一種隔振工作臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及精密測量與測量設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種承載精密測量裝置的隔振工作臺。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，隨著精細(xì)加工技術(shù)的不斷進(jìn)步，尤其是在半導(dǎo)體納米制程工藝、微機(jī)電系統(tǒng)、納米復(fù)合材料、超精密加工等領(lǐng)域，迫切需要表面微觀形貌測量的相關(guān)技術(shù)和測量儀器。在表面微觀形貌測量技術(shù)中，干涉顯微測量技術(shù)是一種具有高精度、快速性的非接觸測量方法。在對表面微觀形貌進(jìn)行測量的過程中，必須在一個(gè)具有良好隔振性能的測量工作臺上進(jìn)行，否則任何微小的振動(dòng)都會(huì)對其測量結(jié)果產(chǎn)生很大影響。因此，亟待有一個(gè)具有優(yōu)異的隔振性能、能夠有效地吸收振動(dòng)能量的工作臺。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種有效地吸收振動(dòng)能量的工作臺，并且結(jié)構(gòu)簡單、成本低。
[0004]實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)解決方案為:
[0005]—種隔振工作臺，包括箱體、安裝于箱體底部的若干減震腳輪、安裝于箱體中的若干隔振支腿組件及支撐于隔振支腿組件上的承載臺；箱體包括側(cè)壁，所述箱體內(nèi)設(shè)有承載隔振支腿組件的中間平臺架，隔振支腿組件安裝在中間平臺架上并包圍于側(cè)壁內(nèi)；隔振支腿組件包括隔振支腿及連接隔振支腿的高度控制閥；所述隔振支腿包括外殼、位于外殼上方的承物板、自承物板延伸入外殼內(nèi)的活塞桿、位于外殼內(nèi)的第一隔板、位于外殼內(nèi)并在第一隔板下方的第二隔板；所述外殼包括頂壁及底壁，第一隔板與頂壁之間形成主氣室；第一隔板及第二隔板之間形成第一副氣室；第二隔板及底壁之間形成第二副氣室；所述第一隔板上設(shè)有連通主氣室及第一副氣室的第一節(jié)流孔；第二隔板上設(shè)有連通第一副氣室及第二副氣室的第二節(jié)流孔；所述外殼上設(shè)有連通主氣室的主氣室進(jìn)氣口 ；所述高度控制閥包括用以與空氣壓縮機(jī)連通的進(jìn)口以及連接主氣室進(jìn)氣口的出口。
[0006]上述隔振工作臺中，高度控制閥帶有控制桿，控制桿的自由端裝有與承載臺底部接觸的觸頭，控制桿自由上下運(yùn)動(dòng)，控制桿下降使高度控制閥打開，增壓空氣，控制桿抬起使尚度控制閥關(guān)閉。
[0007]上述隔振工作臺中，所述第一節(jié)流孔的開孔面積大于第二節(jié)流孔的開孔面積。
[0008]上述隔振工作臺中，所述活塞桿插入外殼的位置設(shè)有隔膜密封件。
[0009]上述隔振工作臺中，所述箱體的一個(gè)側(cè)面設(shè)有對開門。
[0010]上述隔振工作臺中，所述箱體中具有定平臺框架，定平臺框架包括底盤架和4個(gè)支撐豎梁，所述中間平臺架安裝在4個(gè)支撐豎梁并與底盤架平行設(shè)置。
[0011]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其顯著優(yōu)點(diǎn):
[0012]結(jié)構(gòu)簡單，由于采用了隔振腳輪，有可隨意變換位置、靈活、方便的特點(diǎn)；采用氣動(dòng)隔振技術(shù)，具有承載、隔振、緩沖復(fù)位能力，對一些小幅度的地板振動(dòng)具有很好的隔絕效果，使平臺在很短的時(shí)間內(nèi)穩(wěn)定，降低作業(yè)難度；采用的隔振支腿組件具有雙副氣室串聯(lián)結(jié)構(gòu)，具有較好的隔振效果。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型隔振工作臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2是本實(shí)用新型隔振工作臺中定平臺框架的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖3是本實(shí)用新型隔振工作臺中隔振支腿的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖4是本實(shí)用新型隔振工作臺中高度控制閥的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)的描述。以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0018]請參閱圖1所示，本實(shí)用新型公開一種隔振工作臺，包括箱體1、安裝于箱體I底部的若干減震腳輪2、安裝于箱體I中的若干(三個(gè)或以上)隔振支腿組件3及支撐于隔振支腿組件3上的承載臺4。
[0019]請結(jié)合圖1至圖3所示，箱體I包括側(cè)壁11及位于側(cè)壁11內(nèi)的定平臺框架12，定平臺框架包括底盤架13和4個(gè)支撐豎梁14，并設(shè)有中間平臺架15安裝在4個(gè)支撐豎梁14上并與底盤架13平行設(shè)置。且箱體的一個(gè)側(cè)面設(shè)有對開門16。所述中間平臺架15用以承載隔振支腿組件3。隔振支腿組件3安裝在中間平臺架15上并包圍于側(cè)壁11內(nèi)，這樣使得隔振支腿組件3隱藏在側(cè)壁11和承載臺4內(nèi)，使隔振支腿組件3能夠收到側(cè)壁11和承載臺4的保護(hù)而不會(huì)收到意外的外力影響。隔振支腿組件3包括隔振支腿5及連接隔振支腿5的高度控制閥6。所述隔振支腿5包括外殼51、位于外殼51上方的承物板52、自承物板52延伸入外殼51內(nèi)的活塞桿53、位于外殼51內(nèi)的第一隔板54、位于外殼51內(nèi)并在第一隔板54下方的第二隔板55。所述活塞桿53插入外殼的位置設(shè)有隔膜密封件531以形成密封。所述外殼51包括頂壁511及底壁512，第一隔板54與頂壁511之間形成主氣室56 ；第一隔板54及第二隔板55之間形成第一副氣室57 ;第二隔板55及底壁512之間形成第二副氣室58 ;所述第一隔板54上設(shè)有連通主氣室56及第一副氣室57的第一節(jié)流孔541 ;第二隔板55上設(shè)有連通第一副氣室57及第二副氣室58的第二節(jié)流孔551。當(dāng)承載臺4或外部的振動(dòng)引起活塞桿53上下振動(dòng)，主氣室56壓力發(fā)生變化促進(jìn)空氣在主副氣室之間流動(dòng)，流動(dòng)的空氣經(jīng)過第一、第二節(jié)流孔時(shí)節(jié)流產(chǎn)生阻尼衰減，達(dá)到隔振的目的。該隔振支腿5具有雙副氣室串聯(lián)結(jié)構(gòu)，相比較單副氣室結(jié)構(gòu)，空氣流動(dòng)產(chǎn)生的阻尼衰減更強(qiáng)，具有較好的隔振效果。在本實(shí)施方式中，所述第一節(jié)流孔541的開孔面積大于第二節(jié)流孔551的開孔面積，優(yōu)選的，第一節(jié)流孔半徑為5mm，第二節(jié)流孔半徑為4mm。
[0020]進(jìn)一步的，請?jiān)俳Y(jié)合圖4所示，本實(shí)用新型中設(shè)置了高度控制閥6，使得隔振支腿5利用高度控制閥6使隔振支腿5在任何載荷下保持一定的工作高度。所述隔振支腿5的外殼51上設(shè)有連通主氣室56的主氣室進(jìn)氣口 513 ;所述高度控制閥6包括用以與空氣壓縮機(jī)(未圖示)連通的進(jìn)口 61以及連接主氣室進(jìn)氣口 513的出口 62。高度控制閥帶有控制桿63，控制桿63的自由端裝有與臺面底部接觸的橡膠觸頭631，控制桿63可以自由上下運(yùn)動(dòng)，以控制其中閥芯(未圖示)的開閉。由于閥芯的推頂，橡膠觸頭631始終保持與承載臺4底部接觸。當(dāng)承載臺4上的載荷增加而承載臺4下沉?xí)r，控制桿63下降，使裝配在內(nèi)部的閥芯打開而通過空氣壓縮機(jī)增壓空氣，隔振支腿5的主氣室56由于充氣，推動(dòng)活塞桿53和承載臺4，使臺承載臺4升到原來的位置。在承載臺4上升過程中，控制桿63跟著抬起，此時(shí)，閥芯自動(dòng)關(guān)閉停止進(jìn)氣。使承載臺4穩(wěn)定在原來的高度，因此有利于工程應(yīng)用。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種隔振工作臺，其特征在于:包括箱體、安裝于箱體底部的若干減震腳輪、安裝于箱體中的若干隔振支腿組件及支撐于隔振支腿組件上的承載臺； 箱體包括側(cè)壁，所述箱體內(nèi)設(shè)有承載隔振支腿組件的中間平臺架，隔振支腿組件安裝在中間平臺架上并包圍于側(cè)壁內(nèi)；隔振支腿組件包括隔振支腿及連接隔振支腿的高度控制閥；所述隔振支腿包括外殼、位于外殼上方的承物板、自承物板延伸入外殼內(nèi)的活塞桿、位于外殼內(nèi)的第一隔板、位于外殼內(nèi)并在第一隔板下方的第二隔板；所述外殼包括頂壁及底壁，第一隔板與頂壁之間形成主氣室；第一隔板及第二隔板之間形成第一副氣室；第二隔板及底壁之間形成第二副氣室；所述第一隔板上設(shè)有連通主氣室及第一副氣室的第一節(jié)流孔；第二隔板上設(shè)有連通第一副氣室及第二副氣室的第二節(jié)流孔；所述外殼上設(shè)有連通主氣室的主氣室進(jìn)氣口 ；所述高度控制閥包括用以與空氣壓縮機(jī)連通的進(jìn)口以及連接主氣室進(jìn)氣口的出口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔振工作臺，其特征在于:高度控制閥帶有控制桿，控制桿的自由端裝有與承載臺底部接觸的觸頭，控制桿自由上下運(yùn)動(dòng)，控制桿下降使高度控制閥打開，增壓空氣，控制桿抬起使高度控制閥關(guān)閉。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的隔振工作臺，其特征在于:所述第一節(jié)流孔的開孔面積大于第二節(jié)流孔的開孔面積。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔振工作臺，其特征在于:所述活塞桿插入外殼的位置設(shè)有隔膜密封件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔振工作臺，其特征在于:所述箱體的一個(gè)側(cè)面設(shè)有對開門。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔振工作臺，其特征在于:所述箱體中具有定平臺框架，定平臺框架包括底盤架和4個(gè)支撐豎梁，所述中間平臺架安裝在4個(gè)支撐豎梁并與底盤架平行設(shè)置。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種結(jié)構(gòu)簡單的隔振工作臺，包括箱體、減震腳輪、安裝于箱體中的若干隔振支腿及承載臺；隔振支腿采用氣動(dòng)隔振技術(shù)，具有承載、隔振、緩沖復(fù)位能力，對一些小幅度的地板振動(dòng)具有很好的隔絕效果，使平臺在很短的時(shí)間內(nèi)穩(wěn)定，降低作業(yè)難度；采用的隔振支腿組件具有雙副氣室串聯(lián)結(jié)構(gòu)，具有較好的隔振效果。
【IPC分類】F16M11-00, F16F15-02, F16F15-023
【公開號】CN204403689
【申請?zhí)枴緾N201420837599
【發(fā)明人】夏勇, 周偉, 藏啟擴(kuò)
【申請人】鎮(zhèn)江超納儀器有限公司（中外合資）
【公開日】2015年6月17日
【申請日】2014年12月25日