真空泵的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種可實現(xiàn)潤滑滾珠軸承的高壽命化的真空泵。本發(fā)明的真空泵包括：泵轉(zhuǎn)子(3)，具有旋轉(zhuǎn)翼(30)、圓筒部(31a)、(31b)及軸部(10a)、(10b)；固定翼(20)及定子(21a)、(21b)，作為固定側(cè)排氣功能部；潤滑脂潤滑滾珠軸承(8)，支撐軸部(10a)；及迷宮式密封件(18)，設(shè)置于配置著電動機定子(4b)的電動機配置空間(R2)與配置著潤滑脂潤滑滾珠軸承(8)的軸承配置空間(R1)之間。
【專利說明】真空泵
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種通過潤滑滾珠軸承(ball bearing)來支撐轉(zhuǎn)子的構(gòu)成的真空泵(vacuum pump)。
【背景技術(shù)】
[0002]于在支撐轉(zhuǎn)子的軸承中使用滾珠軸承的真空泵中，滾珠軸承的潤滑會成為問題。在專利文獻(xiàn)I所記載的干式真空泵(dry vacuum pump)中，在配置著電動機(motor)及滾珠軸承的空間與泵排氣口側(cè)之間設(shè)置著迷宮式密封件(labyrinth seal)。通過設(shè)為此種構(gòu)成，而防止油蒸氣向吸氣口側(cè)逆流。
[0003]另外，專利文獻(xiàn)2所記載的發(fā)明是一種利用球面螺旋槽軸承(spherical spiralgroove bearing)支撐旋轉(zhuǎn)體的下部的構(gòu)成的真空泵,對旋轉(zhuǎn)軸設(shè)置唇形密封板(lip sealplate)，以防止油及油蒸氣漏出至油收納容器的外部。
[0004]【背景技術(shù)】文獻(xiàn)
[0005][專利文獻(xiàn)]
[0006][專利文獻(xiàn)I]日本專利特開2002-317790號公報
[0007][專利文獻(xiàn)2]日本專利特開昭62-288386號公報
[0008]然而，在專利文獻(xiàn)I所記載的構(gòu)成的情況下，油蒸氣會擴散至電動機及軸承的配置空間整體。因此，如果有泵排氣口側(cè)的壓力變動，那么會產(chǎn)生氣體經(jīng)由迷宮式密封件向所述配置空間流入或者氣體自配置空間流出，配置空間的油蒸氣也會隨著該氣體的流出而流出。其結(jié)果，用于軸承的潤滑劑的油(在潤滑脂(grease)潤滑的情況下為基礎(chǔ)油(baseoil))減少，而導(dǎo)致潤滑劑壽命的惡化。
[0009]另外，在專利文獻(xiàn)2所記載的使用唇形密封板的情況下，為了使唇形密封板也能承受住高速旋轉(zhuǎn)，必須在唇形密封板與旋轉(zhuǎn)軸接觸的部分形成潤滑油的油膜。因此，該構(gòu)造并不適用于潤滑脂潤滑的滾珠軸承。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的真空泵包括:旋轉(zhuǎn)體，具有旋轉(zhuǎn)側(cè)排氣功能部及旋轉(zhuǎn)軸；固定側(cè)排氣功能部；潤滑滾珠軸承，支撐所述旋轉(zhuǎn)軸；電動機，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)體；及第一迷宮式密封件，設(shè)置于配置著所述電動機的電動機定子(motor stator)的空間與配置著所述潤滑滾珠軸承的空間之間。
[0011]優(yōu)選在配置著所述電動機定子的空間與配置著所述潤滑滾珠軸承的空間之間，除第一迷宮式密封件以外無其他供氣體流動的通路。
[0012]優(yōu)選所述真空泵還包括:軸承座(bearing holder)，保持所述潤滑滾珠軸承；及平衡(balance)調(diào)整用構(gòu)件，安裝于所述旋轉(zhuǎn)軸的與所述軸承座相對向的位置，且用于所述旋轉(zhuǎn)體的平衡調(diào)整；且構(gòu)成所述第一迷宮式密封件的其中一凹凸形成于所述平衡調(diào)整用構(gòu)件的與所述軸承座相對向的面，與所述其中一凹凸嵌合的另一凹凸形成于所述軸承座的與所述平衡調(diào)整用構(gòu)件相對向的面。
[0013]優(yōu)選所述真空泵還包括:凈化氣體(purge gas)流路，用以對配置著所述電動機定子的空間導(dǎo)入凈化氣體。
[0014]優(yōu)選所述真空泵還包括:第二迷宮式密封件，設(shè)置于配置著所述電動機定子的空間與泵排氣口之間。
[0015]優(yōu)選所述真空泵還包括:儲油件，密接配置于所述電動機定子，且設(shè)置著用于所述潤滑滾珠軸承的潤滑脂或者該潤滑脂的基礎(chǔ)油。
[0016]優(yōu)選所述真空泵還包括:凈化氣體流路，用以對所述第二迷宮式密封件的密封件間隙導(dǎo)入凈化氣體。
[0017][發(fā)明的效果][0018]根據(jù)本發(fā)明，可實現(xiàn)潤滑滾珠軸承的高壽命化。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是表示本發(fā)明的真空泵的第一實施方式的圖。
[0020]圖2是說明迷宮式密封件18的構(gòu)造的圖。
[0021]圖3是表示本發(fā)明的真空泵的第二實施方式的圖。
[0022]圖4是表示本發(fā)明的真空泵的第三實施方式的圖。
[0023]圖5是表示軸向式(axial type)迷宮式密封件18的圖。
[0024][符號的說明]
[0025]1:渦輪分子泵2:基座
[0026]2a:電動機外殼部3:泵轉(zhuǎn)子
[0027]4:電動機
[0028]4a:電動機轉(zhuǎn)子4b:電動機定子
[0029]4c:配線
[0030]6:永久磁鐵磁軸承
[0031]6a、6b:永久磁鐵
[0032]8、9:軸承10a、10b:軸部
[0033]11:磁鐵座14:軸承座
[0034]14a、17a:凹部14b、16a、17b:凸部
[0035]15:螺母16:下蓋
[0036]17:平衡調(diào)整用構(gòu)件 18、19:迷宮式密封件
[0037]20:固定翼21a、21b:定子
[0038]22、24:凈化氣體流路23:電動機蓋
[0039]25:儲油件26:連接器
[0040]30:旋轉(zhuǎn)翼31a、31b:圓筒部
[0041]Rl:軸承配置空間 R2:電動機配置空間
[0042]R3:間隙R4:泵排氣口側(cè)空間
[0043]s:半徑方向間隙【具體實施方式】
[0044]以下，參照圖對用以實施本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明。
[0045]第一實施方式
[0046]圖1是表示本發(fā)明的真空泵的第一實施方式的圖，且是渦輪分子泵(turbo-molecular pump)l的剖視圖。此外，潤輪分子泵I連接于供給電力的電源單元(unit)，但在圖1中省略圖示。
[0047]圖1所示的潤輪分子泵I包括具有潤輪(turbine)翼的潤輪泵(turbo pump)部及具有螺旋型槽的Holweck泵部作為排氣功能部。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于在排氣功能部包含渦輪泵部及Holweck泵部的真空泵，也可適用于僅包含渦輪翼的真空泵、僅包含西格班泵(Siegbahnpump)或Holweck泵等牽引泵(Drag Pump)的真空泵、或者將上述那些組合而
成的真空泵。
[0048]渦輪泵部包含:多段的旋轉(zhuǎn)翼30，形成于泵轉(zhuǎn)子(pump rotor) 3 ;及多段的固定翼20，相對于旋轉(zhuǎn)翼30而交替地配置。另一方面，設(shè)置于渦輪泵部的下游側(cè)的Holweck泵部包含:一對圓筒部31a、31b,形成于泵轉(zhuǎn)子3 ;及一對定子21a、21b,配置于基座(base) 2側(cè)。
[0049]泵轉(zhuǎn)子3通過電動機4而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。電動機4的電動機轉(zhuǎn)子4a設(shè)置于泵轉(zhuǎn)子3的下側(cè)的軸(shaft)部10a。電動機定子4b固定于基座2的電動機外殼(motor housing)部2a。用以對電動機定子4b供給電力的配線4c連接于安裝于基座2的連接器(connector) 26。泵轉(zhuǎn)子3通過由多個永久磁鐵6a、6b所構(gòu)成的永久磁鐵磁軸承6與機械軸承(mechanical bearing) 8而旋轉(zhuǎn)自如地支撐。
[0050]永久磁鐵6a、6b是在軸向上被磁化的環(huán)(ring)狀的永久磁鐵。設(shè)置于旋轉(zhuǎn)的泵轉(zhuǎn)子3側(cè)的多個永久磁鐵6a以使同極彼此相對向的方式沿軸向配置著多個。另一方面，固定側(cè)的多個永久磁鐵6b安裝于固定于泵殼(pump casing)的磁鐵座(holder) 11。這些永久磁鐵6b也以使同極彼此相對向的方式沿軸向配置著多個。
[0051]設(shè)置于泵轉(zhuǎn)子3的永久磁鐵6a的軸向位置是以成為較配置于其內(nèi)周側(cè)的永久磁鐵6b的位置略微上側(cè)的方式而設(shè)定。即，旋轉(zhuǎn)側(cè)的永久磁鐵的磁極相對于固定側(cè)的永久磁鐵的磁極，朝軸向吸氣口側(cè)偏移預(yù)定量。根據(jù)該預(yù)定量的大小，永久磁鐵磁軸承6的支撐力會有所不同。在圖1所示的例中，永久磁鐵6a配置于圖示上側(cè),所以通過永久磁鐵6a與永久磁鐵6b的斥力，而使徑向(radial)的支撐力與朝軸向(axial)上的(泵吸氣口方向)力作用于泵轉(zhuǎn)子3。
[0052]在磁鐵座11的內(nèi)周側(cè)保持著軸承9。軸承9作為限制軸上部的徑向的振動的接觸軸承(touch down bearing)而發(fā)揮作用。在泵轉(zhuǎn)子3穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下,泵轉(zhuǎn)子3的上側(cè)的軸部IOb不會與軸承9接觸，在施加大的干擾的情況下、或者在旋轉(zhuǎn)加速時或減速時泵轉(zhuǎn)子3的擺振變大的情況下，軸部IOb會與軸承9的內(nèi)輪接觸。軸承8、9例如使用深槽球軸承(deep slotted ball bearing)。在下側(cè)的軸承8中填充著潤滑脂。
[0053]軸承8通過軸承座14而保持，該軸承座14螺栓(bolt)固定于基座2。軸承8介隔阻尼器(damper)等而保持于軸承座14，通過使螺合于軸承座14的螺母(nut) 15緊固，而將軸承8的外輪保持于軸承座14。軸承8的內(nèi)輪固定于軸部IOa側(cè)。
[0054]在軸承座14的圖示下側(cè)，用以密封軸承配置空間Rl的下側(cè)的部分的下蓋16固定于基座2。在下蓋16的內(nèi)周面?zhèn)刃纬芍共?6a,該凸部16a伸入至軸承座14的內(nèi)側(cè)區(qū)域，由此將軸承配置空間Rl的間隙區(qū)域盡可能地抑制為較小。
[0055]在電動機轉(zhuǎn)子4a的下側(cè)的軸部IOa安裝著平衡調(diào)整用構(gòu)件17。平衡調(diào)整用構(gòu)件17是當(dāng)進(jìn)行泵轉(zhuǎn)子3的平衡調(diào)整時所使用的構(gòu)件，例如，如符號V般將側(cè)周面削掉，或者在設(shè)置于側(cè)周面的螺孔(未圖示)中安裝止動螺絲，而減少泵轉(zhuǎn)子3的不平衡(unbalance)。在該平衡調(diào)整用構(gòu)件17的下表面及與該下表面相對向的軸承座14的上表面，形成著構(gòu)成迷宮式密封件18的環(huán)狀凹凸。
[0056]圖2是說明迷宮式密封件18的構(gòu)造的圖，且是圖1的迷宮式密封件18的部分的放大圖。迷宮式密封件是非接觸密封件，且通過在旋轉(zhuǎn)軸與固定部之間組合數(shù)段凹凸的間隙，而減少泄漏。在平衡調(diào)整用構(gòu)件17的下表面?zhèn)刃纬芍鄠€同心環(huán)狀的凹部17a及凸部17b。同樣地，在軸承座14的上表面也形成著多個同心環(huán)狀的凹部14a及凸部14b。平衡調(diào)整用構(gòu)件17的凸部17b伸入至軸承座14的凹部14a，反之，軸承座14的凸部14b伸入至平衡調(diào)整用構(gòu)件17的凹部17a。在凹部與凸部之間形成著微小的間隙。在將軸部IOa的擺振半徑設(shè)為r，將電動機轉(zhuǎn)子4a與電動機定子4b的間隙設(shè)為g的情況下，半徑方向間隙s是以r < s < g的方式而設(shè)定。
[0057]如此，由于將凹凸部的間隙設(shè)定為較小，所以迷宮式密封件18的電導(dǎo)(conductance)會變小。例如，在r = 0.2mm> g = 0.5mm、s = 0.35mm的情況下，由多重圓筒所構(gòu)成的迷宮式密封件的電導(dǎo)相對于氮氣成為約0.06L/s。對于油蒸氣等分子量大的氣體而言，電導(dǎo)會進(jìn)一步變小。其較通常用作渦輪分子泵的輔助泵的泵的排氣速度足夠小，而作為密封油蒸氣的密封件充分發(fā)揮作用。
[0058]軸承8的軸承配置空間Rl經(jīng)由軸部IOa與軸承座14的間隙及迷宮式密封件18的間隙而與電動機配置空間R2連接。進(jìn)而，電動機配置空間R2經(jīng)由電動機外殼部2a的外周與泵轉(zhuǎn)子3的圓筒部31b的間隙R3而與泵排氣口側(cè)空間R4連通。此外，電動機配置空間R2與配置著配線4c及連接器26的空間連接。
[0059]軸承8由油或潤滑脂等潤滑劑潤滑。在本實施方式中，使用潤滑脂作為軸承8的潤滑劑。由于真空泵中所使用的軸承是在真空中被使用，所以油或潤滑脂的基礎(chǔ)油易于蒸發(fā)。因此，當(dāng)基礎(chǔ)油蒸發(fā)光時便達(dá)到潤滑壽命。當(dāng)泵運行時軸承8會變成高溫，所以會促進(jìn)基礎(chǔ)油的蒸發(fā)，其蒸氣擴散至配置著軸承8的軸承配置空間Rl的間隙區(qū)域整體。繼而，軸承配置空間Rl中的基礎(chǔ)油的分壓會上升直至基礎(chǔ)油的蒸發(fā)與再凝結(jié)均衡為止。如上所述，迷宮式密封件18對于油蒸氣具有足夠小的電導(dǎo)，所以只要空氣不經(jīng)由迷宮式密封件進(jìn)出，因蒸發(fā)而引起的潤滑劑的基礎(chǔ)油的減少在變成平衡狀態(tài)的時刻會變得極小。
[0060]然而，如果泵排氣口側(cè)空間R4的壓力隨著泵排氣而變動，那么經(jīng)由間隙R3，在泵排氣口側(cè)空間R4與電動機配置空間R2之間會產(chǎn)生空氣的進(jìn)出，進(jìn)而，經(jīng)由迷宮式密封件18，在電動機配置空間R2與軸承配置空間Rl之間會產(chǎn)生空氣的進(jìn)出。例如，于在安裝著泵的腔室(chamber)中進(jìn)行了氣體的流入、停止動作的情況下，泵排氣口側(cè)空間R4的壓力在氣體流入時會上升，在氣體停止時會降低。因此，在氣體流入后的氣體停止時，軸承配置空間Rl的油蒸氣會流出至電動機配置空間R2。尤其是，在泵排氣口側(cè)空間R4的壓力上升至粘性流動的情況下，充滿于軸承配置空間Rl的油蒸氣通過與排氣氣體的分子碰撞而被沖擊至排氣口側(cè)。
[0061]另外，在當(dāng)氣體停止時泵排氣口側(cè)空間R4的壓力變得低于電動機配置空間R2的情況下，電動機配置空間R2的氣體會流入至軸承配置空間Rl的間隙區(qū)域。如果因該氣體流入而使電動機配置空間R2的基礎(chǔ)油的蒸氣壓降低，那么基礎(chǔ)油會再次蒸發(fā)，直至成為平衡狀態(tài)。
[0062]因該種氣體的進(jìn)出而引起的油蒸氣自軸承配置空間Rl的流出量與軸承配置空間Rl的內(nèi)容積(軸承配置空間Rl的間隙區(qū)域的體積)與壓力變動的頻度的積大致成正比。因此，在本實施方式中，設(shè)置迷宮式密封件18而將軸承配置空間Rl與電動機配置空間R2實質(zhì)性地分離，并且極力減小該所分離的軸承配置空間Rl的間隙空間，由此，減少潤滑劑的基礎(chǔ)油的蒸發(fā)，從而實現(xiàn)潤滑壽命的延長。
[0063]如圖1所示，通過在電動機配置空間R2與軸承配置空間Rl之間設(shè)置迷宮式密封件18，而實現(xiàn)電動機配置空間R2與軸承配置空間Rl的實質(zhì)性的分離。此處，所謂實質(zhì)性的分離，是指只要在泵排氣口側(cè)空間R4無壓力變動，那么電動機配置空間R2與軸承配置空間Rl之間由迷宮式密封件18密封。其結(jié)果，軸承配置空間Rl以如(軸承配置空間Rl)-(迷宮式密封件18)-(電動機配置空間R2)-(間隙R3)-(泵排氣口側(cè)空間R4)般的連接構(gòu)造連接于電動機配置空間R2及泵排氣口側(cè)空間R4。因此，可將充滿油蒸氣的區(qū)域限定為軸承配置空間R1，關(guān)于油蒸氣的流出，只要考慮自間隙容積小的軸承配置空間Rl朝向電動機配置空間R2的流出即可。通過減小充滿油蒸氣的空間的容積，可將油蒸氣的流出量抑制為較小。
[0064]另外，如圖1所示，由于下蓋16的凸部16a伸入至軸承座14的內(nèi)側(cè)區(qū)域(即軸承配置空間)，所以會盡可能地減小軸承配置空間Rl的間隙區(qū)域。此外，該凸部16a所伸入的區(qū)域是作為裝卸螺母15時的作業(yè)空間所必需的空間。
[0065]如此，通過盡可能地減小軸承配置空間Rl的間隙區(qū)域，而使充滿油蒸氣的空間變小。因此，可將在因壓力變動而在軸承配置空間Rl與電動機配置空間R2之間存在氣體的流出.流入的情況下的氣體的移動量極力地抑制為較小。其結(jié)果，可抑制軸承8的潤滑劑的基礎(chǔ)油的減少，從而可實現(xiàn)潤滑壽命的延長。
[0066]另一方面，在所述專利文獻(xiàn)I所記載的泵中，電動機配置空間與軸承配置空間連接，所以油蒸氣蒸發(fā)至這兩者的空間，進(jìn)而，壓力變動時的氣體移動量也會變得更多。因此，更多的油蒸氣會流出至排氣口側(cè)，而使?jié)櫥瑝勖档汀?br> [0067]進(jìn)而，如圖1所示，設(shè)為在一直以來設(shè)置的零件(軸承座14、平衡調(diào)整用構(gòu)件17)形成構(gòu)成迷宮式密封件18的凹凸的構(gòu)成，所以可抑制零件件數(shù)的增加，并且也可抑制泵軸向尺寸的增加。
[0068]此外，在圖1所示的泵中，作為電動機4及軸部IOa的冷卻對策、以及在對腐蝕性氣體進(jìn)行排氣的情況下的抗腐蝕對策，在基座2形成著用以對電動機配置空間R2導(dǎo)入凈化氣體的凈化氣體流路22。如此，通過對由迷宮式密封件18隔開的電動機配置空間R2導(dǎo)入凈化氣體，當(dāng)氣體凈化(gas purge)時,可防止油蒸氣流出至泵排氣口側(cè)空間R4。
[0069]第二實施方式
[0070]圖3是表示本發(fā)明的真空泵的第二實施方式的圖。本實施方式在圖1所示的第一實施方式的構(gòu)成中，還設(shè)置了電動機蓋(motor cover) 23及迷宮式密封件19。除電動機蓋23及迷宮式密封件19以外的構(gòu)成與圖1所示的真空泵相同，以下，以電動機蓋23及迷宮式密封件19的部分為中心進(jìn)行說明。[0071]電動機蓋23是為了防止泵排氣口側(cè)空間R4的氣體經(jīng)由間隙R3而流入至電動機配置空間R2而設(shè)置的。在本實施方式中，在該電動機蓋23的上表面形成著多個環(huán)狀的凹凸，在轉(zhuǎn)子3的相對向的面也形成著多個環(huán)狀的凹凸，由此構(gòu)成迷宮式密封件19。電動機蓋23的凹凸與轉(zhuǎn)子3的凹凸彼此相互凹部伸入至凸部。通過采用此種構(gòu)造，而在間隙R3與電動機配置空間R2之間設(shè)置著迷宮式密封件19。
[0072]在第二實施方式的真空泵中，通過設(shè)置迷宮式密封件19，在泵排氣口側(cè)空間R4的壓力變動的情況下，可將泵排氣口側(cè)空間R4與電動機配置空間R2之間的氣體移動量抑制為較小。其結(jié)果，電動機配置空間R2與軸承配置空間Rl之間的氣體移動量也較圖1所示的真空泵的情況進(jìn)一步減少。因此，可進(jìn)一步抑制軸承8的潤滑劑的基礎(chǔ)油減少，從而可實現(xiàn)潤滑壽命的進(jìn)一步的延長。在該構(gòu)成的情況下，利用電動機蓋23與轉(zhuǎn)子3的下表面來形成迷宮式密封件19，所以也可抑制真空泵的軸向高度，并且可抑制因零件件數(shù)增加而引起的成本上升。
[0073]另外，通過設(shè)置迷宮式密封件19，可減少進(jìn)行腐蝕性氣體排氣時的腐蝕性氣體向電動機配置空間R2的流入量。當(dāng)進(jìn)行腐蝕性氣體排氣時，自凈化氣體流路22向電動機配置空間R2導(dǎo)入凈化氣體。
[0074]第三實施方式
[0075]圖4是表示本發(fā)明的第三實施方式的圖。在本實施方式中，對于圖3所示的真空泵進(jìn)而設(shè)置儲油件25。另外，除追加儲油件25以外，設(shè)為將凈化氣體導(dǎo)入至迷宮式密封件19的部分(密封件的間隙)的構(gòu)成。此情況下，形成于基座2的凈化氣體流路24連接于形成于電動機蓋23的凈化氣體流路24，且在迷宮式密封件19的部分形成著流出口。
[0076]圖4所示的儲油件25是剖面形狀為C形狀的環(huán)狀構(gòu)件，且固定于電動機定子4b的芯(core)上表面。在儲油件25的C形狀的部分的內(nèi)側(cè)保持著用于軸承8的潤滑脂或者該潤滑脂的基礎(chǔ)油。如果驅(qū)動電動機4，那么因電動機發(fā)熱而使電動機定子4b的溫度上升，儲油件25的基礎(chǔ)油蒸發(fā)，而使電動機配置空間R2的油蒸氣變成與芯溫度相對應(yīng)的蒸氣壓。此外，只要具有如上所述般的蒸發(fā)功能，那么儲油件25的形狀并不限定于所述形狀。
[0077]因滯后損失(hysteresis loss)或者因線圈(coil)電流而引起的焦耳熱(Jouleheat)，而使電動機定子4b的定子芯的溫度上升至與軸承8相等或其以上。因此，電動機配置空間R2的油蒸氣壓變得高于軸承配置空間Rl的油蒸氣壓。因此，即便在電動機配置空間R2與軸承配置空間Rl之間存在氣體的移動，由于電動機配置空間R2的油蒸氣壓較高，所以也可防止因氣體移動而引起的軸承潤滑劑(潤滑脂)的基礎(chǔ)油減少。因此，可實現(xiàn)軸承8的潤滑劑的長壽命化。
[0078]另外，由于將凈化氣體導(dǎo)入至迷宮式密封件19的部分(密封件的間隙)，所以當(dāng)氣體凈化時可防止電動機配置空間R2的油蒸氣通過凈化氣體而向間隙R3流出。
[0079]此外，在所述實施方式中設(shè)置了徑向式迷宮式密封件18，但也可設(shè)置如圖5所示般的軸向式迷宮式密封件18。另外，在所述實施方式中，作為與潤滑滾珠軸承成對地使用的軸承，采用了使用永久磁鐵的被動磁軸承，但也可使用主動控制磁軸承。
[0080]所述各實施方式也可分別單獨或者組合使用。其原因在于:可單獨或者相輔相成地發(fā)揮各個實施方式中的效果。另外，以上的說明僅為一例，當(dāng)解釋發(fā)明時，并不受所述實施方式的記載事項與權(quán)利要求書的記載事項的對應(yīng)關(guān)系任何限定及約束。
【權(quán)利要求】
1.一種真空泵，其特征在于，包括: 旋轉(zhuǎn)體，具有旋轉(zhuǎn)側(cè)排氣功能部及旋轉(zhuǎn)軸； 固定側(cè)排氣功能部； 潤滑滾珠軸承，支撐所述旋轉(zhuǎn)軸； 電動機，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)體；及 第一迷宮式密封件，設(shè)置于配置著所述電動機的電動機定子的空間與配置著所述潤滑滾珠軸承的空間之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于其還包括: 軸承座，保持所述潤滑滾珠軸承 '及 平衡調(diào)整用構(gòu)件，安裝于所述旋轉(zhuǎn)軸的與所述軸承座相對向的位置，且用于所述旋轉(zhuǎn)體的平衡調(diào)整；且 構(gòu)成所述第一迷宮式密封件的其中一凹凸形成于所述平衡調(diào)整用構(gòu)件的與所述軸承座相對向的面，而與所述其中一凹凸嵌合的另一凹凸形成于所述軸承座的與所述平衡調(diào)整用構(gòu)件相對向的面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其特征在于其還包括: 凈化氣體流路，用以對配置著所述電動機定子的空間導(dǎo)入凈化氣體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于其還包括: 第二迷宮式密封件，設(shè)置于配置著所述電動機定子的空間與泵排氣口之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空泵，其特征在于其還包括: 儲油件，密接配置于所述電動機定子，且設(shè)置著用于所述潤滑滾珠軸承的潤滑脂或者所述潤滑脂的基礎(chǔ)油。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的真空泵，其特征在于還包括: 凈化氣體流路，用以對所述第二迷宮式密封件的密封件間隙導(dǎo)入凈化氣體。
【文檔編號】F04D19/04GK103629146SQ201310339850
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年8月5日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月24日
【發(fā)明者】蘆田修, 大上耕平 申請人:株式會社島津制作所