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精度容量排放控制化學(xué)容器的制作方法

文檔序號(hào):5813337閱讀:208來源:國(guó)知局
專利名稱:精度容量排放控制化學(xué)容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
精度容量排放控制化學(xué)容器本實(shí)用新型涉及化學(xué)品精度控制技術(shù)領(lǐng)域,具體地說是一種精度容量排放控制化
學(xué)容器。在半導(dǎo)體和醫(yī)藥行業(yè)中,對(duì)于藥液和化學(xué)品的精度控制是必須的。目前,常用的手段是通過計(jì)量泵或定量容器對(duì)其進(jìn)行控制,根據(jù)使用情況來看,存在以下不足之處計(jì)量泵的費(fèi)用比較高,增加了使用成本;而定量容器雖然費(fèi)用適當(dāng),但由于受液位傳感器本身的限制,定量容器的控制精度卻比較低,且使用的局限性大,從而無法保證所需化學(xué)用品的精度要求,給人們的使用帶來了不便。本實(shí)用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便,且控制精度高的精度容量排放控制化學(xué)容器。為實(shí)現(xiàn)上述目的設(shè)計(jì)一種精度容量排放控制化學(xué)容器,包括容器本體6和化學(xué)容器8,所述容器本體6通過管道連接化學(xué)容器8,所述管道中設(shè)有控制閥7,所述容器本體6上方設(shè)有調(diào)節(jié)裝置I和容積調(diào)節(jié)本體2,所述容積調(diào)節(jié)本體2安裝在調(diào)節(jié)裝置I的下方,所述容器本體6的側(cè)面設(shè)有溢流管道3。所述溢流管道3中設(shè)有液位傳感器4和排液控制閥5。所述調(diào)節(jié)裝置I為手動(dòng)或自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置。本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比,結(jié)構(gòu)新穎、簡(jiǎn)單,由于在容器本體上方設(shè)有調(diào)節(jié)裝置和容積調(diào)節(jié)本體,從而通過溢流的方式控制化學(xué)品的精度,不僅控制精度高,而且針對(duì)現(xiàn)有的液位傳感系統(tǒng)來說,其自動(dòng)化程度更高,用戶可根據(jù)需要自由調(diào)整調(diào)節(jié)裝置,溢出排放,且化學(xué)品排放為自動(dòng);此外,在溢流管道中設(shè)有液位傳感器,則保證了溢流管道中的溢出液體不會(huì)回流至容器本體內(nèi),操作方便、可靠,值得推廣應(yīng)用。圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3是本實(shí)用新型中容器本體溢流過程示意圖;圖中I、調(diào)節(jié)裝置2、容積調(diào)節(jié)本體3、溢流管道4、液位傳感器5、排液控制閥6、容器本體7、控制閥8、化學(xué)容器。
以下結(jié)合附圖
對(duì)本實(shí)用新型作以下進(jìn)一步說明如附圖所示,本實(shí)用新型包括容器本體6和化學(xué)容器8,所述容器本體6通過管道連接化學(xué)容器8,所述管道中設(shè)有控制閥7,所述容器本體6上方設(shè)有調(diào)節(jié)裝置I和容積調(diào)節(jié)本體2,所述容積調(diào)節(jié)本體2安裝在調(diào)節(jié)裝置I的下方,所述容器本體6的側(cè)面設(shè)有溢流管道3,所述溢流管道3中設(shè)有液位傳感器4和排液控制閥5。本實(shí)用新型中,所述調(diào)節(jié)裝置I為手動(dòng)或自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,若采用手動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,則可為螺紋結(jié)構(gòu);若采用自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,可使用伺服電機(jī)帶動(dòng)的結(jié)構(gòu),其基本原理都是通過調(diào)節(jié)裝置帶動(dòng)容積調(diào)節(jié)本體的升降,其實(shí)施非常靈活、方便;溢流管道中設(shè)有的液位傳感器,則保證了溢流管道中的溢出液體不會(huì)回流至容器本體內(nèi),其中排放控制閥用于控制多余化學(xué)液的流出,控制閥用于控制所需要使用的化學(xué)液用量。本實(shí)用新型優(yōu)化了原有的可調(diào)容積容器的控制精度,其基本原理是通過溢出的方式,使化學(xué)品的容積達(dá)到需要的范圍。具體為,通過螺紋結(jié)構(gòu)或伺服電機(jī)結(jié)構(gòu)的調(diào)節(jié)裝置使得容積調(diào)節(jié)本體浸入容器本體中的化學(xué)液中,并將多余的化學(xué)液從容器本體側(cè)面的溢出管道中流出,待容器本體內(nèi)的液面穩(wěn)定后,將調(diào)節(jié)后的化學(xué)液排入化學(xué)容器中,最后進(jìn)行使 用。本實(shí)用新型并不受上述實(shí)施方式的限制,其他的任何未背離本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡(jiǎn)化,均應(yīng)為等效的置換方式,都包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.ー種精度容量排放控制化學(xué)容器,包括容器本體(6)和化學(xué)容器(8),所述容器本體(6)通過管道連接化學(xué)容器(8),所述管道中設(shè)有控制閥(7),其特征在于所述容器本體(6)上方設(shè)有調(diào)節(jié)裝置(I)和容積調(diào)節(jié)本體(2),所述容積調(diào)節(jié)本體(2)安裝在調(diào)節(jié)裝置(I)的下方,所述容器本體出)的側(cè)面設(shè)有溢流管道(3)。
2.如權(quán)利要求I所述的精度容量排放控制化學(xué)容器,其特征在于所述溢流管道(3)中設(shè)有液位傳感器(4)和排液控制閥(5)。
3.如權(quán)利要求I或2所述的精度容量排放控制化學(xué)容器,其特征在于所述調(diào)節(jié)裝置(I)為手動(dòng)或自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置。
專利摘要本實(shí)用新型涉及化學(xué)品精度控制技術(shù)領(lǐng)域,具體地說是一種精度容量排放控制化學(xué)容器,包括容器本體(6)和化學(xué)容器(8),所述容器本體(6)通過管道連接化學(xué)容器(8),所述管道中設(shè)有控制閥(7),所述容器本體(6)上方設(shè)有調(diào)節(jié)裝置(1)和容積調(diào)節(jié)本體(2),所述容積調(diào)節(jié)本體(2)安裝在調(diào)節(jié)裝置(1)的下方,所述容器本體(6)的側(cè)面設(shè)有溢流管道(3),所述溢流管道(3)中設(shè)有液位傳感器(4)和排液控制閥(5);本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比,結(jié)構(gòu)新穎、簡(jiǎn)單,不僅控制精度高,而且自動(dòng)化程度更高,操作方便、可靠。
文檔編號(hào)F17D3/01GK202521225SQ20122011529
公開日2012年11月7日 申請(qǐng)日期2012年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月23日
發(fā)明者江獻(xiàn)茂, 簡(jiǎn)建至, 黃自柯 申請(qǐng)人:冠禮控制科技(上海)有限公司
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