(shù)量正在迅速增加。[0006][0004]當(dāng)前LED生產(chǎn)過程中廣泛使用的對(duì)超純氨的三種液氨罐(Y瓶、T瓶、ISO槽車)的現(xiàn)場(chǎng)汽化供氣模式如下:[0007]
權(quán)利要求1.一種撬裝式超純氨現(xiàn)場(chǎng)供氣裝置，其特征是該裝置包括液氨罐車、緩沖罐、空氣源熱泵熱水系統(tǒng)、恒壓調(diào)節(jié)閥組、自動(dòng)控制系統(tǒng)和載車，所述液氨罐車與緩沖罐外部均設(shè)計(jì)有夾套，所述液氨罐車管線與空氣源熱泵熱水系統(tǒng)出水口相連；所述緩沖罐與液氨罐車出口相連，所述緩沖罐夾套入口與液氨罐車夾套出口通過管線連接，所述空氣源熱泵熱水系統(tǒng)與液氨罐車出口管線進(jìn)水口相連，所述調(diào)壓系統(tǒng)連接緩沖罐出口管線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的撬裝式超純氨現(xiàn)場(chǎng)供氣裝置，其特征是所述緩沖罐、空氣源熱泵熱水系統(tǒng)、恒壓調(diào)節(jié)閥組和自動(dòng)控制系統(tǒng)共同用一輛載車承載。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的撬裝式超純氨現(xiàn)場(chǎng)供氣裝置，其特征是所述液氨罐車與緩沖罐的夾套外層用保溫材料包裹，夾套內(nèi)部設(shè)有熱水循環(huán)系統(tǒng)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種撬裝式超純氨現(xiàn)場(chǎng)供氣裝置，該裝置包括液氨罐車、緩沖罐、空氣源熱泵熱水系統(tǒng)、恒壓調(diào)節(jié)閥組、自動(dòng)控制系統(tǒng)和載車。所述液氨罐車與緩沖罐外部均設(shè)計(jì)有夾套，所述液氨罐車管線與空氣源熱泵熱水系統(tǒng)出水口相連；所述緩沖罐與液氨罐車出口相連，所述緩沖罐夾套入口與液氨罐車夾套出口通過管線連接，所述空氣源熱泵熱水系統(tǒng)與液氨罐車出口管線進(jìn)水口相連，采用該系統(tǒng)高效方便的實(shí)現(xiàn)了液氨罐車和加熱系統(tǒng)的對(duì)接，滿足了客戶的需求而無需客戶增加附帶的設(shè)備，克服了時(shí)間、空間和地域的限制，有利于公司客戶源的進(jìn)一步開辟。
文檔編號(hào)F17D1/04GK202972530SQ20122050183
公開日2013年6月5日 申請(qǐng)日期2012年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月28日
發(fā)明者金向華, 陳琦峰, 黃軍聘 申請(qǐng)人:蘇州金宏氣體股份有限公司