專利名稱：供氣管路系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是關(guān)于一種氣體管路，尤其指一種使用可程式化控制器自動(dòng)控制閥件 動(dòng)作，可用于用氣設(shè)備供應(yīng)端防止外部供應(yīng)端接續(xù)或脫離時(shí)致使氣體泄漏于環(huán)境及避免供 氣純度受影響的供氣管路系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)今工業(yè)多有使用氣體作為制程中的原料或者媒介，因此氣體供應(yīng)設(shè)備亦為廠房 中相當(dāng)重要的設(shè)施。然而，氣體原料的供應(yīng)與儲(chǔ)存常常借助鋼瓶或槽車來(lái)達(dá)成。舊有技術(shù) 在鋼瓶或槽車更換時(shí)，時(shí)常需要手動(dòng)控制閥件來(lái)達(dá)成凈化管路的要求。許多氣體泄漏的安 全事故往往因?yàn)槿藶椴僮鞑划?dāng)而發(fā)生，造成財(cái)產(chǎn)及生命的損失。另外，不當(dāng)?shù)牟僮饕矔?huì)造成 氣體的純凈度受到影響而間接影響到產(chǎn)品的合格率。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的，是提供一種一供氣管路系統(tǒng)可避免外部氣體供應(yīng)端接續(xù) 或脫離時(shí)污染外界或影響供氣純凈度。為達(dá)此目的，本實(shí)用新型包含一供氣管路、凈化管路、排氣管路相互連通接續(xù)于一 用氣設(shè)施的供應(yīng)端。并含有一可程式化控制器自動(dòng)控制上述管路中的閥件開閉。供器管 路含有高壓供氣閥、低壓供氣閥、旁路高壓供氣閥、及旁路低壓供氣閥可將接續(xù)于供氣管路 外端的氣體供應(yīng)至用氣設(shè)施。該凈化管路含有一凈化閥、高壓凈化閥、低壓凈化閥、及一凈 化手動(dòng)閥。該排氣管路含有一文氏管、高壓泄壓閥、低壓泄壓閥、真空隔絕閥、及一真空產(chǎn)生 閥。其采用的技術(shù)方案包含一個(gè)供氣管路，該供氣管路有一外側(cè)管路供一外部供應(yīng) 端的隔絕閥接續(xù)，外側(cè)管路往用氣設(shè)備端延伸有并聯(lián)的主供應(yīng)管路及旁路；該主供應(yīng)管路 設(shè)有高壓供氣閥及低壓供氣閥；該旁路設(shè)有旁路高壓供氣閥及旁路低壓供氣閥，該主供應(yīng) 管路與旁路會(huì)合后形成設(shè)備接續(xù)管路，并設(shè)有設(shè)備隔絕閥；一個(gè)凈化管路，該凈化管路接續(xù) 于供氣管路的外側(cè)管路并設(shè)有凈化隔絕閥；該凈化管路延伸有并聯(lián)的高壓管路與低壓管 路；該高壓管路連接高壓氮?dú)怃撈坎⒃O(shè)有高壓入口閥，該低壓管路連接高純度氮?dú)夤?yīng)端 并設(shè)有低壓入口閥及低壓隔絕閥；一個(gè)排氣管路，分別有接續(xù)于供器管路的外側(cè)管路的高 壓排氣管及接續(xù)于主供應(yīng)管路的高、低壓供氣閥間的低壓排氣管路；該高壓排氣管設(shè)有高 壓排氣閥，該低壓排氣管路設(shè)有低壓排氣閥；該高、低壓排氣管匯合后連接一個(gè)真空隔絕閥 及一個(gè)文氏管；一個(gè)真空供應(yīng)管設(shè)有一個(gè)真空供應(yīng)閥連接于該文氏管，一個(gè)排氣管也連接 于該文氏管；一個(gè)可程式化控制器，其至少連接于該供器管路的高壓供氣閥、低壓供氣閥， 凈化管路的凈化隔絕閥、高壓入口閥、低壓入口閥、低壓隔絕閥，以及排氣管路的高壓排氣 閥、低壓排氣閥、及真空供應(yīng)閥，借以控制該些閥件的開閉；其中，于外部供應(yīng)端脫離時(shí)，可 程式化控制器控制真空供應(yīng)閥開啟使文氏管產(chǎn)生真空，并自動(dòng)依程序分別控制閥件使外側(cè) 管路內(nèi)的氣體經(jīng)由高壓供氣閥、低壓排氣閥由排氣管路排出，交替使純凈氮?dú)馔ㄟ^低壓入3口閥、低壓隔絕閥及凈化隔絕閥進(jìn)入外側(cè)管路；以將外側(cè)管路凈化，使用者將外部供應(yīng)端脫 離時(shí)不會(huì)有殘留氣體污染環(huán)境。優(yōu)選的該供器管路的高壓供氣閥、低壓供氣閥之間設(shè)有調(diào)壓閥。該旁路的旁路高 壓供氣閥及旁路低壓供氣閥之間設(shè)有一個(gè)調(diào)壓閥。該外側(cè)管路設(shè)有一個(gè)配合該可程式化控 制器進(jìn)行外側(cè)管路端與外部供應(yīng)端間的氣密性測(cè)試的壓力感應(yīng)器。該供氣管路的高、低壓 供氣閥間設(shè)有配合該可程式化控制器進(jìn)行氣密性測(cè)試的壓力感應(yīng)器。該凈化管路設(shè)有一個(gè) 配合該可程式化控制器進(jìn)行壓力確認(rèn)的壓力感應(yīng)器。該高、低壓排氣匯合后連接一個(gè)配合 該可程式化控制器進(jìn)行真空壓力確認(rèn)的壓力感應(yīng)器。本實(shí)用新型的有益技術(shù)效果在于經(jīng)由可程式化控制器自動(dòng)控制各閥件的開閉可 將供器管路局部進(jìn)行凈化，可避免外部氣體供應(yīng)端接續(xù)或脫離時(shí)污染外界或影響供氣純凈度。
圖1 為本實(shí)用新型的--較佳實(shí)施例的管:路圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明10該供氣管路110外側(cè)管路115壓力感應(yīng)器120主供應(yīng)管路121高壓供氣閥122調(diào)壓閥123低壓供氣閥125壓力感應(yīng)器130旁路131旁路高壓供氣閥132調(diào)壓閥133旁路低壓供氣閥140設(shè)備接續(xù)管路141設(shè)備隔絕閥20凈化管路201凈化隔絕閥205壓力感應(yīng)器210高壓管路220低壓管路211高壓入口閥220低壓管路221低壓入口閥222低壓隔絕閥30排氣管路301真空隔絕閥302文氏管305壓力感應(yīng)器310高壓排氣管311高壓排氣閥320低壓排氣管路321低壓排氣閥330真空供應(yīng)管331真空供應(yīng)閥340排氣管40可程式化控制器50外部供應(yīng)端501隔絕閥具體實(shí)施方式
茲再配合本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的圖式進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，以期能使熟悉本發(fā)明相 關(guān)技術(shù)的人士，得依本說(shuō)明書的陳述據(jù)以實(shí)施。請(qǐng)參閱圖1所示的本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例的管路圖，本實(shí)用新型的供氣管路包 含一供氣管路10、凈化管路20、排氣管路30、及一可程式化控制器40。該供氣管路10的外側(cè)管路110可供一外部供應(yīng)端50的隔絕閥501接續(xù)，外側(cè)端 110往用氣設(shè)備延伸有并聯(lián)的主供應(yīng)管路120及旁路130。該主供應(yīng)管路120設(shè)有高壓供 氣閥121、調(diào)壓閥122、及一低壓供氣閥123。該旁路130設(shè)有一旁路高壓供氣閥131、調(diào)壓 閥132及旁路低壓供氣閥133。該主供應(yīng)管路120與旁路130匯合后形成一設(shè)備接續(xù)管路 140，并設(shè)有一設(shè)備隔絕閥141，該設(shè)備接續(xù)管路140該連接一個(gè)MFM(熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) 即Mass Flow Meter的縮寫)。其中，于外側(cè)管路110與高、低壓供氣閥121、123間分別設(shè) 有壓力感應(yīng)器115及125。該凈化管路20接續(xù)于供氣管路10的外側(cè)管路110并設(shè)有一凈化隔絕閥201與壓力感應(yīng)器205。該凈化管路20延伸有并聯(lián)的高壓管路210與低壓管路220。該高壓管路 210連接一高壓氮?dú)怃撈坎⒃O(shè)有高壓入口閥211，該低壓管路220連接高純度氮?dú)夤?yīng)端并 設(shè)有一低壓入口閥221及低壓隔絕閥222。該排氣管路30分別有一高壓排氣管310接續(xù)于供器管路的外側(cè)管路110及接續(xù) 于主供應(yīng)管路的高、低壓供氣閥121、123間的低壓排氣管路320。該高壓排氣管310設(shè)有一 高壓排氣閥311，該低壓排氣管路320設(shè)有一低壓排氣閥321。該高、低壓排氣管310、320 會(huì)合后連接一壓力感應(yīng)器305、真空隔絕閥301及一文氏管302。一真空供應(yīng)管330設(shè)有一 真空供應(yīng)閥331連接于文氏管302，一排氣管340亦連接于該文氏管302。該可程式化控制器40至少可連接于該供器管路10的高壓供氣閥121、低壓供氣閥 123，凈化管路20的凈化隔絕閥201、高壓入口閥211、低壓入口閥221、低壓隔絕閥222，以 及排氣管路30的高壓排氣閥311、低壓排氣閥321、及真空供應(yīng)閥331，借以控制該等閥件的 開閉。當(dāng)外部供應(yīng)端50欲脫離供氣管路10時(shí)，待使用者將隔絕閥501關(guān)閉后，可程式化 控制器40可控制真空供應(yīng)閥331開啟使文氏管302產(chǎn)生真空，并自動(dòng)依程序分別控制閥件 使外側(cè)管路110內(nèi)的氣體經(jīng)由高壓供氣閥121、低壓排氣閥321由排氣管路340排出，交替 以使純凈氮?dú)馔ㄟ^低壓入口閥221、低壓隔絕閥222及凈化隔絕閥201進(jìn)入外側(cè)管路110。 以此將外側(cè)管路110凈化，令使用者將外部供應(yīng)端50脫離時(shí)不會(huì)有殘留氣體污染環(huán)境。同理，當(dāng)外部供應(yīng)端50連接上外側(cè)管路110后，可程式化控制器可依上述程序?qū)?外部管路內(nèi)的空氣予以排除后，使用者即可開啟隔絕閥501供應(yīng)氣體避免氣體的純凈度受 到影響。使用者即可通過可程式化控制器40控制氣體由主供應(yīng)管路110及旁路120供應(yīng) 至用氣設(shè)備。另外，當(dāng)使用者有維修供氣管路10的需求時(shí)，可通過可程式化控制器40將主供應(yīng) 管路110及旁路120的氣體由低壓排氣閥321及高壓排氣閥311排出，交替以使純凈氮?dú)?通過低壓入口閥221、低壓隔絕閥222及凈化隔絕閥201進(jìn)入主供應(yīng)管路110及旁路120。 以此將主供應(yīng)管路110及旁路120凈化，令使用者維修管路時(shí)不會(huì)有殘留氣體污染環(huán)境。同理，當(dāng)供氣管路10維修完畢后，可程式化控制器可依上述程序?qū)⒅鞴?yīng)管路 110及旁路120的空氣予以排除后，使用者即可開啟隔絕閥501供應(yīng)氣體避免氣體的純凈度 受到影響。[0031 ] 其中，為確保接續(xù)外部供應(yīng)端50或供氣管路110的氣密性，可程式化控制器40可 控制凈化管路20的高壓入口閥211并配合壓力感應(yīng)器115、125進(jìn)行測(cè)漏以確保管路的氣 密性。 綜上所陳，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用來(lái)限定本實(shí)用新型實(shí)施的 范圍。即凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)權(quán)利要求所做的均等變化與修飾，皆為本實(shí)用新型專利范圍 所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種供氣管路系統(tǒng)，其特征在于包含一個(gè)供氣管路，該供氣管路有一外側(cè)管路供一外部供應(yīng)端的隔絕閥接續(xù)，外側(cè)管路往 用氣設(shè)備端延伸有并聯(lián)的主供應(yīng)管路及旁路；該主供應(yīng)管路設(shè)有高壓供氣閥及低壓供氣 閥；該旁路設(shè)有旁路高壓供氣閥及旁路低壓供氣閥，該主供應(yīng)管路與旁路會(huì)合后形成設(shè)備 接續(xù)管路，并設(shè)有設(shè)備隔絕閥；一個(gè)凈化管路，該凈化管路接續(xù)于供氣管路的外側(cè)管路并設(shè)有凈化隔絕閥；該凈化管 路延伸有并聯(lián)的高壓管路與低壓管路；該高壓管路連接高壓氮?dú)怃撈坎⒃O(shè)有高壓入口閥， 該低壓管路連接高純度氮?dú)夤?yīng)端并設(shè)有低壓入口閥及低壓隔絕閥；一個(gè)排氣管路，分別有接續(xù)于供器管路的外側(cè)管路的高壓排氣管及接續(xù)于主供應(yīng)管路 的高、低壓供氣閥間的低壓排氣管路；該高壓排氣管設(shè)有高壓排氣閥，該低壓排氣管路設(shè)有 低壓排氣閥；該高、低壓排氣管匯合后連接一個(gè)真空隔絕閥及一個(gè)文氏管；一個(gè)真空供應(yīng) 管設(shè)有一個(gè)真空供應(yīng)閥連接于該文氏管，一個(gè)排氣管也連接于該文氏管；一個(gè)可程式化控制器，其至少連接于該供器管路的高壓供氣閥、低壓供氣閥，凈化管路 的凈化隔絕閥、高壓入口閥、低壓入口閥、低壓隔絕閥，以及排氣管路的高壓排氣閥、低壓排 氣閥、及真空供應(yīng)閥，借以控制該些閥件的開閉。
2.如權(quán)利要求1所述的供氣管路系統(tǒng)，其特征在于該供器管路的高壓供氣閥、低壓供 氣閥之間設(shè)有調(diào)壓閥。
3.如權(quán)利要求1所述的供氣管路系統(tǒng)，其特征在于該旁路的旁路高壓供氣閥及旁路 低壓供氣閥之間設(shè)有一個(gè)調(diào)壓閥。
4.如權(quán)利要求1所述的供氣管路系統(tǒng)，其特征在于該外側(cè)管路設(shè)有一個(gè)配合該可程 式化控制器進(jìn)行外側(cè)管路端與外部供應(yīng)端間的氣密性測(cè)試的壓力感應(yīng)器。
5.如權(quán)利要求1所述的供氣管路系統(tǒng)，其特征在于該供氣管路的高、低壓供氣閥間設(shè) 有配合該可程式化控制器進(jìn)行氣密性測(cè)試的壓力感應(yīng)器。
6.如權(quán)利要求1所述的供氣管路系統(tǒng)，其特征在于該凈化管路設(shè)有一個(gè)配合該可程 式化控制器進(jìn)行壓力確認(rèn)的壓力感應(yīng)器。
7.如權(quán)利要求1所述的供氣管路系統(tǒng)，其特征在于該高、低壓排氣匯合后連接一個(gè)配 合該可程式化控制器進(jìn)行真空壓力確認(rèn)的壓力感應(yīng)器。專利摘要一供氣管路系統(tǒng)包含一供氣管路、凈化管路、排氣管路相互連通接續(xù)于一用氣設(shè)施的供應(yīng)端。并含有一可程式化控制器自動(dòng)控制上述管路中的閥件開閉。供器管路含有高壓供氣閥、低壓供氣閥、旁路高壓供氣閥、及旁路低壓供氣閥可將接續(xù)于供氣管路外端的氣體供應(yīng)至用氣設(shè)施。該凈化管路含有一凈化閥、高壓凈化閥、低壓凈化閥、及一凈化手動(dòng)閥。該排氣管路含有一文氏管、高壓泄壓閥、低壓泄壓閥、真空隔絕閥、及一真空產(chǎn)生閥。經(jīng)由可程式化控制器自動(dòng)控制各閥件的開閉可將供器管路局部進(jìn)行凈化，可避免外部氣體供應(yīng)端接續(xù)或脫離時(shí)污染外界或影響供氣純凈度。
文檔編號(hào)F17D1/02GK201827651SQ20102050545
公開日2011年5月11日 申請(qǐng)日期2010年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月26日
發(fā)明者林嘉慶 申請(qǐng)人:林嘉慶