專利名稱：全金屬角閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空系統(tǒng)用閥門，特別地，涉及一種極高真空系統(tǒng)用的全 金屬角閥。
背景技術(shù)：
全金屬角閥是真空系統(tǒng)中必不可少的一種閥門，在航天、加速器、電子、 半導(dǎo)體、真空系統(tǒng)、能源、機(jī)械等工業(yè)領(lǐng)域或科研領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用。通常，漏
率小于10—2Pa.M3/S的真空系統(tǒng)稱為低真空系統(tǒng)，漏率小于l(T9Pa.M3/S的真空 系統(tǒng)稱為高真空系統(tǒng)，漏率小于10-1QPa.M3/S的真空系統(tǒng)稱為超高真空系統(tǒng)。
常見的全金屬角閥包括閥體、閥蓋以及密封組件，閥體具有第一密封座結(jié) 構(gòu)，密封組件包括第二密封座結(jié)構(gòu)和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，閥蓋和閥體密封配合，密封組 件的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與閥蓋密封配合并可帶動(dòng)第二密封座結(jié)構(gòu)沿一中心軸線移動(dòng)，從 而使第一密封座結(jié)構(gòu)和第二密封座結(jié)構(gòu)配合使所述全金屬角閥關(guān)閉。
圖3顯示了這種用于高真空系統(tǒng)或超高真空系統(tǒng)的全金屬角閥，在閥門關(guān) 閉時(shí)，需要實(shí)現(xiàn)閥體50的空間500和空間600的交界處的密封，第二密封座 結(jié)構(gòu)60的閥板550的底部設(shè)置有無氧銅密封座結(jié)構(gòu)551，在空間500和空間 600的交界的閥體上設(shè)置有第一密封座結(jié)構(gòu)561，通常該第一密封座結(jié)構(gòu)561 為不銹鋼刀口，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)70的閥桿552帶動(dòng)閥板550可沿軸線X上下移動(dòng)， 由于不銹鋼的硬度大于無氧銅的硬度，在閥桿552推動(dòng)作用下，不銹鋼刀口 561 和無氧銅密封座結(jié)構(gòu)551可咬合，從而實(shí)現(xiàn)所述密封。然而，這種密封方式要 求對(duì)不銹鋼刀口 561和無氧銅密封座結(jié)構(gòu)551來回復(fù)位重復(fù)性要求特別高，也 就是說，對(duì)于任何一次閥門的關(guān)閉，不銹鋼刀口 561和無氧銅密封座結(jié)構(gòu)551 的咬合方式不能有變化，絲毫之差就影響整個(gè)閥門的密封，使得整個(gè)真空系統(tǒng) 無法運(yùn)作；同時(shí)這種密封方式對(duì)闊門中諸如閥板550、閥桿552和帶動(dòng)閥桿552 運(yùn)動(dòng)的零件的同軸度、垂直度以及導(dǎo)向性要求也高，對(duì)不銹鋼刀口 561的材料 的致密性強(qiáng)度要求更高。還由于此類閥門在使用過程中經(jīng)常要被烘烤，由于不 銹鋼與無氧銅的熱膨脹系數(shù)不一致，加熱后無氧銅材質(zhì)發(fā)生變化等，導(dǎo)致閥門 關(guān)閉不嚴(yán)，使用者為了提高閥門密封性，不得不加大關(guān)閉力矩，使不銹鋼刀口561和無氧銅密封座結(jié)構(gòu)551的咬合更緊，這往往會(huì)導(dǎo)致不銹鋼刀口 561易疲 勞、受損，從而使閥門使用壽命大大下降；比如說，市場上較多的此類全金屬 角閥在數(shù)百次甚至幾十次之后，閥門刀口與無氧銅密封座就被損壞。
在過去的幾十年里，人們一直使用此類全金屬角閥，尚未能提出一種改進(jìn) 的密封結(jié)構(gòu)，以提高全金屬角閥的使用壽命。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種具有改進(jìn)的密封結(jié)構(gòu)的全金屬角閥，以克服所述 傳統(tǒng)的全金屬角閥的密封結(jié)構(gòu)存在的問題，從而使全金屬角閥的使用壽命延 長。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種全金屬角閥，其包括閥體、閥蓋和密 封組件，所述閥體包括第一密封座結(jié)構(gòu)，所述密封組件包括第二密封座結(jié)構(gòu)和 導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述閥蓋和所述閥體密封配合，所述密封組件的所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與所 述閥蓋密封配合并可帶動(dòng)所述第二密封座結(jié)構(gòu)沿一中心軸線移動(dòng)，從而使所述 全金屬角閥關(guān)閉；其特點(diǎn)是，還包括 一碟形密封環(huán)，設(shè)置在所述第一密封座 結(jié)構(gòu)和所述第二密封座結(jié)構(gòu)之間；所述第一密封座結(jié)構(gòu)具有第一密封面，所述 第二密封座結(jié)構(gòu)具有第二密封面，所述碟形密封環(huán)的兩端部分別具有第三密封 面和第四密封面，從而在所述全金屬角閥關(guān)閉時(shí)，所述第一密封面和所述第二 密封面分別與所述第三密封面和所述第四密封面密封貼合。
當(dāng)關(guān)閉角閥時(shí)，隨著第二密封座結(jié)構(gòu)移動(dòng)直到碟形密封環(huán)的第三密封面與 第一密封座的第一密封面、第四密封面與第二密封座結(jié)構(gòu)的第二密封面接觸， 然后繼續(xù)推進(jìn)第二密封座結(jié)構(gòu)，使碟形密封環(huán)產(chǎn)生彈性變形，從而第一密封面 與第三密封面之間、第二密封面與第四密封面之間將實(shí)現(xiàn)密封配合，實(shí)驗(yàn)證明， 用本發(fā)明的碟形密封環(huán)作密封件，其漏率^xl(T'0pa.MS/S，由于本發(fā)明的密封 是依靠碟形密封環(huán)的彈性變形使得面與面之間緊密接觸來實(shí)現(xiàn)，而不是像現(xiàn)有 技術(shù)那樣通過刀口配合而導(dǎo)致密封元件易受損，因此壽命大大提高，實(shí)驗(yàn)證明， 本發(fā)明的全金屬角閥在上萬次的使用后仍然能保持漏率〈lx10—1QPa.M3/S;由于 本發(fā)明的角閥的密封結(jié)構(gòu)不受溫度變化的影響，因而可以在35(TC到40(TC的 范圍內(nèi)烘烤，能適應(yīng)在較高溫度環(huán)境下工作的真空系統(tǒng)；由于第三密封面與第 一密封面之間、第四密封面與第二密封面之間主要依靠密封環(huán)的彈性變形實(shí) 現(xiàn)，對(duì)密封環(huán)相對(duì)于第一密封面和第二密封面的復(fù)位性要求不高，因此降低了 整個(gè)角閥中特別是導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的元件的同軸度、垂直度以及導(dǎo)向性的要求。所述的全金屬角閥，較佳的是，所述第一密封面和所述第三密封面在所述 全金屬角閥關(guān)閉時(shí)是線接觸或面接觸，所述第二密封面和所述第四密封面在所 述全金屬角閥關(guān)閉時(shí)是線接觸或面接觸。
所述的全金屬角閥，較佳的是，所述第一密封面和所述第二密封面是圓錐 面或圓弧面，所述第三密封面和所述第四密封面是圓弧面或圓錐面。
所述的全金屬角閥，較佳的是，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括一闊桿，所述閥桿的一 端連接所述第二密封座結(jié)構(gòu)，所述閥桿具有從垂直于所述中心軸線的方向的通 孔，所述閥蓋具有朝所述閥體內(nèi)延伸而部分地伸入所述閥體內(nèi)的下接管，在所 述下接管的內(nèi)壁開有相對(duì)于所述中心軸線對(duì)稱的槽， 一導(dǎo)向鍵穿過所述孔，并 且所述導(dǎo)向鍵的兩端可移動(dòng)地容納在所述槽內(nèi)。
所述的全金屬角閥，較佳的是，所述閥蓋還具有朝所述閥體外延伸的上接 管，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)還包括傳動(dòng)螺母，所述閥桿具有螺紋部，所述傳動(dòng)螺母和所 述螺紋部嚙合，在所述傳動(dòng)螺母和所述閥體的所述上接管之間設(shè)置有平面軸 承，在所述閥體的上接管的內(nèi)壁設(shè)置有孔用擋圈槽， 一彈簧擋圈設(shè)置在所述孔 用擋圈槽內(nèi)并用于限制所述平面軸承沿所述中心軸線移動(dòng)。
所述的全金屬角閥，較佳的是，所述碟形密封環(huán)是由彈簧鋼制成。由于所 述碟形密封環(huán)是由彈簧鋼制成，該碟形密封環(huán)可以由現(xiàn)有技術(shù)中的碟形彈簧直
接加工而成，比如說，可以由采用符合GB/T1972-92要求的碟形彈簧，僅需要 該碟形彈簧的兩端在車床上車出所述第三和第四密封面，從而形成本發(fā)明的碟 形密封環(huán)，這樣的碟形彈簧己被廣泛地應(yīng)用于工業(yè)中，其成本低且可以輕易獲 得，因此，本發(fā)明的碟形密封環(huán)的形成過程非常簡單，也就是說，本發(fā)明的碟 形密封環(huán)的原料成本以及制造成本非常低。
所述的全金屬角閥，較佳的是，所述碟形密封環(huán)的內(nèi)側(cè)面與所述中心軸線 垂直的平面之間的角度在5度以上且30度以下。
所述的全金屬角閥，較佳的是，所述碟形密封環(huán)的內(nèi)側(cè)面與所述中心軸線 垂直的平面之間的角度在7度以上且9度以下。
所述的全金屬角閥，較佳的是，所述傳動(dòng)螺母的外側(cè)具有第一臺(tái)肩和第二 臺(tái)肩，所述平面軸承分別設(shè)置在所述第一臺(tái)肩和所述閥體的上接管的底部之間 和在所述第二臺(tái)肩和所述彈簧擋圈之間。
所述的全金屬角閥，較佳的是，所述碟形密封環(huán)是以所述第四密封面環(huán)繞 所述第二密封面而與所述第二密封座結(jié)構(gòu)連接。
本發(fā)明的導(dǎo)向鍵的兩端均與閥蓋的下接管的槽配合而使得閥桿只能沿一軸
6線上下移動(dòng)，而不是像現(xiàn)有技術(shù)那樣導(dǎo)向鍵僅一端與槽配合，從而改善了導(dǎo)向 鍵和導(dǎo)向槽的受力情況，從另一方面也提高了全金屬角閥的使用壽命。此外， 由于在閥蓋和傳動(dòng)螺母之間放置了平面軸承，當(dāng)關(guān)閉金屬角閥時(shí)，改善了傳動(dòng) 螺母與閥蓋的上接管之間的摩擦，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)而言，施加在手輪上的旋轉(zhuǎn) 力矩將減小。
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
進(jìn)行詳細(xì)說明，以便更清楚地理解 對(duì)本發(fā)明的目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施例的全金屬角閥的示意性裝配圖2是本發(fā)明的全金屬角閥中的碟形密封環(huán)的沿對(duì)稱面的示意性剖視圖； 圖3是公知技術(shù)領(lǐng)域中的全金屬角閥的示意圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，其示例在附圖中示出。在任何可能的情 況下，在所有附圖中將使用相同的標(biāo)記來表示相同或相似的部分。此外，盡管本發(fā) 明中所使用的術(shù)語是從公知公用的術(shù)語中選擇的，但是本發(fā)明說明書中所提及的有 些術(shù)語則是申請(qǐng)人按其判斷來選擇的，其詳細(xì)含義應(yīng)根據(jù)本申請(qǐng)說明書欲揭示的精 神來理解。
如圖1所示，本發(fā)明的全金屬角閥包括閩體10、閥蓋20、密封組件30; 在下文中首先將分別詳細(xì)說明閥體10、閥蓋20以及密封組件30的特點(diǎn)，然后 再說明其中的各個(gè)元件之間是如何配合而構(gòu)成整個(gè)全金屬角閥。
閥體10上設(shè)置有用于連接閥蓋20的閥體上法蘭101、體管件102以及用 于連接真空系統(tǒng)中的管道的中口法蘭103和下口法蘭104。中口法蘭103的孔 口處設(shè)有密封刀口 (未顯示)，用于與真空系統(tǒng)的一管道的管口連接時(shí)起密封 作用，密封刀口屬于現(xiàn)有技術(shù)，在此不贅述；下口法蘭104用于與真空系統(tǒng)的 另一管道連接，在下口法蘭104端部的孔口處也設(shè)有與中口法蘭103處相近的 密封刀口 (未顯示)；在本實(shí)施例中，中口法蘭103和下口法蘭104處的密封 刀口可采用有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)來設(shè)計(jì)，以便與通用的管道配合。在閥體10中，閥體上 法蘭101的端部開有凹肩槽110，凹肩槽110用于放置閥蓋20和閥體10之間 的銀絲圈密封件121，在閥體上法蘭101上還設(shè)有螺孔111。
閥蓋20包括上接管201、法蘭片202以及下接管203，上接管201、法蘭
7片202以及下接管203共中心軸線X。其中，在上接管201的上端部內(nèi)壁幵有 孔用擋圈槽221;在法蘭片202上開設(shè)有內(nèi)六角沉孔223，與閥體上法蘭IOI 上的螺孔lll對(duì)齊，通過螺釘122連接閥蓋20和閥體10;在下接管203中開 設(shè)有上下貫通的導(dǎo)向槽224。
密封組件30包括導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、密封座結(jié)構(gòu)以及碟形密封環(huán)307，密封組件30 的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)又包括傳動(dòng)螺母301、手輪302、閥桿303、波紋管304以及上法蘭 306，閥板305的底部形成密封組件30的密封座結(jié)構(gòu)。其中，傳動(dòng)螺母301的 內(nèi)壁下半部設(shè)置有螺紋，與閥桿303的上端部的螺紋嚙合，在外側(cè)還設(shè)置有凸 出臺(tái)肩331和331'，用于支撐平面軸承321，上端部設(shè)有方孔330，用于手輪 302關(guān)緊密封環(huán)307;閥桿303的上端部設(shè)置螺紋，與傳動(dòng)螺母301的內(nèi)螺紋 嚙合，中部設(shè)置有導(dǎo)向孔332，閥桿303的下端與閥板305焊接；上法蘭306 與閥板305、波紋管304焊接，用于沿軸線X方向的軸封；銀絲密封圈121密 封在閥體上法蘭101和閥蓋20的法蘭片202之間，通過上法蘭306的下部壓 緊；導(dǎo)向鍵322放置在導(dǎo)向孔332中并且導(dǎo)向鍵322的兩端可移動(dòng)地容納在導(dǎo) 向槽224中。
平面軸承321分別設(shè)置在軸肩331'和法蘭片202之間、軸肩331和調(diào)節(jié)板 323之間，用于減小調(diào)節(jié)板323、傳動(dòng)螺母301、閥蓋20之間在關(guān)閥時(shí)產(chǎn)生的 摩擦力，從而減小施加在手輪302上的關(guān)閉力矩。孔用擋圈324放置在閥蓋20 的孔用擋圈槽221中，從而限制調(diào)節(jié)板323和傳動(dòng)螺母301向上的移動(dòng)，調(diào)節(jié) 板323用于克服密封組件30的制造累計(jì)誤差。
同時(shí)參照?qǐng)D1和圖2，閥體IO的封座結(jié)構(gòu)106具有第一密封面136，闊板 305的底端形成有第二密封面137;密封環(huán)307呈碟形，在兩端部分別具有第 三密封面311、第四密封面312;在本實(shí)施例中，第一密封面136和第二密封 面137均較佳地但不限于是圓錐面，第三密封面311和第四密封面312均較佳 地但不限于是圓弧面；在后面的敘述中，將明白第一密封面136和第三密封面 311、第二密封面137和第四密封面312如何接觸從而實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的全金屬角 閥的密封。壓板308放置在密封環(huán)307內(nèi)，并通過外六角螺釘309固定在閥板 305的底部，如圖l所示，壓板308可以將密封環(huán)307和閥板305連接在一起。 較佳地，密封環(huán)307由彈簧鋼構(gòu)成。
在裝配本發(fā)明的全金屬角閥時(shí)，首先將上法蘭306壓下，導(dǎo)向鍵322插入 閥桿303中部的導(dǎo)向孔332，再將密封環(huán)307套入閥板305上并用壓板308通 過外六角螺釘309將密封環(huán)307與閥板305壓緊，將閥蓋20套入閥桿303，將導(dǎo)向鍵322鑲?cè)腴y蓋20的下接管203的導(dǎo)向槽224內(nèi)，并用內(nèi)六角螺釘122 穿過法蘭片202上的沉孔螺孔并旋入閥體上法蘭111的螺孔，壓緊。再在閥蓋 20的上接管201的底部放入平面軸承321后，將傳動(dòng)螺母301旋入并使之與在 閥蓋20的上接管201中的閥桿303頭部嚙合，直到旋到與閥蓋20的法蘭片202 接觸，再將平面軸承321套入傳動(dòng)螺母301的上臺(tái)肩331上，并在平面軸承321 上放入調(diào)節(jié)板323，然后再將孔用擋圈324裝入閥蓋20的上接管201上部內(nèi)側(cè) 開的孔用擋圈槽221內(nèi)，再在上接管201上部外側(cè)臺(tái)肩上套入刻度盤401，在 刻度盤401外側(cè)套入指示器402，并用半沉頭螺釘441將它固定在傳動(dòng)螺母301 上部；最后將手輪302下方的方伸插入傳動(dòng)螺母301上部方孔330，完成全金 屬角閥的裝配。
由以上描述可知，當(dāng)旋轉(zhuǎn)手輪302時(shí)，傳動(dòng)螺母301將同時(shí)旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)閥 桿303在軸線X方向上下移動(dòng)，由此與閥板305連接在一起的密封環(huán)307也將 在軸線X方向上下移動(dòng)，當(dāng)密封環(huán)307往上移動(dòng)時(shí)，打開角閥，當(dāng)密封環(huán)307 往下移動(dòng)時(shí)，關(guān)閉角閥；在旋轉(zhuǎn)手輪302的同時(shí)，可以通過觀察刻度盤和指示 器得知角閥的關(guān)閉狀態(tài)。應(yīng)當(dāng)注意到，當(dāng)關(guān)閉角閥時(shí)，隨著手輪302的旋轉(zhuǎn)， 閥桿303將向下移動(dòng)直到密封環(huán)307的第三密封面311與密封座106的第一密 封面136、第四密封面312與閥板305的第二密封面137接觸，然后繼續(xù)于手 輪302上施加旋轉(zhuǎn)力矩時(shí)，使密封環(huán)307產(chǎn)生彈性變形，從而第一密封面136 與第三密封面311之間、第二密封面137與第四密封面312之間將實(shí)現(xiàn)密封配 合，實(shí)驗(yàn)證明，用本發(fā)明的密封環(huán)307作密封件，其漏率〈lxlO^Pa.MVS，由 于本發(fā)明的密封是通過圓錐面與圓弧面的線接觸的配合來實(shí)現(xiàn)，而不是像現(xiàn)有 技術(shù)那樣通過刀口與無氧銅密封座配合而導(dǎo)致密封元件易受損，因此壽命大大 提高，實(shí)驗(yàn)證明，本發(fā)明的全金屬角閥在上萬次的使用后仍然能保持漏率 <lX10—1QPa.M3/S;由于本發(fā)明的角閥的密封結(jié)構(gòu)不受溫度變化的影響，因而可 以在350-400。C的范圍內(nèi)烘烤，能適應(yīng)在較高溫度環(huán)境下工作的真空系統(tǒng)；由 于第三密封面311與第一密封面136之間、第四密封面311與第二密封面137 之間主要依靠密封環(huán)307的彈性變形實(shí)現(xiàn)，對(duì)密封環(huán)307相對(duì)于第一密封面136 和第二密封面137的復(fù)位性要求不高，因此降低了整個(gè)角閥中特別是導(dǎo)向機(jī)構(gòu) 的元件的同軸度、垂直度以及導(dǎo)向性的要求；然而，雖然在此處的實(shí)施例中密 封元件307和第一密封座106和第二密封座之間采用線接觸，本領(lǐng)域的一般技 術(shù)人員根據(jù)此實(shí)施例所給出的技術(shù)啟示，還應(yīng)知道，第一密封面136和第三密 封面311或者第二密封面137和第四密封面312之間還可以采用面接觸，比如說，第一密封面136或第二密封面137還可以是圓弧面，而第三密封面311或 第四密封面312還可以是圓錐面。還應(yīng)注意到，本發(fā)明的導(dǎo)向鍵322的兩端均 與閥蓋20的下接管203的槽224配合而使得閥桿303只能沿軸線X上下移動(dòng)， 而不是像現(xiàn)有技術(shù)那樣導(dǎo)向鍵僅一端與槽配合，從而改善了導(dǎo)向鍵322和導(dǎo)向 槽224的受力情況，從另一方面也提高了全金屬角闊的使用壽命。也應(yīng)當(dāng)注意 到，由于在閥蓋20和傳動(dòng)螺母301之間放置了平面軸承321，當(dāng)關(guān)閉金屬角閥 時(shí)，改善了傳動(dòng)螺母301與閥蓋20的上接管201之間的摩擦，相對(duì)于現(xiàn)有技 術(shù)而言，施加在手輪302上的旋轉(zhuǎn)力矩將減小，如圖2所示，密封環(huán)307的內(nèi) 側(cè)與垂直于其中心軸線Y的平面具有一角度a， 一般地，該角度a在5度以上 且30度以下；較佳地，a在7度以上且9度以下，此時(shí)，在保證密封環(huán)307 能與密封座和閥板上的錐面緊密配合的基礎(chǔ)上能使施加在旋轉(zhuǎn)手輪上的旋轉(zhuǎn) 力矩最小。
雖然本發(fā)明已參照如上所述的具體實(shí)施例來描述，但是本技術(shù)領(lǐng)域中的普 通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，以上的實(shí)施例僅是用來說明本發(fā)明，在沒有脫離本發(fā) 明精神的情況下還可作出各種等效的變化或替換，因此，只要在本發(fā)明的實(shí)質(zhì) 精神范圍內(nèi)對(duì)上述實(shí)施例的變化、變型都應(yīng)落在本申請(qǐng)的權(quán)利要求書請(qǐng)求保護(hù) 的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1. 一種全金屬角閥，包括閥體、閥蓋和密封組件，所述閥體包括第一密封座 結(jié)構(gòu)，所述密封組件包括第二密封座結(jié)構(gòu)和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述閥蓋和所述閥體密封 配合，所述密封組件的所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與所述閥蓋密封配合并可帶動(dòng)所述第二密封 座結(jié)構(gòu)沿一中心軸線移動(dòng)，從而使所述全金屬角閥關(guān)閉；其特征在于，還包括一碟形密封環(huán)，設(shè)置在所述第一密封座結(jié)構(gòu)和所述第二密封座結(jié)構(gòu)之間； 所述第一密封座結(jié)構(gòu)具有第一密封面，所述第二密封座結(jié)構(gòu)具有第二密封面， 所述碟形密封環(huán)的兩端部分別具有第三密封面和第四密封面，在所述全金屬角閥 關(guān)閉時(shí)，所述第一密封面和所述第二密封面分別與所述第三密封面和所述第四密 封面密封貼合。
2. 如權(quán)利要求1所述的全金屬角閥，其特征在于，所述第一密封面和所述第 三密封面在所述全金屬角閥關(guān)閉時(shí)是線接觸或面接觸，所述第二密封面和所述第 四密封面在所述全金屬角閥關(guān)閉時(shí)是線接觸或面接觸。
3. 如權(quán)利要求1所述的全金屬角閥，其特征在于，所述第一密封面和所述第 二密封面是圓錐面或圓弧面，所述第三密封面和所述第四密封面是圓弧面或圓錐 面。
4. 如權(quán)利要求1所述的全金屬角閥，其特征在于，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括一閥桿， 所述閥桿的一端連接所述第二密封座結(jié)構(gòu)，所述閥桿具有從垂直于所述中心軸線 的方向的通孔，所述閥蓋具有朝所述閥體內(nèi)延伸而部分地伸入所述閥體內(nèi)的下接 管，在所述下接管的內(nèi)壁開有相對(duì)于所述中心軸線對(duì)稱的槽， 一導(dǎo)向鍵穿過所述 孔，并且所述導(dǎo)向鍵的兩端可移動(dòng)地容納在所述槽內(nèi)。
5. 如權(quán)利要求4所述的全金屬角閥，其特征在于，所述閥蓋還具有朝所述閥 體外延伸的上接管，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)還包括傳動(dòng)螺母，所述閥桿具有螺紋部，所述 傳動(dòng)螺母和所述螺紋部嚙合，在所述傳動(dòng)螺母和所述閥體的所述上接管之間設(shè)置 有平面軸承，在所述閥體的上接管的內(nèi)壁設(shè)置有孔用擋圈槽， 一彈簧擋圈設(shè)置在 所述孔用擋圈槽內(nèi)并用于限制所述平面軸承沿所述中心軸線移動(dòng)。
6. 如權(quán)利要求l所述的全金屬角閥，其特征在于，所述碟形密封環(huán)是碟形彈簧。
7. 如權(quán)利要求1所述的全金屬角閥，其特征在于，所述碟形密封環(huán)的內(nèi)側(cè)面與所述中心軸線垂直的平面之間的角度在5度以上且30度以下。
8. 如權(quán)利要求l所述的全金屬角閥，其特征在于，所述碟形密封環(huán)的內(nèi)側(cè)面 與所述中心軸線垂直的平面之間的角度在7度以上且9度以下。
9. 如權(quán)利要求5所述的全金屬角閥，其特征在于，所述傳動(dòng)螺母的外側(cè)具有 第一臺(tái)肩和第二臺(tái)肩，所述平面軸承分別設(shè)置在所述第一臺(tái)肩和所述閥體的上接 管的底部之間和在所述第二臺(tái)肩和所述彈簧擋圈之間。
10. 如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的全金屬角閥，其特征在于， 所述碟形密封環(huán)是以所述第四密封面環(huán)繞所述第二密封面而與所述第二密封座 結(jié)構(gòu)連接。
全文摘要
本發(fā)明提供一種適用于真空系統(tǒng)的全金屬角閥，其包括閥體、閥蓋和密封組件，閥體包括第一密封座結(jié)構(gòu)，密封組件包括第二密封座結(jié)構(gòu)和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，閥蓋和閥體密封配合，密封組件的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與閥蓋密封配合并可帶動(dòng)第二密封座結(jié)構(gòu)沿一中心軸線移動(dòng)，從而使全金屬角閥關(guān)閉；還包括一碟形密封環(huán)，設(shè)置在第一密封座結(jié)構(gòu)和第二密封座結(jié)構(gòu)之間；第一密封座結(jié)構(gòu)具有第一密封面，第二密封座結(jié)構(gòu)具有第二密封面，碟形密封環(huán)的兩端部分別具有第三密封面和第四密封面，在全金屬角閥關(guān)閉時(shí)，從而第一密封面和第二密封面分別與第三密封面和第四密封面密封貼合；由于密封組件結(jié)構(gòu)的改進(jìn)，提高了全金屬角閥的使用壽命。
文檔編號(hào)F16K1/00GK101311585SQ20071004129
公開日2008年11月26日 申請(qǐng)日期2007年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月25日
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