專利名稱:微型磁動力真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型屬于一種真空獲得設(shè)備。
已有的真空泵可分為兩大類,一類為氣體傳輸泵,另一類為氣體捕集泵。在氣體傳輸泵中又可分為變?nèi)菡婵毡煤蛣恿總鬏斦婵毡谩1緦嵱眯滦蛯儆跉怏w傳輸變?nèi)菡婵毡谩,F(xiàn)有的這類真空泵一般都使用電機做動力。由于使用電機驅(qū)動,往往需要變速設(shè)備,致使這類真空泵體積較大,不能實現(xiàn)微型化。
本實用新型的目的在于提供一種不用電機做動力,體積很小的微型真空泵。
本實用新型由泵身和磁動力機構(gòu)兩部分組成。通過機架把這兩部分有機的連接起來;形成一個整體設(shè)備。泵身由泵體、片式單向閥、泵罩組成;磁動力機構(gòu)由電磁線圈和驅(qū)動臂組成。
附圖
為本實用新型的一個實施例〔1〕泵體;〔2〕、〔3〕片式單向閥;〔4〕泵罩;〔5〕驅(qū)動臂;〔6〕磁動力器;〔7〕機架。
固定在機架〔7〕上的泵體〔1〕內(nèi)裝有片式單向閥〔2〕、〔3〕,在泵體〔1〕上開有吸氣口A和排氣口B;片式單向閥〔2〕與吸氣口A相通,另一片式單向閥〔3〕與排氣口B相通。泵罩〔4〕由彈性材料制成,與泵體〔1〕密封連接,〔5〕為金屬驅(qū)動臂與泵罩〔4〕固定連接,在驅(qū)動臂〔5〕的頂端固定有一塊永磁鐵,磁動力器〔6〕是一個電磁線圈,它是由固定在機架〔7〕上的
型鐵心與繞在鐵心上的線圈組成,線圈上的兩個抽頭與220V電源相接。磁動力器〔6〕與裝有永磁鐵的驅(qū)動臂〔5〕之間有一個間隙L,一般為3-5mm。
本實用新型的工作情況如下給磁動力器〔6〕通電,使驅(qū)動臂〔5〕左右擺動,帶動泵罩〔4〕往復(fù)伸縮,使泵罩〔4〕與泵體〔1〕構(gòu)成的密封空間C的容積變大或變小。當此容積變大時,待抽真空空間中的氣體由吸氣口A經(jīng)片式單向閥〔2〕進入密封空間C,完成抽氣過程;當此容積變小時,密封空間C的氣體由片式單向閥〔3〕經(jīng)排氣口B排出,進入大氣,完成排氣過程,抽氣與排氣兩過程連續(xù)不斷進行,就實現(xiàn)了真空泵的功能。
使用本實用新型的真空泵,其抽氣速率≥0.5 l/min,極限真空度為2×102Pa。
本實用新型具有體積小,總體積只有84×54×35mm3,重量輕,結(jié)構(gòu)簡化,成本低等優(yōu)點。
權(quán)利要求1.一種包含有泵身、動力機構(gòu)的真空泵,其特征在于該真空泵的動力機構(gòu)采用了磁動力機構(gòu),通過機架將泵身與動力機構(gòu)聯(lián)成整體。
2.如權(quán)利要求1所述的真空泵,其特征在于該真空泵的泵身由泵體和泵罩密封聯(lián)接組成,泵罩采用了彈性材料。
3.如權(quán)利要求1、2所述的真空泵,其特征在于該泵的磁動力機構(gòu)由磁動力器和驅(qū)動臂組成,磁動力器固定在機架上,驅(qū)動臂固定在泵罩上。
4.如權(quán)利要求3所述的真空泵,其特征在于該泵所采用的磁動力器是一個由線圈和鐵心繞成的電磁線圈。
5.如權(quán)利要求4所述的真空泵,其特征在于在該泵的驅(qū)動臂上裝有一小塊永磁鐵。
6.如權(quán)利要求5所述的真空泵,其特征在于該泵磁動力器的電磁線圈與裝有永磁鐵的驅(qū)動臂之間有一個間隙L,一般為3-5mm。
專利摘要本實用新型屬于一種氣體傳輸變?nèi)菡婵毡?。由泵身和磁動力機構(gòu)兩部分組成,通過機架把這兩部分聯(lián)接成整體設(shè)備。泵身由泵體、片式單向閥、泵罩組成;磁動力機構(gòu)由電磁線圈和驅(qū)動臂組成;由于采用了磁動力機構(gòu)。使本實用新型具有體積小,總體積只有84×54×35mm
文檔編號F04B35/04GK2123621SQ92210219
公開日1992年12月2日 申請日期1992年2月12日 優(yōu)先權(quán)日1992年2月12日
發(fā)明者李紹榮, 劉德濱 申請人:東北工學院