一種微細(xì)孔板電鑄裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種微細(xì)孔板電鑄裝置，包括電鑄箱，其特征在于，所述電鑄箱內(nèi)設(shè)有作為陽極的金屬板，以及作為陰級的芯模，所述電鑄箱上還連接有真空抽氣裝置。電鑄時，電鑄箱中電解液中的金屬陽離子獲得電子沉積在陰極的芯模上，與此同時，陽極金屬在電場的作用下失去電子進(jìn)入電解液使電解液中金屬陽離子的濃度達(dá)到平衡，這樣隨著時間的推延，芯模上金屬沉積層就會越來越厚，最終達(dá)到所需要的厚度。通過真空抽氣裝置對微細(xì)電鑄環(huán)境進(jìn)行封閉并抽氣至負(fù)壓條件。降低微細(xì)電鑄環(huán)境的大氣壓力，有利于溶液中氫氣泡的析出，減少針孔等沉積缺陷產(chǎn)生的幾率和數(shù)量，提高電鑄效果。
【專利說明】 一種微細(xì)孔板電鑄裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種電鑄裝置，尤其是微細(xì)孔板的電鑄裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]電鑄是利用金屬的電解沉積原理來精確復(fù)制某些復(fù)雜或特殊形狀工件的特種加工方法。具體步驟是把預(yù)先按所需形狀制成的電鑄模作為陰級，用電鑄材料作為陽極，一同放入與陽極材料相同的金屬鹽溶液中，通以直流電。在電解作用下，電鑄模表明逐漸沉積出金屬電鑄層，達(dá)到所需的厚度后從溶液中取出，將電鑄層與原模分離，便獲得與原模形狀相對應(yīng)的金屬復(fù)制品。
[0003]具有大深寬比微溝槽結(jié)構(gòu)的微細(xì)孔板的電鑄是目前微細(xì)加工領(lǐng)域的一個工藝難點，采用常規(guī)電鑄方法很難獲得質(zhì)量優(yōu)異的電鑄器件，問題的根本主要在于大深寬比結(jié)構(gòu)深溝槽中電沉積反應(yīng)物質(zhì)傳輸嚴(yán)重受阻，容易產(chǎn)生針孔等沉積缺陷。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠提高微細(xì)孔板電鑄效果的電鑄裝置。
[0005]為解決上述問題，本實用新型提供了一種微細(xì)孔板電鑄裝置，包括電鑄箱，其特征在于，所述電鑄箱內(nèi)設(shè)有作為陽極的金屬板，以及作為陰級的芯模，所述電鑄箱內(nèi)還設(shè)有真空抽氣裝置。
[0006]作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述真空抽氣裝置為單級旋片式真空泵。
[0007]作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述真空抽氣裝置與電鑄箱之間還連接有抽氣過濾器。
[0008]作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述電鑄箱上還連接有真空表。
[0009]作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述金屬板為鎳板。
[0010]作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述電鑄箱上方還設(shè)有透明觀察板。
[0011]本實用新型的有益效果在于，電鑄時，電鑄箱中電解液中的金屬陽離子獲得電子沉積在陰極的芯模上，與此同時，陽極金屬在電場的作用下失去電子進(jìn)入電解液使電解液中金屬陽離子的濃度達(dá)到平衡，這樣隨著時間的推延，芯模上金屬沉積層就會越來越厚，最終達(dá)到所需要的厚度。通過真空抽氣裝置對微細(xì)電鑄環(huán)境進(jìn)行封閉并抽氣至負(fù)壓條件。降低微細(xì)電鑄環(huán)境的大氣壓力，有利于溶液中氫氣泡的析出，減少針孔等沉積缺陷產(chǎn)生的幾率和數(shù)量，提高電鑄效果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]其中:真空抽氣裝置-2 ;電鑄箱-4 ;真空表-6 ;8-芯模；10-金屬板；12-抽氣過濾器?！揪唧w實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對本實用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0015]如圖1所示，本實用新型一種微細(xì)孔板電鑄裝置，包括電鑄箱4，其特征在于，電鑄箱4內(nèi)設(shè)有作為陽極的金屬板10，以及作為陰級的芯模8，電鑄箱4內(nèi)還設(shè)有真空抽氣裝置
2。電鑄時，電鑄箱4中電解液中的金屬陽離子獲得電子沉積在陰極的芯模8上，與此同時，陽極金屬在電場的作用下失去電子進(jìn)入電解液使電解液中金屬陽離子的濃度達(dá)到平衡，這樣隨著時間的推延，芯模8上金屬沉積層就會越來越厚，最終達(dá)到所需要的厚度。通過真空抽氣裝置2對微細(xì)電鑄環(huán)境進(jìn)行封閉并抽氣至負(fù)壓條件。降低微細(xì)電鑄環(huán)境的大氣壓力，有利于溶液中氫氣泡的析出，減少針孔等沉積缺陷產(chǎn)生的幾率和數(shù)量，提高電鑄效果。這是因為,對于某一特定的氫氣泡而言，降低電鑄環(huán)境的大氣壓力，會使得氣泡內(nèi)壓力大于氣泡受外界壓縮的壓力，氫氣泡就會膨脹，當(dāng)氣泡膨脹到一定程度，就可能破滅；同時，氫氣泡所受的浮力隨著氣泡體積的膨脹而增大，這將更有利于氣泡掙脫沉積表面而加速漂浮排出。
[0016]進(jìn)一步的，真空抽氣裝置2為單級旋片式真空泵，真空泵抽氣的最大真空度為0.055MPa，在本實用新型中，單級旋片式真空泵30s左右使電鑄箱4內(nèi)真空度達(dá)到
0.05Mpa。
[0017]進(jìn)一步的，真空抽氣裝置與電鑄箱4之間還連接有抽氣過濾器12。因為在電鑄過程中，電鑄液的揮發(fā)量很大，抽取的氣體中含有大量的水分，這對于真空泵的長時間運行會造成很大的危害，因此有必要在真空抽氣裝置與電鑄箱4之間添加抽氣過濾器12，以去除氣體中的絕大部分水汽，實現(xiàn)對抽取氣體的干燥和過濾。
[0018]進(jìn)一步的，電鑄箱4上還連接有真空表6，用于測量電鑄箱4內(nèi)的氣壓。
[0019]進(jìn)一步的，金屬板10為鎳板。采用金屬鎳是因為鎳在空氣中或在潮濕的空氣中比鐵穩(wěn)定的多，而且在空氣中很容易形成透明的鈍化膜而不在繼續(xù)被氧化，能夠保持經(jīng)久不變的光澤。另外，金屬鎳具有良好的塑性與較高的硬度，鎳的耐蝕性也好，在有機酸中很穩(wěn)定。
[0020]進(jìn)一步的，電鑄箱4上方還設(shè)有透明觀察板。便于觀察電鑄箱4內(nèi)的情況。
[0021]以上依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)人員完全可以在不偏離本項實用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定技術(shù)性范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種微細(xì)孔板電鑄裝置，包括電鑄箱，其特征在于，所述電鑄箱內(nèi)設(shè)有作為陽極的金屬板，以及作為陰級的芯模，所述電鑄箱上還連接有真空抽氣裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微細(xì)孔板電鑄裝置，其特征在于:所述真空抽氣裝置為單級旋片式真空泵。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種微細(xì)孔板電鑄裝置，其特征在于:所述真空抽氣裝置與電鑄箱之間還連接有抽氣過濾器。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種微細(xì)孔板電鑄裝置，其特征在于:所述電鑄箱上還連接有真空表。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微細(xì)孔板電鑄裝置，其特征在于:所述金屬板為鎳板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微細(xì)孔板電鑄裝置，其特征在于:所述電鑄箱上方還設(shè)有透明觀察板。
【文檔編號】C25D1/08GK203498492SQ201320309512
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年5月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月31日
【發(fā)明者】范祥榮 申請人:蘇州市金翔鈦設(shè)備有限公司