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旋轉(zhuǎn)真空泵的制作方法

文檔序號:5445342閱讀:406來源:國知局
專利名稱:旋轉(zhuǎn)真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及用油作密封和潤滑的旋轉(zhuǎn)真空泵(以下簡稱旋轉(zhuǎn)真空泵),特別涉及能降低運轉(zhuǎn)時排氣間的旋轉(zhuǎn)真空泵。
一邊用油保持密封和潤滑一邊通過回轉(zhuǎn)部件的回轉(zhuǎn)進行容積排氣、排向大氣的旋轉(zhuǎn)真空泵在各領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。旋轉(zhuǎn)真空泵有旋翼型、凸輪型、擺動活塞型,還可以區(qū)分為只有一臺泵本體的1段或以及將二臺泵本體串接而成的2段式。
在以上型式中,旋翼型的1段式或2段式是常用的,其排氣原理如圖5所示,圖中是以旋翼型1段式的旋轉(zhuǎn)真空泵為例進行說明的。即,泵的氣缸C被設(shè)置在沒有圖示的油槽殼體內(nèi)的油中,成為防止外氣侵入的結(jié)構(gòu),在偏離氣缸C中心的位置設(shè)有回轉(zhuǎn)部件R,回轉(zhuǎn)部件R通常帶有兩翼片W,回轉(zhuǎn)部件R一回轉(zhuǎn),因回轉(zhuǎn)部件R內(nèi)螺旋彈簧g的力和離心力,這些翼片W在氣缸C的內(nèi)壁滑動。由翼片W、回轉(zhuǎn)部件R和氣缸C所圍成的空間隨著回轉(zhuǎn)部件R的回轉(zhuǎn)發(fā)生容積變化。當回轉(zhuǎn)部件R朝箭頭P方向回轉(zhuǎn)時,與吸氣口S連通的空間h容積增大,而與排氣閥V連通的空間N容積減少。圖5A中的空間M與吸氣口S、排氣閥V都不連通,回轉(zhuǎn)部件R一回轉(zhuǎn),就成為空間N(圖5B)。
即經(jīng)過吸氣過程、移送壓縮過程,空間N被壓縮到設(shè)定壓力,因該壓力推開排氣閥,排氣到油槽殼體內(nèi),從設(shè)在油槽殼體上的排氣口排入大氣。另外,為了保持翼片W與氣缸C內(nèi)面的密封以及滑動的潤滑,當回轉(zhuǎn)部件R在回轉(zhuǎn)時,適量供給油槽殼體內(nèi)的油。本發(fā)明是以包括排氣閥V的排氣部作為主要對象的。
如上所述,該旋轉(zhuǎn)真空泵一邊向泵本體供給適量油,一邊進行排氣,因此,存在排氣中容易伴有油滴、并且排氣音大的缺點。該排氣音是因包含油滴的排氣經(jīng)常大量排出而產(chǎn)生的,近年來,鑒于改善旋轉(zhuǎn)真空泵使用場所的作業(yè)環(huán)境,要求降低排氣音非常強烈。
該旋轉(zhuǎn)真空泵的排氣部的以往例子如圖3和圖4所示。即,利用氣缸壁1的一部分形成排氣部,在排氣部的底面開有來自下部的排氣口2。并且,在排氣部的底面上用內(nèi)六角螺釘74、75固定著排氣閥座5,由薄板彈簧構(gòu)成的排氣閥3以及排氣閥導(dǎo)向塊4用內(nèi)六角螺釘6固定在該排氣閥座5上。排氣閥導(dǎo)向塊4是用于防止排氣閥3的上升量過大從而導(dǎo)致破損。
排氣部的底壁和側(cè)壁圍成存油部10,油O貯留到側(cè)壁的高度,用于使排氣閥3和排氣口2保持氣密。在排氣部的側(cè)壁(氣缸壁1)上設(shè)有排氣擋板8,其用內(nèi)六角螺釘84、85懸臂固定,使其前端部折曲,與存油部10的油面之間形成狹窄間隙P。該狹窄間隙P用于提高油滴與氣體的分離效率。
以往的旋轉(zhuǎn)真空泵的排氣部的結(jié)構(gòu)如上所述,下面說明其作用。
旋轉(zhuǎn)真空泵運轉(zhuǎn),當排氣口2的壓力大約達到900Torr以上,于是,包含油滴的排氣推壓排氣閥3,從排氣口2排出。并且排氣穿過存油部10,碰撞上方的排氣擋板8,這樣能防止油滴飛散,并且,油滴與氣體進行分離。為了提高分離效率,如上所述,使存油部10的油面和排氣擋板8之間間隙P狹窄。通過該部分的排氣如圖3和圖4中箭頭所示排到油槽殼體內(nèi)。
這樣進行排氣的旋轉(zhuǎn)真空泵,當該泵的吸氣口壓力達到極限壓力時,從排氣口2排出的幾乎是由油滴所組成的排氣,該排氣大量排出成為發(fā)生躁音的原因。即,排氣調(diào)整通過排氣擋板8與存油部10的油面之間的狹窄間隙P時發(fā)生頻率高的音。另外,因排氣擋板8懸臂支承而發(fā)生振動,從而產(chǎn)生音,也是躁音的原因。
為了解決該問題,變更排氣擋板8的形狀,但是還不夠,又在油槽殼體的排氣口蓋上帶有孔的橡膠蓋。雖然橡膠蓋被認為有減少排氣音的效果,但是橡膠一般缺乏耐油性,經(jīng)長期使用后會發(fā)生膨脹變形,性能不良,因此沒有完全合適的對策。
本發(fā)明就是鑒于上述問題而提出來的,其目的在于提供一種能極大地降低排氣音的旋轉(zhuǎn)真空泵。
以上目的通過如下的旋轉(zhuǎn)真空泵達到,在用油保持密封和潤滑進行運轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)真空泵中,其特征在于,使得貯留保持排氣口和排氣閥氣密而需要的油的存油部的容積較大,使排氣通過上述存油部的側(cè)壁,并且設(shè)置沿排氣方向折曲的大的開口,雙支承使排氣碰撞分離油滴和氣體的排氣擋板。
由于存油部的容積大,所以從排氣口大量排出的排氣得到充分減速,另外,由于加大了設(shè)在存油部側(cè)壁上的開口,所以排氣通道上沒有狹窄處,降低了通過音。此外,因開口使得排氣方向折曲,所以雖然作為排氣通路的開口變大,但油滴和氣體的分離與以往裝置相比并沒有變化。雙支承排氣擋板即使與排氣發(fā)生碰撞也不會發(fā)生如懸臂支承的排氣擋板那樣的振動,因此而發(fā)生的躁音被減小。
附圖表示本發(fā)明實施例,其中圖1是本發(fā)明實施例的旋轉(zhuǎn)真空泵排氣部的剖面圖;
圖2是同排氣部的局部剖切平面圖;
圖3是圖4的以往的旋轉(zhuǎn)真空泵的排氣部的[3]-[3]線剖視圖;
圖4是同排氣部的局部剖切平面圖;
圖5是表示旋轉(zhuǎn)真空泵排氣原理的剖面圖,圖5A和圖5B表示回轉(zhuǎn)部件不同的回轉(zhuǎn)角度。
下面,參照


本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)真空泵的被改進的排氣部。與上述以往例相同的部分標以同一符號,說明省略。
圖1是本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)真空泵的排氣部的剖面圖,圖2是其平面圖。在圖1、2中排氣口2、排氣閥3、排氣閥導(dǎo)塊4與以往例相同。
即,在氣缸壁1的局部形成排氣部,在排氣部的底面開有來自下部的排氣口2。在排氣部的底面上用內(nèi)六角螺釘52、53固定著排氣閥座51,由薄板彈簧所構(gòu)成的排氣閥3及排氣閥導(dǎo)塊4用內(nèi)六角螺釘6固定在該排氣閥座51上。排氣閥導(dǎo)塊4與以往例相同,用于限制排氣閥3的上升量。
排氣部底壁和側(cè)壁所圍成的存油部20與以往例的存油部10相比,容積大約為2倍左右。并且,在存油部20的側(cè)壁(氣缸壁1)上形成大的開口91作為排氣通路,并起使排氣方向折曲的作用。在開口91的外側(cè),形成被排氣擋板81和氣缸壁1所夾、將排氣排向油槽殼體內(nèi)的通路。排氣擋板81用內(nèi)六角螺釘82、83雙支承在存油部20的兩側(cè)壁(氣缸壁1)上。存油部20中的油O的面成為開口91的下緣。
本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)真空泵的排氣部的結(jié)構(gòu)如上所述,下面說明其作用。
旋轉(zhuǎn)真空泵運轉(zhuǎn),吸氣口中壓力達到該真空泵的極限壓力時,幾乎全由油滴組成的排氣從排氣口2以大約10-15m/s的流速排出,在本實施例中存油部20的容積大約為以往例的存油部10的2倍,排氣速度充分減速。另外,在存油部20的側(cè)壁設(shè)有大的開口91,在圖1箭頭所示排氣通路上沒有狹窄處,所以排氣高速通過狹窄間隙時所產(chǎn)生的高頻率音得到很大的抑制。另外,如圖2箭頭所示,排氣的進行方向折曲呈曲拐狀,所以,在排氣通路上沒有設(shè)置狹窄處的情況下,油滴和氣體的分離與以往裝置相比沒有變化,顯示了原有的效率。此外,雙支承的排氣擋板81不會象懸臂支承那樣伴隨排氣的碰撞而發(fā)生振動,所以也能防止因排氣擋板81振動所引起躁音。并且,排氣擋板81的振動的抑制不僅在真空泵達到極限壓力時有效,而且即使在此前的過程中也是有效的。
以上說明了本發(fā)明的實施例,當然,本發(fā)明并不局限于上述實施例,可以按照本發(fā)明的技術(shù)思想進行種種變型。
例如,在本實施例中,使用薄板彈簧作為排氣閥3,并和排氣閥導(dǎo)塊組合,可是,也可以將其設(shè)為閥板與裝在支承導(dǎo)桿上的螺旋彈簧的組合。
在本實施例中,是采用1段式的旋翼型旋轉(zhuǎn)真空泵,但是,本發(fā)明即使對于2段式的泵也能適用,可以將改進的排氣部安裝在各個泵上。
在本實施例中,以旋翼型旋轉(zhuǎn)真空泵為例作說明的,可是,本發(fā)明的排氣部對于凸輪型、擺動活塞型的旋轉(zhuǎn)真空泵也是有效的。
如上所述,根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)真空泵,能極大地降低極限壓力時因排氣而發(fā)生的躁音,即使是達到極限壓力前的期間也能防止排氣擋板的振動音,所以排氣音非常小。
權(quán)利要求
1.一種旋轉(zhuǎn)真空泵,一邊用油保持密封和潤滑一邊運轉(zhuǎn),其特征在于,使得貯留保持排氣口和排氣閥氣密而需要的油的存油部的容積較大,使排氣通過上述存油部的側(cè)壁,并且設(shè)置排氣方向折曲的大的開口,雙支承使排氣碰撞分離油滴和氣體的排氣擋板。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種旋轉(zhuǎn)真空泵,將排氣部的存油部20的容積設(shè)定為較大,在存油部20的側(cè)壁設(shè)置大的開口91作為排氣通路,同時,使排氣方向折曲,并雙支承排氣擋板81,按照這種結(jié)構(gòu),能降低旋轉(zhuǎn)真空泵運轉(zhuǎn)時的排氣音。
文檔編號F04C29/02GK1105424SQ9411514
公開日1995年7月19日 申請日期1994年9月8日 優(yōu)先權(quán)日1993年9月8日
發(fā)明者中克德, 立野俊一 申請人:日本真空技術(shù)株式會社
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