旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機構的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機構，按國際專利分類表(IPC)劃分屬于靶材制造技術領域。
【背景技術】
[0002]旋轉(zhuǎn)靶材在加工過程中因上時間處于高溫加工中，而靶材本身遇到高溫會出現(xiàn)裂痕，而未解決上述問題在噴涂靶材的背管內(nèi)通入冷卻液，進而實現(xiàn)靶材的冷卻，從而確保靶材的質(zhì)量。
[0003]但現(xiàn)有針對旋轉(zhuǎn)靶材的冷卻結(jié)構為芯軸，而現(xiàn)有芯軸的結(jié)構中端蓋扣設在背管兩端并采用密封圈密封，而這種端蓋的密封結(jié)構其占據(jù)背管兩端端頭較大空間，進而無法達到背管兩端短狗冷卻的效果，進而靶材局部高溫而斷裂，從而無法達到有效冷卻的目的。
[0004]由此，本發(fā)明人考慮對現(xiàn)有的旋轉(zhuǎn)靶材芯軸結(jié)構進行改進，本案由此產(chǎn)生。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]針對現(xiàn)有技術的不足，本實用新型提供了一種旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機構，其采用石棉加鋁板的結(jié)構實現(xiàn)背管與芯軸機構之間的密封，用以實現(xiàn)背管兩端端部的冷卻，從而提高冷卻效果，進而有效避免因噴涂過程中過熱導致靶材開裂等現(xiàn)象。
[0006]為達到上述目的，本實用新型是通過以下技術方案實現(xiàn)的:
[0007]旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機構，該芯軸機構位于旋轉(zhuǎn)靶材的中空背管內(nèi)，所述芯軸機構包括中空管體及左、右端頭，所述左、右端頭分別于管體的左、右端配合連接并形成一體式芯軸結(jié)構；所述左、右端頭分別套設有密封結(jié)構，而該密封結(jié)構扣設在背管兩端的開口處，形成背管兩端的密封結(jié)構。
[0008]進一步，所述密封結(jié)構包括石棉層及鋁板，所述鋁板扣設在背管兩端的開口處，而所述石棉層是夾設在背管與鋁板之間，用以實現(xiàn)背管兩端的冷卻密封。
[0009]進一步，所述石棉層的厚度為4~6mm0
[0010]進一步，所述左、右端頭內(nèi)均具開設有通孔，所述通孔包括沿著左、右端頭軸心開設的直孔，及多通交叉孔，所述多通交叉孔與左、右端頭中直孔底端連通，該多通交叉孔與中空背管連通，從而獲得沿左或右端頭的通孔、中空背管及右或左端頭的通孔相互連通形成的實現(xiàn)冷卻液流通的冷卻流道。
[0011 ] 進一步，所述多通交叉孔為開設在左、右端頭內(nèi)的多條管狀通孔，而該多條管狀通孔的中部相互交叉設置且相互連通形成中央交叉部，而所述直孔的底端與中央交叉部連通，從而形成具有與中空背管內(nèi)腔連通的多通式的孔結(jié)構。
[0012]進一步，所述左、右端頭上均套設有固定法蘭，每個固定法蘭內(nèi)圓與左或右端頭外圓配合卡接并通過密封圈密封，而每個固定法蘭的外圓與背管內(nèi)圓卡接并通過前述密封結(jié)構密封。
[0013]進一步，所述芯軸機構為不銹鋼軸體。
[0014]與現(xiàn)有技術相比較，本實用新型的優(yōu)點:
[0015]本實用新型在背管兩端開口處利用石棉與鋁板實現(xiàn)密封，令冷卻水可以流至背管兩端處，從而有效實現(xiàn)了背管端頭處的冷卻，進而提升芯軸機構對背管的冷卻效果，從而有效避免因噴涂過程中過熱導致靶材開裂等現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0016]圖1是本實用新型結(jié)構示意圖。
【具體實施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明:
[0018]實施例:請參閱圖1所示，旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機構，該芯軸機構位于旋轉(zhuǎn)靶材的中空背管A內(nèi)，所述芯軸機構包括中空管體I及左、右端頭2、3，所述左、右端頭2、3分別于管體I的左、右端2、3配合連接并形成一體式芯軸結(jié)構，所述芯軸機構為不銹鋼軸體。
[0019]請參閱圖1所示，前述左、右端頭2、3上均套設有固定法蘭4，每個固定法蘭4內(nèi)圓與左或右端頭2或3外圓配合卡接并通過密封圈密封，而每個固定法蘭4的外圓與背管A內(nèi)圓卡接并通過前述密封結(jié)構5密封。
[0020]請參閱圖1所示，前述密封結(jié)構5套設在左、右端頭2、3上并扣設在背管A兩端的開口處，形成背管A兩端的密封結(jié)構。所述密封結(jié)構5包括石棉層51及鋁板52，所述鋁板52扣設在背管A兩端的開口處，而所述石棉層51是夾設在背管A與鋁板52之間，用以實現(xiàn)背管兩端的冷卻密封，所述石棉層51的厚度為4~6mm。
[0021]請參閱圖1所示，前述左、右端頭2、3內(nèi)均具開設有通孔6，所述通孔包括沿著左、右端頭2、3軸心開設的直孔61，及多通交叉孔62，所述多通交叉孔62與左、右端頭2、3中直孔61底端連通，該多通交叉孔62與中空背管A連通，從而獲得沿左或右端頭的通孔、中空背管及右或左端頭的通孔相互連通形成的實現(xiàn)冷卻液流通的冷卻流道，所述多通交叉孔62為開設在左、右端頭2、3內(nèi)的多條管狀通孔，而該多條管狀通孔的中部相互交叉設置且相互連通形成中央交叉部，而所述直孔的底端與中央交叉部連通，從而形成具有與中空背管內(nèi)腔連通的多通式的孔結(jié)構。
[0022]請參閱圖1所示，本實用新型在背管A兩端開口處利用石棉層51與鋁板52實現(xiàn)密封，令冷卻水可以流至背管兩端處，從而有效實現(xiàn)了背管端頭處的冷卻，進而提升芯軸機構對背管的冷卻效果，從而有效避免因噴涂過程中過熱導致靶材開裂等現(xiàn)象。
[0023]以上所記載，僅為利用本創(chuàng)作技術內(nèi)容的實施例，任何熟悉本項技藝者運用本創(chuàng)作所做的修飾、變化，皆屬本創(chuàng)作主張的專利范圍，而不限于實施例所揭示者。
【主權項】
1.旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機構，該芯軸機構位于旋轉(zhuǎn)靶材的中空背管內(nèi)，其特征在于:所述芯軸機構包括中空管體及左、右端頭，所述左、右端頭分別于管體的左、右端配合連接并形成一體式芯軸結(jié)構；所述左、右端頭分別套設有密封結(jié)構，而該密封結(jié)構扣設在背管兩端的開口處，形成背管兩端的密封結(jié)構。
2.根據(jù)權利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機構，其特征在于:所述密封結(jié)構包括石棉層及鋁板，所述鋁板扣設在背管兩端的開口處，而所述石棉層是夾設在背管與鋁板之間，用以實現(xiàn)背管兩端的冷卻密封。
3.根據(jù)權利要求2所述的旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機構，其特征在于:所述石棉層的厚度為4?6mmο
4.根據(jù)權利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機構，其特征在于:所述左、右端頭內(nèi)均具開設有通孔，所述通孔包括沿著左、右端頭軸心開設的直孔，及多通交叉孔，所述多通交叉孔與左、右端頭中直孔底端連通，該多通交叉孔與中空背管連通，從而獲得沿左或右端頭的通孔、中空背管及右或左端頭的通孔相互連通形成的實現(xiàn)冷卻液流通的冷卻流道。
5.根據(jù)權利要求4所述的旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機構，其特征在于:所述多通交叉孔為開設在左、右端頭內(nèi)的多條管狀通孔，而該多條管狀通孔的中部相互交叉設置且相互連通形成中央交叉部，而所述直孔的底端與中央交叉部連通，從而形成具有與中空背管內(nèi)腔連通的多通式的孔結(jié)構。
【專利摘要】本實用新型公開旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機構，該芯軸機構位于旋轉(zhuǎn)靶材的中空背管內(nèi)，所述芯軸機構包括中空管體及左、右端頭，所述左、右端頭分別于管體的左、右端配合連接并形成一體式芯軸結(jié)構；所述左、右端頭分別套設有密封結(jié)構，而該密封結(jié)構扣設在背管兩端的開口處，形成背管兩端的密封結(jié)構。本實用新型在背管兩端開口處利用石棉與鋁板實現(xiàn)密封，令冷卻水可以流至背管兩端處，從而有效實現(xiàn)了背管端頭處的冷卻，進而提升芯軸機構對背管的冷卻效果，從而有效避免因噴涂過程中過熱導致靶材開裂等現(xiàn)象。
【IPC分類】C23C14-34, F16J15-12
【公開號】CN204387313
【申請?zhí)枴緾N201520009628
【發(fā)明人】曾墩風, 羅永春, 石煜, 羅文富
【申請人】廈門映日新材料科技有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2015年1月8日