專利名稱：致動(dòng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及致動(dòng)器，尤其涉及通過流體流動(dòng)而被驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)器。
背景技術(shù)：
作為機(jī)器人等的動(dòng)力，有利用施加于空氣的壓力使該空氣流動(dòng)從而被驅(qū)動(dòng)的空氣致動(dòng)器的動(dòng)力。此種空氣致動(dòng)器具有由工作缸和活塞構(gòu)成的如注射器的構(gòu)造，并具備用于向工作缸送出壓縮空氣的氣罐及壓縮機(jī)。當(dāng)從壓縮機(jī)經(jīng)由氣罐向工作缸送入壓縮空氣時(shí)， 作為可動(dòng)部的活塞動(dòng)作。作為此種結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器，例如有下述的專利文獻(xiàn)1等。但是，上述結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器需要?dú)夤藜皦嚎s機(jī)，從而變成大規(guī)模的結(jié)構(gòu)。因此，下述專利文獻(xiàn)2公開了如下的致動(dòng)器利用形狀記憶合金，通過對該形狀記憶合金加熱并使其收縮，從而使與形狀記憶合金連接的活塞滑動(dòng)。專利文獻(xiàn)1特開2005-230949號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開2001-M8601號(hào)公報(bào)在上述專利文獻(xiàn)2記載的致動(dòng)器中，確實(shí)構(gòu)成了比上述專利文獻(xiàn)1小規(guī)模的結(jié)構(gòu)， 但需要使用形狀記憶合金這樣比較高價(jià)的部件。此外，因?yàn)樾枰獙χ聞?dòng)器進(jìn)行加熱，因此在能效方面也存在問題。進(jìn)而，在利用形狀記憶合金使可動(dòng)部即活塞動(dòng)作的情況下，與利用流體的流動(dòng)來驅(qū)動(dòng)可動(dòng)部的現(xiàn)有技術(shù)相比，存在動(dòng)作僵硬的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一方式的目的之一在于提供至少能夠解決上述任一問題的致動(dòng)器。為了解決上述問題，本發(fā)明的一方式的致動(dòng)器具備第一可動(dòng)部，其利用第一流體的流入量的變動(dòng)來動(dòng)作；第一工作缸，其包含所述第一流體，且構(gòu)成為能夠向所述第一可動(dòng)部供給所述第一流體；活塞，其構(gòu)成為向所述第一工作缸內(nèi)的所述第一流體施加壓力；電動(dòng)機(jī)，其產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力；動(dòng)力變換器，其將所述旋轉(zhuǎn)力變換為使所述活塞動(dòng)作的力。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器，不需要使用如壓縮機(jī)或氣罐這樣的大型的部件，能夠提供小型的致動(dòng)器。此外，當(dāng)使致動(dòng)器動(dòng)作時(shí)不需要加熱，因此能夠提供能效優(yōu)良的致動(dòng)器。 進(jìn)而，通過使空氣等流體流動(dòng)，從而使可動(dòng)部動(dòng)作，因此能夠提供可進(jìn)行比較柔順平滑動(dòng)作的致動(dòng)器。此外，還可使上述致動(dòng)器具備安全裝置，該安全裝置構(gòu)成為，當(dāng)利用施加于所述第一可動(dòng)部的力而對所述第一流體施加了壓力時(shí)，能夠使所述第一流體的一部分流入。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器，當(dāng)對第一可動(dòng)部施加由外部因素產(chǎn)生的力并對第一流體施加壓力時(shí)，安全裝置吸收該壓力，因此能夠防止包括第一可動(dòng)部的致動(dòng)器被破壞。此外，還可使所述安全裝置設(shè)置在所述第一可動(dòng)部和所述第一工作缸之間且構(gòu)成為能夠膨脹。此外，還可使所述致動(dòng)器具備壓力傳感器和電動(dòng)機(jī)控制部，所述壓力傳感器對施加于所述第一流體的壓力進(jìn)行測定，所述電動(dòng)機(jī)控制部根據(jù)由所述壓力傳感器測定的壓力來控制由所述電動(dòng)機(jī)產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，能夠提供可控制應(yīng)施加于第一流體的壓力，從而可更精密地動(dòng)作的致動(dòng)器。此外，還可使本發(fā)明的一方式的致動(dòng)器具備第二可動(dòng)部和第二工作缸，所述第二可動(dòng)部利用第二流體的流入量的變動(dòng)來動(dòng)作，所述第二工作缸包含所述第二流體且構(gòu)成為能夠向所述第二可動(dòng)部供給所述第二流體，所述活塞構(gòu)成為也向所述第二工作缸內(nèi)的所述第二流體施加壓力。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器，能夠提供可使多個(gè)可動(dòng)部同時(shí)動(dòng)作的致動(dòng)器。此外，若使用可使多個(gè)可動(dòng)部同時(shí)動(dòng)作且具有一方伸展而一方收縮的關(guān)系的致動(dòng)器，則在進(jìn)行與人的臂部的肌肉等類似的動(dòng)作時(shí)有效。即，由于人的臂部的肌肉以當(dāng)一側(cè)的肌肉伸展時(shí)另一側(cè)的肌肉收縮的方式動(dòng)作，因此上述致動(dòng)器能夠進(jìn)行與人的臂部的肌肉的動(dòng)作類似的動(dòng)作。
圖1是表示本發(fā)明的致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)的圖。圖2是表示使可動(dòng)部動(dòng)作的狀態(tài)的致動(dòng)器的圖。圖3是表示安全裝置動(dòng)作的狀態(tài)的致動(dòng)器的圖。圖4是表示具備電動(dòng)機(jī)控制部的致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)的圖。圖5是表示具有多個(gè)可動(dòng)部的致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)的第一圖。圖6是表示具有多個(gè)可動(dòng)部的致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)的第二圖。符號(hào)說明100……電動(dòng)機(jī)、110……螺紋構(gòu)件、120……滑動(dòng)螺母、130……活塞、131……活
塞、140......工作缸、141......工作缸、150......流體管、151......流體管、160......可動(dòng)部、
161……可動(dòng)部、170……安全裝置、171……安全裝置、180……壓力傳感器、190……電動(dòng)機(jī)控制部
具體實(shí)施例方式對于本發(fā)明涉及的實(shí)施方式，根據(jù)以下的結(jié)構(gòu)，參照附圖并具體說明。但是，以下說明的實(shí)施方式只不過是本發(fā)明的一例，并不是限定本發(fā)明的技術(shù)范圍。另外，在各附圖中，對同一部件標(biāo)注同一符號(hào)，有時(shí)省略其說明。1.實(shí)施方式1(1)致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)(2)致動(dòng)器的動(dòng)作(3)包括壓力傳感器及電動(dòng)機(jī)控制部的結(jié)構(gòu)(4)實(shí)施方式1的特征2.實(shí)施方式2(1)具備多個(gè)可動(dòng)部的致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)(2)具備多個(gè)可動(dòng)部的致動(dòng)器的動(dòng)作(3)實(shí)施方式2的特征3.本發(fā)明的可應(yīng)用性
<1.實(shí)施方式1><(1)致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)〉圖1是表示本實(shí)施方式1涉及的致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)的圖。如圖1所示，本實(shí)施方式1 的致動(dòng)器包括電動(dòng)機(jī)100、螺紋構(gòu)件110、滑動(dòng)螺母120、活塞130、工作缸140、流體管150、 可動(dòng)部160及安全裝置170。電動(dòng)機(jī)100構(gòu)成為利用來自外部的控制來產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力。由電動(dòng)機(jī)100產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力輸送到螺紋構(gòu)件110。另外，也可在電動(dòng)機(jī)100和螺紋構(gòu)件110之間具備減速機(jī)，該減速機(jī)將由電動(dòng)機(jī)100產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力進(jìn)行調(diào)整之后輸送到螺紋構(gòu)件110。螺紋構(gòu)件110構(gòu)成為，將來自電動(dòng)機(jī)100的旋轉(zhuǎn)力變換為使滑動(dòng)螺母120及活塞 130沿直線方向動(dòng)作的力。S卩，螺紋構(gòu)件110為將電動(dòng)機(jī)100的旋轉(zhuǎn)力變換為直線方向的力的動(dòng)力變換器的一種。滑動(dòng)螺母120及活塞130構(gòu)成為利用從螺紋構(gòu)件110輸送的力而沿直線方向動(dòng)作。具體來說，通過螺紋構(gòu)件110旋轉(zhuǎn)而使滑動(dòng)螺母120滑動(dòng)，并使與該滑動(dòng)螺母120連接的活塞130動(dòng)作。由此，活塞130能夠在工作缸140內(nèi)前后運(yùn)動(dòng)?；钊?30通過該前后運(yùn)動(dòng)而向工作缸140內(nèi)的空氣施加壓力。另外，前后運(yùn)動(dòng)是指圖1中上下方向且活塞130在工作缸140內(nèi)滑動(dòng)時(shí)的運(yùn)動(dòng)。另外，本實(shí)施方式1中具備滑動(dòng)螺母120，但滑動(dòng)螺母120并不是必需的，也可將螺紋構(gòu)件110與活塞130直接連接。工作缸140例如包含空氣，且當(dāng)活塞130對該空氣施加壓力時(shí)，包含在工作缸140 中的空氣被壓縮。工作缸140構(gòu)成為能夠?qū)⒃搲嚎s后的空氣經(jīng)由流體管150供給到可動(dòng)部 160。流體管150構(gòu)成為將工作缸140、可動(dòng)部160及安全裝置170之間連通，從而能夠
輸送空氣。可動(dòng)部160構(gòu)成為空氣能夠流入。此外，當(dāng)施加規(guī)定以上的壓力時(shí)，該可動(dòng)部160 的側(cè)面能夠膨脹，并通過膨脹而收容大量的空氣。此外，可動(dòng)部160構(gòu)成為其側(cè)面膨脹，但上表面及下表面不膨脹?？蓜?dòng)部160的上表面連接并固定于流體管150，但下表面可以變位。從而，可動(dòng)部160根據(jù)流入的空氣的量而膨脹，并通過膨脹而使該可動(dòng)部160的下表面產(chǎn)生變位，從而產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng)。安全裝置170連接配置于流體管150，并構(gòu)成為當(dāng)由外部因素產(chǎn)生的力施加于可動(dòng)部160而使壓力施加于空氣時(shí)，該安全裝置170吸收該壓力。具體來說，安全裝置170構(gòu)成為當(dāng)對流體管150施加一定以上的壓力時(shí)，安全裝置170膨脹，并能夠使流體管150的流體暫時(shí)流入(待避)該膨脹的安全裝置170中。<(2)致動(dòng)器的動(dòng)作〉接著，參照圖2及圖3，對本實(shí)施方式1的致動(dòng)器的動(dòng)作進(jìn)行說明。圖2是表示可動(dòng)部160膨脹后的狀態(tài)的圖。電動(dòng)機(jī)100產(chǎn)生規(guī)定的旋轉(zhuǎn)力而使螺紋構(gòu)件110旋轉(zhuǎn)，從而使可動(dòng)部160動(dòng)作。螺紋構(gòu)件110利用從電動(dòng)機(jī)100施加的旋轉(zhuǎn)力來旋轉(zhuǎn)，并將該旋轉(zhuǎn)變換為直線方向的力而輸送到滑動(dòng)螺母120。滑動(dòng)螺母120變位圖2中由a表示的量。此外，當(dāng)滑動(dòng)螺母120移動(dòng)時(shí)，活塞130也同樣移動(dòng)。當(dāng)活塞130向圖2的上方向移動(dòng)時(shí)，工作缸140內(nèi)的空氣被壓縮。由工作缸140壓縮后的空氣經(jīng)由流體管150 送出到可動(dòng)部160?？蓜?dòng)部160在其中的空氣達(dá)到一定的壓力之前不膨脹，但當(dāng)超過一定的壓力時(shí)開始膨脹。于是，達(dá)到一定以上的壓力的空氣流入膨脹的可動(dòng)部160。由此，可動(dòng)部 160的下表面變位b。圖3是表示可動(dòng)部160及安全裝置170膨脹后的狀態(tài)的圖。在如圖2所示的可動(dòng)部160膨脹后的狀態(tài)下，有時(shí)對可動(dòng)部160的下表面施加由外部因素產(chǎn)生的力。此時(shí)，如圖 3所示，可動(dòng)部160的下表面變位了 C。利用該變位，對包含于可動(dòng)部160的空氣施加壓力。 在此，當(dāng)由于外部因素而施加于空氣的壓力達(dá)到一定以上時(shí)，安全裝置170膨脹，能夠使流體管150中包含的流體的一部分流入。由此，能夠防止空氣的壓力達(dá)到一定以上，從而將致動(dòng)器內(nèi)的空氣壓抑制在一定的范圍內(nèi)。< (3)包括壓力傳感器及電動(dòng)機(jī)控制部的結(jié)構(gòu)>上面對簡單結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器進(jìn)行了說明，但本實(shí)施方式1的致動(dòng)器也可具備壓力傳感器及電動(dòng)機(jī)控制部。圖4是表示具備壓力傳感器180及電動(dòng)機(jī)控制部190的致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)的圖。壓力傳感器180例如在工作缸140內(nèi)連接配置于活塞130。壓力傳感器180構(gòu)成為能夠?qū)κ┘佑诠ぷ鞲?40內(nèi)的空氣的壓力進(jìn)行測定。電動(dòng)機(jī)控制部190將由壓力傳感器180測定的壓力的信號(hào)作為輸入信號(hào)來接收， 并根據(jù)該信號(hào)來控制電動(dòng)機(jī)100需產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)。例如，電動(dòng)機(jī)控制部190帶有表示施加于空氣的壓力和可動(dòng)部160的變位之間的關(guān)系的表，并能夠控制電動(dòng)機(jī)100的旋轉(zhuǎn)，調(diào)整施加于空氣的壓力，以使可動(dòng)部160的變位達(dá)到期望的值。<⑷實(shí)施方式1的特征>如上所述，本實(shí)施方式1中記載的致動(dòng)器具備利用空氣的流入量的變動(dòng)而動(dòng)作的可動(dòng)部160、包含空氣且構(gòu)成為能夠根據(jù)施加于空氣的壓力而向可動(dòng)部160供給空氣的工作缸140、構(gòu)成為向工作缸140內(nèi)的空氣施加壓力的活塞130。進(jìn)而，致動(dòng)器具備產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī)100、將該旋轉(zhuǎn)力變換為使活塞130動(dòng)作的力的螺紋構(gòu)件110及滑動(dòng)螺母 120。另外，空氣被封入可動(dòng)部160、工作缸140及流體管150。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器，不需要使用如壓縮機(jī)或氣罐這樣的大型的部件，能夠提供小型的致動(dòng)器。此外，能夠僅由空氣的流動(dòng)來使致動(dòng)器動(dòng)作，不需要加熱致動(dòng)器的一部分等，能夠提供能效優(yōu)良的致動(dòng)器。進(jìn)而，由于通過使空氣流動(dòng)而使可動(dòng)部動(dòng)作，因此能夠提供可進(jìn)行接近人的動(dòng)作的自然動(dòng)作的致動(dòng)器。此外，本實(shí)施方式1的致動(dòng)器還具備安全裝置170，當(dāng)由于施加于可動(dòng)部160的外部因素所產(chǎn)生的力而使壓力施加于空氣時(shí)，該安全裝置170通過使該空氣流入而能夠吸收施加在空氣上的壓力。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器，當(dāng)對可動(dòng)部160施加由外部因素產(chǎn)生的力，并使壓力施加于空氣時(shí)，安全裝置170吸收該壓力，因此能夠防止包含可動(dòng)部160的致動(dòng)器被破壞。另外，安全裝置170設(shè)置在可動(dòng)部160和工作缸140之間，并且構(gòu)成為能夠膨脹。此外，本實(shí)施方式1的致動(dòng)器還具備壓力傳感器180，其設(shè)置于工作缸140內(nèi)且對施加于空氣的壓力進(jìn)行測定；電動(dòng)機(jī)控制部190，其根據(jù)由該壓力傳感器180測定的壓力來控制由電動(dòng)機(jī)100產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力。根據(jù)此種結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器，能夠提供可動(dòng)態(tài)控制應(yīng)施加于空氣的壓力，從而可更精密地動(dòng)作的致動(dòng)器。
另外，本實(shí)施方式1中，作為包含在工作缸140、流體管150及可動(dòng)部160中的物質(zhì)以空氣為例進(jìn)行了說明，但并不限定于此。即，也可使用氣體或液體來代替空氣。使用空氣是由于在低成本和容易實(shí)現(xiàn)自然的動(dòng)作等方面具有優(yōu)點(diǎn)。使用液體具有在例如周圍的壓力高的水中等也可使用的優(yōu)點(diǎn)。此外，若使用氣體的比重輕的氣體，則能夠使自重輕量化。此外，在本實(shí)施方式1中，作為使活塞130運(yùn)動(dòng)的動(dòng)力使用了電動(dòng)機(jī)100、螺紋構(gòu)件 110及滑動(dòng)螺母120，但并不限定于此。例如也可使用電動(dòng)機(jī)和齒輪等，也可使用其他對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說可想到的方法來代替。此外，在本實(shí)施方式1中，例示了在工作缸140內(nèi)配置有壓力傳感器180，但只要在包含空氣的部位，壓力傳感器180可以配置在任何部分。<2.實(shí)施方式2>< (1)具備多個(gè)可動(dòng)部的致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)>接著，對于具備多個(gè)可動(dòng)部的致動(dòng)器簡單地進(jìn)行說明。另外，在本實(shí)施方式2的致動(dòng)器中，有時(shí)對于與實(shí)施方式1的致動(dòng)器同樣的結(jié)構(gòu)省略說明。圖5是表示具有兩個(gè)可動(dòng)部的致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)的圖。如圖5所示，致動(dòng)器具備可動(dòng)部160及可動(dòng)部161。通過比較圖5與圖1可知，本實(shí)施方式2的致動(dòng)器對于實(shí)施方式1的致動(dòng)器增加了活塞131、工作缸141、流體管151、可動(dòng)部161及安全裝置171?；钊?31、工作缸141、流體管151、可動(dòng)部161及安全裝置171分別具有與活塞130、工作缸140、流體管 150、可動(dòng)部160及安全裝置170同樣的結(jié)構(gòu)及功能。電動(dòng)機(jī)100、螺紋構(gòu)件110及滑動(dòng)螺母 120在上述兩組結(jié)構(gòu)中共用。< (2)具備多個(gè)可動(dòng)部的致動(dòng)器的動(dòng)作>接著，對于本實(shí)施方式2的致動(dòng)器的動(dòng)作簡單地進(jìn)行說明。電動(dòng)機(jī)100產(chǎn)生規(guī)定的旋轉(zhuǎn)力而使螺紋構(gòu)件110旋轉(zhuǎn)。螺紋構(gòu)件110利用從電動(dòng)機(jī)100施加的旋轉(zhuǎn)力來旋轉(zhuǎn)，并將該旋轉(zhuǎn)變換為直線方向的力而輸送到滑動(dòng)螺母120。在此，滑動(dòng)螺母120使活塞130及131同時(shí)向相互反方向變位。由此，工作缸140內(nèi)的空氣的壓力升高時(shí)，工作缸141內(nèi)的空氣的壓力降低，工作缸140內(nèi)的空氣的壓力降低時(shí)，工作缸 141內(nèi)的空氣的壓力升高。于是，在可動(dòng)部160和161之間，膨脹和收縮相反，若一方向膨脹方向變位，則另一方向收縮方向變位。< (3)實(shí)施方式2的特征>如上所述，本實(shí)施方式2的致動(dòng)器中，除了實(shí)施方式1的致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)以外，還具備可動(dòng)部161、工作缸141及活塞131。活塞131構(gòu)成為向工作缸141的空氣施加壓力，且空氣被封入可動(dòng)部161和工作缸141。另外，被封入可動(dòng)部161和工作缸141的空氣相對于被封入可動(dòng)部160和工作缸140的空氣是獨(dú)立的。根據(jù)本實(shí)施方式2的致動(dòng)器，能夠提供使多個(gè)可動(dòng)部同時(shí)動(dòng)作的致動(dòng)器。此外，此種能夠使多個(gè)可動(dòng)部同時(shí)動(dòng)作且處在一方伸展而一方收縮的關(guān)系中的致動(dòng)器在進(jìn)行與人的臂部的肌肉等類似的動(dòng)作時(shí)有效。即，由于人的臂部的肌肉以當(dāng)一側(cè)的肌肉伸展時(shí)另一側(cè)的肌肉收縮的方式動(dòng)作，因此上述致動(dòng)器能夠進(jìn)行與該人的臂部的肌肉的動(dòng)作類似的動(dòng)作。另外，在本實(shí)施方式2中，對每個(gè)工作缸分別使用活塞的例進(jìn)行了說明，但上述活塞也可為一個(gè)活塞。即，活塞由活塞的一部分130及活塞的一部分131構(gòu)成，活塞的一部分130和活塞的一部分131可以分別對包含于工作缸140和工作缸141的空氣施加壓力。另外，在本實(shí)施方式2中，以具有兩個(gè)可動(dòng)部的致動(dòng)器為例進(jìn)行了說明，但其也可作為具有三個(gè)以上的可動(dòng)部的致動(dòng)器來使用。此外，兩個(gè)可動(dòng)部并不必須向反方向變位，例如也可向相同方向變位。此外，通過改變活塞和工作缸的組合的大小，也可在一可動(dòng)部和另一可動(dòng)部之間設(shè)置變位的差。具體來說，可設(shè)置成當(dāng)可動(dòng)部160變位Icm時(shí)可動(dòng)部161變位2cm等。在該情況下，能夠利用一個(gè)電動(dòng)機(jī)100使變位量帶有一定關(guān)系的兩個(gè)可動(dòng)部動(dòng)作。<3.本發(fā)明的可應(yīng)用性〉上述實(shí)施方式只不過是本發(fā)明的一方式，本發(fā)明包括本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)上述的實(shí)施方式可想到的范圍內(nèi)的發(fā)明。例如，可以是具備多個(gè)可動(dòng)部及工作缸且在各個(gè)工作缸內(nèi)設(shè)置壓力傳感器的結(jié)構(gòu)等。另一方面，也可是具備多個(gè)可動(dòng)部及工作缸但僅在一個(gè)工作缸內(nèi)設(shè)置壓力傳感器的結(jié)構(gòu)。在該情況下，多個(gè)工作缸內(nèi)包含的空氣的壓力通常具有相關(guān)關(guān)系，因此能夠通過一組壓力傳感器及電動(dòng)機(jī)控制部來控制空氣的壓力。由此，致動(dòng)器內(nèi)不需要設(shè)置多個(gè)壓力傳感器， 使成本降低。此外，在上述實(shí)施方式中說明的致動(dòng)器可以應(yīng)用于機(jī)器人、FA設(shè)備及康復(fù)用具等設(shè)備，本發(fā)明也包含上述設(shè)備。
權(quán)利要求
1 一種致動(dòng)器，其特征在于，具備第一可動(dòng)部，其利用第一流體的流入量的變動(dòng)來動(dòng)作；第一工作缸，其包含所述第一流體，且構(gòu)成為能夠向所述第一可動(dòng)部供給所述第一流體；活塞，其構(gòu)成為向所述第一工作缸內(nèi)的所述第一流體施加壓力； 電動(dòng)機(jī)，其產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力；動(dòng)力變換器，其將所述旋轉(zhuǎn)力變換為使所述活塞動(dòng)作的力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動(dòng)器，其特征在于，所述致動(dòng)器還具備安全裝置，該安全裝置構(gòu)成為，當(dāng)利用施加于所述第一可動(dòng)部的力而對所述第一流體施加了壓力時(shí)，能夠使所述第一流體的一部分流入。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的致動(dòng)器，其特征在于，所述安全裝置設(shè)置在所述第一可動(dòng)部和所述第一工作缸之間且構(gòu)成為能夠膨脹。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的致動(dòng)器，其特征在于， 所述致動(dòng)器還具備壓力傳感器和電動(dòng)機(jī)控制部，所述壓力傳感器對施加于所述第一流體的壓力進(jìn)行測定，所述電動(dòng)機(jī)控制部根據(jù)由所述壓力傳感器測定的壓力來控制由所述電動(dòng)機(jī)產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的致動(dòng)器，其特征在于， 所述致動(dòng)器還具備第二可動(dòng)部和第二工作缸，所述第二可動(dòng)部利用第二流體的流入量的變動(dòng)來動(dòng)作，所述第二工作缸包含所述第二流體且構(gòu)成為能夠向所述第二可動(dòng)部供給所述第二流體，所述活塞構(gòu)成為也向所述第二工作缸內(nèi)的所述第二流體施加壓力。
全文摘要
本發(fā)明提供一種小規(guī)模且低價(jià)的致動(dòng)器。本發(fā)明的一方式的光電變換裝置具備根據(jù)空氣的流入量的變動(dòng)而動(dòng)作的可動(dòng)部(160)、包含空氣且根據(jù)施加于空氣的壓力而向可動(dòng)部(160)送出空氣的工作缸(140)、對工作缸(140)內(nèi)的空氣施加壓力的活塞(130)。進(jìn)而，致動(dòng)器具備產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī)(100)、將該旋轉(zhuǎn)力變換為使活塞(130)動(dòng)作的力的螺紋構(gòu)件(110)及滑動(dòng)螺母(120)。而且，空氣被封入可動(dòng)部(160)、工作缸(140)及流體管(150)。
文檔編號(hào)F15B7/00GK102162474SQ20111004237
公開日2011年8月24日 申請日期2011年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月19日
發(fā)明者松本哲郎 申請人:精工愛普生株式會(huì)社