專利名稱：高效抽真空設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種高效抽真空設(shè)備。
背景技術(shù)：
目前的抽真空設(shè)備，利用擴(kuò)散泵在對真空腔體抽高真空時，由于擴(kuò)散泵工作時產(chǎn)生的熱量會使擴(kuò)散泵內(nèi)的油蒸發(fā)上升到高抽閥，即反油，進(jìn)而進(jìn)入到真空腔體內(nèi)，影響真空腔體內(nèi)的工藝，造成工藝不穩(wěn)定，并影響抽速波動。
發(fā)明內(nèi)容為了克服上述缺陷，本實用新型提供了一種高效抽真空設(shè)備，能夠有效避免擴(kuò)散泵反油現(xiàn)象發(fā)生，從而保證真空腔體內(nèi)的工藝穩(wěn)定性。本實用新型為了解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種高效抽真空設(shè)備，包括真空腔體、用于抽高真空的擴(kuò)散泵和用于抽低真空的滑閥泵，所述真空腔體上設(shè)有第一管道連通所述滑閥泵；所述擴(kuò)散泵的一端直接連接到第一管道靠近所述真空腔體一端，另一端通過第二管道連接到所述第一管道靠近所述滑閥泵一端；在所述第一管道和所述擴(kuò)散泵連接處設(shè)有高抽閥，該高抽閥能使所述真空腔體通過第一管道與擴(kuò)散泵和滑閥泵之一連通，在所述高抽閥和擴(kuò)散泵之間設(shè)有冷卻裝置。作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述冷卻裝置為一冷井。作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，在所述第一管道位于所述高抽閥與該第一管道和第二管道的連接處之間設(shè)有第一閥門。作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，在所述第二管道上設(shè)有第二閥門。本實用新型的有益效果是:通過在連接擴(kuò)散泵和真空腔體之間的高抽閥下設(shè)置一冷卻裝置，可以有效將擴(kuò)散泵產(chǎn)生的多余熱量吸收，從而避免反油現(xiàn)象發(fā)生，保證真空腔體內(nèi)工藝的穩(wěn)定性和擴(kuò)散泵抽取真空的速度。

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。結(jié)合附圖，作以下說明:I——真空腔體2——擴(kuò)散泵3——滑閥泵4——第一管道5——第二管道6——高抽閥7——冷卻裝置8——第一閥門9——第二閥門
具體實施方式
結(jié)合附圖 ，對本實用新型作詳細(xì)說明，但本實用新型的保護(hù)范圍不限于下述實施例，即但凡以本實用新型申請專利范圍及說明書內(nèi)容所作的簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本實用新型專利涵蓋范圍之內(nèi)。如圖1所示，一種高效抽真空設(shè)備，包括真空腔體1、用于抽高真空的擴(kuò)散泵2和用于抽低真空的滑閥泵3，所述真空腔體上設(shè)有第一管道4連通所述滑閥泵；所述擴(kuò)散泵的一端直接連接到第一管道靠近所述真空腔體一端，另一端通過第二管道5連接到所述第一管道靠近所述滑閥泵一端；在所述第一管道和所述擴(kuò)散泵連接處設(shè)有高抽閥6，該高抽閥能使所述真空腔體通過第一管道與擴(kuò)散泵和滑閥泵之一連通，在所述高抽閥6和擴(kuò)散泵2之間設(shè)有冷卻裝置7。這樣，冷卻裝置在抽真空時，可有效降低油溫，穩(wěn)定工藝，同時保證抽真空的速率。優(yōu)選的，所述冷卻裝置為一冷井。優(yōu)選的，在所述第一管道位于所述高抽閥與該第一管道和第二管道的連接處之間設(shè)有第一閥門8。優(yōu)選的，在所述第二管道上設(shè)有第二閥門9。
權(quán)利要求1.一種高效抽真空設(shè)備，包括真空腔體(1)、用于抽高真空的擴(kuò)散泵(2)和用于抽低真空的滑閥泵(3)，所述真空腔體上設(shè)有第一管道(4)連通所述滑閥泵；所述擴(kuò)散泵的一端直接連接到第一管道靠近所述真空腔體一端，另一端通過第二管道(5)連接到所述第一管道靠近所述滑閥泵一端；在所述第一管道和所述擴(kuò)散泵連接處設(shè)有高抽閥(6)，該高抽閥能使所述真空腔體通過第一管道與擴(kuò)散泵和滑閥泵之一連通，其特征在于:在所述高抽閥(6 )和擴(kuò)散泵(2 )之間設(shè)有冷卻裝置(7 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效抽真空設(shè)備，其特征在于:所述冷卻裝置為一冷井。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高效抽真空設(shè)備，其特征在于:在所述第一管道位于所述高抽閥與該第一管道和第二管道的連接處之間設(shè)有第一閥門(8)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高效抽真空設(shè)備，其特征在于:在所述第二管道上設(shè)有第二閥門(9)。
專利摘要本實用新型公開了一種高效抽真空設(shè)備，包括真空腔體、用于抽高真空的擴(kuò)散泵和用于抽低真空的滑閥泵，所述真空腔體上設(shè)有第一管道連通所述滑閥泵；所述擴(kuò)散泵的一端直接連接到第一管道靠近所述真空腔體一端，另一端通過第二管道連接到所述第一管道靠近所述滑閥泵一端；在所述第一管道和所述擴(kuò)散泵連接處設(shè)有高抽閥，該高抽閥能使所述真空腔體通過第一管道與擴(kuò)散泵和滑閥泵之一連通，在所述高抽閥和擴(kuò)散泵之間設(shè)有冷卻裝置。該高效抽真空設(shè)備通過在連接擴(kuò)散泵和真空腔體之間的高抽閥下設(shè)置一冷卻裝置，可以有效將擴(kuò)散泵產(chǎn)生的多余熱量吸收，從而避免反油現(xiàn)象發(fā)生，保證真空腔體內(nèi)工藝的穩(wěn)定性和擴(kuò)散泵抽取真空的速度。
文檔編號F04B37/14GK203161477SQ201320110259
公開日2013年8月28日 申請日期2013年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月12日
發(fā)明者周樹法 申請人:昆山立特納米電子科技有限公司