專利名稱:發(fā)孔電解液和高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及生產(chǎn)鋁電解電容器用電極箔的技術(shù)領(lǐng)域,是一種發(fā)孔電解液和高比表面積鋁 電解電容器電極箔生產(chǎn)方法。
技術(shù)背景在已知的鋁電解電容器用鋁箔腐蝕工藝中,通常要經(jīng)過三個工藝步驟第一步前處理對要腐蝕的鋁電解電容器用鋁光箔進(jìn)行堿洗或酸洗,堿洗主要除去箔面 的油污、缺陷及氧化膜;酸洗不僅起到以上作用,而且可以在鋁箔表面形成孔洞起始點(diǎn)。第二步腐蝕發(fā)孔在前述步驟l的基礎(chǔ)上,采用含有強(qiáng)烈點(diǎn)蝕作用的陰離子(如氯離子 )在鋁箔表面上進(jìn)行發(fā)孔腐蝕,使鋁箔表面隨機(jī)分布許多初始孔洞;第三步腐蝕擴(kuò)孔在前述步驟2的基礎(chǔ)上,采用具有擴(kuò)孔作用的磷酸和硝酸在初始孔洞 的基礎(chǔ)上進(jìn)行擴(kuò)孔腐蝕,使原來孔徑小、孔深小的孔洞能徑向和橫向生長,使其具備所需規(guī) 格的鋁電解電容器所需孔徑及孔深;第四步后處理將經(jīng)過l、 2、 3步驟處理后的鋁箔浸入硝酸或硝酸鹽溶液中進(jìn)行化學(xué)腐 蝕,不僅可以除去對化成有危害的氯離子,而且可以在一定程度上擴(kuò)孔。通過掃描電鏡觀察上述現(xiàn)有技術(shù)生產(chǎn)所得鋁電解電容器用鋁箔的腐蝕孔洞孔形態(tài)不一, 呈圓狀、方狀或不規(guī)則并孔,通過對掃描電鏡照片中孔徑、最小孔間距及孔面積分布進(jìn)行測 量,得出附圖l、附圖2和附圖3的統(tǒng)計分布圖,由上述統(tǒng)計分布圖可以看出現(xiàn)有技術(shù)生產(chǎn)所 得的鋁電解電容器用電極箔有關(guān)參數(shù)數(shù)據(jù)分布呈偏峰型,屬于數(shù)據(jù)分布不良類型,也說明孔 洞分布參數(shù)不均勻。而且現(xiàn)有技術(shù)生產(chǎn)所得鋁電解電容器用電極箔根據(jù)日本JCC標(biāo)準(zhǔn)測量比 容僅為達(dá)O. 60 y F/ci/至0. 65 y F/ci/左右,數(shù)據(jù)離散率較高。上述現(xiàn)有技術(shù)還存在以下缺陷經(jīng)堿或酸液清洗后的鋁箔表面變得非?;顫?,直接電蝕, 易引起鋁箔表面發(fā)生全面溶解,蝕層剝脫,箔迅速變薄,機(jī)械強(qiáng)度下降,擴(kuò)面率低。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供了一種發(fā)孔電解液和高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方法,克服了現(xiàn)有 技術(shù)之不足,其能控制鋁電解電容器用電極箔腐蝕起點(diǎn)的均勻發(fā)孔,并大幅度提高鋁電解電 容器用電極箔的比表面積。發(fā)明的技術(shù)方案之一是這樣來實(shí)現(xiàn)的 一種用于高比表面積鋁電解電容器電極箔的發(fā)孔
電解液,其按重量百分比主要含有1%至3%的氯化鋁、10%至30%的硫酸的水溶液。本發(fā)明的技術(shù)方案之二是這樣來實(shí)現(xiàn)的一種高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方法,其按下述步驟進(jìn)行第一步前處理對需要腐蝕的鋁電解電容器用鋁光箔進(jìn)行堿洗或酸洗; 第二步陽極氧化把前處理后的鋁光箔放入溫度為5。C至3(TC的磷酸溶液中,以lmA/ci/至10mA/ci/的直流恒流并將電壓從0伏升至設(shè)定電壓40伏至110伏后,在不斷電的條件下將電流驟降到O.Ol mA/ ci/至0. lmA/ ci/后,恒流氧化至氧化電壓降到1伏至10伏;第三步酸浸處理在第二步的基礎(chǔ)上,將鋁箔放入5(TC至9(rC10。/。至50。/。的硝酸溶液中浸泡1分鐘至10分鐘;第四步腐蝕發(fā)孔在第三步的基礎(chǔ)上,在6(TC至75。C的發(fā)孔電解液中加電5伏/10安至 10伏/40安腐蝕5秒至2分鐘;第五步擴(kuò)孔在第四步的基礎(chǔ)上,在40。C至85。C的擴(kuò)孔電解液中加電2伏/7安至10伏/25 安腐蝕擴(kuò)孔處理1分鐘至3分鐘,其中,擴(kuò)孔電解液為1%至5%的硝酸鋁、3%至15%的磷酸的水 溶液;第六步后處理將經(jīng)過以上步驟處理后的鋁箔浸入0.5%至1%的硝酸溶液,在4(TC至85i: 浸泡10秒至3分鐘后,除氯根,去離子水清洗,晾干得到所需要的高比表面積鋁電解電容器 用的電極箔。本發(fā)明的技術(shù)方案之三是這樣來實(shí)現(xiàn)的一種高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方法,其按下述步驟進(jìn)行第一步前處理對需要腐蝕的鋁電解電容器用鋁光箔進(jìn)行堿洗或酸洗; 第二步陽極氧化把前處理后的鋁光箔放入溫度為5。C至3(TC的磷酸溶液中,以lmA/ci/至10mA/ci/的直流恒流并將電壓從0伏升至設(shè)定電壓40伏至110伏后,恒壓400秒至7小時,在不斷電的條件下將電流驟降到O.Ol mA/ ci/至0. lmA/ ci/后,恒流氧化至氧化電壓降到1伏至10伏;第三步酸浸處理在第二步的基礎(chǔ)上,將鋁箔放入5(TC至9(rC10。/。至50。/。的硝酸溶液中浸 泡1分鐘至10分鐘;第四步腐蝕發(fā)孔在第三步的基礎(chǔ)上,在6(TC至75。C的發(fā)孔電解液中加電5伏/10安至10 伏/40安腐蝕5秒至2分鐘;第五步擴(kuò)孔在第四步的基礎(chǔ)上,在40。C至85。C的擴(kuò)孔電解液中加電2伏/7安至10伏/25 安腐蝕擴(kuò)孔處理1分鐘至3分鐘,其中,擴(kuò)孔電解液為1%至5%的硝酸鋁、3%至15%的磷酸的水
溶液;第六步后處理將經(jīng)過以上步驟處理后的鋁箔浸入0.5%至1%的硝酸溶液,在4(TC至85i: 浸泡10秒至3分鐘后,除氯根,去離子水清洗,晾干得到所需要的高比表面積鋁電解電容器 電極箔。下面是對上述技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化和/或選擇上述發(fā)孔電解液按重量百分比可主要含有1%至2.2%的氯化鋁、10%至22%的硫酸的水溶液上述前處理中所述的堿洗是將需要腐蝕的鋁電解電容器用鋁光箔在4(TC至8(rC的P/。至 10%的氫氧化鈉溶液中處理1分鐘至10分鐘。上述第二步陽極氧化中的磷酸濃度可為1%至30% 。本發(fā)明工藝簡單、操作方便、對環(huán)境造成公害少,通過本發(fā)明所得到的鋁電解電容器用 的電極箔,其孔徑分布、孔面積及最小孔間距分布呈最佳的正態(tài)分布,實(shí)現(xiàn)了能控制鋁電解 電容器用電極箔腐蝕起點(diǎn)的均勻發(fā)孔,并大幅度提高鋁電解電容器用電極箔的比容值,使所 制成的鋁電解電容器的比表面積10%至15%,比容值達(dá)O. 70 y F/ci/至0. 75 y F/cm2。
附圖1為現(xiàn)有技術(shù)所得鋁電解電容器用電極箔的腐蝕孔洞的孔徑分布圖,附圖2為現(xiàn)有技術(shù)所得鋁電解電容器用電極箔的腐蝕孔洞的孔面積分布圖,附圖3為現(xiàn)有技術(shù)所得鋁電解電容器用電極箔的腐蝕孔洞的最小孔間距分布圖;附圖4為本發(fā)明所得鋁電解電容器用電極箔的腐蝕孔洞的孔徑分布圖,附圖5為本發(fā)明所得鋁電解電容器用電極箔的腐蝕孔洞的孔面積分布圖,附圖6為本發(fā)明所得鋁電解電容器用電極箔的腐蝕孔洞的最小孔間距分布圖;具體實(shí)施方式
本發(fā)明不受下述實(shí)施例的限制,可根據(jù)上述本發(fā)明的技術(shù)方案和實(shí)際情況來確定具體的 實(shí)施方式。下面結(jié)合實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步論述實(shí)施例1 ,該高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方法按下述步驟進(jìn)行 第一步前處理對需要腐蝕的鋁電解電容器用鋁光箔進(jìn)行堿洗或酸洗;第二步陽極氧化把前處理后的鋁光箔放入溫度為5r或i8r或3(rc的磷酸溶液中,以lmA/ci/或5mA/ci/或10mA/ci/的直流恒流并將電壓從0伏升至設(shè)定電壓40伏或75伏或110伏后 ,在不斷電的條件下將電流驟降到O. 01mA/ci/或0. 05mA/ci/驟降或0. lmA/ci/后,恒流氧化至
氧化電壓降到1伏或5伏或10伏;第三步酸浸處理在第二步的基礎(chǔ)上,將鋁箔放入5(TC或7(rC或9(rC10。/?;?0。/?;?0。/o的 硝酸溶液中浸泡1分鐘或6分鐘或10分鐘;第四步腐蝕發(fā)孔在第三步的基礎(chǔ)上,在60。C或75。C的發(fā)孔電解液中加電5伏/10安或 10伏/40安腐蝕5秒或30秒或60秒或90秒或2分鐘,其中,發(fā)孔電解液為按重量百分比主要含 有1%的氯化鋁、10%的硫酸的水溶液,或者發(fā)孔電解液為按重量百分比主要含有2. 2%的氯化鋁 、22%的硫酸的水溶液,或者發(fā)孔電解液為按重量百分比主要含有1%的氯化鋁、22%的硫酸的 水溶液,或者發(fā)孔電解液為按重量百分比主要含有2.2%的氯化鋁、10%的硫酸的水溶液,或 者發(fā)孔電解液為按重量百分比主要含有3%的氯化鋁、30%的硫酸的水溶液;第五步擴(kuò)孔在第四步的基礎(chǔ)上,在4(TC或85。C的擴(kuò)孔電解液中加電2伏/7安或10伏 /25安腐蝕擴(kuò)孔處理1分鐘或3分鐘,其中,擴(kuò)孔電解液為1%的硝酸鋁、3%的磷酸的水溶液, 或者擴(kuò)孔電解液為5%的硝酸鋁、15%的磷酸的水溶液,或者擴(kuò)孔電解液為1%的硝酸鋁、15%的 磷酸的水溶液,或者擴(kuò)孔電解液為5%的硝酸鋁、3%的磷酸的水溶液;第六步后處理將經(jīng)過以上步驟處理后的鋁箔浸入0.5%或1%的硝酸溶液,在4(TC或85i: 浸泡10秒或60秒或90秒或120秒或150秒或3分鐘后,除氯根,去離子水清洗,晾干得到所需 要的高比表面積鋁電解電容器用的電極箔。實(shí)施例2,該高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方法按下述步驟進(jìn)行第一步前處理對需要腐蝕的鋁電解電容器用鋁光箔進(jìn)行堿洗或酸洗;第二步陽極氧化把前處理后的鋁光箔放入溫度為5。C或3(TC的磷酸溶液中,以l mA/ci/至10mA/ci/的直流恒流將電壓從0伏升設(shè)定電壓40伏或75伏或110伏后,恒壓400秒或 1000秒或2000秒或3000秒或1小時或3小時或5小時或7小時,在不斷電的條件下將電流驟降到 0.01 mA/ci/或0. lmA/ci/后,恒流氧化至氧化電壓降到1伏或10伏;第三步酸浸處理在第二步的基礎(chǔ)上,將鋁箔放入5(TC或9(rC10。/?;?0。/。的硝酸溶液中浸 泡1分鐘或10分鐘;第四步腐蝕發(fā)孔在第三步的基礎(chǔ)上,在60。C或75。C的發(fā)孔電解液中加電5伏/10安至10 伏/40安腐蝕5秒或30秒或60秒或90秒或2分鐘,其中,發(fā)孔電解液為按重量百分比主要含有 1%的氯化鋁、10%的硫酸的水溶液,或者發(fā)孔電解液為按重量百分比主要含有2. 2%的氯化鋁、 22%的硫酸的水溶液,或者發(fā)孔電解液為按重量百分比主要含有1%的氯化鋁、22%的硫酸的水 溶液,或者發(fā)孔電解液為按重量百分比主要含有2.2%的氯化鋁、10%的硫酸的水溶液,或者 發(fā)孔電解液為按重量百分比主要含有3%的氯化鋁、30%的硫酸的水溶液;
第五步擴(kuò)孔在第四步的基礎(chǔ)上,在4(TC或85。C的擴(kuò)孔電解液中加電2伏/7安或10伏 /25安腐蝕擴(kuò)孔處理1分鐘或3分鐘,其中,擴(kuò)孔電解液為1%的硝酸鋁、3%的磷酸的水溶液, 或者擴(kuò)孔電解液為5%的硝酸鋁、15%的磷酸的水溶液,或者擴(kuò)孔電解液為1%的硝酸鋁、15%的 磷酸的水溶液,或者擴(kuò)孔電解液為5%的硝酸鋁、3%的磷酸的水溶液;第六步后處理將經(jīng)過以上步驟處理后的鋁箔浸入0.5%或1%的硝酸溶液,在4(TC或85i: 浸泡10秒或60秒或90秒或120秒或150秒或3分鐘后,除氯根,去離子水清洗,晾干得到所需 要的高比表面積鋁電解電容器用的電極箔。在上述實(shí)施例中前處理中所述的堿洗是將需要腐蝕的鋁電解電容器用鋁光箔在4(TC 或801:的1%或10%的氫氧化鈉溶液中處理1分鐘或10分鐘;第二步陽極氧化中的磷酸濃度為 1%或30%。在本發(fā)明中百分比含量都為重量百分比含量。 本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)1、 工藝簡單、操作方便整個工藝與傳統(tǒng)工藝相比較只是在前處理后多加一道陽極氧 化及酸浸步驟,小樣生產(chǎn)兩道工序僅需時間15分鐘左右;使用材料是常用無公害的磷酸、硝 酸、硫酸,設(shè)備只需可制冷的不銹鋼循環(huán)系統(tǒng)(制冷范圍在5-2(TC之間), 一般工業(yè)生產(chǎn)可 輕易達(dá)到;常用的直流電源均可達(dá)到要求,具體功率視樣品大小而定。2、 通過對相應(yīng)掃描電鏡照片分析,表面狀態(tài)分布均勻,對抑制鋁箔在電蝕過程中全面 溶解和促進(jìn)蝕坑向縱深方向生長更為有利??锥闯叽邕_(dá)700-900nm左右,孔密度達(dá)108-101()/(^2之間,各孔洞獨(dú)立存在,有極少并孔,孔洞分布均勻,孔壁鈍化,不易腐蝕, 孔底經(jīng)處理后活化易腐蝕,孔洞分布可控。而目前常用腐蝕工藝得到孔洞尺寸在700nm-ly m左右,孔密度達(dá)106-107個/,2左右,并孔很多,箔面孔洞分布是隨機(jī)不可控。原箔表面質(zhì) 量無較強(qiáng)依賴性將現(xiàn)有技術(shù)所得過鋁電解電容器用的電極箔與本發(fā)明所得鋁電解電容器用 的電極箔進(jìn)行平行實(shí)驗,通過對相應(yīng)掃描電鏡照片進(jìn)行測量統(tǒng)計得到附圖1至6;從附圖1至3 得知現(xiàn)有技術(shù)得到的鋁電解電容器用的電極箔的箔孔分布狀態(tài)不一,孔洞尺寸達(dá)700nm-l y m ,孔密度達(dá)106個/,2左右,并孔較多;從附圖4至6得知本發(fā)明所得到的鋁電解電容器用 的電極箔的孔徑分布、孔面積及最小孔間距分布呈正態(tài)分布。從統(tǒng)計學(xué)角度來講,正態(tài)分布 屬于最佳分布,也就是說本發(fā)明所得鋁電解電容器用的電極箔上孔洞的分布比現(xiàn)有技術(shù)所得 過鋁電解電容器用的電極箔上孔洞分布均勻。3、 可在一定程度上提高靜電容量。上述實(shí)施例所得鋁電解電容器用電極箔根據(jù)日本JCC標(biāo)準(zhǔn)測量品比容即比表面積平均為 0. 70y F/ci/至0. 75y F/cmz,現(xiàn)有技術(shù)生產(chǎn)所得鋁電解電容器用電極箔比容即比表面積 0. 60y F/ci/至0. 65y F/cm2,因此本發(fā)明提高了鋁電解電容器用電極箔比表面積10%至15%。 4、可有效抑制鋁箔在腐蝕中的全面溶解。 現(xiàn)有技術(shù)腐蝕后箔面減薄約6 y m左右,本技術(shù)腐蝕后箔面減薄3-4 y m左右,在一定程 度上節(jié)約了生產(chǎn)成本。通過本發(fā)明有效地改善了鋁電解電容器用光箔的表面狀態(tài),提高了鋁箔電蝕性能,克服 或減小了光箔因純度及軋制工藝的差異對電蝕過程造成的不利影響,在其表面形成均勻分布 的氧化膜,將形成的氧化膜從箔面剝離,經(jīng)掃描電鏡觀察可以測量到孔徑分布在500nm左右, 膜厚在800nm左右,相應(yīng)的鋁基體孔洞均勻分布,從而使鋁箔表面發(fā)孔起始點(diǎn)分布均勻。
權(quán)利要求
1. 一種用于高比表面積鋁電解電容器電極箔的發(fā)孔電解液,其特征在于按重量百分比主要含有1%至3%的氯化鋁、10%至30%的硫酸的水溶液。
2、根據(jù)權(quán)利要求l所述的發(fā)孔電解液,其特征在于按重量百分比 主要含有1%至2. 2%的氯化鋁、10%至22%的硫酸的水溶液。
3、 一種利用權(quán)利要求1或2所述發(fā)孔電解液的高比表面積鋁電解電 容器電極箔生產(chǎn)方法,其特征在于按下述步驟進(jìn)行第一步前處理對需要腐蝕的鋁電解電容器用鋁光箔進(jìn)行堿洗或酸洗; 第二步陽極氧化把前處理后的鋁光箔放入溫度為5。C至3(TC的磷酸溶液中,以l mA/cm2至10mA/cm2的直流恒流并將電壓從0伏升至設(shè)定電壓40伏至110伏后,在不斷電的條件 下將電流驟降到O. 01 mA/ cm2至0. lmA/ cm2后,恒流氧化至氧化電壓降到1伏至10伏;第三步酸浸處理在第二步的基礎(chǔ)上,將鋁箔放入5(TC至9(rC10。/。至50。/。的硝酸溶液中 浸泡1分鐘至10分鐘;第四步腐蝕發(fā)孔在第三步的基礎(chǔ)上,在6(TC至75。C的發(fā)孔電解液中加電5伏/10安至 10伏/40安腐蝕5秒至2分鐘;第五步擴(kuò)孔在第四步的基礎(chǔ)上,在4(TC至85。C的擴(kuò)孔電解液中加電2伏/7安至10伏 /25安腐蝕擴(kuò)孔處理1分鐘至3分鐘,其中,擴(kuò)孔電解液為1%至5%的硝酸鋁、3%至15%的磷酸的 水溶液;第六步后處理將經(jīng)過以上步驟處理后的鋁箔浸入O. 5%至1%的硝酸溶液,在4(TC至85i: 浸泡10秒至3分鐘后,除氯根,去離子水清洗,晾干得到所需要的高比表面積鋁電解電容器 用的電極箔。
4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方 法,其特征在于前處理中所述的堿洗是將需要腐蝕的鋁電解電容器用鋁光箔在4(TC至8(rC的 1%至10%的氫氧化鈉溶液中處理1分鐘至1 O分鐘。
5、根據(jù)權(quán)利要求3所述的高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方法,其特征在于第二步陽極氧化中的磷酸濃度為1%至30%。
6、根據(jù)權(quán)利要求4所述的高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方法,其特征在于第二步陽極氧化中的磷酸濃度為1%至30%。
7、 一種利用權(quán)利要求1或2所述發(fā)孔電解液的高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方法,其特征在于按下述步驟進(jìn)行第一步前處理對需要腐蝕的鋁電解電容器用鋁光箔進(jìn)行堿洗或酸洗; 第二步陽極氧化把前處理后的鋁光箔放入溫度為5。C至3(TC的磷酸溶液中,以lmA/cm2至10mA/cm2的直流恒流并將電壓從0伏升至設(shè)定電壓40伏至110伏后,恒壓400秒至7小時,在不斷電的條件下將電流驟降到O. 01mA/cm2至0. lmA/cm2后,恒流氧化至氧化電壓降到l伏至10伏;第三步酸浸處理在第二步的基礎(chǔ)上,將鋁箔放入5(TC至9(rC10。/。至50。/。的硝酸溶液中 浸泡1分鐘至10分鐘;第四步腐蝕發(fā)孔在第三步的基礎(chǔ)上,在6(TC至75。C的發(fā)孔電解液中加電5伏/10安至 10伏/40安腐蝕5秒至2分鐘;第五步擴(kuò)孔在第四步的基礎(chǔ)上,在4(TC至85。C的擴(kuò)孔電解液中加電2伏/7安至10伏 /25安腐蝕擴(kuò)孔處理1分鐘至3分鐘,其中,擴(kuò)孔電解液為1%至5%的硝酸鋁、3%至15%的磷酸的 水溶液;第六步后處理將經(jīng)過以上步驟處理后的鋁箔浸入O. 5%至1%的硝酸溶液,在4(TC至85i: 浸泡10秒至3分鐘后,除氯根,去離子水清洗,晾干得到所需要的高比表面積鋁電解電容器 電極箔。
8、根據(jù)權(quán)利要求7所述的高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方 法,其特征在于前處理中所述的堿洗是將需要腐蝕的鋁電解電容器用鋁光箔在4(TC至8(rC的 1%至10%的氫氧化鈉溶液中處理1分鐘至1 O分鐘。
9、根據(jù)權(quán)利要求7所述的高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方 法,其特征在于第二步陽極氧化中的磷酸濃度為1%至30%。
10、根據(jù)權(quán)利要求8所述的高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn) 方法,其特征在于第二步陽極氧化中的磷酸濃度為1%至30%。
全文摘要
一種發(fā)孔電解液和高比表面積鋁電解電容器電極箔生產(chǎn)方法,該發(fā)孔電解液主要含有氯化鋁和硫酸的水溶液,該生產(chǎn)方法按第一步前處理、第二步陽極氧化、第三步酸浸處理、第四步腐蝕發(fā)孔、第五步擴(kuò)孔、第六步后處理進(jìn)行。本發(fā)明工藝簡單、操作方便、對環(huán)境造成公害少,通過本發(fā)明所得到的鋁電解電容器用的電極箔,其孔徑分布、孔面積及最小孔間距分布呈最佳的正態(tài)分布,實(shí)現(xiàn)了能控制鋁電解電容器用電極箔腐蝕起點(diǎn)的均勻發(fā)孔,并大幅度提高鋁電解電容器用電極箔的比容值,使所制成的鋁電解電容器的比表面積10%至15%,比容值達(dá)0.70μF/cm<sup>2</sup>至0.75μF/cm<sup>2</sup>。
文檔編號C25F3/04GK101210342SQ20061020148
公開日2008年7月2日 申請日期2006年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月30日
發(fā)明者濤 洪, 敏 郭 申請人:新疆眾和股份有限公司