本發(fā)明涉及細胞分選檢測，具體涉及一種微流控芯片的制造方法。

背景技術(shù)：

1、微流控是指將流體限制在亞毫米尺度，從而達到精確控制和操縱流體行為的技術(shù)。微流控技術(shù)為生物學(xué)家創(chuàng)造了強大的工具來控制模擬完整的細胞微環(huán)境，其中包括調(diào)節(jié)細胞結(jié)構(gòu)、功能、行為和生長的可溶性因子等?；谖⒘骺匦酒募毎诌x儀在微生物學(xué)和生物技術(shù)中具有巨大的單細胞分離潛力，具有精確分離、一次性（從而減少交叉污染）、易于使用、規(guī)模小、成本低、以及適用于各種樣品尺寸等優(yōu)點。將細胞培養(yǎng)技術(shù)與微流控芯片結(jié)合，在獨立腔室內(nèi)進行單克隆細胞系的培育，期間持續(xù)注入新鮮的培養(yǎng)基，從而可以大大降低細胞培養(yǎng)的成本和時間。

2、微流控芯片的制作過程中，將基底與蓋片鍵合是至關(guān)重要的一步，鍵合的效果可以直接影響芯片的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和密封效果。為了基底能夠提供耐磨性、耐腐蝕性、反射率等效果，通常在基底上設(shè)置一層金屬膜。pdms預(yù)聚體具有良好的生物相容性、良好的光學(xué)透明性、化學(xué)穩(wěn)定性高，成本低、易加工，是一種蓋片的主流選擇。然而金屬或玻璃等基材與pdms預(yù)聚體直接鍵合是較為困難的，兩者的表面化學(xué)性質(zhì)和物理性質(zhì)存在顯著差異。兩者直接鍵合，通常會因界面不相容而導(dǎo)致附著力弱。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供一種微流控芯片的制造方法，以解決pdms預(yù)聚體蓋片和金屬膜層基底直接鍵合困難的問題。

2、本發(fā)明提供一種微流控芯片的制造方法，包括以下步驟：提供基底；在所述基底的一側(cè)表面形成金屬膜層；提供蓋片，所述蓋片至少設(shè)置有微流道；在所述基底上形成中介鍵合層，覆蓋所述基底形成有所述金屬膜層的一側(cè)表面；對所述中介鍵合層做表面活化處理；將所述蓋片扣合至所述中介鍵合層，通過所述中介鍵合層與所述基底鍵合；其中，所述蓋片為pdms預(yù)聚體蓋片；所述中介鍵合層為二氧化硅層。

3、可選的，所述在所述基底上具有金屬膜層的一側(cè)表面形成中介鍵合層的步驟中，通過磁控濺射在所述基底上具有金屬膜層的一側(cè)表面形成二氧化硅層作為所述中介鍵合層；所述金屬膜層覆蓋其下的所述基底的整層表面，所述二氧化硅層覆蓋所述金屬膜層的整層表面。

4、可選的，所述在所述基底上具有金屬膜層的一側(cè)表面形成中介鍵合層的步驟中，通過磁控濺射在所述基底上具有金屬膜層的一側(cè)表面形成二氧化硅層作為所述中介鍵合層；所述金屬膜層的面積小于所述中介鍵合層的面積，所述中介鍵合層完全覆蓋所述金屬膜層，并延伸出所述金屬膜層的范圍，與所述基底直接連接。

5、可選的，所述表面活化處理的步驟中，采用等離子體轟擊所述中介鍵合層；等離子體轟擊過程中，使用氣體為空氣或氧氣；轟擊時間為20s~120s，功率為50w~200w，氣體流量速度為100μl/min。

6、可選的，所述將所述蓋片扣合至所述中介鍵合層，通過所述中介鍵合層與所述基底鍵合的步驟中：將所述蓋片放置于所述基底上的對應(yīng)位置，使用工具點擊所述蓋片，將所述蓋片與所述基底間的空氣排出并緊密粘合。

7、可選的，所述空氣排出并緊密結(jié)合的過程，在一次點擊中完成；所述點擊的過程在所述表面活化處理完成后10min內(nèi)完成；所述點擊的過程中，所述蓋片的表面被施加的壓力小于等于3n。

8、可選的，所述在所述基底的一側(cè)表面形成金屬膜層的步驟中，形成工藝包括蒸鍍工藝。

9、可選的，微流控芯片的制造方法還包括：在所述基底的一側(cè)表面形成金屬膜層的步驟前，對所述基底進行預(yù)清洗；所述預(yù)清洗的工藝包括水洗、有機溶劑清洗或超聲清洗。

10、可選的，微流控芯片的制造方法還包括：將所述蓋片扣合至所述中介鍵合層，通過所述中介鍵合層與所述基底鍵合后，對鍵合的所述蓋片和所述基底進行熱烘，使所述中介鍵合層固化。

11、可選的，所述熱烘步驟中，溫度為60℃~70℃恒溫，熱烘時間為10min~60min。

12、本發(fā)明的有益效果如下：

13、本發(fā)明提供的微流控芯片的制造方法，在形成有金屬膜層的基底上形成二氧化硅層作為中介鍵合層，再與pdms預(yù)聚體蓋片直接鍵合，由于二氧化硅與金屬膜層和pdms均有較佳的結(jié)合能力，可以使得具有金屬膜層的基底與pdms預(yù)聚體蓋片穩(wěn)定鍵合。并且，二氧化硅具有高度的化學(xué)穩(wěn)定性和惰性，不易降解，提供長期穩(wěn)定的鍵合效果。同時，二氧化硅對生物樣品無毒，并且可以隔絕部分基底材料的生物毒性，適合用于生物醫(yī)學(xué)和生物分析應(yīng)用。此外，二氧化硅涂層可以承受較高的溫度而不降解，適用于需要高溫處理的應(yīng)用情景。

技術(shù)特征：

1.一種微流控芯片的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流控芯片的制造方法，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流控芯片的制造方法，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流控芯片的制造方法，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流控芯片的制造方法，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微流控芯片的制造方法，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流控芯片的制造方法，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流控芯片的制造方法，其特征在于，還包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流控芯片的制造方法，其特征在于，還包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微流控芯片的制造方法，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及細胞分選檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種微流控芯片的制造方法。本發(fā)明的微流控芯片的制造方法包括以下步驟：提供基底；在基底的一側(cè)表面形成金屬膜層；提供蓋片，蓋片至少設(shè)置有微流道；在基底上形成中介鍵合層，覆蓋基底形成有金屬膜層的一側(cè)表面；對中介鍵合層做表面活化處理；將蓋片扣合至中介鍵合層，通過中介鍵合層與基底鍵合；其中，蓋片為PDMS預(yù)聚體蓋片；中介鍵合層為二氧化硅層。本發(fā)明可以解決PDMS預(yù)聚體蓋片與金屬膜層基底難以直接鍵合的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：閔長俊,楊嘉豪,鄧如平,汪先友,張聿全,袁小聰
受保護的技術(shù)使用者：深圳大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19