真空閥的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種真空閥，其包括：一閥體、一閥門以及一閥門驅(qū)動(dòng)裝置。所述閥體具有彼此聯(lián)通的一進(jìn)氣孔、一通孔以及一氣道孔。所述閥門設(shè)置于通孔中。所述閥門驅(qū)動(dòng)裝置是固定于通孔的一第一端，且閥門驅(qū)動(dòng)裝置的一驅(qū)動(dòng)端在通孔中與閥門連接，以在一線性方向上驅(qū)動(dòng)閥門在一第一位置以及一第二位置之間移動(dòng)。當(dāng)閥門在第一位置時(shí)，閥門密封進(jìn)氣孔，并使通孔的一第二端以及氣道孔之間保持聯(lián)通，當(dāng)在閥門第二位置時(shí)，閥門密封通孔的第二端，并且使進(jìn)氣孔以及氣道孔之間保持聯(lián)通。
【專利說明】真空閥

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種閥門裝置，特別是用于控制一作業(yè)腔室的真空狀態(tài)的閥門裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]真空處理為各種產(chǎn)業(yè)制程中經(jīng)常使用的處理過程，例如在塑料加硫成型機(jī)中，當(dāng)一真空罩下降后，就必須于該真空罩內(nèi)所形成的作業(yè)腔室適時(shí)維持真空環(huán)境，因此，真空系統(tǒng)的重要性亦伴隨著產(chǎn)業(yè)發(fā)展而隨之增加。一般來說，真空制程中所使用的真空處理設(shè)備，如果需要高效率地將一作業(yè)腔室由大氣狀態(tài)降至真空狀態(tài)，通常會另外設(shè)有一真空腔室，該真空腔室容積為作業(yè)腔室的數(shù)倍，該作業(yè)腔室與該真空腔室連通的管路中安裝著真空控制閥。設(shè)備中先透過一真空泵對一真空腔室進(jìn)行抽氣，保持該真空腔室中的壓力值。當(dāng)該真空控制閥連通兩者間的管路，小容積的該作業(yè)腔室就能快速達(dá)成負(fù)壓狀態(tài)。當(dāng)欲解除該作業(yè)腔室的真空狀態(tài)，該真空控制閥就中斷管路而且將外界大氣與該作業(yè)腔室相連通。
[0003]圖1為顯示現(xiàn)有真空控制閥的示意圖。如圖1所示，現(xiàn)有的真空控制閥一般具有一閥體91，閥體91中總共設(shè)置有真空控制閥門92以及真空破壞閥門93兩個(gè)閥門。閥體91的第一端911與由真空泵抽為負(fù)壓狀態(tài)的真空腔室95連接，閥體91的第二端912與作業(yè)腔室94連接，而閥體91的兩端之間在真空破壞閥門93的一側(cè)邊設(shè)置有與大氣連接的一進(jìn)氣孔913。當(dāng)需要將作業(yè)腔室94調(diào)整為真空狀態(tài)時(shí)，需將現(xiàn)有真空控制閥中的真空控制閥門92打開并且將真空破壞閥門93關(guān)閉，以使得真空腔室95與作業(yè)腔室94之間聯(lián)通，借此將作業(yè)腔室94調(diào)整為真空狀態(tài)。而當(dāng)需要將作業(yè)腔室94恢復(fù)為一般狀態(tài)時(shí)，則需將現(xiàn)有真空控制閥中的真空控制閥門92關(guān)閉并且將真空破壞閥門93打開，以使得作業(yè)腔室94與系統(tǒng)外部的大氣聯(lián)通，借此破壞作業(yè)腔室94中的真空狀態(tài)。
[0004]上述現(xiàn)有的真空控制閥門雖然可以達(dá)到控制作業(yè)腔室中的真空狀態(tài)的目的，然而，每次在調(diào)整作業(yè)腔室中的真空狀態(tài)時(shí)皆需操作兩個(gè)不同的閥門，使得其控制過程過于復(fù)雜；此外，由于兩個(gè)閥門皆為由PVC制成的球閥，只要其中任一個(gè)閥門損壞或磨損時(shí)，就必須將整個(gè)球閥替換掉才能使真空控制閥正常運(yùn)作，使得現(xiàn)有的真空控制閥除了維修不方便外，更具有耗材數(shù)量多以及維護(hù)昂貴的缺點(diǎn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]基于上述理由，本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空閥，其可以透過單一的閥門達(dá)到控制作業(yè)腔室的真空狀態(tài)的目的。
[0006]本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種維修方便且維護(hù)成本低的真空閥。
[0007]為達(dá)成前述目的，本實(shí)用新型提供一種真空閥，其包括:一閥體、一閥門以及一閥門驅(qū)動(dòng)裝置。所述閥體具有彼此聯(lián)通的一進(jìn)氣孔、一通孔以及一氣道孔。所述閥門設(shè)置于通孔中。所述閥門驅(qū)動(dòng)裝置是固定于通孔的一第一端，且閥門驅(qū)動(dòng)裝置的一驅(qū)動(dòng)端在通孔中與閥門連接，以在一線性方向上驅(qū)動(dòng)閥門在一第一位置以及一第二位置之間移動(dòng)。當(dāng)閥門在第一位置時(shí)，閥門密封進(jìn)氣孔，并使通孔的一第二端以及氣道孔之間保持聯(lián)通，當(dāng)在閥門第二位置時(shí)，閥門密封通孔的第二端，并且使進(jìn)氣孔以及氣道孔之間保持聯(lián)通。
[0008]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例，所述進(jìn)氣孔以及所述氣道孔與所述通孔垂直，且分別設(shè)置在閥體相對的兩側(cè)。
[0009]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例，所述閥門的一外周面上設(shè)置有一環(huán)形溝槽。所述環(huán)形溝槽中設(shè)置有一密封件，用以與通孔的內(nèi)周壁緊配合。其中，所述密封件為一彈性密封件，密封件一端的邊緣為圓角，且密封件另一端的邊緣為斜角。此外，密封件安裝于環(huán)形溝槽中后的最大直徑大于通孔的最大直徑。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為顯不現(xiàn)有真空閥的不意圖；
[0011]圖2為顯示根據(jù)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空閥的立體圖；
[0012]圖3為顯示根據(jù)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空閥在第一位置時(shí)的剖視圖；以及
[0013]圖4為顯示根據(jù)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空閥在第二位置時(shí)的剖視圖。
[0014][附圖標(biāo)記說明]
[0015]1-閥體，11-進(jìn)氣孔，12-通孔，121-第一端，122-第二端，13-氣道孔，131-連接部，1310-連接穿孔，2-閥門，21-環(huán)形溝槽，22-密封件，3-閥門驅(qū)動(dòng)裝置，4-作業(yè)腔室，5-真空腔室，31-驅(qū)動(dòng)端，91-閥體，911-第一端，912-第二端，913-進(jìn)氣孔，92-真空控制閥門，93-真空破壞閥門，94-作業(yè)腔室，95-真空腔室。

【具體實(shí)施方式】
[0016]以下配合圖式及組件符號對本實(shí)用新型的實(shí)施方式做更詳細(xì)的說明，俾使熟習(xí)該項(xiàng)技藝者在研讀本說明書后能據(jù)以實(shí)施。
[0017]圖2為顯示根據(jù)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空閥的立體圖；圖3為顯示根據(jù)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空閥的側(cè)視剖面圖。如圖2及圖3所示，本實(shí)用新型所提供的真空閥，主要包括了一閥體1、一閥門2以及一閥門驅(qū)動(dòng)裝置3。
[0018]所述閥體I具有彼此聯(lián)通的一進(jìn)氣孔11、一通孔12以及一氣道孔13。如圖2所示，進(jìn)氣孔11以及氣道孔13分別與通孔12垂直，且分別設(shè)置在閥體I相對的兩側(cè)。進(jìn)氣孔11是設(shè)置在閥體I靠近通孔12的第一端121處，而氣道孔13則是設(shè)置在通孔12的第一端121以及第二端122之間。進(jìn)氣孔11與大氣聯(lián)通，通孔12與一抽為負(fù)壓狀態(tài)的真空腔室5連接，而氣道孔13透過一連接部131與一作業(yè)腔室4連接。該真空腔室5的容積為該作業(yè)腔室4的數(shù)倍，該作業(yè)腔室4可為一實(shí)際生產(chǎn)產(chǎn)品的作業(yè)空間，該空間必須適時(shí)呈真空狀態(tài)或被解除。所述連接部131是直接固定于閥體I設(shè)置氣道孔的一側(cè)面上，且連接部131中具有與氣道孔13直徑相同的連接穿孔1310。
[0019]所閥門驅(qū)動(dòng)裝置3是固定在該通孔12的第一端121，并且從該第一端121密封通孔12。閥門驅(qū)動(dòng)裝置3的一驅(qū)動(dòng)端31是在通孔12中與閥門2連接，并且可以驅(qū)動(dòng)閥門2在通孔12中進(jìn)行線性運(yùn)動(dòng)。在本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例中，是使用氣壓缸作為閥門驅(qū)動(dòng)裝置3，任何能夠趨動(dòng)閥門在線性方向上移動(dòng)的動(dòng)力裝置皆可以作為閥門驅(qū)動(dòng)裝置3。
[0020]所述閥門2是固定于閥門驅(qū)動(dòng)裝置3的驅(qū)動(dòng)端31上，并且可以隨著閥門驅(qū)動(dòng)裝置3的驅(qū)動(dòng)端31于線性方向上在一第一位置以及一第二位置之間移動(dòng)。閥門2主體的外周面上設(shè)置有一環(huán)形溝槽21，且環(huán)形溝槽21中設(shè)置有一密封件22。在本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例中，密封件22為由橡膠制成的彈性密封件，且其安裝于閥門2上后的最大直徑略大于通孔12的最大直徑。此外，如圖3所示，密封件22上下兩端的邊緣分別形成圓角以及斜角。
[0021]本實(shí)用新型所提供的真空閥可以透過單一閥體的運(yùn)作，將作業(yè)腔室4在真空狀態(tài)以及非真空狀態(tài)之間切換。以下，將參照圖3以及圖4對本實(shí)用新型提供的真空閥的作動(dòng)以及運(yùn)作模式進(jìn)行說明。
[0022]圖3為顯示真空閥的閥門2移動(dòng)到第一位置時(shí)的側(cè)視剖面圖。如圖3所示，當(dāng)真空閥的閥門2位在第一位置時(shí)，閥門2的主體會將進(jìn)氣孔11擋住，且安裝于閥門2主體外周邊上的密封件22會與通孔12上半部份的內(nèi)壁作緊配合，以進(jìn)一步密封作業(yè)腔室4與進(jìn)氣孔11之間的信道，并且使得作業(yè)腔室4透過連接部13的連接穿孔1310、氣道孔13以及通孔12的下半部分與真空腔室5聯(lián)通。由于真空腔室5已經(jīng)藉由真空泵抽預(yù)先抽為負(fù)壓的狀態(tài)，因此，當(dāng)真空閥的閥門2被切換到第一位置時(shí)，作業(yè)腔室4便能快速地被調(diào)整為真空的狀態(tài)，以方便后續(xù)加工步驟的進(jìn)行。
[0023]圖4為顯示真空閥的閥門2移動(dòng)到第二位置時(shí)的側(cè)視剖面圖。如圖4所示，當(dāng)作業(yè)腔室4中的真空加工過程完成之后，便可以透過閥門驅(qū)動(dòng)裝置3將閥門2移動(dòng)至第二位置處，以破壞作業(yè)腔室4中的真空狀態(tài)。更詳而言之，當(dāng)需要切換閥門的位置時(shí)，是透過閥門驅(qū)動(dòng)裝置3驅(qū)動(dòng)其驅(qū)動(dòng)端31在線性方向移動(dòng)，以將閥門2從圖3中所示的第一位置往下推至圖4中所示的第二位置處。在第二位置時(shí)，閥門2的主體會將通孔12的第二端以及氣道孔13之間的通路擋住，且閥門2主體外周面上的密封件22會與通孔12下半部份的內(nèi)周壁作緊配合以進(jìn)一步提供密封的效果，使得與大氣能夠經(jīng)由進(jìn)氣孔11通過通孔12的上半部分、氣道孔13以及連接部131中的連接穿孔1310進(jìn)入作業(yè)腔室4中，借此破壞作業(yè)腔室4中的真空狀態(tài)。
[0024]透過上文所述的結(jié)構(gòu)以及運(yùn)作方式，根據(jù)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例所提供的可以透過單一閥門的操控來調(diào)整與控制作業(yè)腔室中的真空狀態(tài)，相較于現(xiàn)有技術(shù)而言，其結(jié)構(gòu)與操作上都更為簡單。此外，本實(shí)用新型的真空閥使用由橡膠制成的彈性密封件來進(jìn)行信道之間的密封，相較于現(xiàn)有PVC制成的球閥而言較不容易損壞，且當(dāng)閥門磨損時(shí)也僅需更換閥門上的彈性密封件即可，大幅降低了真空閥維修與維護(hù)的成本。
[0025]由以上實(shí)施例可知，本實(shí)用新型所提供的真空閥確具產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值，以上的敘述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例說明，凡精于此項(xiàng)技藝者可依據(jù)上述的說明而作其它種種的改良，這些改變?nèi)詫儆诒緦?shí)用新型的精神及以下所界定的專利范圍中。
【權(quán)利要求】
1.一種真空閥，包括: 一閥體，其具有彼此聯(lián)通的一進(jìn)氣孔、一通孔以及一氣道孔； 一閥門，設(shè)置于該通孔中； 一閥門驅(qū)動(dòng)裝置，固定于該通孔的一第一端，該閥門驅(qū)動(dòng)裝置的一驅(qū)動(dòng)端在該通孔中與該閥門連接，以在一直線方向上驅(qū)動(dòng)該閥門在一第一位置以及一第二位置之間移動(dòng)； 其中，當(dāng)在該第一位置時(shí)，該閥門密封該進(jìn)氣孔，并使該通孔的一第二端以及該氣道孔之間保持聯(lián)通，當(dāng)在該第二位置時(shí)，該閥門密封該通孔的該第二端，并且使該進(jìn)氣孔以及該氣道孔之間保持聯(lián)通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空閥，其特征在于，該進(jìn)氣孔以及該氣道孔與該通孔垂直，且分別設(shè)置在該閥體相對的兩側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空閥，其特征在于，該閥門驅(qū)動(dòng)裝置為一氣壓缸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空閥，其特征在于，該閥門的一外周面上設(shè)置有一環(huán)形溝槽，該環(huán)形溝槽中設(shè)置有一密封件，用以與該通孔的內(nèi)周壁緊配合。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空閥，其特征在于，該密封件為一彈性密封件。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空閥，其特征在于，該密封件一端的邊緣為圓角，且該密封件另一端的邊緣為斜角。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空閥，其特征在于，該密封件安裝于該環(huán)形溝槽中后的最大直徑大于該通孔的最大直徑。
【文檔編號】F16K11/044GK204253933SQ201420723667
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年11月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月26日
【發(fā)明者】林志偉 申請人:霖城科技股份有限公司