真空泵的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種真空泵，抑制由于分割固定葉片部在對接部產(chǎn)生重疊或翹曲而導(dǎo)致組裝時固定葉片部發(fā)生變形。固定葉片部(70)是使分割固定葉片部(70A、70B)的徑向兩個對接端部對接而形成為一個輪。在分割固定葉片部(70A)的外周輪圈(73a)上，設(shè)置著從對接面在圓周方向上切去部分而成的缺口(K)，在組裝時分割固定葉片部(70A)的外周輪圈(73a)與分割固定葉片部(70B)的外周輪圈(73b)的端部(73b2)形成間隙(S)。
【專利說明】真空泵
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種包含含有可動葉片(moving blade)部與固定葉片部的排氣部的真空泵(Vacuum pump)。
【背景技術(shù)】
[0002]潤輪分子泵(Turbo Molecular Pump)等真空泵中，在泵容器內(nèi)，使包含多段排列的可動葉片部的轉(zhuǎn)子高速地旋轉(zhuǎn)，通過可動葉片部、與排列在可動葉片部的各段之間的固定葉片(stat1nary blade)部,將氣體分子從吸氣口側(cè)移送至排氣埤側(cè)。
[0003]各段的可動葉片部包含轉(zhuǎn)子葉片(rotor blade)，各段的固定葉片部包含定子葉片(statorblade)。各固定葉片部是由配設(shè)在固定葉片部外周的間隔件而以規(guī)定間隔被支撐。固定葉片部是將一對對半分開的環(huán)狀構(gòu)件組合而形成為一個輪狀。也就是說，將對半分開的環(huán)狀構(gòu)件作為對接部的兩個對接端部相互對接而形成一個輪。轉(zhuǎn)子葉片及定子葉片形成為相對于轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)面而傾斜。
[0004]作為制作固定葉片部的方法，有通過機械加工而形成的方法、及通過塑性加工而形成的方法。通過塑性加工制作的方法在成本方面有利。
[0005]通過塑性加工進行制作的方法是以如下方式進行制作:對金屬板進行壓制加工，利用內(nèi)周輪圈與外周輪圈將以規(guī)定的傾斜角度沿著圓周方向排列的多個定子葉片連結(jié)。由于加工時的偏差，對半分開的環(huán)狀構(gòu)件的圓周長有時會比設(shè)計尺寸長。因此，在將對半分開的環(huán)狀構(gòu)件的對接端部對接而形成一個輪時，對半分開的環(huán)狀構(gòu)件的對接端部會相互重疊，或者因?qū)佣瞬勘舜说姆醋饔昧Χ箤佣瞬慨a(chǎn)生翹曲。
[0006]以往，已知有一種結(jié)構(gòu)，在對半分開的環(huán)狀構(gòu)件已對接的狀態(tài)下，在內(nèi)周輪圈的對接面上設(shè)置著狹縫(例如，參照專利文獻I)。
[0007]【背景技術(shù)】文獻
[0008]專利文獻
[0009]專利文獻1:日本專利特開2006-77713號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明的主要目的在于，克服現(xiàn)有的真空泵存在的缺陷，如上所述，若加工時對半分開的環(huán)狀構(gòu)件的圓周長出現(xiàn)偏差，則固定葉片部會產(chǎn)生重疊或翹曲。專利文獻I中，對于此類問題，并無應(yīng)對措施等的記載。而提供一種新的真空泵，所要解決的技術(shù)問題是使其抑制由于分割固定葉片部在對接部產(chǎn)生重疊或翹曲而導(dǎo)致組裝時固定葉片部發(fā)生變形，非常適于實用。本發(fā)明適用于包含將可動葉片部與固定葉片部多段地層疊而成的排氣部的真空栗。
[0011]本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的真空泵的固定葉片部包含兩片以上的分割固定葉片部，分割固定葉片部各自在周方向的兩端部包含對接端部，將各分割固定葉片部各自的對接端部相互對接而形成固定葉片部，分割固定葉片部各自包含:由間隔件夾持的外周輪圈；位于固定葉片部的內(nèi)周側(cè)前端的內(nèi)周輪圈；及多個定子葉片，在外周輪圈與內(nèi)周輪圈之間以規(guī)定寬度在周方向上呈福射狀延伸，且以規(guī)定的葉片角度相對于固定葉片部主體傾斜而形成多個排氣開口 ；多個分割固定葉片部在相互對接的外周輪圈的對接端部，在至少其中一個外周輪圈上形成著缺口，所述缺口在相對向的另一個外周輪圈之間形成間隙。
[0012]本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進一步實現(xiàn)。
[0013]前述的真空泵，其中所述的分割固定葉片部各自是由平板而制作成相同形狀，在各分割固定葉片部的對接端部的其中一個上，由內(nèi)周輪圈的對接端面、與外周輪圈的對接端面形成第I對接面，在對接端部的另一個上，由內(nèi)周輪圈的端面、外周輪圈的端面、及形成開口部的緣構(gòu)件的端面形成第2對接面，將第I對接面與第2對接面相互抵接而形成固定葉片部。
[0014]前述的真空泵，其中所述缺口在外周輪圈上設(shè)為周方向上具有規(guī)定寬度、徑向上具有規(guī)定長度的矩形形狀。
[0015]前述的真空泵，其中所述的在多個分割固定葉片部對接的內(nèi)周輪圈中至少其中一個的端面上，設(shè)置著從該內(nèi)周輪圈彎曲的彎曲部。從有效地進行對接作業(yè)的觀點出發(fā)，優(yōu)選此種構(gòu)成。
[0016]借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明至少具有下列優(yōu)點及有益效果:
[0017]根據(jù)本發(fā)明，即便由于分割固定葉片部的加工時的尺寸偏差，導(dǎo)致對接端部間的圓周長形成地比設(shè)計尺寸長的情況下，也能夠抑制在組裝固定葉片部時，多個分割固定葉片部的外周輪圈的端部重疊、或分割固定葉片部自身、甚至固定葉片部自身產(chǎn)生翹曲的狀況。
[0018]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是作為本發(fā)明的真空泵的一個實施方式的渦輪分子泵的截面圖。
[0020]圖2是圖1中的區(qū)域II的放大圖。
[0021]圖3是固定葉片部的俯視圖。
[0022]圖4是圖3中的區(qū)域IV的放大立體圖。
[0023]圖5是用以說明固定葉片部的制造方法的半圓板盤的俯視圖。
[0024]圖6是用以說明繼圖5后的步驟的半圓板盤的俯視圖。
[0025]圖7是圖6中的區(qū)域VII的放大圖。
[0026]圖8 (a)是沖頭的俯視圖，圖8 (b)是沖頭的立體圖。
[0027]圖9 (a)是模頭的俯視圖，圖9 (b)是模頭的立體圖。
[0028]圖10是用以說明使用沖頭PU及模頭DI,通過拉拔加工(drawing)而制作定子葉片的方法的圖，圖10(a)是沿圖6中的Xa-Xa線切斷的拉拔加工時的截面圖，圖10(b)是沿圖6中的Xb-Xb線切斷的拉拔加工時的截面圖。
[0029]圖11是本發(fā)明的固定葉片部主要部分的實施方式2的截面圖。[0030]圖12是本發(fā)明的固定葉片部主要部分的實施方式3的截面圖。
[0031]【主要元件符號說明】
[0032]1:渦輪分子泵4:轉(zhuǎn)子
[0033]4A:轉(zhuǎn)子上部4B:轉(zhuǎn)子下部圓筒部
[0034]5:轉(zhuǎn)子軸6:可動葉片部
[0035]8:間隔件9:螺釘定子
[0036]9a:螺紋槽部11:泵容器
[0037]12:外殼(casing)構(gòu)件13:底座(base)
[0038]l:3a、2l:上部法蘭(flange)I4:中央筒部
[0039]15:吸氣口16:排氣埠
[0040]16a:排氣口21:上部法蘭
[0041]22:貫通孔23:下部法蘭
[0042]31、32:磁軸承 33a、33b:徑向位移傳感器
[0043]33c:軸向位移傳感器34、36:機械軸承
[0044]35:電動機(motor)38:轉(zhuǎn)子盤(rotor disc)
[0045]42:密封構(gòu)件70:固定葉片部
[0046]70A、70B:分割固定葉片部70H:固定葉片部主體
[0047]70P:半圓板盤70R:折彎部
[0048]70S:形成排氣開口的橋型接合器(bridge)
[0049]71:定子葉片71S1:內(nèi)周側(cè)端部
[0050]71So:外周側(cè)端部72a、72b:內(nèi)周輪圈
[0051]72al、72bl、72a2、72b2、73al、73a2、73bl、73b2:端部
[0052]72a3、72b3:彎曲部73a、73b:外周輪圈
[0053]75:內(nèi)周側(cè)支撐部76:外周側(cè)支撐部
[0054]76a:區(qū)域77:前端側(cè)部
[0055]78:開口部79:排氣開口
[0056]81:切入線82、83:開口
[0057]84:外周面91、92、93、94:螺栓
[0058]FAl、FA2、FBl、FB2、PU3b、DI3b:對接端部
[0059]K:缺口10、L:長度
[0060]S:間隙D1:模頭
[0061]DI1、DI2、PU1、PU2:傾斜部 DI3、DI3a、PU3a:傾斜面
[0062]PU:沖頭PU3:沖頭主體部
【具體實施方式】
[0063]為更進一步闡述本發(fā)明為達成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的真空泵其【具體實施方式】、方法、步驟、特征及其功效，詳細說明如后。
[0064]-實施方式1-[0065]以下，參照附圖，以渦輪分子泵為一個實施方式而說明本發(fā)明的真空泵。
[0066](真空泵整體構(gòu)成)
[0067]圖1是渦輪分子泵I的截面圖，圖2是圖1中的區(qū)域II的放大圖。
[0068]渦輪分子泵I包含由外殼構(gòu)件12、及固定在外殼構(gòu)件12上的底座13而形成的泵容器11。
[0069]外殼構(gòu)件12具有大致圓筒形狀，是由例如SUS而形成，且在上端部形成著上部法蘭21。在外殼構(gòu)件12的上部法蘭21的內(nèi)部形成著圓形狀的吸氣口 15。在上部法蘭21上，沿圓周方向大致等間隔地形成著螺栓插通用的貫通孔22。渦輪分子泵I是將螺栓92插通到上部法蘭21的貫通孔22中后，安裝在半導(dǎo)體制造裝置等的外部裝置。
[0070]在泵容器11內(nèi)，收納著轉(zhuǎn)子4及同軸安裝在轉(zhuǎn)子4的軸芯上的轉(zhuǎn)子軸5。轉(zhuǎn)子4與轉(zhuǎn)子軸5是利用螺栓91而固定。
[0071]轉(zhuǎn)子4包含:轉(zhuǎn)子上部4A、及與轉(zhuǎn)子上部4A的下表面接合的轉(zhuǎn)子下部圓筒部4B。轉(zhuǎn)子上部4A例如是由鋁合金而形成。在轉(zhuǎn)子上部4A上，在轉(zhuǎn)子4的軸向上隔開間隔地排列著多段的形成為輻射狀、且排列在圓周方向上的多個可動葉片部6?？蓜尤~片部6相對于可動葉片部6的旋轉(zhuǎn)面以規(guī)定的傾斜角度而形成。
[0072]如圖2所示，在多個可動葉片部6的各段之間配置有包含定子葉片71 (參照圖3)的固定葉片部70。
[0073]固定葉片部70將一對對半分開的環(huán)狀構(gòu)件組合而形成為一個輪狀。各固定葉片部70由沿著外殼構(gòu)件12的內(nèi)周面配置的環(huán)形狀的間隔件8而夾持，且層疊為多段(圖示的例中為7段)。最上段的間隔件8的上表面抵接于外殼構(gòu)件12的上部法蘭21的內(nèi)面，最下段的間隔件8的下表面抵接于底座13的上部法蘭13a的上表面。因此，各固定葉片部70在外殼構(gòu)件12的上部法蘭21的內(nèi)面與底座13的上部法蘭13a的上表面之間，經(jīng)由間隔件8被賦予旋轉(zhuǎn)軸方向的力而受到支撐。以此方式，將可動葉片部6與固定葉片部70交替層疊多段而構(gòu)成高真空用的葉片排氣部。
[0074]在轉(zhuǎn)子下部圓筒部4B的外周側(cè)，利用螺栓94將環(huán)狀的螺釘定子9固定于底座13。在螺釘定子9上，形成著螺紋槽部9a。利用轉(zhuǎn)子4的轉(zhuǎn)子下部圓筒部4B與螺釘定子9而構(gòu)成低真空用的螺紋槽排氣部。
[0075]另外，圖1中，例示在螺釘定子9上形成著螺紋槽部9a的構(gòu)造，但也可在轉(zhuǎn)子下部圓筒部4B的外周面形成螺紋槽部9a。
[0076]底座13是由例如鋁合金而形成，在底座13的中央部，形成著中央筒部14，該中央筒部14形成著供轉(zhuǎn)子軸5插通的圓形的中空部。在中央筒部14的內(nèi)側(cè)安裝著電動機35、徑向方向磁軸承31 (兩個部位)、推力方向磁軸承32 (上下一對)、徑向位移傳感器33a、徑向位移傳感器33b與軸向位移傳感器33c、機械軸承34、機械軸承36及轉(zhuǎn)子盤38。
[0077]轉(zhuǎn)子軸5由徑向方向磁軸承31 (兩個部位)及推力方向磁軸承32 (上下一對)非接觸地支撐著。轉(zhuǎn)子軸5旋轉(zhuǎn)時的位置是根據(jù)由徑向位移傳感器33a、徑向位移傳感器33b及軸向位移傳感器33c檢測出的徑向的位置與軸向的位置而控制。通過磁軸承31、磁軸承32而旋轉(zhuǎn)自如地磁懸浮的轉(zhuǎn)子軸5是利用電動機35而高速旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。通過使轉(zhuǎn)子軸5旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，而使與轉(zhuǎn)子軸5連結(jié)的轉(zhuǎn)子上部4A旋轉(zhuǎn)，從而所有的可動葉片部6 —體地旋轉(zhuǎn)。
[0078]機械軸承34、機械軸承36是緊急用的機械軸承，在磁軸承31、磁軸承32不動作時，轉(zhuǎn)子軸5由機械軸承34、機械軸承36而支撐。
[0079]在底座13上，設(shè)置著排氣埠16，在排氣埠16上，設(shè)置著排氣口 16a。
[0080]使外殼構(gòu)件12的下部法蘭23與底座13的上部法蘭13a隔著密封構(gòu)件42而利用螺栓93固定，從而構(gòu)成泵容器11。
[0081]如以上所說明，實施方式的真空泵是包含排氣功能部的真空泵，該排氣功能部是將由間隔件8支撐的固定葉片部70分別配置在多段配置的可動葉片部6間而成。
[0082]以下，詳細地說明固定葉片部70。
[0083](固定葉片部70的說明)
[0084]圖3是圖1所示的固定葉片部70的俯視圖，圖4是圖3中的區(qū)域IV的放大立體圖。
[0085]固定葉片部70是將對半分開的環(huán)狀構(gòu)件即兩個分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B組合而構(gòu)成。分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B為相同形狀。各分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B在中央部具有開口 83、且俯視時為半環(huán)狀體(以下，為方便起見，也記作半圓形形狀)。分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B包含外周輪圈73a、內(nèi)周輪圈72a、及多個定子葉片71，所述多個定子葉片71在外周輪圈73a與內(nèi)周輪圈72a之間以規(guī)定寬度在周方向上呈輻射狀延伸。
[0086]如以下所說明，分割固定葉片部70A包含對接端部FAl及對接端部FA2，分割固定葉片部70B包含對接端部FBl及對接端部FB2。于此，分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B各自的周方向兩端部的形狀不同。參照圖4，在分割固定葉片部70A的其中一個周方向端部FAl上，內(nèi)周輪圈72a與外周輪圈73a之間存在排氣開口 79且相互隔開。另一方面，在分割固定葉片部70A的另一個周方向端部FA2上，內(nèi)周輪圈72a與外周輪圈73a通過形成排氣開口 79的橋型接合器70S而連接。
[0087]在分割固定葉片部70A的外周輪圈73a的其中一個端部73al、與分割固定葉片部70B的外周輪圈73b的其中一個端部73bl上設(shè)置著缺口 K。各缺口 K是為了使對接端部FAl與對接端部FB2隔開、且為了使對接端部FBl與對接端部FA2隔開而形成。
[0088]將分割固定葉片部70A的其中一個對接端部FAl與分割固定葉片部70B的另一個對接端部FB2對接，且將分割固定葉片部70A的另一個對接端部FA2與分割固定葉片部70B的其中一個對接端部FBl對接。換句話說，將分割固定葉片部70A的內(nèi)周輪圈72a的其中一個端部72al與分割固定葉片部70B的內(nèi)周輪圈72b的另一個端部72b2對接，且將分割固定葉片部70A的內(nèi)周輪圈72a的另一個端部72a2與分割固定葉片部70B的內(nèi)周輪圈72b的其中一個端部72b I對接。
[0089](缺口K的說明)
[0090]在按設(shè)計值而制作分割固定葉片部的情況下，將對接端部FAl與對接端部FB2的對接面、及對接端部FA2與對接端部FBl的對接面連結(jié)的直線會穿過由分割固定葉片部70A與分割固定葉片部70B形成的標(biāo)準(zhǔn)圓的中心O。然而，在通過塑性加工制作分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B時，分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B中對接端部FAl與對接端部FA2間、或?qū)佣瞬縁Bl與對接端部FB2間的圓周長有時會形成得比設(shè)計尺寸長。在此情況下，兩個分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B有可能會在對接端部重疊，或者固定葉片部70自身有可能會因兩個對接端部彼此的反作用力而產(chǎn)生翹曲。[0091]因此，本實施方式中，在其中一個分割固定葉片部70A的對接端部FA1、和分割固定葉片部70B的對接端部FBl設(shè)置著圖5、圖6所示的缺口 K。在使對接端部FAl與對接端部FB2對接、且使對接端部FA2與對接端部FBl對接的狀態(tài)下，分割固定葉片部70A的外周輪圈73a的其中一個端部73al與分割固定葉片部70B的外周輪圈73b的另一個端部73b2之間，形成著與缺口 K對應(yīng)的間隙S。同樣地，在分割固定葉片部70B的外周輪圈73b的其中一個端部73bl與分割固定葉片部70A的外周輪圈73a的另一個端部73a2之間,形成著與缺口 K對應(yīng)的間隙S。
[0092]該間隙S是根據(jù)兩個對接端部間的圓周長度的最大公差尺寸α、及由分割固定葉片部組成的固定葉片部70的外周面與間隔件8的內(nèi)周面的最大公差尺寸β等而決定。
[0093](定子葉片71的詳細的說明)
[0094]本實施方式的定子葉片71是通過拉拔加工而制作，詳細說明將在后文敘述。如圖4所示，分割固定葉片部70Α、分割固定葉片部70Β上形成的各定子葉片71在外周輪圈73a與內(nèi)周輪圈72a之間以規(guī)定寬度在周方向上呈輻射狀延伸，且以規(guī)定的葉片角度相對于固定葉片部主體70H傾斜而形成多個排氣開口 79。即，定子葉片71在固定葉片部主體70H的表面上，在沿半徑方向直線延伸的折彎部70R處從固定葉片部主體70H立起且相連，且在與固定葉片部主體70H為相反側(cè)的前端側(cè)部77側(cè)，定子葉片71從固定葉片部主體70H離開。定子葉片71的前端側(cè)部77距離固定葉片部主體70H的高度即葉片高度形成為外周側(cè)比內(nèi)周側(cè)高。
[0095]定子葉片71在俯視時呈沿半徑向細長的矩形形狀。該矩形形狀包括折彎部70R的長邊、前端側(cè)部77的長邊、外周側(cè)端部71So的短邊、及內(nèi)周側(cè)端部71Si的短邊。
[0096]分割固定葉片部70A、70B分別包含:內(nèi)周側(cè)支撐部75，將定子葉片71的內(nèi)周側(cè)端部71Si連接于內(nèi)周輪圈72a或內(nèi)周輪圈72b ;及外周側(cè)支撐部76，將定子葉片71的外周側(cè)端部71So連接于外周輪圈73a或外周輪圈73b。
[0097]內(nèi)周側(cè)支撐部75遍及定子葉片71的內(nèi)周側(cè)端部71Si的全長而形成。外周側(cè)支撐部76對應(yīng)于定子葉片71的外周側(cè)端部71So的一部分而形成。即，外周側(cè)支撐部76設(shè)置在定子葉片71的從固定葉片部主體70折彎的折彎部70R至前端側(cè)部77的中間，且在前端側(cè)設(shè)置著開口部78。開口部78連通于設(shè)置在前端側(cè)部77與固定葉片部主體70H之間的排氣開口 79。
[0098]如上所述，各定子葉片71由連接于外周輪圈73a的外周側(cè)支撐部76及連接于內(nèi)周輪圈72a的內(nèi)周側(cè)支撐部75支撐，因此具有大的剛性。而且，雖然葉片高度為外周側(cè)大于內(nèi)周側(cè)，但由于在外周側(cè)端部71So上，在前端側(cè)部77側(cè)形成著開口部78，因此在進行拉拔加工時可以抑制外周側(cè)支撐部76產(chǎn)生龜裂。
[0099](分割固定葉片部的制造方法)
[0100]接下來，參照圖5?圖10 (a)、圖10(b)，說明分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B的制造方法。
[0101]分割固定葉片部70A與70B是通過相同的制造方法而制作。于此，以分割固定葉片部70A為代表，說明其制造方法。
[0102]該制造方法包含以下步驟:準(zhǔn)備半圓板盤70P ;在半圓板盤70P上形成輻射狀的切入線81，且在外周輪圈73a的其中一個端部73al上形成缺口 K ;在半圓板盤70P的輻射狀的切入線81的最外周部在周方向上形成開口 82 ;及通過拉拔加工而形成定子葉片71。
[0103]首先，準(zhǔn)備在內(nèi)周側(cè)設(shè)置著半圓形的開口部83的金屬制的半圓形構(gòu)件即半圓板盤70P。半圓板盤70P的素材可使用鋁合金、不銹鋼等。
[0104]如圖5所示，在半圓板盤70P上以輻射狀形成著多條直線狀的切入線81。而且，同時或在其他步驟中，在外周輪圈73a的其中一個端部73al上形成缺口 K。切入線81的半徑方向的長度為定子葉片71的半徑方向的長度。切入線81及缺口 K可通過壓制加工或蝕刻加工而形成。切入線81的邊緣部在拉拔加工后變成前端側(cè)部77。
[0105]接下來，如圖6所示，在各切入線81的外周側(cè)的端部形成沿著半圓板盤70P的外周面84且為大致矩形狀的開口 82。通過壓制加工能有效率地形成開口 82，但也可以通過蝕刻加工而形成。開口 82在拉拔加工后變成開口部78。另外，缺口 K的形成也可以不在形成切入線81的所述步驟中進行，而是與開口 82的形成同時地、或在其后進行。
[0106]然后，利用模頭與沖頭對半圓板盤70P進行拉拔加工而形成定子葉片71。以下，參照圖7?圖10 (a)、圖10(b)詳細地說明拉拔加工。
[0107]圖7是圖6中的區(qū)域VII的放大圖。圖7中，影線所示的區(qū)域76a是通過拉拔加工而變成將固定葉片部主體70H與外周輪圈73a連接的外周側(cè)支撐部76的區(qū)域。開口 82的長度10理想的是小于定子葉片71的外周側(cè)端部71So整體的長度L的一半。
[0108]圖8(a)是沖頭的俯視圖，圖8(b)是沖頭的立體圖，圖9 (a)是模頭的俯視圖，圖9(b)是模頭的立體圖。而且，圖10 (a)、圖10(b)是用以說明使用沖頭及模頭DI，通過拉拔加工而形成定子葉片71的方法的圖，圖10(a)是沿圖6中的Xa-Xa線切斷的拉拔加工時的截面圖，圖10(b)是沿圖6中的Xb-Xb線切斷的拉拔加工時的截面圖。
[0109]如圖8(a)、圖8(b)、圖10 (a)、圖10(b)所示，沖頭包含用以形成定子葉片71的外周側(cè)支撐部76的傾斜部TO1，該傾斜部PUl從外周輪圈73a側(cè)朝定子葉片71的下表面?zhèn)韧怀鲈O(shè)置。而且，包含用以形成定子葉片71的內(nèi)周側(cè)支撐部75的傾斜部TO2，該傾斜部PU2從內(nèi)周輪圈72a側(cè)朝定子葉片71的下表面?zhèn)韧怀鲈O(shè)置。沖頭PU包含具有傾斜面PU3a的沖頭主體部PU3，該傾斜面PU3a從各定子葉片71的固定葉片部主體70H的折彎部70R朝前端側(cè)部77突出設(shè)置，并且從內(nèi)周輪圈72a朝外周輪圈73a形成向上的斜坡。而且，在沖頭主體部PU3的與前端側(cè)部77對應(yīng)的位置上，形成著與轉(zhuǎn)子軸5的軸向大致平行的對接端部TO3b。對接端部TO3b是用以使定子葉片71的前端側(cè)部77從固定葉片部主體70H分離的部分。
[0110]如圖9(a)、圖9(b)、圖10 (a)、圖10(b)所示，模頭DI包含用以形成定子葉片71的外周側(cè)支撐部76的傾斜部DIl，該傾斜部DIl從外周輪圈73a側(cè)朝定子葉片71的上表面?zhèn)劝枷略O(shè)置。而且，包含用以形成定子葉片71的內(nèi)周側(cè)支撐部75的傾斜部DI2，該傾斜部DI2從內(nèi)周輪圈72a側(cè)朝定子葉片71的上表面?zhèn)劝枷略O(shè)置。模頭DI包含具有傾斜面DI3a的模頭主體部DI3，該傾斜面DI3a從各定子葉片71的固定葉片部主體70H的折彎部70R朝前端側(cè)部77凹下設(shè)置，并且從內(nèi)周輪圈72a朝外周輪圈73a形成向下的斜坡。而且，在模頭主體部DI3的與前端側(cè)部77對應(yīng)的位置上，形成著與轉(zhuǎn)子軸5的軸向大致平行的對接端部DI3b。對接端部DI3b是用以使定子葉片71的前端側(cè)部77從固定葉片部主體70H分離的部分。
[0111]將半圓板盤70P放置在模頭DIl上，沿箭頭方向擠壓沖頭I3U而對半圓板盤70P進行拉拔加工，制作定子葉片71。該拉拔加工中，在圖7的斜線區(qū)域76a產(chǎn)生三維塑性流動而形成外周側(cè)支撐部76。通過使區(qū)域76a塑性變形，將開口 82從平面形狀朝葉片高度方向三維變形而形成開口部78。而且，以半圓板盤70P上形成的切入線81變成前端側(cè)端部77的方式，使固定葉片部主體70H從折彎部70R(參照圖6)以傾斜狀立起而形成定子葉片71。立起的定子葉片71的前端側(cè)部77與固定葉片部主體70H之間的空間變成排氣開口 79 (參照圖4)。而且，形成于定子葉片71的外周側(cè)部的開口部78形成為與排氣開口 79連續(xù)而相連。
[0112]根據(jù)以上說明的一個實施方式，發(fā)揮以下的效果。
[0113]實施方式的真空泵中，將兩片分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B各自的對接端部FAl與對接端部FB2、及對接端部FBl與對接端部FA2相互對接而形成圓板狀的固定葉片部70。分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B各自包含:外周輪圈73a ;位于固定葉片部70的內(nèi)周側(cè)前端內(nèi)周輪圈72a;及設(shè)置在外周輪圈73a與內(nèi)周輪圈72a之間的排氣開口 79及定子葉片71。定子葉片71在外周輪圈73a與內(nèi)周輪圈72a之間以規(guī)定寬度在周方向上呈輻射狀延伸，且以規(guī)定的葉片角度相對于固定葉片部主體70H傾斜而形成多個排氣開口 79。多個分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B在相互對接的外周輪圈73a、外周輪圈73b的對接端部FAl、對接端部FB2 (FB1、FA2)上，在至少其中一個外周輪圈73a(73b)上，形成著與相對向的另一個外周輪圈73b (73a)之間形成間隙的缺口 K。
[0114]因此，即便在由于加工時的偏差而導(dǎo)致對接端部FAl與對接端部FA2間或?qū)佣瞬縁Bl與對接端部FB2間的圓周長形成得比設(shè)計尺寸長的情況下，組裝固定葉片部70時，也可以抑制分割固定葉片部70A與分割固定葉片部70B的外周輪圈73a的端部重疊、或產(chǎn)生翹曲。尤其是，由于外周部73a被間隔件夾持，因此如果外周輪圈73a的端部重疊，則旋轉(zhuǎn)軸方向上的固定葉片部70的定位精度會變差，或固定葉片部70傾斜而未水平地配置，但本實施方式中，夕卜周輪圈73a的端部不會重疊，因此可以使固定葉片部70的定位精度良好，且可將固定葉片部70水平地配置。該效果是所述專利文獻I無法獲得的獨特而顯著的效果O
[0115]分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B各自是由平板而制作成相同形狀。在分割固定葉片部70A的其中一個對接端部FAl上，由內(nèi)周輪圈72a的對接端面、與外周輪圈73a的對接端面形成第I對接面，在另一個對接端部FA2上，由內(nèi)周輪圈72a的對接端面、夕卜周輪圈73a的對接端面、及形成排氣開口 79的緣構(gòu)件70S的對接端面形成第2對接面，將第I對接面與第2對接面相互抵接而形成固定葉片部70。因此，可將一種類的兩片分割固定葉片部組合而形成固定葉片部70，從而可抑制成本。
[0116]-實施方式2-
[0117]圖11是本發(fā)明的固定葉片部主要部分的實施方式2的截面圖。
[0118]實施方式2中，與實施方式I的不同點為如下所述。
[0119](I)在分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B上，將定子葉片71與外周輪圈73a、外周輪圈73b連接的外周側(cè)支撐部76A是與內(nèi)周側(cè)支撐部75同樣地，遍及定子葉片71的外周側(cè)端部71So的全長而形成。即，不包含實施方式I中形成的用以將前端側(cè)部77從外周側(cè)支撐部76分離的開口部78。
[0120](2)在分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B的內(nèi)周輪圈72a、內(nèi)周輪圈72b上，分別設(shè)置著從內(nèi)周輪圈72a、內(nèi)周輪圈72b的對接端部彎曲成大致直角的彎曲部72a3、彎曲部72b3。
[0121]在外周側(cè)支撐部76A的葉片高度不太高的情況下，不設(shè)置用以將定子葉片71的前端側(cè)部77從外周側(cè)支撐部76分離的開口部78，外周側(cè)支撐部76A也不會產(chǎn)生龜裂。因此，遍及定子葉片71的外周側(cè)端部71So的全長設(shè)置外周側(cè)支撐部76A，而可進一步提高剛性。
[0122]在分割固定葉片部70A、彎曲部70B的內(nèi)周輪圈72a、內(nèi)周輪圈72b上，分別設(shè)置著從內(nèi)周輪圈72a、內(nèi)周輪圈72b彎曲成大致直角的彎曲部72a3、彎曲部72b3，由此使彎曲部72a3與彎曲部72b3對接，作業(yè)變得容易。因此，可有效率地進行固定葉片部70的組裝作業(yè)。
[0123]實施方式2中，也可以發(fā)揮與實施方式I相同的作用效果。
[0124]除此之外與實施方式I為相同，對于對應(yīng)的構(gòu)成附加相同的符號并省略說明。
[0125]另外，例示的是在分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B上分別形成著彎曲部72a3、彎曲部72b3的構(gòu)造，但也可以僅在分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B的其中一個上形成彎曲部72a3、彎曲部72b3。
[0126]而且，實施方式I的構(gòu)造中，也可以在分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B的兩構(gòu)件或其中一個上設(shè)置彎曲部72a3、彎曲部72b3。
[0127]-實施方式3-
[0128]圖12是本發(fā)明的固定葉片部主要部分的實施方式3的截面圖。
[0129]實施方式3中，與實施方式I的不同點為如下所述。
[0130](I)在分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B上，不包含將定子葉片71的外周側(cè)端部71So與外周輪圈73a連接的外周側(cè)支撐部、及將定子葉片71的內(nèi)周側(cè)端部71Si與內(nèi)周輪圈72a連接的內(nèi)周側(cè)支撐部。即,各定子葉片71的外周側(cè)端部71So、內(nèi)周側(cè)端部71Si分別遍及全長而與外周輪圈73a、內(nèi)周輪圈72a或內(nèi)周輪圈72b、外周輪圈73b分離。
[0131](2)分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B中，僅其中一個分割固定葉片部70B在其內(nèi)周輪圈72b上，包含從內(nèi)周輪圈72b彎曲成大致直角的彎曲部72b3，另一個分割固定葉片部70A不包含彎曲部。
[0132]在定子葉片71距離固定葉片部主體70H的葉片高度不太高的情況下，無需設(shè)置內(nèi)周支撐部75、外周支撐部76。
[0133]由此，可使模具廉價，且可提高生產(chǎn)效率。
[0134]與未形成彎曲部的構(gòu)造相比，即便僅在分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B的其中一個上設(shè)置彎曲部72b3，也會使彎曲部72a3與彎曲部72b3的對接作業(yè)變得容易，從而可有效率地進行固定葉片部70的組裝作業(yè)。
[0135]實施方式3中，也可以發(fā)揮與實施方式I相同的作用效果。
[0136]除此之外與實施方式I為相同，對于對應(yīng)的構(gòu)成附加相同的符號并省略說明。
[0137]另外，實施方式3中，也可以在分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B的內(nèi)周周側(cè)部、外周周側(cè)部的僅其中一個上，設(shè)置內(nèi)周支撐部75、外周支撐部76，且在另一個上不設(shè)置內(nèi)周支撐部75、外周支撐部76。
[0138]如上所述，將固定葉片部70以與轉(zhuǎn)子4的軸向平行的方式配設(shè)成多段，且上段側(cè)的固定葉片部70的定子葉片71的葉片高度形成得高于下段側(cè)的固定葉片部70的定子葉片71的葉片高度。
[0139]因此，也可以使實施方式I?實施方式3中所示的固定葉片部70的每一段不相同。例如，可以從上段側(cè)朝下段側(cè)依次排列實施方式I的固定葉片部70、實施方式2的固定葉片部70、及實施方式3的固定葉片部70。此外，還可以形成通過機械加工制作最上段的定子葉片71a的固定葉片部70。
[0140]在所述說明中，設(shè)置在外周輪圈73a、外周輪圈73b上的缺口 K無需在所有段的固定葉片部70上設(shè)置，只要設(shè)置在至少一段的固定葉片部70上即可。
[0141]例示的是在分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B各自的外周輪圈73a、外周輪圈73b的其中一個側(cè)端部設(shè)置著缺口 K的構(gòu)造，但缺口 K也可以設(shè)置在外周輪圈73a、外周輪圈73b的兩個側(cè)端部。
[0142]此外，分割固定葉片部70A、分割固定葉片部70B也可分割成多個，而不是對半分割。
[0143]所述一個實施方式中，關(guān)于真空泵例示的是包含葉片排氣部與螺紋槽排氣部的復(fù)合型的渦輪分子泵。但是，本發(fā)明也可以應(yīng)用于僅包含葉片排氣部的真空泵。
[0144]此外，本發(fā)明在發(fā)明主旨的范圍內(nèi)可以進行各種變形而應(yīng)用。即，只要為如下真空泵，即，包含在多段配置的可動葉片部間分別配置著由間隔件夾持的固定葉片部而成的排氣功能部，且在多個分割固定葉片部相互對接的外周輪圈的對接端部，在至少其中一個外周輪圈上，形成著與相對向的另一個外周輪圈之間形成間隙的缺口，則本發(fā)明并不限定于實施方式或變形例。
[0145]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種真空泵，包含排氣功能部，該排氣功能部是在配置為多段的可動葉片部間分別配置固定葉片部而成，所述固定葉片部是由間隔件夾持，該真空泵的特征在于: 所述固定葉片部包含兩片以上的分割固定葉片部， 所述分割固定葉片部各自在周方向的兩端部包含對接端部，將各分割固定葉片部各自的對接端部相互對接而形成所述固定葉片部， 所述分割固定葉片部各自包含:由所述間隔件夾持的外周輪圈；位于所述固定葉片部的內(nèi)周側(cè)前端的內(nèi)周輪圈；及多個定子葉片，在所述外周輪圈與所述內(nèi)周輪圈之間以規(guī)定寬度在周方向上呈輻射狀延伸，且以規(guī)定的葉片角度相對于固定葉片部主體傾斜而形成多個排氣開口， 所述多個分割固定葉片部在相互對接的外周輪圈的對接端部，在至少其中一個外周輪圈上形成著缺口，所述缺口在相對向的另一個外周輪圈之間形成間隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于: 所述分割固定葉片部各自是由平板而制作成相同形狀， 在所述各分割固定葉片部的對接端部的其中一個上，由所述內(nèi)周輪圈的對接端面、與所述外周輪圈的對接端面形成第I對接面，在所述對接端部的另一個上，由所述內(nèi)周輪圈的端面、所述外周輪圈的端面、及形成開口部的緣構(gòu)件的端面形成第2對接面， 將所述第I對接面與第2對接面相互抵接而形成所述固定葉片部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其特征在于: 所述缺口在所述外周輪圈上設(shè)為周方向上具有規(guī)定寬度、徑向上具有規(guī)定長度的矩形形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其特征在于: 在所述多個分割固定葉片部對接的內(nèi)周輪圈中至少其中一個的端面上，設(shè)置著從該內(nèi)周輪圈彎曲的彎曲部。
【文檔編號】F04D19/04GK104033395SQ201410080508
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2014年3月4日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月7日
【發(fā)明者】住本慎 申請人:株式會社島津制作所