專利名稱：閘閥的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種閘閥，該閘閥與半導體制造裝置等的處理室連接，對與該處理室連通的流體流路、物品移送路等連通路進行開閉。
背景技術：
在專利文獻I及2中公開了了一種閘閥，該閘閥與半導體制造裝置等的處理室連接，由閥箱內部的閥板對與該處理室連通的連通路進行開閉。在這樣的閘閥中，因為上述閥板的密封構件容易由流過上述連通路的生產氣體等腐蝕性流體損傷，所以需要適當?shù)貙⒃撁芊鈽嫾鼡Q為新的密封構件。為了使得此密封構件的更換容易進行，在記載于上述專利文獻I及2的閘閥中，為了使閥箱的上端，即與用于使閥箱中的上述閥板進行開閉動作的閥桿被導入的一側相反側 的面開口，以便能夠取出上述閥板，使該開口由板狀的蓋體自如地開閉，而且通過開放此蓋體，能夠從該開口側將閥桿的前端的閥板拆下，能夠容易地從閥箱取出該閥板。然而，閥板相對于上述閥桿的裝拆結構，因為被限制在能夠從閥箱的上端的開口容易地進行裝拆操作的范圍內，所以難以將閥板穩(wěn)定地安裝在閥桿的前端，或者存在以下所述的那樣的各種問題。例如，在專利文獻I的閘閥中，使安裝在閥桿上的板簧構件的凸部與閥板的開口部卡合，由其彈性力使閥板與閥桿卡合(上述專利文獻I的圖4及圖5)，或在安裝在閥板的孔部中的閥桿的前端的安裝部設置傾斜面，由螺釘構件將與該傾斜面和閥板的內側面卡合的楔構件緊固地固定在上述閥桿的前端(上述專利文獻I的圖8及圖9)。在上述文獻的圖4及圖5的結構中，閥板的裝拆簡便，相反，由于由板簧構件的彈性力進行固定，所以在將閥板的密封構件(0形密封圈)固定在閥座上的情況下，還存在板簧構件變形，產生塵埃，閥板從閥桿脫離的可能性，另外在上述文獻的圖8及圖9的結構中，由于是僅在閥桿的前端的固定，所以還存在傾斜地安裝閥板的可能性，未必能夠相對于閥箱的連通路使閥板正確地面對而穩(wěn)定地固定。另外，在上述專利文獻2的閘閥中，以如下的方式構成，即，在插入到閥板的插孔中的閥桿的前端的連接部設置向心軸承部和旋轉角限制部，在上述向心軸承部中使閥板能夠相對于閥桿旋轉，當閥板被推壓到閥座上時，該閥板模仿閥座，在旋轉角限制部中將在向心軸承部中可進行的旋轉限制在規(guī)定的角度范圍內，但此結構也不能相對于閥箱的連通路使閥板正確地面對而穩(wěn)定地固定。專利文獻I :日本特開2002-195424號公報專利文獻2 :日本特開2005-291221號公報

發(fā)明內容
發(fā)明所要解決的課題上述閥板，本來希望相對于閥桿按照適當?shù)淖藙堇喂痰毓潭?，但不希望是高精度的加工、采用高強度的固定組件，雖然是在能夠容易地從閥箱的上端的開口進行裝拆操作的范圍中以盡可能適當?shù)淖藙堇喂痰剡M行固定的組件，并且是也能夠避免產生塵埃等問題的結構，但要求采用簡單、呈穩(wěn)定的姿勢地安裝的裝拆結構。本發(fā)明的技術課題在于提供一種閘閥，其是由閥板對與處理室連通的閥箱的連通路進行開閉的閘閥，是滿足上述要求的結構，更具體地說，在于提供一種如下的閘閥，其由利用了楔效果等的簡單的安裝結構牢固地固定閥桿的閥板安裝部中的基端側及前端側，而且通過使相互面對的閥板與閥桿的接合平面相互強有力地緊密接觸，使閥板的姿勢穩(wěn)定化。為了解決課題的手段為了解決上述課題，按照本發(fā)明，提供一種閘閥，其特征在于具有閥箱、閥板、閥 桿、連結板、開口和蓋體；該閥箱具備與處理室連通的連通孔；該閥板安裝在上述閥桿的前端的閥板安裝部，收容在上述閥箱內，使密封構件與上述連通孔的周圍接觸分離而對該連通孔進行開閉；該閥桿使該閥板向將上述連通孔開放及封閉的位置位移；該連結板連結上述閥板與閥桿；該開口用于上述閥板的取出，形成在上述閥箱上；該蓋體覆蓋該開口，能夠自如地裝拆；上述閥板具有將上述閥桿的閥板安裝部插入的安裝孔，在該安裝孔的孔面和上述閥板安裝部的外面上分別形成當由上述連結板連結了上述閥板與上述閥桿時相互地壓接的接合平面；上述閥桿在上述閥板安裝部的基端側的位置具有上述閥板的基端側端部嵌合的凹狀的接合臺階部，在該接合臺階部形成上述閥板的基端側端部抵接的傾斜面，該傾斜面由楔效果使上述閥板在該閥板及上述閥桿的上述接合平面彼此相互地壓接的方向位移；上述連結板在朝上述閥板安裝部的基端側推壓上述閥板的狀態(tài)下將該閥板與上述閥桿相互地連結。在本發(fā)明中，最好是上述接合臺階部的傾斜面是相對于上述閥桿的上述接合平面呈銳角地交叉的平面，另外，最好是在上述閥板的基端側端部的與上述傾斜面抵接的部分上，形成了與該傾斜面平行的抵接面。另外，在本發(fā)明中，上述連結板具有固定在上述閥板上的第一板部和固定在上述閥桿的閥板安裝部的第二板部，上述閥桿中的上述閥板安裝部的前端面處于相對于上述閥板的前端側端面向上述安裝孔內進行了后退的位置，通過由螺釘將上述連結板的第一板部固定在上述閥板的前端側端面上，并且由螺釘將上述第二板部固定在上述閥板安裝部的前端面上，朝上述閥板安裝部的基端側推壓上述閥板。在具有上述構成的閘閥中，當為了進行密封構件的更換等而從閥箱的開口將閥板取出時，通過拆下該開口的蓋體，拆下將閥桿與連結板進行了固定的螺釘，能夠將該閥板與上述連結板一起從閥桿的前端側的閥板安裝部拆下，通過上述開口從閥箱取出閥板。另外，當將上述閥板安裝在閥桿的前端部時，在由螺釘將上述連結板固定在閥板的前端側端面上的狀態(tài)下，使得閥桿與閥板的兩接合平面面對，以將閥桿的閥板安裝部插入到該閥板的安裝孔內的方式將該閥板收進閥箱中。此時，通過使上述閥桿與閥板的接合平面一致，將上述閥板的基端側端部推入閥桿的閥板安裝部的基端側的接合臺階部內，由通過傾斜面產生的楔效果使閥桿與閥板的接合平面彼此成為強有力地壓接了的狀態(tài)，在閥桿的前端部也由螺釘固定已由螺釘固定在上述閥板上的連結板，能夠牢固地連結閥桿與閥板。此時，通過在上述連結板上設置壓接機構，如以下詳細說明的那樣，在閥板與閥桿的前端側也能夠將上述兩接合平面相互地強有力地壓接。在上述壓接機構的第一例中，以如下的方式構成在上述第二板部的端部具有與上述閥桿的閥板安裝部的端部抵接的傾斜部，該傾斜部產生將上述閥板與閥桿的接合平面彼此相互地壓接的方向的分力。在此情況下，最好是在上述閥板安裝部的端部的上述第二板部的傾斜部抵接的部分上，形成了與該傾斜部平行的傾斜部。這樣，如果由螺釘將上述連結板固定在閥桿的前端部，將上述傾斜部推壓到閥桿上，則由通過楔效果產生的上述分力將閥桿向閥板側壓接，閥板與閥桿的接合平面相互地更強有力地壓接。
因此，上述閥桿與閥板能夠由利用了楔效果等的簡單的安裝結構在閥桿的閥板安裝部中的基端側及前端側牢固地固定接合平面。作為上述壓接機構的第二例，也可以具有形成在上述第二板部的中間部的屈伸自如的彈性彎曲部和形成在該第二板部的前端部的與上述閥桿卡合的前端卡合部，當由螺釘將上述第二板部固定在上述閥桿上時，通過上述彈性彎曲部伸張，上述閥板與閥桿的接合平面彼此相互地壓接。在此第二壓接機構中，當由螺釘將連結板的第二板部的中間部固定在閥桿的前端部時，上述彈性彎曲部伸張，由其伸長力將閥桿的前端部壓接在閥板內面上，與上述第一壓接機構的情況同樣地，能夠在閥桿的閥板安裝部中的基端側及前端側牢固地壓接接合平面，進行固定。在本發(fā)明中，最好是形成在上述連結板的第二板部上的螺釘穿插孔，具有能夠吸收由螺釘將該第二板部固定在上述閥桿上時的該第二板部與上述閥桿的相對的偏離的尺寸的余量。如上述的那樣按照本發(fā)明的閘閥，能夠由利用了楔效果等的簡單的安裝結構牢固地固定閥桿的閥板安裝部中的基端側及前端側，而且使相互地面對的閥板與閥桿的接合平面相互地強有力地緊密接觸，獲得使閥板的姿勢穩(wěn)定化了的閘閥。


圖I是表示本發(fā)明的閘閥的第一實施例的基本構成的主要部分剖視圖。圖2是上述第一實施例中的連結板的俯視圖。圖3是上述第一實施例的主要部分分解立體圖。圖4是表示上述第一實施例的變形例的主要部分剖視圖。圖5是本發(fā)明的閘閥的第二實施例中的主要部分剖視圖。圖6是上述第二實施例中的連結板的俯視圖。
具體實施例方式為了實施發(fā)明的優(yōu)選方式圖I 圖3表示本發(fā)明的閘閥的第一實施例。此閘閥與半導體制造裝置等中的處理室等連接使用，在閥箱I的前壁Ia上具備與該處理室等連通的連通孔2，在配設在該閥箱I內而對該連通孔2進行開閉的閥板6的前面的密封面6a上設置了與該連通孔2周圍的閥座部2a接觸分離的密封構件(0形密封圈)7。上述閥板6按照能夠裝拆的方式安裝在形成在閥桿9的前端的閥板安裝部10，上述閥桿9由省略了圖示的驅動機構驅動，使上述閥板6向開放及封閉上述連通孔2的位置位移。更具體地說，上述閥桿9，呈圓柱狀，前端部通過上述閥箱I的底壁，被導入到該閥箱I內，由上述驅動機構進行驅動，由此，從上述閥板6的由密封構件7對開設在上述閥箱I的前壁Ia上的上述連通孔2的周圍的閥座部2a進行密封的封閉位置，如圖I所示，該閥板6的密封構件7從閥座部2a離開，但該閥板6傾斜轉動到成為與上述連通孔2面對的狀態(tài)的后退位置后，上述閥板6位移到與圖I相比為下方的從該連通孔2完全離開的開放位置。另夕卜，這種驅動機構為以往非常一般地被公知的機構，所以，省略更具體的說 明。另外，上述閥箱I在與上述前壁Ia相對的后壁Ib上具備與該前壁Ia的連通孔2相向的連通孔3，由此在該閥箱I內形成了從上述前壁Ia的連通孔2通過后壁Ib的連通孔3呈直線性地與其它的室、流體設備等連通的通路。另外，在該閥箱I的上面，即與將上述閥桿9導入到該閥箱I中的一側相反側的面上，形成了能夠從閥桿9拆下上述閥板6而向外部取出的開口 4,在該開口 4上開閉自如地覆蓋設置了板狀的蓋體5。為了將上述閥板6安裝在閥桿9的前端側的上述閥板安裝部10，在該閥板6上按照向圖的上下貫通該閥板6的方式形成了將上述閥板安裝部10插入的安裝孔8。此安裝孔8是形狀截面為矩形的孔，具有相互平行的前后的孔面8a、8b，其中的前方的孔面即與上述密封面6a背向的孔面8a是與上述閥板安裝部10的接合平面IOa抵接的接合平面8a。另一方面，上述閥桿9的前端的上述閥板安裝部10，如圖I及圖3所示，是由與上述閥箱I的前壁Ia平行而且相互平行的2個平面10a、10c切除呈圓柱狀的該閥桿9的前端部分而進行了平面化的安裝部，將上述2個平面10a、10c中的朝前方的平面即朝上述連通孔2側的平面10a，作為與上述閥板6的安裝孔8的上述接合平面8a緊密地抵接的上述接合平面10a。而且，當將上述閥板安裝部10插入到閥板6的上述安裝孔8內時，該閥板安裝部10的前端面9a不會從上述安裝孔8向外部突出，而是占據(jù)相對于上述閥板6的前端側端面6c稍向上述安裝孔8的內方進行了后退的位置。而且，在上述閥桿9中的上述閥板安裝部10的基端側的位置，形成具有傾斜面11的凹狀的接合臺階部IOb,使上述閥板6的基端側端部6b與此接合臺階部IOb嵌合，向下方推壓該閥板6，使該基端側端部6b的傾斜的抵接面6e與上述傾斜面11壓接，由此，在由楔效果使上述閥板6的接合平面8a與閥桿9的接合平面IOa相互地壓接的狀態(tài)下，將該閥板6連結到上述閥桿9上。上述傾斜面11是在朝上述閥桿9的基端側逐漸與上述接合平面IOa接近的方向傾斜的平面，一般是作為相對于上述接合平面IOa呈銳角(最好為45度)交叉的單一的傾斜平面構成的，但不限定于此，可以形成為當將閥板6的基端側端部6b推壓到上述閥桿9的接合臺階部IOb上時，其推壓力的分力使上述閥板6與閥桿9的接合平面8a、IOa相互地壓接的那樣的形狀及角度。另外，為了將上述閥板6與上述閥桿9相互地固定，設置了連結板14。此連結板14如圖2所不,是一體地具有用于固定在上述閥板6的前端側端面6c上的第一板部14a和用于固定在上述閥桿9的前端面9a上的第二板部14b的俯視形狀呈凸形的構件，是通過分別由螺釘16、15將上述第一板部14a和第二板部14b固定在上述閥板6的前端側端面6c和上述閥桿9的前端面9a上，將上述閥板6與閥桿9相互地連結的構件。此連結板14最好由金屬制成，具有彈性。通過上述連結板14的安裝，上述閥板6被朝下(閥桿的基端方向)推壓，基端側端部6b被推入到閥桿9的上述接合臺階部IOb內，同時，由設在該連結板14上的壓接機構朝閥板安裝部10的接合平面IOa側推壓上述閥板6，因此，上述閥板6與閥桿9按照上述接合平面8a、IOa彼此相互地壓接了的狀態(tài)連結。作為上述壓接機構，在上述第一實施例中，在上述連結板14中的第二板部14b的前端部下面上形成傾斜部14c，并且，在上述閥桿9的與上述接合平面IOa背向的平面IOc的上端部，通過傾斜地切除該上端部，形成了與上述傾斜部14c面對的傾斜部10d。這些傾斜部14c、IOd最好與上述抵接面6e及傾斜面11平行。按照此結構，如果由螺釘16、15將上述連結板14固定在閥板6和閥桿9上，則上述連結板14的傾斜部14c與閥桿9的傾斜 部IOd相互地壓接，由此產生將該閥板6與閥桿9的兩接合平面8a、IOa相互地壓接的方向的分力，上述閥板6與閥桿9在這些接合平面8a、10a的前端側也相互地壓接。作為上述連結板14，不限于上述第一實施例的結構，例如也可采用圖4所示的那樣的變形例的結構。圖4的變形例與上述第一實施例的不同點是，在連結板14中的閥板6的密封面6a側的端部，具備與設在該閥板6的前端側端面6c上的凹槽6d卡合的彎曲部14d。此彎曲部14d形成在除去了處于第一板部14a的兩端的安裝2個螺釘16的部分以外的該第一板部14a的中間部分上。在上述第一實施例及變形例的連結板14中，由于當由穿插在穿插孔14e中的螺釘15將該連結板14固定在閥桿9的前端面9a上時，在該連結板14與前端面9a之間產生相對的偏離移動，所以最好預先通過將處于該連結板14的第二板部14b上的上述穿插孔14e做成與上述螺釘15的直徑相比足夠大的孔徑或形成為長孔等方法，使該穿插孔14e具有能夠完全地吸收上述連結板14與閥桿9的前端面9a的相對的偏離移動的尺寸的余量。另外，上述變形例的其它的結構及作用，由于與上述第一實施例的情況沒有不同之處，所以省略它們的說明。在具有上述結構的閘閥中，當為了進行密封構件7的更換等從閥箱I將閥板6取出時，拆下該閥箱I的蓋體5，僅松開將連結板14的第二板部14b固定在閥桿9的前端面9a上的螺釘15，從該閥桿9拆下，由此能夠與連結板14 一起將上述閥板6從閥桿9的前端側的閥板安裝部10拆下，通過閥箱I的開口 4取出。另外，當將上述閥板6安裝在閥桿9的前端面9a上時，如圖3所示，在由螺釘16將上述連結板14固定在該閥板6的前端側端面6c上的狀態(tài)下，使該閥板6的方向成為該閥板6與閥桿9的接合平面8a、IOa彼此面對的方向，并以將上述閥桿9的閥板安裝部10插入到該閥板6的安裝孔8內的方式將該閥板6收容在閥箱I中。然后，如圖I所示，在使上述閥板6與閥桿9的接合平面8a、IOa —致的狀態(tài)下，使該閥板6的基端側端部6b嵌合在上述閥桿9的閥板安裝部10的基端側的接合臺階部IOb內，并且使該閥板6的基端的抵接面6e與上述接合臺階部IOb的傾斜面11抵接，在該狀態(tài)下，由螺釘15將由螺釘16固定在上述閥板6上的上述連結板14固定在閥桿9的前端面9a上。由此，該閥板6被朝下方推壓，上述抵接面6e與上述傾斜面11壓接，同時，由壓接機構朝閥板安裝部10的接合平面IOa側推壓上述閥板6，該壓接機構由上述連結板14的傾斜部14c和閥桿9的傾斜部IOd構成，因此，在將該閥板6與閥桿9的接合平面8a、IOa彼此相互地強有力地壓接的狀態(tài)下，該閥板6被牢固地固定在上述閥桿9上。作為上述壓接機構，也可采用上述第一實施例以外的結構。圖5及圖6是表示使上述壓接機構的結構不同的第二實施例的閘閥的主要部分的圖，此閘閥具備由螺釘26固定在上述閥板6的前端側端面6c上的圖6所示的那樣的連結板24。此連結板24，由于將用于向閥板6上固定的第一板部24a在俯視時形成為凹狀,并且將用于向閥桿9上固定的第二板部24b按照從上述第一板部24a的一部分在凹部內沿上述閥桿9的前端面9a向閥板6的密封面6a的方向突出的方式形成，整體由具有彈性的金屬板一體地形成。上述第二板部24b，通過在中間部設置朝上方突出的能夠彈性地屈伸的彈性彎曲部24d,形成為板簧狀,在前端部具有與閥桿9的前端面9a的凹槽9b卡合的前端卡合部24c，當由穿插在穿插孔24e中的螺釘25將該第二板部24b固定在閥桿9的前端面9a上時，由于上述彈性彎曲部24d伸張成平坦或接近平坦的狀態(tài)，所以由此第二板部24b構成了上 述壓接機構。另外，上述穿插孔24e具有能夠吸收當由上述螺釘25將上述第二板部24b固定在閥桿9的前端面9a上時的該第二板部24b與上述閥桿9的前端面9a的相對的偏離移動的尺寸的余量。上述連結板24，由于如果在彈性彎曲部24d的位置由螺釘25將上述第二板部24b固定在閥桿9的前端面9a上，則該彈性彎曲部24d呈直線狀地伸長，由其伸長力使前端卡合部24c作用將閥板6與閥桿9的接合平面8a、10a相互地壓接的方向的力，所以通過上述連結板24的第二板部24b的相對于閥桿9的前端面9a的螺釘固定，將閥板6與閥桿9的接合平面8a、IOa相互地強有力地壓接。因此，上述閥桿9與閥板6能夠由簡單的安裝結構在閥桿9的閥板安裝部10中的基端側及前端側牢固地固定接合平面8a、10a。此第二實施例中的其它的結構及作用與上述第一實施例沒有不同之處。
權利要求
1.一種閘閥，其特征在于具有閥箱、閥板、閥桿、連結板、開口和蓋體；該閥箱具備與處理室連通的連通孔；該閥板安裝在上述閥桿的前端的閥板安裝部，收容在上述閥箱內，使密封構件與上述連通孔的周圍接觸分離而對該連通孔進行開閉；該閥桿使該閥板向將上述連通孔開放及封閉的位置位移；該連結板連結上述閥板與閥桿；該開口用于上述閥板的取出，形成在上述閥箱上；該蓋體覆蓋該開口，能夠自如地裝拆； 上述閥板具有將上述閥桿的閥板安裝部插入的安裝孔，在該安裝孔的孔面和上述閥板安裝部的外面上分別形成當由上述連結板連結了上述閥板與上述閥桿時相互地壓接的接合平面； 上述閥桿在上述閥板安裝部的基端側的位置具有上述閥板的基端側端部嵌合的凹狀的接合臺階部，在該接合臺階部形成上述閥板的基端側端部抵接的傾斜面，該傾斜面由楔效果使上述閥板在該閥板及上述閥桿的上述接合平面彼此相互地壓接的方向位移； 上述連結板在朝上述閥板安裝部的基端側推壓上述閥板的狀態(tài)下將該閥板與上述閥桿相互地連結。
2.根據(jù)權利要求I所述的閘閥，其特征在于上述接合臺階部的傾斜面是相對于上述閥桿的上述接合平面呈銳角地交叉的平面。
3.根據(jù)權利要求I或2所述的閘閥，其特征在于在上述閥板的基端側端部的與上述傾斜面抵接的部分上，形成了與該傾斜面平行的抵接面。
4.根據(jù)權利要求I或2所述的閘閥，其特征在于上述連結板具有固定在上述閥板上的第一板部和固定在上述閥桿的閥板安裝部的第二板部，上述閥桿中的上述閥板安裝部的前端面處于相對于上述閥板的前端側端面向上述安裝孔內進行了后退的位置，通過由螺釘將上述連結板的第一板部固定在上述閥板的前端側端面上，并且由螺釘將上述第二板部固定在上述閥板安裝部的前端面上，朝上述閥板安裝部的基端側推壓上述閥板。
5.根據(jù)權利要求4所述的閘閥，其特征在于上述連結板具備壓接機構，該壓接機構在上述閥板及上述閥桿的上述接合平面彼此相互地壓接的方向推壓該閥板。
6.根據(jù)權利要求5所述的閘閥，其特征在于上述壓接機構在上述第二板部的端部具有與上述閥桿的閥板安裝部的端部抵接的傾斜部，該傾斜部產生將上述閥板與閥桿的接合平面彼此相互地壓接的方向的分力。
7.根據(jù)權利要求6所述的閘閥，其特征在于在上述閥板安裝部的端部的上述第二板部的傾斜部抵接的部分上，形成了與該傾斜部平行的傾斜部。
8.根據(jù)權利要求5所述的閘閥，其特征在于上述壓接機構具有形成在上述第二板部的中間部的屈伸自如的彈性彎曲部和形成在該第二板部的前端部的與上述閥桿卡合的前端卡合部，當由螺釘將上述第二板部固定在上述閥桿上時，通過上述彈性彎曲部伸張，上述閥板與閥桿的接合平面彼此相互地壓接。
9.根據(jù)權利要求6所述的閘閥，其特征在于形成在上述連結板的第二板部上的螺釘穿插孔，具有能夠吸收由螺釘將該第二板部固定在上述閥桿上時的該第二板部與上述閥桿的相對的偏離的尺寸的余量。
10.根據(jù)權利要求8所述的閘閥，其特征在于形成在上述連結板的第二板部上的螺釘穿插孔，具有能夠吸收由螺釘將該第二板部固定在上述閥桿上時的該第二板部與上述閥桿的相對的偏離的尺寸的余量。
全文摘要
一種閘閥，將閥板由連結板固定在閥桿的前端的閥板安裝部，由該閥板對閥箱的連通孔進行開閉；其中，上述閥板具有將上述閥桿的閥板安裝部插入的安裝孔，在該安裝孔的孔面上和上述閥板安裝部的外面上形成相互地壓接的接合平面，上述閥桿在上述閥板安裝部的基端側的位置具有上述閥板的基端側端部嵌合的凹狀的接合臺階部，在該接合臺階部形成在將上述接合平面彼此相互地壓接的方向對上述閥板進行引導的傾斜面，上述連結板在朝上述閥板安裝部的基端側推壓了上述閥板的狀態(tài)下將該閥板與上述閥桿相互地連結。
文檔編號F16K3/02GK102748487SQ20121011764
公開日2012年10月24日 申請日期2012年4月20日 優(yōu)先權日2011年4月21日
發(fā)明者下田洋己, 小川浩司 申請人:Smc株式會社