技術(shù)總結(jié)
一種具有微橋結(jié)構(gòu)的紅外探測器及其制造方法，所述紅外探測器包括：基底，所述基底表面內(nèi)形成有金屬互連層；部分懸空于所述基底上方的圖形化的微橋結(jié)構(gòu)，所述微橋結(jié)構(gòu)包括橋腿和橋梁，所述橋腿與所述金屬互連層電連接，所述橋梁懸空且向上翹起；部分懸空于微橋結(jié)構(gòu)上方的圖形化的紅外敏感層，且所述紅外敏感層與所述微橋結(jié)構(gòu)的橋梁電連接，由所述橋梁支撐。所述紅外探測器的良率提高，具有更高的性能。

技術(shù)研發(fā)人員：池積光;金杰;姜利軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江大立科技股份有限公司
文檔號(hào)碼：201710080817
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.15
技術(shù)公布日：2017.05.10