專利名稱：除振臺(tái)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及除振臺(tái)裝置，尤其涉及相對(duì)于除振對(duì)象物被直接或間接設(shè)置以除去除振對(duì)象物的振動(dòng)的除振臺(tái)裝置。更為詳細(xì)而言，涉及在精密設(shè)備等中用于抑制來自地面的微振動(dòng)或由裝置主體引起的自激振動(dòng)的除振臺(tái)裝置。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，例如在半導(dǎo)體制造裝置中制造存儲(chǔ)器、IC的情況下，使用具有印相裝置的步進(jìn)裝置，應(yīng)用了電子照相技術(shù)而在晶片基板上形成電路。在實(shí)際使用步進(jìn)裝置時(shí)，為了提高生產(chǎn)效率而有必要迅速且高精度地將晶片基板或者印相裝置移動(dòng)到既定位置來定位。
但是，越要進(jìn)行迅速的移動(dòng)以及停止，步進(jìn)裝置越會(huì)必然產(chǎn)生振動(dòng)這樣的問題。尤其是，在要求IC的高集成度的現(xiàn)今規(guī)格下，盡管微小振動(dòng)，若不將其完全除去，也會(huì)產(chǎn)生電路線雙重或是短路(發(fā)生電路的重疊)這樣的問題。為了解決這種問題而在現(xiàn)有技術(shù)中提出了各種除去步進(jìn)裝置的微振動(dòng)的除振臺(tái)裝置。
例如，為了除去精密設(shè)備中來自地面的微振動(dòng)而保持恒定位置，為了使除振臺(tái)裝置發(fā)揮除振功能，在現(xiàn)有技術(shù)中提出使用各種流體彈簧組件(主要是空氣彈簧)。更為具體而言采用使用了隔膜型、波紋管(ベロ-ズ)型的流體彈簧的除振裝置。
但是，在將隔膜型流體彈簧作為垂直方向的彈簧使用的情況下，存在的問題是，垂直方向?yàn)槿彳浀膹椈?，而水平方向?yàn)檩^硬的彈簧。
為了解決這種問題而進(jìn)行了如下嘗試，使用被稱為萬向架活塞那樣的振子式的彈簧，或者是以球面體來支承負(fù)荷而在水平方向成為柔軟的彈簧。
但是，由于這些球面體等的中間介質(zhì)而在接觸面上的接觸部位形成凹部或傷痕等，有可能不能得到初期動(dòng)作中期待的特性。
另一方面，波紋管型的流體彈簧，在水平方向以及垂直方向上具有比較柔軟的彈簧特性，而相對(duì)于近年來要求的精準(zhǔn)特性(尤其是水平方向柔軟的彈簧特性)，僅靠這種彈簧本身是難以充分滿足應(yīng)對(duì)。即、在是水平方向格外柔軟的彈簧而使得膜剛性降低或者加大膜部的情況下，產(chǎn)生缺乏穩(wěn)定性而不能夠定位的不良情況。
另外，作為與本申請(qǐng)類似的技術(shù)來說，存在有在特開平5-321979號(hào)公報(bào)中公開的技術(shù)。但是，其結(jié)構(gòu)是相對(duì)于水平方向的步進(jìn)外力的作用以僅維持水平平移振動(dòng)、限制垂直方向?yàn)槟康亩惶岢龅?，不同于要求有垂直方向柔軟的彈簧特性的本申?qǐng)發(fā)明。
本發(fā)明鑒于這種實(shí)際情況而提出來，其目的是提供一種除振裝置，在垂直方向以及水平方向具備柔軟的彈簧特性，而且定位等穩(wěn)定性良好。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述課題，本發(fā)明的除振臺(tái)裝置，相對(duì)于除振對(duì)象物被直接或間接地設(shè)置以除去除振對(duì)象物的振動(dòng)，其中，該除振臺(tái)裝置包括包括頂板，與除振對(duì)象物直接或間接地接觸；下垂板，從該頂板的周緣下垂；基臺(tái)部，被這些頂板和下垂板覆蓋，在上述頂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間，從基臺(tái)部向著頂板的內(nèi)側(cè)面依次設(shè)置有垂直方向流體彈簧和流體支承件(ベアリング)，在上述至少1個(gè)下垂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間設(shè)置有水平方向流體彈簧，在通過上述垂直方向流體彈簧使頂板和下垂板上浮以進(jìn)行水平調(diào)整(水準(zhǔn)出し)之后，可通過上述流體支承件非接觸地進(jìn)行使頂板上浮的操作。
此外，作為本發(fā)明的優(yōu)選方式，上述流體支承件呈在內(nèi)部具備中空部的大致圓柱形狀，與頂板的內(nèi)側(cè)面接觸的一方的大致圓形平面由多孔質(zhì)燒結(jié)面構(gòu)成，位于與該一方的大致圓形平面相反側(cè)的另一方的大致圓形平面與垂直方向流體彈簧實(shí)質(zhì)上抵接，使流體支承件用的壓力流體從外部注入到上述中空部中。
此外，作為本發(fā)明的優(yōu)選方式，上述垂直方向流體彈簧包括具有滾動(dòng)(ロ-リング)動(dòng)作膜結(jié)構(gòu)的隔膜或波紋管。
此外，作為本發(fā)明的優(yōu)選方式，介于上述頂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間的垂直方向流體彈簧和流體支承件配置為支承垂直方向的負(fù)荷，介于上述下垂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間的水平方向流體彈簧被配置為主要以水平方向的定位為目的。
此外，作為本發(fā)明的優(yōu)選方式，上述頂板和上述下垂板被一體化而具有作為浮游部的功能，上述基臺(tái)部具有作為固定部的功能。
此外，作為本發(fā)明的優(yōu)選方式，上述垂直方向流體彈簧是具有滾動(dòng)動(dòng)作膜結(jié)構(gòu)的隔膜，上述基臺(tái)部具有形成有流體室的基臺(tái)主體；在與流體室連通的狀態(tài)下被覆蓋在該基臺(tái)主體上的凸緣部件；與該凸緣部件的周緣部固定安裝而被一體化的缸構(gòu)成部件，通過上述凸緣部件和缸構(gòu)成部件的組合，隔膜的周緣凸緣部被固定安裝，且形成滾動(dòng)動(dòng)作膜的缸部，上述流體支承件作為滾動(dòng)動(dòng)作膜的活塞部形成。
此外，作為本發(fā)明的優(yōu)選方式，流體彈簧用的壓力流體從外部注入到形成在上述基臺(tái)主體的流體室內(nèi)，通過壓力流體的注入使?jié)L動(dòng)動(dòng)作膜滾動(dòng)移動(dòng)，流體支承件上下運(yùn)動(dòng)。
此外，作為本發(fā)明的優(yōu)選方式，上述垂直方向流體彈簧為波紋管，該波紋管具備相對(duì)置的一對(duì)環(huán)狀的對(duì)置面部；以相互連接對(duì)置面的各外周緣部的方式設(shè)置的側(cè)面部，上述基臺(tái)部具有形成有流體室的基臺(tái)主體，在與流體室連通的狀態(tài)下，將上述波紋管的一方的環(huán)狀的對(duì)置面部固定在該基臺(tái)主體上，另一方的環(huán)狀對(duì)置面部和上述流體支承件實(shí)質(zhì)上相固定。
此外，作為本發(fā)明的優(yōu)選方式，流體彈簧用的壓力流體從外部注入到形成在上述基臺(tái)主體的流體室內(nèi)，通過壓力流體的注入使波紋管在軸方向上擴(kuò)張，流體支承件上下運(yùn)動(dòng)。
此外，作為本發(fā)明的優(yōu)選方式，形成在上述至少1個(gè)下垂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間的水平方向流體彈簧是具有滾動(dòng)動(dòng)作膜結(jié)構(gòu)的隔膜、波紋管或者活塞結(jié)構(gòu)體。
此外，作為本發(fā)明的優(yōu)選方式，在上述至少1個(gè)下垂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間，從基臺(tái)部向著下垂板的內(nèi)側(cè)面依次設(shè)置有水平方向流體彈簧和流體支承件，通過上述流體支承件形成其與下垂板的非接觸狀態(tài)。


圖1是用于說明本發(fā)明的除振裝置1的優(yōu)選第1實(shí)施方式的半剖視圖，圖2是圖1的俯視圖，
圖3是用于說明本發(fā)明的除振臺(tái)裝置的動(dòng)作的半剖視圖，圖4是用于說明本發(fā)明的除振臺(tái)裝置的動(dòng)作的半剖視圖，圖5(A)是表示在放置了作為除振對(duì)象物的步進(jìn)裝置的板狀步進(jìn)裝置支承臺(tái)下直接或間接地設(shè)置除振臺(tái)裝置的狀態(tài)的主視圖，圖5(B)是圖5(A)的俯視圖，以及圖6是表示波紋管的一例的立體圖。
具體實(shí)施例方式
下面對(duì)于本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖1中示出用于說明本發(fā)明的除振臺(tái)裝置1的優(yōu)選第1實(shí)施方式的半剖視圖。圖2中示出圖1的概要俯視圖(但是為了便于理解內(nèi)部的結(jié)構(gòu)，而除去后述的頂板加以描述)。圖3以及圖4中示出用于說明本發(fā)明的除振臺(tái)裝置1的動(dòng)作的半剖視圖。圖5(A)以及(B)是分別表示本發(fā)明的除振動(dòng)臺(tái)裝置1的使用狀況的一例的主視圖以及俯視圖。
本發(fā)明的除振臺(tái)裝置1如圖5(A)、(B)所示，被直接或間接設(shè)置在放置了除振對(duì)象物(例如步進(jìn)裝置3)的板狀步進(jìn)裝置支承臺(tái)4之下，用以除去由步進(jìn)裝置3(除振對(duì)象物)產(chǎn)生的振動(dòng)或者是不使來自地面的振動(dòng)傳遞給步進(jìn)裝置(stepper)3。
考慮到載置的穩(wěn)定性，通常使用3個(gè)以上的除振裝置1，被適當(dāng)配置在適合的位置以支承負(fù)荷。
(本發(fā)明的除振臺(tái)裝置的優(yōu)選實(shí)施方式的說明)如圖1所示，除振臺(tái)裝置1具備例如大致四角形狀的頂板10，與除振對(duì)象物直接或間接接觸；下垂板20，從該頂板10的周緣下垂；基臺(tái)部30，被這些頂板10和下垂板20覆蓋。
頂板10和下垂板20通常被一體化，在除振臺(tái)裝置1之中，作為以浮游狀態(tài)被使用的所謂除去振動(dòng)用的“浮游部”發(fā)揮作用。此外，基臺(tái)部30在除振臺(tái)裝置1之中，作為在地面上以固定狀態(tài)被使用的所謂“固定部”發(fā)揮作用。
本發(fā)明中的除振臺(tái)裝置1如圖1所示，在頂板10的內(nèi)側(cè)面10a和基臺(tái)部30的上部之間，從基臺(tái)部30向著頂板10的內(nèi)側(cè)面10a依次設(shè)置垂直方向流體彈簧40(通常為空氣彈簧)和流體支承件60(通常為空氣支承件)。介于頂板10內(nèi)側(cè)面10a和基臺(tái)部30的上部之間的垂直方向流體彈簧40被配置為主要支承垂直方向的負(fù)荷。
此外，如圖所示，在至少1個(gè)下垂板20的內(nèi)側(cè)面20a和基臺(tái)部30的側(cè)面之間設(shè)置有水平方向流體彈簧80(通常為空氣彈簧)，該水平方向流體彈簧80，主要來說以主體的定位控制為目的而被配置。水平方向流體彈簧80如圖5所示，可以為了易于進(jìn)行除振控制而根據(jù)除振臺(tái)裝置1的整體布局適當(dāng)設(shè)置。因而，無需以全部包圍圖1所示的基臺(tái)部30的周圍的方式設(shè)置水平方向流體彈簧80。
這樣的除振臺(tái)裝置1，通過垂直方向流體彈簧40使頂板10和下垂板20上浮以進(jìn)行水平調(diào)整之后，可通過流體支承件60進(jìn)行使頂板10非接觸地上浮的操作。該動(dòng)作說明在后面詳細(xì)敘述。
垂直方向流體彈簧40優(yōu)選為隔膜，即、優(yōu)選具有夾布橡膠制的滾動(dòng)動(dòng)作膜結(jié)構(gòu)的隔膜，或者是夾布橡膠制波紋管。也可使用金屬波紋管。在圖1中作為垂直方向流體彈簧40的優(yōu)選例來說，示出隔膜40。
在圖1所示的實(shí)施方式中，基臺(tái)部30，在其內(nèi)部具有形成流體室31的四棱柱形狀的基臺(tái)主體33，在與流體室31連通的狀態(tài)下，大致環(huán)狀的凹狀凸緣部件34被覆蓋在該基臺(tái)主體33的上側(cè)。而且，在該凸緣部件34的周緣部固定安裝有大致環(huán)狀的缸構(gòu)成部件35，通過凸緣部件34和缸構(gòu)成部件35的組合，不僅夾持并固定隔膜40的周緣凸緣部41，而且還形成滾動(dòng)動(dòng)作膜發(fā)揮作用的缸部。另一方面，既抵接在隔膜40上又處于載置狀態(tài)下的流體支承件60，作為滾動(dòng)動(dòng)作膜的活塞部發(fā)揮作用。
即、構(gòu)成為通過隔膜40的滾動(dòng)作用，放置在隔膜40上的流體支承件60上下運(yùn)動(dòng)。即、構(gòu)成為流體彈簧用的壓力流體從外部注入到形成在上述基臺(tái)主體33的流體室31內(nèi)(位于圖中的下部中央的注入口39)，通過壓力流體的注入，隔膜40的滾動(dòng)動(dòng)作膜滾動(dòng)移動(dòng)以抬起流體支承件60。
對(duì)隔膜40進(jìn)行詳細(xì)說明，隔膜40的動(dòng)作膜(滾動(dòng)動(dòng)作膜)，通過缸部和活塞部的滑動(dòng)可滾動(dòng)移動(dòng)，借助其支承垂直方向的實(shí)質(zhì)上的負(fù)荷。滾動(dòng)動(dòng)作膜是所謂的稱為“隔膜”的有底的大致圓筒形狀的膜，是一種通過壓折(押し返し)安裝而具有較長(zhǎng)的行程和較深的折返(折り返し)部(convolution)，在動(dòng)作中它的有效受壓面積被恒定不變地保持的大致圓筒形的隔膜。即、動(dòng)作膜具備折返部，壓力作用在滾動(dòng)動(dòng)作膜面上時(shí)，膜面的大部分被推靠在缸部和活塞部的動(dòng)作膜面上，剩余的折返底部通過由壓力引起的拉伸應(yīng)力來保持壓力平衡。
另外，在本發(fā)明的實(shí)施方式中，如上所述滾動(dòng)動(dòng)作膜的周緣凸緣41，通過凸緣部件34和缸構(gòu)成部件35的組合而被固定，而且滾動(dòng)動(dòng)作膜的底部，通過保持板37而被固定在活塞部的頂部(相當(dāng)于流體支承件60的活塞頭65的地方)。
例如，夾布橡膠制的滾動(dòng)動(dòng)作膜設(shè)計(jì)得極薄，在構(gòu)成上來說，在強(qiáng)力聚酯(滌特綸)布等上覆蓋橡膠地制作。
如上所述，流體可從外部經(jīng)注入口39供給到基臺(tái)部30的流體室31，該流體室31為了使上述橡膠制的動(dòng)作膜可滾動(dòng)移動(dòng)，而與在缸部和活塞部之間形成的動(dòng)作空間連通。通過設(shè)置這樣的流體室31，可加大實(shí)質(zhì)上的內(nèi)容積，可縮小垂直方向的彈簧常數(shù)。
流體支承件60在內(nèi)部形成具備中空部的大致圓柱形狀，在一對(duì)大致圓形平面內(nèi)，與頂板10的內(nèi)側(cè)面10a接觸的大致圓形平面61由多孔質(zhì)燒結(jié)面構(gòu)成，另一方的大致圓形平面65位于與該大致圓形平面61相反的一側(cè)，該另一方的大致圓形平面65構(gòu)成活塞頭65，處于與作為垂直方向流體彈簧的隔膜40相抵接的狀態(tài)(載置狀態(tài))。構(gòu)成為，流體支承件用的壓力流體，從外部經(jīng)注入口67注入到流體支承件60的中空部。而且，通過注入流體支承件用的壓力流體，使壓力流體從由多孔質(zhì)燒結(jié)面構(gòu)成的大致圓形平面61側(cè)的有孔面噴出，以進(jìn)行非接觸地使頂板10上浮的操作。
但是，如上所述在本發(fā)明的除振臺(tái)裝置1中，水平方向流體彈簧80介于至少1個(gè)下垂板20的內(nèi)側(cè)面20a和基臺(tái)部30的側(cè)面之間。作為本實(shí)施方式中的水平方向流體彈簧80，將具有滾動(dòng)動(dòng)作膜結(jié)構(gòu)的隔膜80作為優(yōu)選例示出在圖1中。
即、在基臺(tái)部30的側(cè)面固定安裝具備圓筒狀的凹部結(jié)構(gòu)的缸構(gòu)成部件71，而且在該缸構(gòu)成部件71的周緣部固定安裝凸緣部件75，通過凸緣部件75和缸構(gòu)成部件71的組合，既可夾持并固定安裝隔膜80的周緣凸緣部81，又可形成滾動(dòng)動(dòng)作膜發(fā)揮作用的缸部。另一方面，活塞部件78被固定安裝在下垂板20的內(nèi)側(cè)面20a，活塞部件78的活塞頭部78a成為被隔膜80覆蓋的狀態(tài)。
此外，作為水平方向流體彈簧80，也可使用波紋管或活塞結(jié)構(gòu)體(流體缸結(jié)構(gòu))以替代隔膜80。波紋管由夾布橡膠制或可使用金屬波紋管。
而且還構(gòu)成為，在下垂板20的內(nèi)側(cè)面20a和基臺(tái)部30的側(cè)面之間，從基臺(tái)部30的側(cè)面向著下垂板20的內(nèi)側(cè)面20a依次設(shè)置水平方向流體彈簧80以及流體支承件(未圖示)，通過流體支承件，可以成為摩擦大致為零的狀態(tài)，以形成與下垂板的非接觸狀態(tài)。在該情況下，還可降低垂直方向的彈簧常數(shù)。作為采用這樣的流體支承件的結(jié)構(gòu)，例如可以設(shè)想如下圖面，即將圖1的活塞部件78置換成流體支承件，且解除與下垂板20的內(nèi)側(cè)面20a的固定而成為自由的狀態(tài)。流體支承件的流體噴出側(cè)成為內(nèi)側(cè)面20a的地方。
(圖1中示出的除振臺(tái)裝置1的動(dòng)作說明)在圖1示出的狀態(tài)中，垂直方向流體彈簧40以及流體支承件60還未動(dòng)作。
接下來如圖3所示，流體彈簧用的壓力流體從外部經(jīng)注入口39注入到形成在基臺(tái)主體33上的流體室31。通過該壓力流體的注入產(chǎn)生作用，以使隔膜40的滾動(dòng)動(dòng)作膜滾動(dòng)移動(dòng)而抬起流體支承件60。通過流體支承件60的上抬，包括頂板10的浮游部也抬起。距此時(shí)的載置基準(zhǔn)位置的浮游距離，在圖3中以“α”表示。
接下來，流體支承件用的壓力流體經(jīng)注入口67從外部注入到流體支承件60的中空部。通過注入該流體支承件用的壓力流體，壓力流體從由多孔質(zhì)燒結(jié)面構(gòu)成的大致圓形平面61側(cè)的有孔面噴出，頂板10非接觸地上浮大致“β”的距離(圖4)。
即、可進(jìn)行使頂板10非接觸地上浮的操作。此時(shí)距載置基準(zhǔn)位置的浮游距離為“α+β”(圖4)。另外，圖面上為了易于理解上浮的狀態(tài)而夸大表示距離，而實(shí)際的上浮距離為，“α”為數(shù)毫米、“β”為數(shù)微米左右，水平方向流體彈簧80處于覆蓋在固定著的活塞部件78上的狀態(tài)，對(duì)于該水平方向流體彈簧80在軸方向幾乎沒有影響。
(本發(fā)明的除振臺(tái)裝置的變形構(gòu)成例的說明)作為垂直方向流體彈簧40，可以使用圖6中示出的一級(jí)以上的波紋管90(如圖所示如是3級(jí)波紋管)以替代圖1中示出的隔膜40。在該情況下，波紋管90具備相對(duì)置的一對(duì)環(huán)狀對(duì)置面部91、95；相互連接對(duì)置面部91、95的各外周緣部地設(shè)置的側(cè)面部93(例如蛇腹壁面部93)。例如，若是夾布橡膠制的波紋管這樣的形態(tài)，則波紋管90被埋入在對(duì)置面部91、95以及蛇腹?fàn)畋诿娌?3上連續(xù)的布內(nèi)。
優(yōu)選的變形例結(jié)構(gòu)的基本觀點(diǎn)是，將圖1中的隔膜80置換成夾布橡膠制波紋管90(圖6)，并顯示出同樣的作用。即、可以采取如下方式，在與流體室31連通的狀態(tài)下，將波紋管90的一方的環(huán)狀對(duì)置面部95實(shí)質(zhì)上固定在圖1示出的基臺(tái)主體33上，將另一方的環(huán)狀的對(duì)置面部91與流體支承件60的下表面部實(shí)質(zhì)上相固定?！皩?shí)質(zhì)上”這一詞語(yǔ)的含義為，并不限定于直接固定的方法，也可例如附加新的固定部件，經(jīng)由該固定部件間接地固定波紋管。原因在于，按照原封不動(dòng)的狀態(tài)固定對(duì)置面部91、95，會(huì)缺乏穩(wěn)定性。
在上述本發(fā)明中，可提供一種除振臺(tái)裝置，在垂直方向以及水平方向具備柔軟的彈簧特性，而且定位等的穩(wěn)定性良好。
即、通過垂直方向流體彈簧上浮負(fù)荷而進(jìn)行水平調(diào)整，還通過流體支承件使負(fù)荷非接觸地上浮，而成為水平方向的摩擦大致為零的狀態(tài)。因而，由于水平方向的彈簧常數(shù)可以僅考慮水平方向的致動(dòng)器(水平方向流體彈簧)，所以水平方向的彈簧常數(shù)較低。
而且，在水平方向的致動(dòng)器側(cè)也設(shè)置流體支承件，從而還可降低垂直方向的彈簧常數(shù)。
此外，在垂直方向以及水平方向都使用了流體彈簧，因而，通過使內(nèi)容積增加，垂直方向的彈簧常數(shù)也較低。
本發(fā)明的除振臺(tái)裝置，是一種在精密設(shè)備等中用于抑制來自地面的微振動(dòng)和由裝置主體引起的自激振動(dòng)的除振臺(tái)裝置，在使用各種精密設(shè)備驅(qū)動(dòng)裝置同時(shí)需要除振的產(chǎn)業(yè)中可廣泛利用。
權(quán)利要求
1.一種除振臺(tái)裝置，相對(duì)于除振對(duì)象物直接或間接地設(shè)置以除去除振對(duì)象物的振動(dòng)，其特征在于，該除振臺(tái)裝置包括頂板，與除振對(duì)象物直接或間接地接觸；下垂板，從該頂板的周緣下垂；基臺(tái)部，被這些頂板和下垂板覆蓋，在上述頂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間，從基臺(tái)部向著頂板的內(nèi)側(cè)面依次設(shè)置有垂直方向流體彈簧和流體支承件，在上述至少1個(gè)下垂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間設(shè)置有水平方向流體彈簧，通過上述垂直方向流體彈簧使頂板和下垂板上浮以進(jìn)行水平調(diào)整之后，可通過上述流體支承件非接觸地進(jìn)行使頂板上浮的操作。
2.如權(quán)利要求1所述的除振臺(tái)裝置，其特征在于，上述流體支承件呈在內(nèi)部具備中空部的大致圓柱形狀，與頂板的內(nèi)側(cè)面接觸的一方的大致圓形平面由多孔質(zhì)燒結(jié)面構(gòu)成，位于與該一方的大致圓形平面相反側(cè)的另一方的大致圓形平面與垂直方向流體彈簧實(shí)質(zhì)上抵接，流體支承件用的壓力流體從外部注入到上述中空部中。
3.如權(quán)利要求1所述的除振臺(tái)裝置，其特征在于，上述垂直方向流體彈簧是具有滾動(dòng)動(dòng)作膜結(jié)構(gòu)的隔膜或波紋管。
4.如權(quán)利要求1所述的除振臺(tái)裝置，其特征在于，介于上述頂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間的垂直方向流體彈簧和流體支承件被配置為支承垂直方向的負(fù)荷，介于上述下垂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間的水平方向流體彈簧被配置為主要以水平方向的定位為目的。
5.如權(quán)利要求1所述的除振臺(tái)裝置，其特征在于，上述頂板和上述下垂板被一體化而具有作為浮游部的功能，上述基臺(tái)部具有作為固定部的功能。
6.如權(quán)利要求1所述的除振臺(tái)裝置，其特征在于，上述垂直方向流體彈簧是具有滾動(dòng)動(dòng)作膜結(jié)構(gòu)的隔膜，上述基臺(tái)部具有形成有流體室的基臺(tái)主體；在與流體室連通的狀態(tài)下被覆蓋在該基臺(tái)主體上的凸緣部件；與該凸緣部件的周緣部固定安裝而被一體化的缸構(gòu)成部件，通過上述凸緣部件和缸構(gòu)成部件的組合，隔膜的周緣凸緣部被固定安裝，且形成滾動(dòng)動(dòng)作膜的缸部，上述流體支承件作為滾動(dòng)動(dòng)作膜的活塞部形成。
7.如權(quán)利要求6所述的除振臺(tái)裝置，其特征在于，流體彈簧用的壓力流體從外部注入到形成在上述基臺(tái)主體的流體室內(nèi)，通過壓力流體的注入使?jié)L動(dòng)動(dòng)作膜滾動(dòng)移動(dòng)，流體支承件上下運(yùn)動(dòng)。
8.如權(quán)利要求1所述的除振臺(tái)裝置，其特征在于，上述垂直方向流體彈簧為波紋管，該波紋管具備相對(duì)置的一對(duì)環(huán)狀的對(duì)置面部；以相互連接對(duì)置面的各外周緣部的方式設(shè)置的側(cè)面部，上述基臺(tái)部具有形成有流體室的基臺(tái)主體，在與流體室連通的狀態(tài)下，將上述波紋管的一方的環(huán)狀的對(duì)置面部固定在該基臺(tái)主體上，另一方的環(huán)狀對(duì)置面部和上述流體支承件實(shí)質(zhì)上相固定。
9.如權(quán)利要求8所述的除振臺(tái)裝置，其特征在于，流體彈簧用的壓力流體從外部注入到形成在上述基臺(tái)主體的流體室內(nèi)，通過壓力流體的注入使波紋管在軸方向上擴(kuò)張，流體支承件上下運(yùn)動(dòng)。
10.如權(quán)利要求1所述的除振臺(tái)裝置，其特征在于，形成在上述至少1個(gè)下垂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間的水平方向流體彈簧是具有滾動(dòng)動(dòng)作膜結(jié)構(gòu)的隔膜、波紋管或者活塞結(jié)構(gòu)體。
11.如權(quán)利要求10所述的除振臺(tái)裝置，其特征在于，在上述至少1個(gè)下垂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間，從基臺(tái)部向著下垂板的內(nèi)側(cè)面依次設(shè)置有水平方向流體彈簧以及流體支承件，通過上述流體支承件形成其與下垂板的非接觸狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明的除振臺(tái)裝置包括頂板，直接或間接與除振對(duì)象物接觸；下垂板，從該頂板的周緣下垂；基臺(tái)部，被這些頂板和下垂板覆蓋，在頂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間，從基臺(tái)部向著頂板的內(nèi)側(cè)面依次設(shè)置有垂直方向流體彈簧和流體支承件，在至少1個(gè)下垂板的內(nèi)側(cè)面和基臺(tái)部之間設(shè)置有水平方向流體彈簧，在通過垂直方向流體彈簧使頂板和下垂板上浮以進(jìn)行水平調(diào)整之后，可通過流體支承件使頂板非接觸地上浮，由此可在水平方向摩擦大致為零這樣的柔和狀態(tài)下進(jìn)行操作，因而，在垂直方向以及水平方向具備柔軟的彈簧特性，而且定位等穩(wěn)定性良好。
文檔編號(hào)F16F15/02GK101018959SQ200580030919
公開日2007年8月15日 申請(qǐng)日期2005年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月14日
發(fā)明者林明宏 申請(qǐng)人:藤倉(cāng)橡膠工業(yè)株式會(huì)社