專(zhuān)利名稱(chēng)：電鍍陽(yáng)極裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電鍍陽(yáng)極裝置，用于晶圓的電鍍。屬電鍍?cè)O(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。 傳統(tǒng)的晶圓電鍍?cè)O(shè)備內(nèi)陽(yáng)極放置方法是直接將陽(yáng)極裸露在電鍍槽液中，如圖2 、圖 3和圖4所示。它是通過(guò)直接與導(dǎo)線(xiàn)、掛鉤、鈦籃等裝置相連，形成電鍍電流的陽(yáng)極端口。這 種方式放置陽(yáng)極主要存在以下不足 1 、不適用于精細(xì)鍍層產(chǎn)品 在電鍍時(shí)，陽(yáng)極會(huì)損耗，并產(chǎn)生陽(yáng)極泥。陽(yáng)極泥擴(kuò)散到鍍液中，污染鍍液，電鍍液純 凈度降低，電鍍液質(zhì)量下降，不溶性的陽(yáng)極泥在電鍍過(guò)程中被夾雜到鍍層中，影響鍍層表面 質(zhì)量和純凈度。 2、陽(yáng)極導(dǎo)電結(jié)構(gòu)不可靠 陽(yáng)極與導(dǎo)線(xiàn)、掛鉤、鈦籃等裝置相連，沒(méi)有另外添加緊固裝置。在電鍍時(shí)，(銅、錫 等)陽(yáng)極會(huì)消耗，陽(yáng)極經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間損耗，會(huì)與導(dǎo)線(xiàn)、掛鉤、鈦籃等裝置脫離或松動(dòng)，接觸不可 靠，在電鍍過(guò)程中，出現(xiàn)電鍍中斷異常，影響電鍍操作的穩(wěn)定性和電鍍鍍層的質(zhì)量。 3、陽(yáng)極利用效率不高 目前，陽(yáng)極須預(yù)留足夠的體積，配合導(dǎo)線(xiàn)、掛鉤等裝置的安裝。然而，在電鍍時(shí)，因 陽(yáng)極會(huì)消耗，陽(yáng)極的尺寸逐漸減少，當(dāng)陽(yáng)極減損到一定程度，導(dǎo)線(xiàn)或掛鉤等裝置無(wú)法與陽(yáng)極 保持良好的接觸，不能滿(mǎn)足實(shí)際生產(chǎn)需要，必須得更換，陽(yáng)極利用率很低。 4、陽(yáng)極放置空間受到限制 陽(yáng)極與掛鉤裝置相連，或安放在鈦籃中，陽(yáng)極在電鍍槽的放置位置受到掛鉤及鈦 籃的很大約束。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種能將陽(yáng)極泥封閉其中、陽(yáng)極導(dǎo)電
結(jié)構(gòu)可靠、陽(yáng)極利用效率高以及陽(yáng)極放置空間不受限制的電鍍陽(yáng)極裝置。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一種電鍍陽(yáng)極裝置，所述裝置包括一盒體，該盒
體中心豎直設(shè)置有一立柱，立柱上端制有外螺紋；該盒體底部開(kāi)設(shè)有液體存儲(chǔ)槽和液體交
流通孔；該盒體內(nèi)放置有鈦板，鈦板和一導(dǎo)線(xiàn)由鈦螺絲固定在盒體底部，鈦板上端面上設(shè)置
觸點(diǎn)，鈦板上放置一陽(yáng)極，該陽(yáng)極上覆蓋一陽(yáng)極布，所述鈦板、陽(yáng)極和陽(yáng)極布均套裝在所述
盒體中心的立柱上，并用緊固螺母旋緊；在盒體頂部安裝一上蓋，形成封閉結(jié)構(gòu)。 本實(shí)用新型電鍍陽(yáng)極裝置，所述觸點(diǎn)呈長(zhǎng)方形開(kāi)口塊狀。 本實(shí)用新型的特點(diǎn)是 1、盒體底部開(kāi)設(shè)液體存儲(chǔ)槽和液體交流通孔。盒體內(nèi)的鍍液濃度會(huì)隨著陽(yáng)極的消 耗而逐漸增加，增加到一定程度，鍍液內(nèi)金屬離子含量達(dá)到飽合，會(huì)形成結(jié)晶。液體存儲(chǔ)槽 為高濃度鍍液的擴(kuò)散提供了條件；液體交流通孔為盒體內(nèi)、外液體交換提供了微小通道，防 止盒體內(nèi)的金屬離子含量過(guò)高達(dá)到飽合而析出。同時(shí)，因?yàn)橐后w交流通孔孔徑很小，所以基 本不影響陽(yáng)極泥的外漏進(jìn)行到鍍液中。[0016] 2、鈦板上設(shè)置長(zhǎng)方形開(kāi)口塊狀的觸點(diǎn)，該長(zhǎng)方形開(kāi)口塊狀的觸點(diǎn)有一定翹起高 度，具有一定彈力，開(kāi)口大小及數(shù)量根據(jù)陽(yáng)極大小設(shè)定。觸點(diǎn)翹起到一定高度后具有一定彈 力，頂壓著上方的陽(yáng)極，陽(yáng)極上方加固緊固螺母。這樣，就形成了力相互壓制關(guān)系，陽(yáng)極始終 處于被鈦板受壓狀態(tài)，使陽(yáng)極接觸可靠、穩(wěn)定。 3、鈦板上連著陽(yáng)極導(dǎo)線(xiàn)，導(dǎo)線(xiàn)連接到電源陽(yáng)極端口 (所用導(dǎo)線(xiàn)不受鍍液腐蝕)。這 樣，陽(yáng)極的損耗不會(huì)影響到接線(xiàn)的可靠性。 4、陽(yáng)極裝入盒體中后，在陽(yáng)極上覆蓋一層陽(yáng)極布，然后加上上蓋，形成封閉結(jié)構(gòu)。 這樣，既不影響電鍍效果，又可將陽(yáng)極泥基本封閉在盒體中。陽(yáng)極泥增加到一定量后，再統(tǒng)
一清理。 5、陽(yáng)極無(wú)須預(yù)留足夠的體積來(lái)配合導(dǎo)線(xiàn)、掛鉤等裝置的安裝。 采用本實(shí)用新型放置陽(yáng)極的裝置，與傳統(tǒng)的陽(yáng)極放置方式相比，具有以下的優(yōu) 點(diǎn) 1、極大減小了鍍液受陽(yáng)極泥的污染的可能，不僅增加了鍍液的使用壽命，而且提
高電鍍鍍層質(zhì)量。
2、陽(yáng)極導(dǎo)電結(jié)構(gòu)變得可靠、穩(wěn)定，降低電鍍跳電中斷的可能。 3、陽(yáng)極使用壽命得到很大程度提高。 4、陽(yáng)極在鍍槽中的位置可根據(jù)需求合理安排。 5、電鍍過(guò)程更加穩(wěn)定。 6、陽(yáng)極利用效率高。

圖1為本實(shí)用新型電鍍陽(yáng)極裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2為傳統(tǒng)陽(yáng)極放置方式示意圖一。 圖3為傳統(tǒng)陽(yáng)極放置方式示意圖二。 圖4為傳統(tǒng)陽(yáng)極放置方式示意圖三。 圖中 上蓋1 陽(yáng)極2 緊固螺母3 陽(yáng)極布4 盒體5、立柱51、外螺紋511、液體存儲(chǔ)槽52、液體交流通孔53 ; 鈦板6、觸點(diǎn)61; 鈦螺絲7 導(dǎo)線(xiàn)8 掛鉤9 鈦籃IO。
具體實(shí)施方式參見(jiàn)圖l，圖l為本實(shí)用新型電鍍陽(yáng)極裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。由圖l可以看出，本實(shí)用新型電鍍陽(yáng)極裝置，主要由盒體5、鈦板6、導(dǎo)線(xiàn)8、陽(yáng)極2、陽(yáng)極布4和緊固螺母3組成。 盒體5中心豎直設(shè)置有一立柱51，立柱51上端制有外螺紋511 ;盒體5底部開(kāi)設(shè)液體存儲(chǔ) 槽52和液體交流通孔53 ;盒體5內(nèi)放置鈦板6，鈦板6和導(dǎo)線(xiàn)8由鈦螺絲7固定在盒體5 底部，導(dǎo)線(xiàn)8連接到電源陽(yáng)極端口 。鈦板6上端面上設(shè)置長(zhǎng)方形開(kāi)口塊狀的觸點(diǎn)61，鈦板6 上放置陽(yáng)極2，該陽(yáng)極2上覆蓋陽(yáng)極布4，所述鈦板6、陽(yáng)極2和陽(yáng)極布4均套裝在所述盒體 5中心的立柱51上，并用緊固螺母3旋緊，這樣就將陽(yáng)極2夾緊在鈦板6上；在盒體5頂部 安裝一上蓋l，形成封閉結(jié)構(gòu)。這樣，既不影響電鍍效果，又可將陽(yáng)極泥基本封閉在盒體中。 陽(yáng)極泥增加到一定量后，再統(tǒng)一清理。 所述盒體5是根據(jù)陽(yáng)極的外形特征，采用PP(聚丙烯)或Teflon(聚四氟乙烯) 等防腐材質(zhì)制作而成。陽(yáng)極布4采用丙綸等防腐纖維制作而成。
權(quán)利要求一種電鍍陽(yáng)極裝置，其特征在于所述裝置包括一盒體(5)，該盒體(5)中心豎直設(shè)置有一立柱(51)，立柱(51)上端制有外螺紋(511)；該盒體(5)底部開(kāi)設(shè)有液體存儲(chǔ)槽(52)和液體交流通孔(53)；該盒體(5)內(nèi)放置有鈦板(6)，鈦板(6)和一導(dǎo)線(xiàn)(8)由鈦螺絲(7)固定在盒體(5)底部，鈦板(6)上端面上設(shè)置觸點(diǎn)(61)，鈦板(6)上放置一陽(yáng)極(2)，該陽(yáng)極(2)上覆蓋一陽(yáng)極布(4)，所述鈦板(6)、陽(yáng)極(2)和陽(yáng)極布(4)均套裝在所述盒體(5)中心的立柱(51)上，并用緊固螺母(3)旋緊；在盒體(5)頂部安裝一上蓋(1)，形成封閉結(jié)構(gòu)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種電鍍陽(yáng)極裝置，其特征在于所述觸點(diǎn)(61)呈長(zhǎng)方形開(kāi)口 塊狀。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種電鍍陽(yáng)極裝置，其特征在于所述盒體(5)采用聚丙 烯或聚四氟乙烯制作而成。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種電鍍陽(yáng)極裝置，其特征在于所述陽(yáng)極布(4)采用丙 綸制作而成。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種電鍍陽(yáng)極裝置，用于晶圓的電鍍。所述裝置包括一盒體(5)，該盒體(5)中心豎直設(shè)置有一立柱(51)，立柱(51)上端制有外螺紋(511)；該盒體(5)底部開(kāi)設(shè)有液體存儲(chǔ)槽(52)和液體交流通孔(53)；該盒體(5)內(nèi)放置有鈦板(6)，鈦板(6)和一導(dǎo)線(xiàn)(8)由鈦螺絲(7)固定在盒體(5)底部，鈦板(6)上端面上設(shè)置觸點(diǎn)(61)，鈦板(6)上放置一陽(yáng)極(2)，該陽(yáng)極(2)上覆蓋一陽(yáng)極布(4)，所述鈦板(6)、陽(yáng)極(2)和陽(yáng)極布(4)均套裝在所述盒體(5)中心的立柱(51)上，并用緊固螺母(3)旋緊；在盒體(5)頂部安裝一上蓋(1)，形成封閉結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型電鍍陽(yáng)極裝置具有能將陽(yáng)極泥封閉其中、陽(yáng)極導(dǎo)電結(jié)構(gòu)可靠，陽(yáng)極利用效率高以及陽(yáng)極放置空間不受限制等特點(diǎn)。
文檔編號(hào)C25D17/12GK201506844SQ200920188318
公開(kāi)日2010年6月16日 申請(qǐng)日期2009年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月19日
發(fā)明者何明, 章力, 賴(lài)志明, 陳錦輝, 龍欣江 申請(qǐng)人:江陰長(zhǎng)電先進(jìn)封裝有限公司